CN218935689U - 一种附着物沉积装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种附着物沉积装置，包括附着管和连接件。附着管内部中空，附着管用于可拆卸安装在管道的内壁上，以使附着管的外壁与管道的内壁上沿周向的至少部分区域贴合。连接件位于附着管的内部，且与附着管的内壁固定连接。由于本申请提供的附着物沉积装置从物理角度隔绝了附着物与管道内壁的接触，使得附着物大量沉积在附着管上，只要隔一段时间取出来清洗一次换上去或者直接换一个新的，扩散炉就可以继续工作，不需要很长的保养时间，能够保证生产效率。

Description

一种附着物沉积装置

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺技术领域，特别是涉及一种附着物沉积装置。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉设有供气体通过的管道，在气流流经管道时，由于气流凝结，管道中会沉积大量附着物，导致阻塞管道。

目前，通常通过在管道外围加热，减缓气流凝结的速度，进而减少附着物的形成，但是效果很差，依然有大量的附着物沉积在管道内壁上。导致管道内壁短时间就要清除保养一次，由于保养时间很长，影响了生产效率。

实用新型内容

基于此，有必要针对附着物大量附着在管道内壁上，提供一种附着物沉积装置，以大量减少附着物的沉积。包括：

附着管，附着管内部中空，附着管用于可拆卸安装在管道的内壁上，以使附着管的外壁与管道的内壁上沿周向的至少部分区域贴合；

连接件，连接件位于附着管的内部，且与附着管的内壁固定连接。

在其中一个实施例中，还包括凸起，多个凸起沿附着管的周向间隔排布在附着管的外壁上，凸起用于与管道的内壁贴合。

在其中一个实施例中，凸起呈长条状。

在其中一个实施例中，凸起沿附着管的周向平行间隔排布。

在其中一个实施例中，凸起沿其长度方向的投影为半圆，凸起的弧形面用于与管道内壁接触。

在其中一个实施例中，附着管包括两个沿连接件的长度方向排布的第一附着部和第二附着部，第一附着部和第二附着部的外壁均用于与管道的内壁贴合，第一附着部和第二附着部沿自身长度方向投影均为圆弧，且半径相同，第一附着部和第二附着部之间形成缝隙，连接件的一端与第一附着部的内壁固定连接，另一端与第二附着部的内壁固定连接。

在其中一个实施例中，连接件能够通过沿自身长度方向收缩或者伸展，以调节第一附着部和第二附着部之间的距离。

在其中一个实施例中，连接件的一端与第一附着部连接，连接件的另一端与第二附着部螺纹连接，连接件被配置为通过旋转以调节第一附着部和第二附着部之间的距离。

在其中一个实施例中，第一附着部和第二附着部上均设有连接板，两个连接板沿连接件的长度方向平行排布，两个连接板上设有螺纹孔，两个螺纹孔内设有的螺纹旋转方向相反，连接件的两端均设有外螺纹，连接件的两端与两个连接板上的螺纹孔一一对应的螺纹连接。

在其中一个实施例中，第一附着部和第二附着部沿自身长度方向的投影形状为优弧和劣弧。

上述的一种附着物沉积装置，包括附着管和连接件，附着管内部中空，因此，当附着管安装于管道的内壁时，气流能经附着管内正常通过，以保证气流的正常流动。气流流动过程中，由于附着管的外壁与管道的内壁至少部分区域贴合，相当于对管道内壁上这些区域形成了遮挡，气流中因凝结而形成的附着物将不会大量沉积在管道内壁上，而会大量沉积在附着管的内壁，以及沉积在附着管外壁上未与管道内壁贴合的区域。连接件位于附着管的内部，且与附着管的内壁固定连接，设置连接件可以方便附着物的放入和取出。由于本申请提供的附着物沉积装置从物理角度减少了附着物与管道内壁的接触，使得附着物大量沉积在附着管上，只要隔一段时间取出来清洗一次换上去或者直接换一个新的，扩散炉就可以继续工作，不需要很长的保养时间，能够保证生产效率。

附图说明

图1为其中一个实施例中一种附着物沉积装置的结构示意图；

图2为图1实施例中的俯视图。

附图标记：附着管100；凸起101；第一附着部110；第二附着部120；连接板130；连接件200。

实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参阅图1，图1为一种附着物沉积装置的结构示意图。本实用新型提供一种附着物沉积装置，包括附着管100和连接件200，附着管100内部中空，附着管100用于可拆卸安装在管道的内壁上，以使附着管100的外壁与管道的内壁上沿周向的至少部分区域贴合；连接件200则位于附着管100的内部并且与附着管100的内壁固定连接。

参阅图1，在其中一个实施例中，附着管100内部中空，整体形状呈空心圆柱形，半径比扩散炉的管道的半径略小，以方便附着管100伸入管道中，安装在管道内壁上，并且附着管100的外壁可以与管道内壁沿周向贴合以实现物理上的遮挡，附着管100内部安装有连接件200，连接件200与附着管100的内壁固定连接。

由于附着管100内部中空，因此，当附着管100安装于管道的内壁时，气流能经附着管100内正常通过，以保证气流的正常流动。气流流动过程中，由于附着管100的外壁与管道的内壁至少部分区域贴合，相当于对管道内壁上这些区域形成了遮挡，气流中因凝结而形成的附着物将不会大量沉积在管道内壁上，而会大量沉积在附着管100的内壁，以及沉积在附着管100外壁上未与管道内壁贴合的区域。连接件200位于附着管100的内部，且与附着管100的内壁固定连接，设置连接件200可以方便附着物的放入和取出。由于本申请提供的附着物沉积装置从物理角度隔绝了附着物与管道内壁的接触，使得附着物大量沉积在附着管100上，只要隔一段时间取出来清洗一次换上去或者直接换一个新的，扩散炉就可以继续工作，不需要很长的保养时间，能够保证生产效率。

同样的，在其他的一些实施例中，根据管道形状和大小不同，可相应的把附着管100设计成对应的形状和大小，以方便附着管100能伸入管道内并且附着管100的外壁与管道的内壁贴合。

在其中一个实施例中，还包括凸起101，多个凸起101沿附着管100的周向间隔排布在附着管100的外壁上，凸起101用于与管道的内壁贴合。

参阅图1，在上述实施例中，附着管100的外壁设有凸起101，根据图1可清晰看出，凸起101沿附着管100的周向间隔排布在附着管100的外壁上，由此，凸起101将与管道内壁贴合，管道内壁和附着管100的外壁会留出一定的空间。由于存在生产误差和固有的少量附着物沉积，加上使用时间导致的管道磨损，管道内壁不能保证绝对平整，设置凸起101可以规避管道内壁的不平整，从而避免附着管100的外壁直接与管道内壁接触导致的较大的阻力和管道凸出部分对附着管的压力，另外，由于附着管内壁外壁以及凸起101的表面都可以与气流接触，所以也增大了附着管100与气流直接的接触面积，方便附着管100上凝结更多的附着物。

参阅图1，在其中一个实施例中，凸起101呈长条状。

参阅图1，在其中一个实施例中，附着管100的外壁上设有长条状的凸起101，凸起101的长度方向与附着管100的长度方向相同，这样可以方便气流的通过，不会影响气流的流通速度。

在别的一些实施例中，根据气流的流通速度，凸起101可以呈斑点状，方便有目的的降低气流的流通速度。

参阅图1，在其中一个实施例中，凸起101沿附着管100的周向平行间隔排布。

参阅图1，在上述实施例中，凸起101在附着管100的外壁沿圆周方向平行且间隔排布。

同样的，在其他的一些实施例中，长条状的凸起101的长度方向也可以与附着管100的长度方向呈一定夹角，以此来完全阻挡气流从管道内壁和附着管100外壁之间通过，以缩小气流的通过空间，从而加大气流的流通速度。例如，凸起101呈螺旋状环绕于附着管100外壁上。

在其中一个实施例中，凸起101沿其长度方向的投影为半圆，凸起101的弧形面用于与管道的内壁接触。

参阅图1，在其中一个实施例中，凸起101沿其长度方向的投影为半圆，其中凸起101弧面用于与管道的内壁接触，这样设置可以使得附着管100与管道的接触方式为线接触，以方便附着管100的伸入和取出，同时，凸起101呈弧形设置相比于呈直线设置，比如凸起101为三棱柱状时，横截面则为三角形，由于凸起101与管道内壁的接触点至凸起101与附着管的外壁的接触点之间的连接方式为曲线而非线段，根据两点之间，线段最短，所以曲线的长度比线段的长度长，故而设置呈弧形可以增大与气流的接触面积，从而可以在附着管100上沉积更多的附着物。

参阅图1和图2，图2为附着物沉积装置的俯视图，在其中一个实施例中，附着管100包括两个沿连接件200的长度方向排布的第一附着部110和第二附着部120，第一附着部110和第二附着部120的外壁均用于与管道的内壁贴合，第一附着部110和第二附着部120沿自身长度方向投影均为圆弧，且半径相同，第一附着部110和第二附着部120之间形成缝隙，连接件200的一端与第一附着部110的内壁固定连接，另一端与第二附着部120的内壁固定连接。

参阅图2，从图2可以看出，附着管100分为两部分，其中一部分为第一附着部110，另一部分为第二附着部120，第一附着部110和第二附着部120沿连接件200的长度方向排布，第一连接部和第二连接部沿自身的长度方向投影为半径相同的圆弧，连接件200一端与第一附着部110的内壁固定连接，另一端与第二附着部120的内壁固定连接,第一连接部和第二连接部二者沿其周向的端面之间具有缝隙，设置缝隙可以防止附着管100在伸入管道后由于高温产生一定的形变对管道产生较大压力甚至破裂。

在其中一些实施例中，连接件200能够通过沿自身长度方向收缩或者伸展，以调节第一附着部110和第二附着部120之间的距离，当连接件200调节使第一附着部110和第二附着部120之间的距离变小时，附着管100的横截面面积就会变小，第一附着部110和第二附着部120上各点都会向中心点移动，凸起101就会脱离与管道内壁的接触，从而使附着管100脱离管道内壁，方便取出，同样的，当附着管100需要伸入管道内使用时，只需要连接件200调节使第一附着部110和第二附着部120之间的距离变大，附着管100的横截面面积就会变大趋向于管道的横截面面积，第一附着部110和第二附着部120上各点以及凸起101都会朝着管道内壁移动，从而使附着管100与管道内壁贴合。

在其中一个实施例中，连接件200可以是弹性弹簧，也可以是别的弹性件。

在其中一个实施例中，第一附着部110和第二附着部120上均设有连接板130，两个连接板130沿连接件200的长度方向平行排布，连接板130上设有螺纹孔，两个所述螺纹孔内设有的螺纹旋转方向相反，连接件200的两端均设有外螺纹，连接件200的两端与两个连接板130上的螺纹孔一一对应的螺纹连接。

在其中一个实施例中，连接件200的一端与第一附着部110连接，连接件200的另一端与第二附着部120螺纹连接，连接件200被配置为通过旋转以调节第一附着部110和第二附着部120之间的距离。

参阅图1和图2，图2的实施例中，第一附着部110和第二附着部120上均设有连接板130，两个连接板130沿连接件200的长度方向平行排布并且分别与第一附着部110和第二附着部120连接，两个连接板130上设有螺纹孔，内设有旋转方向相反的螺纹，连接件200为连接杆且两端设有螺纹，连接件200与两个连接板130螺纹连接，由于两个连接板130的螺纹孔之间的螺纹旋转方向相反，当连接件200沿自身轴向旋转时，两块连接板130之间的连接件200长度会增长或者缩短，从而增大或者减小两块连接板130，进而增大或者减小第一附着部110和第二附着部120直接的距离。连接板130的设置可以不用破坏第一附着部110和第二附着部120的结构，方便制造加工。

在别的一些实施例中，两块连接板130不需要都设置螺纹孔，一块连接板130设置即可，另一块可以与连接件200旋转连接，比如铰接，这样连接件200旋转可以伸长或者缩短两块连接板130之间的距离，从而使附着管100半径变大或者变小，易于安装取出。

参阅图2，在其中一个实施例中，第一附着部110和第二附着部120沿自身长度方向的投影形状为优弧和劣弧，相比较于第一附着部110和第二附着部120沿自身长度方向的投影形状为两个半圆，由于第一附着部110和第二附着部120之间的两个缝隙之间的距离较短，附着物附着在两个缝隙所在位位置的管道内壁上时也较为接近，从而方便清除。

同样的，在另外的一个实施例中，第一附着部110和第二附着部120言自身长度方向的投影形状可以均为半圆，即第一附着部110和第二附着部120结构相同，这样设置可以方便加工制造，降低生产成本。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种附着物沉积装置，其特征在于，包括：

附着管，所述附着管内部中空，所述附着管用于可拆卸安装在管道的内壁上，以使所述附着管的外壁与所述管道的内壁上沿周向的至少部分区域贴合；

连接件，所述连接件位于所述附着管的内部，且与所述附着管的内壁固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，还包括凸起，多个所述凸起沿所述附着管的周向间隔排布在所述附着管的外壁上，所述凸起用于与所述管道的内壁贴合。

3.根据权利要求2所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述凸起呈长条状。

4.根据权利要求3所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述凸起沿所述附着管的周向平行间隔排布。

5.根据权利要求4所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述凸起沿其长度方向的投影轮廓为半圆，所述凸起的弧形面用于与管道内壁接触。

6.根据权利要求1所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述附着管包括两个沿所述连接件的长度方向排布的第一附着部和第二附着部，所述第一附着部和所述第二附着部的外壁均用于与所述管道的内壁贴合，所述第一附着部和所述第二附着部沿自身长度方向投影均为圆弧，且半径相同，所述第一附着部和所述第二附着部之间形成缝隙，所述连接件的一端与所述第一附着部的内壁固定连接，另一端与所述第二附着部的内壁固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述连接件能够通过沿自身长度方向收缩或者伸展，以调节所述第一附着部和所述第二附着部之间的距离。

8.根据权利要求7所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述连接件的一端与所述第一附着部连接，所述连接件的另一端与所述第二附着部螺纹连接，所述连接件被配置为通过旋转以调节所述第一附着部和所述第二附着部之间的距离。

9.根据权利要求8所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述第一附着部和所述第二附着部上均设有连接板，两个所述连接板沿所述连接件的长度方向平行排布，两个所述连接板上设有螺纹孔，两个所述螺纹孔内设有的螺纹旋转方向相反，所述连接件的两端均设有外螺纹，所述连接件的两端与两个所述连接板上的螺纹孔一一对应的螺纹连接。

10.根据权利要求6所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述第一附着部和所述第二附着部中，其中一个沿自身长度方向的投影形状为优弧，另一个为劣弧。

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