CN218937579U - 温度测量装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶体测温技术领域，具体公开了一种温度测量装置，该温度测量装置包括底座、关节轴承、安装支架、第一调节螺钉和测温仪，其中，底座的一端设有调节环，调节环的周向设有若干调节孔；关节轴承设于底座的另一端；安装支架的一端穿过关节轴承的内圈，安装支架的另一端穿过调节环且与调节环之间具有缝隙；第一调节螺钉与调节孔的数量相同且一一对应，第一调节螺钉穿过调节孔并能抵接安装支架；测温仪固定于安装支架，且测试的红外线能穿过内圈。上述设置使得在调节测温仪的偏转角度的同时，保证测温仪的偏转中心保持不变，调整更加便利，使得红外线更容易顺利的穿过细长管，提高了测温仪的调整效率。

Description

温度测量装置

技术领域

本实用新型涉及晶体测温技术领域，尤其涉及一种温度测量装置。

背景技术

晶体生长设备需要对籽晶表面的温度做监测，因籽晶表面温度较高，往往采用非接触式的晶体温度检测手段。

在现有的设备中，监测籽晶温度的测温仪的红外线需要通过细长的管道，在管道的出口处对籽晶进行温度检测。因为管道细长，稍有调节不慎，检测光线则会照射在管壁上，从而无法检测到籽晶背部。

申请号为201920537696.X的一种用于碳化硅单晶生长炉的温度检测调整机构，通过调节固定底板的三个螺母所在位置，同时调节测温仪的高度和角度。上述机构虽然能够实现测温仪的高度和角度的调节，但测温仪的出口的位置会发生变化，即测温仪的偏转中心并不固定，给微调带来困难，降低了调整效率。

为此，亟需研究一种温度测量装置，以解决如何保证调节测温仪角度调节的同时，还能保证偏转中心保持固定以提高调整效率的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种温度测量装置，以解决如何保证调节测温仪角度调节的同时，还能保证偏转中心保持固定以提高调整效率的问题。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种温度测量装置，该温度测量装置包括：

底座，所述底座的一端设有调节环，所述调节环的周向设有若干调节孔；

关节轴承，所述关节轴承设于所述底座的另一端；

安装支架，所述安装支架的一端穿过所述关节轴承的内圈，所述安装支架的另一端穿过所述调节环且与所述调节环之间具有缝隙；

第一调节螺钉，所述第一调节螺钉与所述调节孔的数量相同且一一对应，所述第一调节螺钉穿过所述调节孔并能抵接所述安装支架；

测温仪，所述测温仪固定于所述安装支架，且测试的红外线能穿过所述内圈。

可选地，所述安装支架包括测温上管、下安装板、上安装板和若干连接杆，若干所述连接杆均设于所述下安装板和所述上安装板之间，所述下安装板设有通孔，所述测温上管设于所述下安装板，且能穿过所述内圈，所述上安装板穿设于所述调节环中，所述通孔和所述内圈同轴设置。

可选地，所述测温上管的外侧设有螺纹，所述安装支架包括测温下螺母，所述测温上管穿过所述内圈并与所述测温下螺母螺接。

可选地，所述测温上管的一端设有翻边，所述翻边设有连接孔，测温螺钉穿过所述连接孔螺接于所述下安装板的下安装螺孔中。

可选地，所述测温仪设有止挡件，且外表面设有螺纹，所述上安装板设有测温孔，所述测温仪穿过所述测温孔与测温上螺母螺接，所述上安装板夹设于所述止挡件和所述测温上螺母之间。

可选地，所述底座包括至少两个立柱，两个所述立柱设于所述调节环的两侧，所述关节轴承设于至少其中一个所述立柱上。

可选地，所述温度测量装置包括连接组件，所述连接组件的一端与所述立柱转动连接，所述连接组件能绕所述立柱的轴线转动，所述连接组件的另一端与所述关节轴承连接。

可选地，所述连接组件包括连接件和连接螺母，所述连接件的一端设有转动孔，所述立柱设有固定部且部分设有螺纹，所述立柱穿设于所述转动孔，所述立柱和所述连接螺母螺接，所述连接件能夹设于所述连接螺母和所述固定部之间。

可选地，所述连接件的另一端设有连接螺孔，所述关节轴承的外圈固接有关节螺杆，所述关节螺杆螺接于所述连接螺孔中。

可选地，所述连接组件包括锁止螺母，所述锁止螺母与所述关节螺杆螺接，并能抵接所述连接件的另一端。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供一种温度测量装置，该温度测量装置通过设置底座并在底座上设置关节轴承，安装支架的一端和关节轴承的内圈连接，能保证安装支架的偏转中心保持固定，另外，通过第一调节螺钉调节安装支架和调节环之间的相对位置能调节安装支架的角度，由于测温仪安装在安装支架上，借助上述设置能在调节测温仪的偏转角度的同时，保证测温仪的偏转中心保持不变，使得调整更加便利，提高了测温仪的调整效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例中温度测量装置第一视角的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中温度测量装置第二视角的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中温度测量装置的剖面结构示意图。

图中：

100、细长管；

1、底座；11、调节环；12、立柱；121、固定部；122、升降调节螺孔；

2、关节轴承；21、内圈；22、外圈；23、关节螺杆；

3、安装支架；31、测温上管；311、翻边；32、下安装板；321、通孔；33、上安装板；34、连接杆；35、测温下螺母；36、测温上螺母；

4、第一调节螺钉；

5、测温仪；51、止挡件；

6、连接组件；61、连接件；62、连接螺母；63、锁止螺母。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1-3所示，本实施例提供一种温度测量装置，设置在细长管100的上方，该温度测量装置包括底座1、关节轴承2、安装支架3、第一调节螺钉4和测温仪5，其中，底座1的一端设有调节环11，调节环11的周向设有若干调节孔；调节孔为螺纹孔，关节轴承2设于底座1的另一端；安装支架3的一端穿过关节轴承2的内圈21，安装支架3的另一端穿过调节环11且与调节环11之间具有缝隙；第一调节螺钉4与调节孔的数量相同且一一对应，第一调节螺钉4穿过调节孔并能抵接安装支架3；测温仪5固定于安装支架3，且测试的红外线能穿过内圈21。

上述设置中，安装支架3的一端和关节轴承2的内圈21连接，能保证安装支架3的偏转中心保持固定，即安装支架3的偏转中心和内圈21的偏转中心重合，另外，通过第一调节螺钉4调节安装支架3和调节环11之间的相对位置能调节安装支架3的角度，由于测温仪5安装在安装支架3上，所以，在调节测温仪5的偏转角度的同时，保证测温仪5的偏转中心保持不变，调整更加便利，使得红外线更容易顺利的穿过细长管100，提高了测温仪5的调整效率。

其中，关节轴承2包括具有外球面的内圈21和具有内球面的外圈22，内圈21能在外圈22内转动。

关于安装支架3的结构，本实施例中，安装支架3包括测温上管31、下安装板32、上安装板33和若干连接杆34，若干连接杆34均设于下安装板32和上安装板33之间，下安装板32设有通孔321，测温上管31设于下安装板32，且能穿过内圈21，上安装板33穿设于调节环11中，通孔321和内圈21同轴设置。该设置使得安装在安装支架3的测温仪5的测试红外线可以穿过通孔321，并通过测温上管31的内部管路，在将测温仪5安装在安装支架3后，二者之间的相对位置固定，便于后期调试。其中，连接杆34设有三个，三个连接杆34的两两之间的夹角为120°。

测温上管31的外侧设有螺纹，安装支架3包括测温下螺母35，测温上管31穿过内圈21并与测温下螺母35螺接。将测温上管31穿过内圈21后和测温下螺母35螺接，实现测温上管31和内圈21的固定，进而保证了安装支架3和内圈21的相对固定，当调整安装支架3的上安装板33的位置时，安装支架3的偏转中心和内圈21相对外圈22的转动中心保持一致，进而有利于保证红外线的位置调整，只要保证安装后，内圈21的中心位于细长管100的轴线上即可。

关于测温上管31和下安装板32的连接，本实施例中，测温上管31的一端设有翻边311，翻边311设有连接孔，测温螺钉穿过连接孔并螺接于下安装板32的下安装螺孔中。其中，连接孔设有两个，两个测温螺钉分别穿过两个连接孔后螺接于两个下安装螺孔中。

测温仪5设有止挡件51，且外表面设有螺纹，上安装板33设有测温孔，测温仪5穿过测温孔与测温上螺母36螺接，上安装板33夹设于止挡件51和测温上螺母36之间。借助上述设置能保证测温仪5和上安装板33的牢固连接。

止挡件51可以为螺母，该螺母螺接于测温仪5，该设置使得测温仪5和上安装板33之间的相对位置可调。

底座1包括至少两个立柱12，两个立柱12设于调节环11的两侧，关节轴承2设于立柱12上。立柱12安装在晶体炉上。上述结构简单，产生成本低。具体地，立柱12为圆柱结构。

为避免制造过程的误差，本实施例中，温度测量装置包括连接组件6，连接组件6的一端与立柱12转动连接，连接组件6能绕立柱12的轴线转动，连接组件6的另一端与关节轴承2连接。该设置使得关节轴承2可以绕立柱12转动，使得关节轴承2的位置可以调整，以适应细长管100的位置。圆柱结构的立柱12使得关节轴承2可以绕绕立柱12转动。

进一步地，连接组件6包括连接件61和连接螺母62，连接件61的一端设有转动孔，立柱12设有固定部121且部分设有螺纹，立柱12穿设于转动孔，立柱12和连接螺母62螺接，连接件61能夹设于连接螺母62和固定部121之间。可选地，固定部121设有升降调节螺孔122，第二调节螺钉和升降调节螺孔122螺纹配合，并能在穿过升降调节螺孔122后抵接连接件61的转动孔的侧壁。该设置使得关节轴承2可以沿立柱12的轴线移动，使得关节轴承2的调节范围进一步扩大。

连接件61的一端设有转动部，转动孔设于转动部，转动部设有连通转动孔的径向调节螺孔，第三调节螺钉穿过径向调节螺孔后抵接立柱12。其中，径向调节螺孔设有三个，且均布于转动部的周向。

更进一步地，连接件61的另一端设有连接螺孔，关节轴承2的外圈22固接有关节螺杆23，关节螺杆23螺接于连接螺孔中。该设置使得关节轴承2和立柱12之间的距离可调，更进一步扩大了关节轴承2的调节范围。

连接组件6包括锁止螺母63，锁止螺母63与关节螺杆23螺接，并能抵接连接件61的另一端。借助上述设置，可以完成关节螺杆23和连接件61之间的锁紧连接，避免关节螺杆23和连接件61之间出现松动。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种温度测量装置，其特征在于，包括：

底座(1)，所述底座(1)的一端设有调节环(11)，所述调节环(11)的周向设有若干调节孔；

关节轴承(2)，所述关节轴承(2)设于所述底座(1)的另一端；

安装支架(3)，所述安装支架(3)的一端穿过所述关节轴承(2)的内圈(21)，所述安装支架(3)的另一端穿过所述调节环(11)且与所述调节环(11)之间具有缝隙；

第一调节螺钉(4)，所述第一调节螺钉(4)与所述调节孔的数量相同且一一对应，所述第一调节螺钉(4)穿过所述调节孔并能抵接所述安装支架(3)；

测温仪(5)，所述测温仪(5)固定于所述安装支架(3)，且测试的红外线能穿过所述内圈(21)。

2.根据权利要求1所述的温度测量装置，其特征在于，所述安装支架(3)包括测温上管(31)、下安装板(32)、上安装板(33)和若干连接杆(34)，若干所述连接杆(34)均设于所述下安装板(32)和所述上安装板(33)之间，所述下安装板(32)设有通孔(321)，所述测温上管(31)设于所述下安装板(32)，且能穿过所述内圈(21)，所述上安装板(33)穿设于所述调节环(11)中，所述通孔(321)和所述内圈(21)同轴设置。

3.根据权利要求2所述的温度测量装置，其特征在于，所述测温上管(31)的外侧设有螺纹，所述安装支架(3)包括测温下螺母(35)，所述测温上管(31)穿过所述内圈(21)并与所述测温下螺母(35)螺接。

4.根据权利要求3所述的温度测量装置，其特征在于，所述测温上管(31)的一端设有翻边(311)，所述翻边(311)设有连接孔，测温螺钉穿过所述连接孔螺接于所述下安装板(32)的下安装螺孔中。

5.根据权利要求2所述的温度测量装置，其特征在于，所述测温仪(5)设有止挡件(51)，且外表面设有螺纹，所述上安装板(33)设有测温孔，所述测温仪(5)穿过所述测温孔与测温上螺母(36)螺接，所述上安装板(33)夹设于所述止挡件(51)和所述测温上螺母(36)之间。

6.根据权利要求1-5任一项所述的温度测量装置，其特征在于，所述底座(1)包括至少两个立柱(12)，两个所述立柱(12)设于所述调节环(11)的两侧，所述关节轴承(2)设于至少其中一个所述立柱(12)上。

7.根据权利要求6所述的温度测量装置，其特征在于，所述温度测量装置包括连接组件(6)，所述连接组件(6)的一端与所述立柱(12)转动连接，所述连接组件(6)能绕所述立柱(12)的轴线转动，所述连接组件(6)的另一端与所述关节轴承(2)连接。

8.根据权利要求7所述的温度测量装置，其特征在于，所述连接组件(6)包括连接件(61)和连接螺母(62)，所述连接件(61)的一端设有转动孔，所述立柱(12)设有固定部(121)且部分设有螺纹，所述立柱(12)穿设于所述转动孔，所述立柱(12)和所述连接螺母(62)螺接，所述连接件(61)能夹设于所述连接螺母(62)和所述固定部(121)之间。

9.根据权利要求8所述的温度测量装置，其特征在于，所述连接件(61)的另一端设有连接螺孔，所述关节轴承(2)的外圈(22)固接有关节螺杆(23)，所述关节螺杆(23)螺接于所述连接螺孔中。

10.根据权利要求9所述的温度测量装置，其特征在于，所述连接组件(6)包括锁止螺母(63)，所述锁止螺母(63)与所述关节螺杆(23)螺接，并能抵接所述连接件(61)的另一端。

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