CN219044951U - 热处理装置及太阳能电池的制备设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种热处理装置及太阳能电池的制备设备，属于太阳能电池领域。一种热处理装置，用于太阳能电池的制备设备，该热处理装置包括：沿物料流动方向设置的进料腔室、工艺腔室和出料腔室；进料腔室的出料端与工艺腔室的进料端之间通过第一门阀相连，工艺腔室的出料端与出料腔室的进料端之间通过第二门阀相连；进料腔室、工艺腔室和出料腔室分别通过管路与抽真空装置连接，所述管路上设置有调节阀；工艺腔室通过气体输送管道与保护气体源连通，用于进料腔室中注入保护气体。本申请可以缓解当前太阳能电池的制备过程中，在空气氛围下进行固化或退火的热处理影响电池的问题，可以改善电池的性能。

Description

热处理装置及太阳能电池的制备设备

技术领域

本申请属于太阳能电池制造技术领域，涉及退火或固化热处理，具体涉及一种热处理装置及太阳能电池的制备设备。

背景技术

太阳能电池行业近几年发展迅速，与传统的硅太阳能电池相比，晶体硅/非晶硅异质结(SHJ)太阳能电池因其能获得更高的开路电压和转换效率，具有光电转换效率高、温度系数小等优点，近年来国内主要光伏企业开始纷纷投资建设相关产线。异质结太阳能电池制备工艺简单，例如包括：制绒清洗，PECVD沉积非晶/微晶硅薄膜，PVD制备透明导电层，金属化制备电极，共四大步骤。目前，金属化制备电极主要包括两种方式，其中一种是采用丝网印刷低温银浆；在丝网印刷银浆后，需要对电池进行烘干，让银浆成型，然后对电池进行高温退火(固化)和大光强照射下的快速退火(LED退火)，使浆料中的有机物挥发，同时对PECVD沉积的非晶/微晶硅，以及PVD制备的透明导电薄膜进行退火恢复。该方式在提升浆料导电特性的同时，也提升了电池的整体性能。其中另一种是采用铜电镀方法电镀铜电极，在制备电极后，再进行高温退火和LED退火。

相关技术中，在丝网印刷完低温银浆后，进行烘烤和固化工艺，其都在开放式的退火炉中进行，并以传输带的方式传输，无法进行保护气体处理，隔绝氧气。也就是，目前的烘干固化和LED退火均是在大气氛围下完成的，这样，高温和氧气会使得银电极或者铜电极出现部分氧化，影响电极的导电特性，进而影响太阳能电池的性能。另外，高温和氧气还使得透明导电薄膜出现部分氧化，使得透明导电薄膜的方块电阻增加，影响太阳能电池的性能。

实用新型内容

本申请旨在至少在一定程度上解决上述相关技术中的技术问题之一。

为此，本申请的目的在于提供一种热处理装置及太阳能电池的制备设备，可以缓解当前太阳能电池的制备过程中，在空气氛围下进行固化或退火的热处理影响电池性能的问题。

为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

本申请实施例提供了一种热处理装置，用于太阳能电池的制备设备，所述热处理装置包括：沿物料流动方向设置的进料腔室、工艺腔室和出料腔室；

所述进料腔室的出料端与所述工艺腔室的进料端之间通过第一门阀相连，所述工艺腔室的出料端与所述出料腔室的进料端之间通过第二门阀相连；

所述进料腔室、所述工艺腔室和所述出料腔室分别通过管路与抽真空装置连接，所述管路上设置有调节阀；

所述工艺腔室通过气体输送管道与保护气体源连通，用于向所述工艺腔室中通入保护气体。

另外，根据本申请的热处理装置，还可以具有如下附加的技术特征：

在其中的一些实施方式中，所述热处理装置还包括传输机构和载板，所述载板用于承载电池片，所述传输机构用于传输所述载板及设于所述载板上的电池片，以使电池片能够依次通过所述进料腔室、所述工艺腔室和所述出料腔室后进入下一工序。

在其中的一些实施方式中，所述进料腔室的进料端设有第三门阀，所述出料腔室的出料端设有第四门阀。

在其中的一些实施方式中，所述抽真空装置包括第一真空泵、第二真空泵和第三真空泵，所述调节阀包括第一调节阀、第二调节阀和第三调节阀；

所述第一真空泵通过第一管路与所述进料腔室连通，所述第二真空泵通过第二管路与所述工艺腔室连通，所述第三真空泵通过第三管路与所述出料腔室连通；

所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路上分别设置有所述第一调节阀、所述第二调节阀和所述第三调节阀。

在其中的一些实施方式中，所述第一调节阀、所述第二调节阀和所述第三调节阀均为蝶阀。

在其中的一些实施方式中，所述工艺腔室包括多个工艺子腔室，相邻两个所述工艺子腔室之间通过门阀相连，各个所述工艺子腔室内的工艺参数和功能选择适于单独调控。

在其中的一些实施方式中，每个所述工艺子腔室内分别设有光源或加热部件中的一种或多种；

和/或，每个所述工艺子腔室内均设有温度传感器。

在其中的一些实施方式中，所述气体输送管道还与所述水汽供给装置连通，所述水汽供给装置包括储水槽，所述储水槽通过输入管道与所述气体输送管道连通，用于将所述气体输送管道中的至少部分保护气体注入至所述储水槽中；

所述储水槽还通过水汽输出管道与所述气体输送管道连通，用于将所述储水槽中的水汽或包含保护气体的水汽通过所述气体输送管道注入至所述工艺腔室中。

在其中的一些实施方式中，所述输入管道上设置有第一阀门，所述水汽输出管道上设置有第二阀门；

所述气体输送管道包括连接段，所述连接段位于用于与所述输入管道连接和用于与所述水汽输出管道连接之间，所述连接段上设置有第三阀门；

和/或，所述气体输送管道靠近所述保护气体源的一端设置有第四阀门。

本申请实施例还提供了一种太阳能电池的制备设备，其包括如前所述的热处理装置。

与现有技术相比，本实用新型的至少具有以下有益效果：

本申请实施例中，所提供的热处理装置包括进料腔室、工艺腔室和出料腔室，该进料腔室、工艺腔室和出料腔室分别与抽真空装置连接，可以分别使进料腔室、工艺腔室和出料腔室处于真空状态，并且工艺腔室与保护气体源连通，可以向工艺腔室中通入保护气体，从而可以使电池片在保护气体氛围下进行烘干、固化或退火等热处理工序，可避免与氧气接触，防止金属电极、TCO(透明导电薄膜)的氧化，有助于提升透明导电薄膜的导电特性，从而提升电池的性能。所提供的热处理装置在工艺腔室的两侧分别设置进料腔室和出料腔室，这样，可以尽可能的精确控制工艺腔室中各种保护气体的浓度，减少或避免电池片在进入或离开工艺腔室时混入空气，保证工艺腔室中所需的保护气体氛围或真空要求。

本申请的太阳能电池的制备设备包括所述的热处理装置，因而至少具有所述的热处理装置的所有特征及优势，在此不再赘述。本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1为本申请实施例公开的热处理装置结构示意图。

附图标记说明：

100-进料腔室；110-第三门阀；

200-工艺腔室；210-第一门阀；220-第二门阀；

300-出料腔室；310-第四门阀；

400-抽真空装置；410-第一真空泵；411-第一调节阀；420-第二真空泵；421-第二调节阀；430-第三真空泵；431-第三调节阀；

510-传输机构；520-载板；

600-储水槽；

710-气体输送管道；720-输入管道；730-水汽输出管道；

810-第一阀门；820-第二阀门；830-第三阀门；840-第四阀门。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例进行详细地说明。

请参阅图1所示，本申请的一些实施例中，提供一种热处理装置，可应用于太阳能电池的制备设备中，如在太阳能电池的制备过程中，会涉及到对电池片的烘烤(烘干)、烧结、固化或退火等热处理工序，该热处理装置可用于实现对电池片的烘烤(烘干)、烧结、固化或退火等各种热处理操作。示例性的，在制备太阳能电池的金属电极过程中，在丝网印刷之后，可利用该热处理装置对丝网印刷后的电池片进行固化或退火处理，可以用于解决现有技术中在大气氛围下进行固化或退火处理、容易使金属电极出现部分氧化、或者使透明导电薄膜出现部分氧化，影响太阳能电池的导电或相关性能的问题。除此之外，热处理装置还可以用于其他设备中或进行其他类型的热处理，本申请实施例对于热处理装置的具体使用场景和工况不作具体限制。

具体的，热处理装置包括：沿物料流动方向设置的进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300，工艺腔室200设置在进料腔室100和出料腔室300之间，用于对物料如电池片进行热处理。该进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300可以相连通，电池片如丝网印刷后的电池片可依次经过进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300，并在工艺腔室200中对电池片进行固化或退火等热处理。

其中，进料腔室100的出料端与工艺腔室200的进料端之间通过第一门阀210相连，工艺腔室200的出料端与出料腔室300的进料端之间通过第二门阀220相连。本实施例中，相邻的两个腔室之间通过门阀进行连接，门阀可以起到连接或隔离传输模块和工艺模块的作用，通过门阀的设置，在进行电池片传输时，可以打开门阀使电池片进入或离开各腔室，在进行抽真空或输入保护气体或热处理时，可以关闭门阀以使各腔室处于密闭状态。

进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300分别通过管路与抽真空装置400连接，用于分别使进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300处于真空状态，该管路上可以设置有调节阀，可用于调控各腔室的压强。本实施例中，进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300各自可以分别通过独立的真空管路与抽真空装置400连接，并在各个真空管路上分别设置调节阀，从而可以实现对各个腔室的真空度的单独控制，方便分别进行调控各个腔室的真空度，容易调控，便于操作。

可选的，抽真空装置400可以包括若干个真空泵，以用于对各个腔室进行抽真空。

工艺腔室200通过气体输送管道710与保护气体源连通，用于向工艺腔室200中通入保护气体，该气体输送管道710还与水汽供给装置连通，可以利用水汽供给装置提供水汽，并通过气体输送管道710向工艺腔室200中通入水汽。通过向工艺腔室200中输入保护气体，可以使热处理在保护气氛下进行；此外，通过水汽供给装置的设置，可以单独提供水汽，这样在热处理后，有助于提升栅线结合力和电池性能。

本实施例中，进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300分别与抽真空装置400连接；工艺腔室200与保护气体源连通。这样，在使用时，可以选择在保护气体氛围下进行固化或退火等处理，或者也可以选择在真空状态下进行固化或退火等处理，或者可以在抽完真空后通入保护气体以在精确的保护气体氛围下进行固化或退火等处理。此外，在其他实施方式中，进料腔室100和出料腔室300也与保护气体源连通，如可以使进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300分别与保护气体源连通。

此外，基于以上设置，本实施例的热处理装置，可以分别利用抽真空装置400对进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300进行抽真空处理，并可以向工艺腔室200中通入保护气体，从而可以使电池片在保护气体氛围下进行烘干、固化或退火等热处理工序，可避免与氧气接触，防止金属电极、TCO(透明导电薄膜)的氧化，有助于提升透明导电薄膜的导电特性，从而提升电池的性能，缓解现有技术中在大气氛围下进行热处理影响电池性能的问题。

并且，所提供的热处理装置在工艺腔室200的两侧分别设置进料腔室100和出料腔室300，这样，可以利用进料腔室100和出料腔室300的设置起到过渡的作用，可以尽可能的精确控制工艺腔室200中各种保护气体的浓度，也即是，进料腔室100和出料腔室300可以与工艺腔室200具有同样的保护气体氛围或真空状态，这样在工艺腔室200开门的时候，气体外泄，外界的空气也不会进入到工艺腔室200中，从而可以减少或避免电池片在进入或离开工艺腔室200时混入空气，进而有效地确保工艺腔室200内部形成的保护气体氛围或真空度，从而可以提升成品的质量。

在一些实施例中，工艺腔室200内设有光源(未图示)，用于对丝网印刷后的电池片进行照射以进行退火处理，退火气氛为保护气体氛围，或者退火气氛可以为真空环境。或者，工艺腔室200内设有加热部件(未图示)，用于对丝网印刷后的电池片进行加热，加热气氛为保护气体氛围，或者加热气氛可以为真空环境。此外，在另一些实施例中，工艺腔室200内也可以同时设置光源和加热部件，以用于对电池片或者其他物料进行热处理。

该热处理装置，在使用时，可以将进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300分别进行抽真空，使各腔室的氛围均为真空状态，并可以向工艺腔室中通入保护气体，使工艺腔室的氛围均为保护气体氛围；再将丝网印刷后的电池片或者经过电镀铜后的电池片依次通过进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300，并在工艺腔室200中利用光源或加热部件对其进行热处理。

可选的，光源可以包括LED灯、氙灯、钨灯或激光中的至少一种。可选的，光源可以为一个或至少两个。可选的，加热部件可以为波长在不超过4000nm波长范围内的红外光源；进一步，红外光源可以石英红外灯、陶瓷红外灯等中的至少一种。当然，在其他实施方式中，光源和加热部件还可以采用其他类型的、能够用于对电池片进行固化或退火处理的器件，本实施例对此不作限定。

本实施例中，在工艺腔室200中，在保护气体氛围下或者在真空环境下，可以利用光源或加热部件对丝网印刷后的电池片进行高温退火(固化)或大光强照射下的快速退火(如LED灯退火)，使浆料中的有机物挥发。也可以通过加热部件如红外灯协同光源如LED灯在太阳能电池顶部(或底部)照射，可同时实现异质结太阳能电池低温银浆固化、退火及氢钝化的功能。本实施例通过向工艺腔室200中通入保护气体，使上述热处理可以在保护气体氛围也即非氧化性氛围下进行，可避免与氧气接触，防止金属电极、TCO氧化，提升太阳能电池的性能。

需要指出的是，丝网印刷后的电池片可以包括印刷有银浆的太阳能电池片，银浆可以具有预设的厚度，该预设的厚度可以是根据银浆的导电性能和所需制备的太阳能电池的性能来进行设定的，可以使得银浆固化后达到所需导电性能，其中，银浆一般采用不同条件下制备的不同形态的片状银粉、不同种类树脂体、表面分散剂及有机物构成，本实施例对此不作限定。

在一些实施例中，保护气体源包括氮气源、氢气源、氩气源、氦气源或氖气源中的一种或多种。例如，保护气体源可用于提供氮气、氩气、氦气、氖气或氢气等非氧化性气体，优选为氮气(N₂)、氩气(Ar)或氢气(H₂)。

本实施例中，保护气体可以为氮气、氩气等惰性气体，或者也可以为参与反应的氢气、水蒸汽等。从而，结合上述进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300多腔室结构的设置，可以实现整片电池片在惰性气氛(如N₂、Ar等)或反应气体气氛(如H₂、水蒸汽)下退火，或者可以进行真空退火，有助于保护金属电极不被氧化，提升透明导电薄膜的导电特性，从而提升电池的性能。

可选的，在进料腔室100、出料腔室300和工艺腔室200中，可采用(如N₂、Ar等)或反应气体气氛(如H₂等)正压方式维持气氛。也即，进料腔室100或出料腔室300的压力大于1大气压，工艺腔室200开门的时候，气体外泄，外界的空气不会进入进(出)工艺腔室200。或者采用另一种方式，在进料腔室100、出料腔室300和工艺腔室200采用真空泵抽气方式，工艺腔室200开门的时候，也可以保证工艺腔室200内所需的真空度，实现真空退火功能。

本实施例在工艺腔室200的前后两侧增加了进料腔室100和出料腔室300，这样可以尽可能的精确控制工艺腔室200中各种气体的浓度，保证所需的气氛或真空环境。

在一些实施例中，热处理装置还包括传输机构510和载板520，载板520用于承载电池片，传输机构510用于传输载板520及设于载板520上的电池片，以使电池片能够依次通过进料腔室100、工艺腔室200和出料腔室300后进入下一工序。

本实施例中，为了实现电池片的运送或转移，还设置了传输机构510和载板520，其中载板520可流转地设置于各个腔室内，载板520用于承载电池片，传输机构510可用于向各腔室内输入电池片或从各腔室内运出电池片，也即传输机构510可用于在各腔室之间传输载板520及设于载板520上的电池片。

由此，通过载板520传输的方式，有利于载板520保持较为稳定的温度，可以避免因为暴露在空气中而附着水气和杂质，从而有利于电池片温度的控制，减少电池片受到的污染，进而提升电池片的工艺处理效果和加工质量。

需要说明的是，传输机构510的具体结构及工作原理等均可以参照现有技术，本实施例对此不作限定，在此不再详细描述。

在一些实施例中，进料腔室100的进料端设有第三门阀110，出料腔室300的出料端设有第四门阀310。从而，在进料腔室100的进料端设有第三门阀110，进料腔室100和工艺腔室200之间设有第一门阀210，工艺腔室200和出料腔室300之间设有第二门阀220，出料腔室300的出料端设有第四门阀310。

可选的，上述第一门阀210和第二门阀220可以为真空门阀，上述第三门阀110和第四门阀310可以为大气门阀。

在工作时，第三门阀110开启，以使电池片经由传输机构510和载板520传送至进料腔室100内，第三门阀110关闭，以供进料腔室100进行抽真空；而后，第一门阀210开启，以使电池片经由传输机构510和载板520传送至工艺腔室200内，第一门阀210关闭，以供进料腔室100进行抽真空，并在保护气氛在对工艺腔室200内的电池片进行热处理；热处理结束后，对出料腔室300进行抽真空，出料腔室300和工艺腔室200压强平衡后，再使第二门阀220开启，以使热处理后的电池片传送至出料腔室300内，第二门阀220关闭，对出料腔室300进行破真空，再使第四门阀310开启，以使电池片从出料腔室300中传出至下一工序，当电池片传出出料腔室300后关闭第四门阀310。

在一些实施例中，抽真空装置400包括第一真空泵410、第二真空泵420和第三真空泵430，调节阀包括第一调节阀411、第二调节阀421和第三调节阀431；第一真空泵410通过第一管路与进料腔室100连通，第二真空泵420通过第二管路与工艺腔室200连通，第三真空泵430通过第三管路与出料腔室300连通；第一管路、第二管路和第三管路上分别设置有第一调节阀411、第二调节阀421和第三调节阀431。可选的，上述第一真空泵410可以包括一个或多个真空泵；上述第二真空泵420可以包括一个或多个真空泵；上述第三真空泵430可以包括一个或多个真空泵。可选的，真空泵可以采用分子泵或其他类型的真空泵等。

本实施例中，第一真空泵410、第二真空泵420和第三真空泵430可以均为真空泵组，进料腔室100、出料腔室300和工艺腔室200可分别通过第一管路、第二管路、第三管路与各真空泵组连接，可以分别利用各真空泵组对各腔室进行抽真空，这样方便单独控制，便于分别进行调控各个腔室的真空环境，容易操作。

可选的，第一调节阀411、第二调节阀421和第三调节阀431均为蝶阀。通过在各真空管路上设置蝶阀，可用于分别调控各腔室的真空度，保证所需的真空环境；并且采用蝶阀结构简单，成本较低，方便安装和维护。

在一些实施例中，工艺腔室200包括多个工艺子腔室，相邻两个工艺子腔室之间通过门阀相连，各个工艺子腔室内的工艺参数(如工艺温度)和功能选择适于单独调控。可选的，所述门阀可以为真空门阀。

可选的，每个工艺子腔室内分别设有光源或加热部件中的一种或多种；和/或，每个工艺子腔室内均设有温度传感器。可选的，热处理装置还可包括控制器，温度传感器、光源、加热部件等分别与控制器信号连接。由此，可以实现各个工艺子腔室的温度的单独调控。此外，用于实现各个工艺子腔室的温度的单独调控的方式具有多种，本实施例对此不作具体限制。

可选的，工艺子腔室的数量为至少两个，如工艺子腔室的数量可以为两个、三个、四个或四个以上。

本实施例中，通过多个工艺子腔室的设置，可以根据情况需要，使不同的工艺子腔室的温度或其他工艺参数等不同，进而可以满足不同的工艺需求，灵活性更好，适应性更强。

需要说明的是，温度传感器、控制器等的具体结构及工作原理等均可以参照现有技术，本实施例对此不作限定，在此不再详细描述。

在一些实施例中，气体输送管道710还与水汽供给装置连通，水汽供给装置包括储水槽600，储水槽600通过输入管道720与气体输送管道710连通，用于将气体输送管道710中的保护气体输入至储水槽600中；储水槽600还通过水汽输出管道730与气体输送管道710连通，用于将储水槽600中的水汽或包含保护气体的水汽通过气体输送管道710输入至工艺腔室200中。

本实施例中，通过在气体输送管道710的一侧设置储水槽600，可用于单独提供水汽，使储水槽600中的水汽经由水汽输出管道730和气体输送管道710后输入至工艺腔室200中，这样在热处理后，有助于提升栅线结合力和电池性能。并且，也可以将气体输送管道710中的保护气体通过输入管道720输入至储水槽600中，采用保护气体携带水汽的方式，将包含水汽的保护气体输入至工艺腔室200中，可以提高热处理效果，进而有助于提高栅线性能。

在一些实施例中，输入管道720上设置有第一阀门810，水汽输出管道730上设置有第二阀门820；气体输送管道710包括连接段，连接段位于用于与输入管道720连接和用于与水汽输出管道730连接之间，连接段上设置有第三阀门830。如，输入管道720与气体输送管道710的第一连接端连接，水汽输出管道730与气体输送管道710的第二连接端连接，该第一连接端与第二连接端之间的部分即为连接段，该第三阀门830设置在连接段上。

在一些实施例中，气体输送管道710靠近保护气体源的一端设置有第四阀门840。

通过上述各阀门的设置，可以起到开启或关闭管道的作用。上述各阀门在使用时，开启第四阀门840和第三阀门830，可以将保护气体源中的保护气体通过气体输送管道710输入至工艺腔室200中；开启第四阀门840和第一阀门810，并关闭第三阀门830，可以使保护气体通过输入管道720注入至储水槽600中，开启第二阀门820，可以使包含水汽的保护气体通过水汽输出管道730输入至工艺腔室200中。

可选的，上述第一阀门810、第二阀门820、第三阀门830和第四阀门840可以为电控阀等类型的阀门。

可选的，进料腔室100和工艺腔室200之间、工艺腔室200和出料腔室300之间还可以设置有密封结构比如密封垫等，这样可以保证各个腔室达到所需求的保护气体氛围或真空度，结构简单，密封效果好。

可选的，进料腔室100或出料腔室300的容积(或宽度)可以远小于工艺腔室200的容积(或宽度)。由于在工艺腔室200内设置光源或加热部件等器件，以对电池片进行热处理，而在进料腔室100和出料腔室300中可以不设置器件，因此，该进料腔室100或出料腔室300的容积或宽度可以较小，方便用于注入保护气体或抽取残余杂气即可，以在保证预处理效果的前提下，尽可能的减少占用空间，节约成本。

由此，基于以上设置，可以有效地在保护氛围下实现太阳能电池的自动化固化或退火等热处理，可以缓解现有技术中在空气氛围下进行固化或退火的热处理影响电池性能的问题。

在一些实施例中，还提供了一种太阳能电池的制备设备，其包括前述的热处理装置。

可选的，太阳能电池的制备设备还包括丝网印刷装置，丝网印刷装置的出料端与热处理装置的进料端连接。

本实施例的太阳能电池的制备设备包括本实施例提供的热处理装置，可以使电池片在保护气体氛围下进行烘干、固化或退火等热处理，可避免与氧气接触，防止金属电极、TCO的氧化，有助于提升透明导电薄膜的导电特性，从而提升电池的性能。

需要说明的是，太阳能电池的制备设备还可以包括丝网印刷装置、清洗制绒装置、沉积装置等其他装置结构，本申请实施例对于丝网印刷装置、清洗制绒装置、沉积装置等其他装置结构的连接及其结构等不作限定，可以参照现有技术，该太阳能电池的制备设备的核心在于包含了本申请实施例提供的热处理装置。

本实用新型未详细说明部分为本领域技术人员公知技术。

上面结合附图对本申请的实施例进行了描述，但是本申请并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本申请的启示下，在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本申请的保护之内。

Claims (10)

1.一种热处理装置，用于太阳能电池的制备设备，其特征在于，所述热处理装置包括：沿物料流动方向设置的进料腔室、工艺腔室和出料腔室；

所述进料腔室的出料端与所述工艺腔室的进料端之间通过第一门阀相连，所述工艺腔室的出料端与所述出料腔室的进料端之间通过第二门阀相连；

所述进料腔室、所述工艺腔室和所述出料腔室分别通过管路与抽真空装置连接，所述管路上设置有调节阀；

所述工艺腔室通过气体输送管道与保护气体源连通，用于向所述工艺腔室中通入保护气体。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括传输机构和载板，所述载板用于承载电池片，所述传输机构用于传输所述载板及设于所述载板上的电池片，以使电池片能够依次通过所述进料腔室、所述工艺腔室和所述出料腔室后进入下一工序。

3.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述进料腔室的进料端设有第三门阀，所述出料腔室的出料端设有第四门阀。

4.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述抽真空装置包括第一真空泵、第二真空泵和第三真空泵，所述调节阀包括第一调节阀、第二调节阀和第三调节阀；

所述第一真空泵通过第一管路与所述进料腔室连通，所述第二真空泵通过第二管路与所述工艺腔室连通，所述第三真空泵通过第三管路与所述出料腔室连通；

所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路上分别设置有所述第一调节阀、所述第二调节阀和所述第三调节阀。

5.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，所述第一调节阀、所述第二调节阀和所述第三调节阀均为蝶阀。

6.根据权利要求1-5任一项所述的热处理装置，其特征在于，所述工艺腔室包括多个工艺子腔室，相邻两个所述工艺子腔室之间通过门阀相连，各个所述工艺子腔室内的工艺参数和功能选择适于单独调控。

7.根据权利要求6所述的热处理装置，其特征在于，每个所述工艺子腔室内分别设有光源或加热部件中的一种或多种；

和/或，每个所述工艺子腔室内均设有温度传感器。

8.根据权利要求1-5任一项所述的热处理装置，其特征在于，所述气体输送管道还与水汽供给装置连通，所述水汽供给装置包括储水槽，所述储水槽通过输入管道与所述气体输送管道连通，用于将所述气体输送管道中的至少部分保护气体注入至所述储水槽中；

所述储水槽还通过水汽输出管道与所述气体输送管道连通，用于将所述储水槽中的水汽或包含保护气体的水汽通过所述气体输送管道注入至所述工艺腔室中。

9.根据权利要求8所述的热处理装置，其特征在于，所述输入管道上设置有第一阀门，所述水汽输出管道上设置有第二阀门；

所述气体输送管道包括连接段，所述连接段位于用于与所述输入管道连接和用于与所述水汽输出管道连接之间，所述连接段上设置有第三阀门；

和/或，所述气体输送管道靠近所述保护气体源的一端设置有第四阀门。

10.一种太阳能电池的制备设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任意一项所述的热处理装置。

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