CN218973476U - 一种薄膜厚度检测装置 - Google Patents
一种薄膜厚度检测装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218973476U CN218973476U CN202223577110.3U CN202223577110U CN218973476U CN 218973476 U CN218973476 U CN 218973476U CN 202223577110 U CN202223577110 U CN 202223577110U CN 218973476 U CN218973476 U CN 218973476U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- probe
- detection
- horizontal plate
- light
- film thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 57
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 70
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 25
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000003064 anti-oxidating effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型涉及薄膜检测技术领域，具体涉及一种薄膜厚度检测装置。本实用新型提供了一种薄膜厚度检测装置，包括：支撑架、上探头、下探头、水平板和检测组件，所述上探头和所述下探头分别垂直固定在所述支撑架侧壁，所述下探头和所述上探头对称设置；所述水平板可升降的设置在所述下探头上端，所述检测组件固定在所述下探头上，且所述检测组件与所述水平板联动；其中，所述检测组件内的球体发生偏移时，以指示所述下探头放置发生倾斜。通过检测组件球体和摆正块的设置，在下探头固定时发生倾斜时，球体自透光柱端部脱离，以指示下探头放置未水平。
Description
技术领域
本实用新型涉及薄膜检测技术领域，具体涉及一种薄膜厚度检测装置。
背景技术
当今微电子薄膜，光学薄膜，抗氧化薄膜，巨磁电阻薄膜，高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用，在工业生产的薄膜，其厚度是一个非常重要的参数，直接关系到该薄膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜，由于电路集成程度的不断提高，薄膜厚度的任何微小变化，对集成电路的性能都会产生直接的影响。
薄膜厚度的检测，通过光接触直接感应薄膜的厚度，但是，光接触测量薄膜厚度，需要薄膜水平放置在光检测设备上；而当薄膜放置发生倾斜偏移时，会导被检测的薄膜厚度不准确。而对于光检测设备在安装固定时，需要确保设备的水平放置，尤其是放置薄膜的工作台需要保持水平。而现有技术中的光检测设备调节水平度操作复杂；因此，研发一种薄膜厚度检测装置是很有必要的。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种薄膜厚度检测装置，以解决上述问题。
为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种薄膜厚度检测装置，包括
支撑架、上探头、下探头、水平板和检测组件，所述上探头和所述下探头分别垂直固定在所述支撑架侧壁，所述下探头和所述上探头对称设置；
所述水平板可升降的设置在所述下探头上端，所述检测组件固定在所述下探头上，且所述检测组件与所述水平板联动；其中，
所述检测组件内的球体发生偏移时，以指示所述下探头放置发生倾斜。
作为优选，所述水平板上开设有若干调节孔，每所述调节孔内螺纹设置有一调节柱，所述调节柱可转动的设置在所述下探头上；其中，
周向转动任一调节柱，以调节所述水平板的整体水平度。
作为优选，所述下探头上固定有一发生器，所述发生器适于发射检测激光；
所述水平板上开设有一检测孔，检测激光适于穿过所述检测孔并射向上探头。
作为优选，所述检测组件包括：下绝缘板和若干透光柱，所述下绝缘板呈环形，且所述下绝缘板固定在所述发生器上；
若干所述透光柱环所述下绝缘板周向设置，所述透光柱内部中空，所述透光柱与所述发生器连通。
作为优选，所述水平板上开设有一放置槽，所述放置槽呈环状设置在所述检测孔外部。
作为优选，所述放置槽内设置有一定位环，所述定位环上开设有若干与所述透光柱相适配的通孔；每所述通孔内放置有一球体，所述球体盖合在所述透光柱端部。
作为优选，所述放置槽上可滑动的设置有若干摆正块，一个摆正块对应一个球体；其中，
球体自通孔内脱离后，滑动所述摆正块，以推动球体使其落入所述通孔内。
相对于现有技术，本实用新型一种薄膜厚度检测装置的实施例具有以下有益效果：通过检测组件球体和摆正块的设置，在下探头固定时发生倾斜时，球体自透光柱端部脱离，以指示下探头放置未水平；而摆正块的设置，能够将球体再次放置在透光柱端部。相比较传统的需要水平仪等工具来调节下探头的水平度，本实用结构简单，操作简单，通过转动调节柱来调节水平板的平整度，提高了工作效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1示出了本实用新型的一种薄膜厚度检测装置的立体图；
图2示出了本实用新型的下探头和检测组件的立体图；
图3示出了本实用新型的下探头的内部立体图；
图4示出了本实用新型的检测组件的立体图；
图5示出了本实用新型的定位环的立体图。
图中：
1、支撑架；2、上探头；3、下探头；31、发生器；
4、水平板；41、调节孔；42、调节柱；43、放置槽；44、定位环；45、通孔；46、摆正块；
5、检测组件；51、下绝缘板；52、透光柱；53、球体。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1至图5所示，本实用新型提供了一种薄膜厚度检测装置，包括：支撑架1、上探头2、下探头3、水平板4和检测组件5，所述上探头2和所述下探头3分别垂直固定在所述支撑架1侧壁，所述下探头3和所述上探头2对称设置；所述上探头2和所述下探头3之间设有间隙，以便于将薄膜放置在所述下探头3上。所述水平板4可升降的设置在所述下探头3上端，所述检测组件5固定在所述下探头3上，且所述检测组件5与所述水平板4联动；其中，所述检测组件5内的球体53发生偏移时，以指示所述下探头3放置发生倾斜。放置所述下探头3后，打开所述发生器31，通过观察各透光柱52内的光是照射向上探头2，来检测下探头3和水平板4放置是否水平；当水平板4放置发生倾斜时，球体53会自对应的透光柱52端部脱离，此时对应的透光柱52的光能够照射向上探头2；而当水平板4放置水平时，所述球体53设置在所述透光柱52端部，透光柱52内的光被球体53阻挡，不会照射向上探头2。
为了便于调节水平板4的水平度，所述水平板4上开设有若干调节孔41，每所述调节孔41内螺纹设置有一调节柱42，所述调节柱42与所述水平板4螺纹适配，所述调节柱42可转动的设置在所述下探头3上；周向转动任一调节柱42，能够调整对应方位的水平板4向上或向下滑动，从而调节所述水平板4的整体水平度，以使所述水平板4整体保持水平状态。
为了便于测量薄膜厚度，所述下探头3上固定有一发生器31，所述发生器31适于发射检测激光； 所述水平板4上开设有一检测孔，检测激光适于穿过所述检测孔并射向上探头2。检测厚度时，将薄膜放置在检测孔上方，检测激光照射薄膜从而能够测量薄膜的实际厚度。
为了检测水平板4放置是否达到水平状态，所述检测组件5包括：下绝缘板51和若干透光柱52，所述下绝缘板51呈环形，且所述下绝缘板51固定在所述发生器31上；若干所述透光柱52环所述下绝缘板51周向设置，所述透光柱52内部中空，所述透光柱52与所述发生器31连通。透光柱52下端与发生器31连通，即发生器31工作时，激光会穿过所述透光柱52向上照射；而放置在透光柱52端部的球体53能够检测下探头3放置的位置是否水平，当下探头3固定位置发生倾斜时，球体53自透光柱52端部脱离，激光会穿过该处透光柱52并照射在上探头2上；而当下探头3固定位置水平时，球体53稳定放置在透光柱52上端，激光无法照射向上探头2。
为了实现水平板4和球体53的联动，所述水平板4上开设有一放置槽43，所述放置槽43呈环状设置在所述检测孔外部。所述放置槽43内设置有一定位环44，所述定位环44上开设有若干与所述透光柱52相适配的通孔45；所述透光柱52可滑动的插入所述通孔45内；每所述通孔45内放置有一球体53，所述球体53盖合在所述透光柱52端部。所述球体53与所述透光柱52端部相抵；当水平板4或下探头3放置发生倾斜时，球体53会自所述透光柱52端部脱离，此时激光能够穿过所述透光柱52照射向上探头2；而周向转动对应位置的调节柱42，能够调节所述水平板4的水平度，从而使得薄膜放置在水平板4上时保持水平状态。
为了便于将球体53推动至透光柱52上，所述放置槽43上可滑动的设置有若干摆正块46，一个摆正块46对应一个球体53；其中，球体53自通孔45内脱离后，调节所述水平板4以使其保持水平；滑动所述摆正块46，以使摆正块46与球体53相抵，并推动球体53使其落入所述通孔45内。从而使得球体53盖合在透光柱52端部，放置透光柱52内的激光照射向上探头2。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种薄膜厚度检测装置，其特征在于，包括：
支撑架（1）、上探头（2）、下探头（3）、水平板（4）和检测组件（5），所述上探头（2）和所述下探头（3）分别垂直固定在所述支撑架（1）侧壁，所述下探头（3）和所述上探头（2）对称设置；
所述水平板（4）可升降的设置在所述下探头（3）上端，所述检测组件（5）固定在所述下探头（3）上，且所述检测组件（5）与所述水平板（4）联动；其中，
所述检测组件（5）内的球体（53）发生偏移时，以指示所述下探头（3）放置发生倾斜。
2.如权利要求1所述的一种薄膜厚度检测装置，其特征在于，
所述水平板（4）上开设有若干调节孔（41），每所述调节孔（41）内螺纹设置有一调节柱（42），所述调节柱（42）可转动的设置在所述下探头（3）上；其中，
周向转动任一调节柱（42），以调节所述水平板（4）的整体水平度。
3.如权利要求2所述的一种薄膜厚度检测装置，其特征在于，
所述下探头（3）上固定有一发生器（31），所述发生器（31）适于发射检测激光；
所述水平板（4）上开设有一检测孔，检测激光适于穿过所述检测孔并射向上探头（2）。
4.如权利要求3所述的一种薄膜厚度检测装置，其特征在于，
所述检测组件（5）包括：下绝缘板（51）和若干透光柱（52），所述下绝缘板（51）呈环形，且所述下绝缘板（51）固定在所述发生器（31）上；
若干所述透光柱（52）环所述下绝缘板（51）周向设置，所述透光柱（52）内部中空，所述透光柱（52）与所述发生器（31）连通。
5.如权利要求4所述的一种薄膜厚度检测装置，其特征在于，
所述水平板（4）上开设有一放置槽（43），所述放置槽（43）呈环状设置在所述检测孔外部。
6.如权利要求5所述的一种薄膜厚度检测装置，其特征在于，
所述放置槽（43）内设置有一定位环（44），所述定位环（44）上开设有若干与所述透光柱（52）相适配的通孔（45）；每所述通孔（45）内放置有一球体（53），所述球体（53）盖合在所述透光柱（52）端部。
7.如权利要求6所述的一种薄膜厚度检测装置，其特征在于，
所述放置槽（43）上可滑动的设置有若干摆正块（46），一个摆正块（46）对应一个球体（53）；其中，
球体（53）自通孔（45）内脱离后，滑动所述摆正块（46），以推动球体（53）使其落入所述通孔（45）内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223577110.3U CN218973476U (zh) | 2022-12-30 | 2022-12-30 | 一种薄膜厚度检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223577110.3U CN218973476U (zh) | 2022-12-30 | 2022-12-30 | 一种薄膜厚度检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218973476U true CN218973476U (zh) | 2023-05-05 |
Family
ID=86163662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202223577110.3U Active CN218973476U (zh) | 2022-12-30 | 2022-12-30 | 一种薄膜厚度检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218973476U (zh) |
-
2022
- 2022-12-30 CN CN202223577110.3U patent/CN218973476U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101542711B (zh) | 基板位置检测装置及其摄像部件位置调整方法 | |
| CN108195275B (zh) | 一种用于检测舵承基座安装精度的工装的使用方法 | |
| CN206292026U (zh) | 一种落球冲击试验机 | |
| CN206132664U (zh) | 测量检定平台 | |
| JP2009216504A (ja) | 寸法計測システム | |
| CN218973476U (zh) | 一种薄膜厚度检测装置 | |
| CN212527727U (zh) | 在压力容器筒体、锥体、封头上开孔划线的装置 | |
| CN106737478A (zh) | 一种旋转工作台 | |
| JP2009088477A (ja) | 基板測定用ステージ | |
| CN106595438B (zh) | 一种角度测量工具 | |
| CN205981864U (zh) | 一种回弹仪用多点检测辅助支架 | |
| CN210570669U (zh) | 一种竖井钢管安装对中测量装置 | |
| CN106643427A (zh) | 一种轴承游隙测量仪及其测量方法 | |
| CN204165510U (zh) | 内置式激光指示器的影像测量仪 | |
| CN114988669B (zh) | 一种用于基板玻璃窑炉热态下与铂金通道对中的方法 | |
| CN110274535B (zh) | 外球面轴承的外圈检测装置 | |
| CN211552761U (zh) | 一种硅片翘曲度测试装置 | |
| CN104035016A (zh) | 取得均匀光源的装置与方法 | |
| CN103900792A (zh) | 一种led晶片的发光检测装置 | |
| CN113639729A (zh) | 激光竖直旋转自动定位直读罗盘 | |
| CN108195338B (zh) | 一种轴线测量装置及方法 | |
| CN201387316Y (zh) | 二维图形圆度测量装置 | |
| CN206718457U (zh) | 一种吹膜机的厚度检测装置 | |
| CN214582957U (zh) | 一种蚊香型灯丝的检验具 | |
| CN114777688A (zh) | 一种发光角度的测量装置及测量方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |