CN219024554U - 一种步进移料无污染的多晶硅水淬机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种步进移料无污染的多晶硅水淬机，属于多晶硅加工设备技术领域，以解决现有的多晶硅棒料如何实现匀速移动、如何减少加热箱内部的氧气、如何对移动多晶硅棒料的结构进行降温的问题，包括加热箱，所述加热箱的一侧设置有除氧端，所述除氧端的侧面设置有放料端，加热箱的另一侧安装有急冷端，在横向动力油缸和升降动力油缸的带动下，在升降斜块、横向支撑滚轮、斜块支撑滚轮的传动下，带动步进底架进行向下移动、向除氧端方向移动、向上移动、向急冷端方向移动、向下移动的一个循环移动，从而把上一工位的料棒移动到下一工位，由此实现步进式的物料传递作业，保证了物料能够匀速的在加热箱的内部进行移动。
Description
技术领域
一种步进移料无污染的多晶硅水淬机，本实用新型属于多晶硅加工设备技术领域，具体涉及的多晶硅水淬机技术领域。
背景技术
多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。
在多晶硅在使用前需要对其进行粉碎处理，由于多晶硅硬度较高因此在破碎前需要对其进行处理，从而便于后期的粉碎作业，目前先对单晶硅进行加热然后在对其进行骤冷，从而使得单晶硅的棒料变脆是较为常见的一种处理方式，但是由于大多数多晶硅均是棒料，而且需要非常长的一个加热仓对其进行加热作业，如何使得多晶硅棒料能够匀速的在加热仓内进行移动成了非常需要解决的一个问题，同时由于对单晶硅进行加热时如何减少加热仓内部的氧气含量，也是较为重要的问题，再者对于棒料移动的结构如果长时间处于较高的温度中，那么势必会影响其使用的寿命，如何对移动结构进行降温也是较为重要的问题，为了对上述的问题进行解决，我们提出了一种步进移料无污染的多晶硅水淬机。
实用新型内容
本实用新型的目的在于：提供一种步进移料无污染的多晶硅水淬机，以解决上述现有的多晶硅棒料如何实现匀速移动、如何减少加热箱内部的氧气、如何对移动多晶硅棒料的结构进行降温的问题。
本实用新型采用的技术方案如下：
一种步进移料无污染的多晶硅水淬机，包括加热箱，所述加热箱的一侧设置有除氧端，所述除氧端的侧面设置有放料端，所述加热箱的另一侧安装有急冷端，所述急冷端的侧面安装有风冷结构，所述加热箱的内部安装有对待加工的多晶硅进行加热的加热结构，在所述加热结构的底端设置有对待加工的多晶硅进行移动的步进移料结构，在步进移料结构的内部设置有步进梁，所述步进移料结构的内部设置有对步进梁进行冷却的冷却结构。
进一步的，所述加热结构包括安装在步进梁表面的内高纯石英，所述内高纯石英两侧的加热箱内部设置有侧高纯石英，所述加热箱的内部底端设置有与侧高纯石英连接固定的高纯石英扣盖，在所述内高纯石英的表面安装有内V型托块，所述侧高纯石英的表面安装有外V型托块，所述高纯石英扣盖的内部顶端安装有石英加热管。
更进一步的，所述步进梁的底端通过连接块连接有步进底架，所述步进底架靠近除氧端一侧的面上安装有连接板，所述连接板的侧面通过横向动力油缸与加热箱的内壁连接，所述步进底架的两侧均安装有升降斜块，所述升降斜块之间安装有安装轴，所述安装轴上套接有横向支撑滚轮，所述加热箱的底端安装有底架，所述底架上对应升降斜块下方的位置处安装有支撑轴，所述支撑轴上套接有斜块支撑滚轮，所述横向动力油缸下方的步进底架侧面通过升降动力油缸与加热箱内壁连接。
更进一步的，所述冷却结构包括设置在急冷端下方的纯水箱，所述步进梁靠近纯水箱一端的侧面开设有主梁冷却出水口，所述步进梁另一端的侧面开设有主梁冷却进水口，所述连接块侧面的步进底架表面安装有水封槽，所述侧高纯石英的底端对应水封槽的位置处安装有水封唇，所述加热箱的内部两端对应水封槽的位置处也安装有水封唇。
更进一步的，所述加热箱靠近急冷端的一侧安装有惰性气体加入管，所述除氧端的内部顶端安装有气刀，所述除氧端远离加热箱的一侧顶端安装有惰性气体回收管。
更进一步的，所述加热箱的侧面对应石英加热管的位置处设置有灯管检修口，所述侧高纯石英外部的加热箱上设置有炉膛检修口。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
1、在横向动力油缸和升降动力油缸的带动下，在升降斜块、横向支撑滚轮、斜块支撑滚轮的传动下，带动步进底架进行向下移动、向除氧端方向移动、向上移动、向急冷端方向移动、向下移动的一个循环移动，从而把上一工位的料棒移动到下一工位，由此实现步进式的物料传递作业，保证了物料能够匀速的在加热箱的内部进行移动。
2、通过内高纯石英、侧高纯石英和高纯石英扣盖形成相对封闭的加热腔体，同时通过配合惰性气体加入管、气刀和惰性气体回收管的设置，使得加热箱内部的加热位置处不仅具有良好的保温效果，而且也有效的减少了加热箱内部的氧气含量，从而避免氧气对棒料造成污染。
3、通过向步进梁侧面的主梁冷却进水口加入冷却水，然后冷却水通过主梁冷却出水口排出进入到水封槽的内部，而水封唇的设置，实现了通过水对步进梁下方的封闭作业，从而避免氧气从步进梁的位置处进入到棒料的位置处，而冷区水最终进入到纯水箱的内部被储存，由此便于进行再次的使用作业。
附图说明
图1为本实用新型的正体侧视结构示意图；
图2为本实用新型的加热箱结构后侧示意图；
图3为本实用新型的加热箱剖面结构示意图；
图4为本实用新型的加热箱内部结构示意图；
图5为本实用新型的步进移料结构示意图；
图6为本实用新型的步进移料底端结构示意图；
1-加热箱；2-除氧端；3-放料端；4-急冷端；5-风冷结构；6-惰性气体加入管；7-气刀；8-惰性气体回收管；9-纯水箱；10-内高纯石英；11-侧高纯石英；12-石英加热管；13-高纯石英扣盖；14-内V型托块；15-外V型托块；16-步进梁；17-连接块；18-步进底架；19-连接板；20-横向动力油缸；21-升降斜块；22-安装轴；23-横向支撑滚轮；24-底架；25-支撑轴；26-斜块支撑滚轮；27-升降动力油缸；28-水封槽；29-水封唇；30-灯管检修口；31-炉膛检修口；32-主梁冷却出水口；33-主梁冷却进水口。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例
如图1至图6中所示，一种步进移料无污染的多晶硅水淬机，包括加热箱1，加热箱1的一侧设置有除氧端2，除氧端2的侧面设置有放料端3，加热箱1的另一侧安装有急冷端4，急冷端4的侧面安装有风冷结构5，加热箱1的内部安装有对待加工的多晶硅进行加热的加热结构，在加热结构的底端设置有对待加工的多晶硅进行移动的步进移料结构，在步进移料结构的内部设置有步进梁16，步进移料结构的内部设置有对步进梁16进行冷却的冷却结构。
加热结构包括安装在步进梁16表面的内高纯石英10，内高纯石英10两侧的加热箱1内部设置有侧高纯石英11，加热箱1的内部底端设置有与侧高纯石英11连接固定的高纯石英扣盖13，在内高纯石英10的表面安装有内V型托块14，侧高纯石英11的表面安装有外V型托块15，高纯石英扣盖13的内部顶端安装有石英加热管12，通过内高纯石英10、侧高纯石英11和高纯石英扣盖13形成相对封闭的加热腔体，从而减少了热量的流失，通过内V型托块14和外V型托块15的设置使得在移动时能够把上一工位的内V型托块14上的棒料移动到下一工位的外V型托块15上，从而实现棒料的存放作业。
步进梁16的底端通过连接块17连接有步进底架18，步进底架18靠近除氧端2一侧的面上安装有连接板19，连接板19的侧面通过横向动力油缸20与加热箱1的内壁连接，步进底架18的两侧均安装有升降斜块21，升降斜块21之间安装有安装轴22，安装轴22上套接有横向支撑滚轮23，加热箱1的底端安装有底架24，底架24上对应升降斜块21下方的位置处安装有支撑轴25，支撑轴25上套接有斜块支撑滚轮26，横向动力油缸20下方的步进底架18侧面通过升降动力油缸27与加热箱1内壁连接，在升降动力油缸27和横向动力油缸20的共同作业下，同时在升降斜块21、横向支撑滚轮23和斜块支撑滚轮26的传动下带动了步进底架18进行向下移动、向除氧端2方向移动、向上移动、向急冷端4方向移动、向下移动的一个循环移动，从而把上一工位的料棒移动到下一工位，由此实现步进式的物料传递作业，在向下移动时棒料从B工位内V型托块14上移动到B工位的外V型托块15上，向除氧端2方向移动时此时的B工位的内V型托块14上没有棒料，在向上移动时B工位的内V型托块14到达A工位的外V型托块15位置处，即此时B工位的内V型托块14上承载了A工位的棒料，向急冷端4方向移动此时，B工位的内V型托块14把A工位的棒料移动到B工位，再次向下移动即把B工位的内V型托块14把A工位的棒料放置在B工位中的外V型托块15上，由此进行步进移动。
冷却结构包括设置在急冷端4下方的纯水箱9，步进梁16靠近纯水箱9一端的侧面开设有主梁冷却出水口32，步进梁16另一端的侧面开设有主梁冷却进水口33，连接块17侧面的步进底架18表面安装有水封槽28，侧高纯石英11的底端对应水封槽28的位置处安装有水封唇29，加热箱1的内部两端对应水封槽28的位置处也安装有水封唇29，水封槽28和水封唇29的设置能够有效的放置气流从步进梁16的位置处进入到步进梁16上方的区域内。
加热箱1靠近急冷端4的一侧安装有惰性气体加入管6，除氧端2的内部顶端安装有气刀7，除氧端2远离加热箱1的一侧顶端安装有惰性气体回收管8，由此使得惰性气体通过惰性气体加入管6进入到高纯石英扣盖13下方的位置处，然后从惰性气体回收管8的位置排出，由此使得高纯石英扣盖13下方的区域内部氧气含量极低，再者气刀7的设置能够在除氧端2的内部形成气帘，从而也有效的放置氧气从除氧端2的内部进入到高纯石英扣盖13下方的区域内。
加热箱1的侧面对应石英加热管12的位置处设置有灯管检修口30，侧高纯石英11外部的加热箱1上设置有炉膛检修口31，通过开启灯管检修口30和炉膛检修口31，从而便于对加热箱1的内部进行检修作业。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种步进移料无污染的多晶硅水淬机，包括加热箱(1)，所述加热箱(1)的一侧设置有除氧端(2)，所述除氧端(2)的侧面设置有放料端(3)，所述加热箱(1)的另一侧安装有急冷端(4)，所述急冷端(4)的侧面安装有风冷结构(5)，其特征在于：所述加热箱(1)的内部安装有对待加工的多晶硅进行加热的加热结构，在所述加热结构的底端设置有对待加工的多晶硅进行移动的步进移料结构，在步进移料结构的内部设置有步进梁(16)，所述步进移料结构的内部设置有对步进梁(16)进行冷却的冷却结构。
2.根据权利要求1所述的一种步进移料无污染的多晶硅水淬机，其特征在于：所述加热结构包括安装在步进梁(16)表面的内高纯石英(10)，所述内高纯石英(10)两侧的加热箱(1)内部设置有侧高纯石英(11)，所述加热箱(1)的内部底端设置有与侧高纯石英(11)连接固定的高纯石英扣盖(13)，在所述内高纯石英(10)的表面安装有内V型托块(14)，所述侧高纯石英(11)的表面安装有外V型托块(15)，所述高纯石英扣盖(13)的内部顶端安装有石英加热管(12)。
3.根据权利要求2所述的一种步进移料无污染的多晶硅水淬机，其特征在于：所述步进梁(16)的底端通过连接块(17)连接有步进底架(18)，所述步进底架(18)靠近急冷端(4)一侧的面上安装有连接板(19)，所述连接板(19)的侧面通过横向动力油缸(20)与加热箱(1)的内壁连接，所述步进底架(18)的两侧均安装有升降斜块(21)，所述升降斜块(21)之间安装有安装轴(22)，所述安装轴(22)上套接有横向支撑滚轮(23)，所述加热箱(1)的底端安装有底架(24)，所述底架(24)上对应升降斜块(21)下方的位置处安装有支撑轴(25)，所述支撑轴(25)上套接有斜块支撑滚轮(26)，所述横向动力油缸(20)下方的步进底架(18)侧面通过升降动力油缸(27)与加热箱(1)内壁连接。
4.根据权利要求3所述的一种步进移料无污染的多晶硅水淬机，其特征在于：所述冷却结构包括设置在急冷端(4)下方的纯水箱(9)，所述步进梁(16)靠近纯水箱(9)一端的侧面开设有主梁冷却出水口(32)，所述步进梁(16)另一端的侧面开设有主梁冷却进水口(33)，所述连接块(17)侧面的步进底架(18)表面安装有水封槽(28)，所述侧高纯石英(11)的底端对应水封槽(28)的位置处安装有水封唇(29)，所述加热箱(1)的内部两端对应水封槽(28)的位置处也安装有水封唇(29)。
5.根据权利要求1所述的一种步进移料无污染的多晶硅水淬机，其特征在于：所述加热箱(1)靠近急冷端(4)的一侧安装有惰性气体加入管(6)，所述除氧端(2)的内部顶端安装有气刀(7)，所述除氧端(2)远离加热箱(1)的一侧顶端安装有惰性气体回收管(8)。
6.根据权利要求2所述的一种步进移料无污染的多晶硅水淬机，其特征在于：所述加热箱(1)的侧面对应石英加热管(12)的位置处设置有灯管检修口(30)，所述侧高纯石英(11)外部的加热箱(1)上设置有炉膛检修口(31)。
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