CN218917822U - 一种激光光斑整形装置 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种激光光斑整形装置，属于激光光斑技术领域。激光光斑整形装置用于装配于激光器上，激光光斑整形装置包括安装座、盒体、第一陶瓷组件和第二陶瓷组件，安装座用于与激光器连接，盒体设置于安装座上，盒体厚度方向的两侧开设有供激光穿过的激光通孔，第一陶瓷组件和第二陶瓷组件设置于盒体内，且第一陶瓷组件和第二陶瓷组件两者在激光通孔处垂直交叉挡光，以形成供激光穿过的光斑孔；其中，第一陶瓷组件和第二陶瓷组件均可移动地设置于盒体内，以用于调节光斑孔的大小。这种激光光斑整形装置能够调节光斑大小，提高激光光斑效果。

Description

一种激光光斑整形装置

技术领域

本申请涉及激光光斑技术领域，具体而言，涉及一种激光光斑整形装置。

背景技术

目前，激光退火设备急需由国外进口向国内自给自足转变，激光退火设备对激光光束的均匀性要求较高，而普通激光能量的输出变动会造成高斯方形光斑，此光斑边缘不规则，不能满足对精密半导体的退火要求。在现有技术中，如公开号为CN112925103A的专利公开了一种用于激光照明光斑匀化的光学装置，包含有Ⅰ型光学匀化系统，其具有第一聚焦透镜和扩散片，所述阵列半导体激光器发出的平行光束垂直入射到所述第一聚焦透镜，所述扩散片放置于经所述第一聚焦透镜聚焦后的会聚光路中，以此将光斑匀化后聚焦于荧光陶瓷表面成椭圆形状；和/或，Ⅱ型光学匀化系统，其具有缩倍镜、微透镜阵列和第二聚焦透镜，所述阵列半导体激光器发出的平行光束经所述缩倍镜缩倍为较小口径的平行光束，再经过所述微透镜阵列匀化后，最后由所述第二聚焦透镜将光斑聚焦于荧光陶瓷表面成矩形形状，该方案中虽然能让光斑均匀化，但是对于光斑的大小还是不能进行调节。

实用新型内容

本申请实施例提供一种激光光斑整形装置，能够调节光斑大小，提高激光光斑效果。

本申请实施例提供了一种激光光斑整形装置，激光光斑整形装置用于装配于激光器上，激光光斑整形装置包括安装座、盒体、第一陶瓷组件和第二陶瓷组件，安装座用于与激光器连接，盒体设置于安装座上，盒体厚度方向的两侧开设有供激光穿过的激光通孔，第一陶瓷组件和第二陶瓷组件设置于盒体内，且第一陶瓷组件和第二陶瓷组件两者在激光通孔处垂直交叉挡光，以形成供激光穿过的光斑孔；其中，第一陶瓷组件和第二陶瓷组件均可移动地设置于盒体内，以用于调节光斑孔的大小。

在本方案中，盒体上具有供激光器发出激光穿过的激光通孔，相比于现有技术中光斑孔的尺寸固定的情况下，本方案中通过在盒体内激光通孔位置处设置有垂直交叉设置的第一陶瓷组件和第二陶瓷组件，第一陶瓷组件和第二陶瓷组件在激光通孔处交叉挡光形成有光斑孔，并且第一陶瓷组件和第二陶瓷组件均可移动地设置于盒体内，因此只需要通过移动第一陶瓷组件和/或第二陶瓷组件，便能实现对光斑孔的光斑尺寸进行调节，实现根据客户的需求来调节光斑的大小，同时消除边缘干扰，消除高斯方形光斑造成的毛刺，经盒体整形后的光斑输出均匀，大小可控，退火完成后的产品均匀性好。

在一些实施例中，第一陶瓷组件和第二陶瓷组件的结构相同，第一陶瓷组件包括两块第一陶瓷片，两块第一陶瓷片沿第一方向间隔分布于激光通孔的两侧且至少部分伸入于激光通孔内；第二陶瓷组件包括两块第二陶瓷片，两块第二陶瓷片沿第二方向间隔分布于激光通孔的两侧且至少部分伸入于激光通孔内，第二方向垂直于第一方向设置；激光光斑整形装置还包括第一陶瓷驱动组件和第二陶瓷驱动组件，第一陶瓷驱动组件安装于盒体上，第一陶瓷驱动组件用于驱动两块第一陶瓷片沿第一方向相向或相背移动，以用于调节光斑孔在第一方向的尺寸；第二陶瓷驱动组件安装于盒体上，第二陶瓷驱动组件用于驱动两块第二陶瓷片沿第二方向相向或相背移动，以用于调节光斑孔在第二方向的尺寸。

上述技术方案中，第一陶瓷组件和第二陶瓷组件的结构相同，通过采用两块沿第一方向间隔设置的第一陶瓷片以及两块沿第二方向间隔设置的第二陶瓷片，两块第一陶瓷片与两块第二陶瓷片垂直交叉形成正方形的光斑孔，在调节光斑孔的尺寸时，仅需要利用第一陶瓷驱动组件和/或第二陶瓷驱动组件驱动对应的陶瓷片移动，便可以调节光斑孔的尺寸，调节方式方便快捷，从而能够实现对光斑孔的实时调节。

在一些实施例中，两块第一陶瓷片以及两块第二陶瓷片上相向的一侧均具有倾斜设置的散射面，散射面用于对接收到的激光进行散射。

上述技术方案中，由于激光经过盒体内的陶瓷片的部分遮挡后，激光可能会在陶瓷片上发生反射后与激光器发生干涉，从而对激光器造成损害，因此通过在第一陶瓷片以及第二陶瓷片上相向的一侧均具有倾斜设置的散射面，散射面可以对接收到的激光进行散射，降低激光在陶瓷片上反射至激光器的概率。

在一些实施例中，盒体上设置有锁紧孔，当光斑孔的尺寸调整完成后，通过螺钉穿过对应的锁紧孔以对第一陶瓷组件和第二陶瓷组件进行固定。

上述技术方案中，当光斑孔的尺寸调节到位后，在工作过程中，由于激光的能量照射在陶瓷片上，温度的影响会使得第一陶瓷片或者第二陶瓷片发生轻微的变形或偏移。因此为了通过螺钉穿过对应的锁紧孔以对第二陶瓷组件和第二陶瓷组件进行固定，进一步降低光斑孔尺寸的变化值。

在一些实施例中，盒体与安装座之间设有U形的安装架，安装架设置于安装座上，盒体沿激光通孔的轴心可转动地设置于安装架上，以用于调节盒体的角度。

上述技术方案中，通过在安装座上设置有安装架，让盒体与安装架之间转动连接，从而使得盒体能够绕激光通孔的中心转动，完成盒体内所形成的光斑孔在角度上的调节，更好的进行光斑对中。

在一些实施例中，盒体上设有两根导向轴，安装架上U形的两端设置有弧形的导向孔，两根导向轴分别对应穿过两个导向孔且外端旋接有阻挡件。

上述技术方案中，通过盒体上的两根导向轴穿设于导向孔内，导向孔为弧形孔，可以引导盒体与安装架之间沿激光通孔的中心转动，当工作人员手动对盒体的角度进行微调时，旋松两个阻挡件的任意一者时，盒体能沿对应导向孔的弧度方向移动，以使盒体与安装架的角度可调，调节完成后，旋紧阻挡件。

在一些实施例中，安装架上设置有供锁止件穿过的弧形长孔，盒体上对应设置有螺孔，锁止件穿过弧形长孔与螺孔配合，以阻止盒体与安装架发生转动。

上述技术方案中，通过安装架上设置有弧形长孔，利用锁止件穿过弧形长孔后与盒体的螺孔锁紧，进一步加强了对盒体和安装架的锁紧定位。在调节盒体的角度前，需要先旋松锁止件，然后利用导向轴沿导向孔转动，调节角度，调节完成后，旋紧锁止件。

在一些实施例中，安装座上设有对中调节机构，对中调节机构用于调节盒体在安装座上的位置，以使激光通孔与激光器发出的激光对中。

上述技术方案中，将安装座安装在激光器上时，盒体的激光通孔的中心不一定与激光器的激光对中，而激光器的位置相对固定，因此通过在安装座上设置有对中调节机构，利用对中调节机构来调节盒体的位置，使得盒体进行光斑对中。

在一些实施例中，对中调节机构包括第一直线驱动组件和第二直线驱动组件，第一直线驱动组件的驱动端与第二直线驱动组件连接，以带动第二直线驱动组件沿第一方向移动，第二直线驱动组件的驱动端与盒体连接，以带动盒体沿第二方向移动。

上述技术方案中，通过对中调节机构包括第一直线驱动组件和第二直线驱动组件，第一直线驱动组件和第二直线驱动组件两者共同配合，从而能够对盒体在第一方向和第二方向的位置进行调节，实现光斑的自动对中。

在一些实施例中，盒体与第二直线驱动组件之间还设置有第三直线调节组件，第三直线调节组件用于调节盒体与安装座在第三方向上的位置，第三方向垂直于第一方向和第二方向设置。

上述技术方案中，第三直线调节组件可以用来调节盒体与安装座在第三方向上的位置，从而使得盒体在三维上的位置均可以调节，完成盒体上光斑的对中。

本申请的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请一些实施例提供的激光光斑整形装置的结构示意图；

图2为本申请一些实施例提供的激光光斑整形装置的另一角度的结构示意图；

图3为图2中盒体的结构示意图；

图4为本申请一些实施例提供的激光光斑整形装置的俯视图；

图5为图4中A-A的剖视图。

图标：10-安装座；20-盒体；21-锁紧孔；23-导向轴；230-阻挡件；24-螺孔；25-激光通孔；30-安装架；31-导向孔；32-弧形长孔；40-第一陶瓷片；41-第二陶瓷片；43-光斑孔；44-第一陶瓷驱动组件；45-第二陶瓷驱动组件；50-对中调节组件；51-第一直线驱动组件；52-第二直线驱动组件；53-第三直线调节组件；X-第一方向；Z-第二方向；Y-第三方向。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”应做广义理解，例如，可以是固定相连，也可以是可拆卸相连，或一体地相连；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

实施例

本申请实施例提供了一种激光光斑整形装置，激光光斑整形装置用于装配于激光器上，请参阅图1至图5，激光光斑整形装置包括安装座10、盒体20、第一陶瓷组件和第二陶瓷组件，安装座10用于与激光器(图中未示出)连接，盒体20设置于安装座10上，盒体20厚度方向的两侧开设有供激光穿过的激光通孔25，第一陶瓷组件和第二陶瓷组件设置于盒体20内，且第一陶瓷组件和第二陶瓷组件两者在激光通孔25处垂直交叉挡光，以形成供激光穿过的光斑孔43；其中，第一陶瓷组件和第二陶瓷组件均可移动地设置于盒体20内，以用于调节光斑孔43的大小。

在本方案中，盒体20上具有供激光器发出激光穿过的激光通孔25，相比于现有技术中光斑孔43的尺寸固定的情况下，本方案中通过在盒体20内激光通孔25位置处设置有垂直交叉设置的第一陶瓷组件和第二陶瓷组件，第一陶瓷组件和第二陶瓷组件在激光通孔25处交叉挡光形成有光斑孔43，并且第一陶瓷组件和第二陶瓷组件均可移动地设置于盒体20内，因此只需要通过移动第一陶瓷组件和/或第二陶瓷组件，便能实现对光斑孔43的光斑尺寸进行调节，实现根据客户的需求来调节光斑的大小，同时消除边缘干扰，消除高斯方形光斑造成的毛刺，经盒体整形后的光斑输出均匀，大小可控，退火完成后的产品均匀性好。

具体的，使用该激光光斑整形装置时，只需要将盒体20与激光器同轴安装，靠近焦点的位置，即盒体20的激光通孔25与激光发出器发出的激光同轴线。这样利用移动第一陶瓷组件和/或第二陶瓷组件，便可以调节光斑孔43的大小。

在一些实施例中，第一陶瓷组件和第二陶瓷组件的结构相同，请参阅图3，第一陶瓷组件包括两块第一陶瓷片40，两块第一陶瓷片40沿第一方向X间隔分布于激光通孔25的两侧且至少部分伸入于激光通孔25内；第二陶瓷组件包括两块第二陶瓷片41，两块第二陶瓷片41沿第二方向Z间隔分布于激光通孔25的两侧且至少部分伸入于激光通孔25内，第二方向Z垂直于第一方向X设置；激光光斑整形装置还包括第一陶瓷驱动组件44和第二陶瓷驱动组件45，第一陶瓷驱动组件44安装于盒体20上，第一陶瓷驱动组件44用于驱动两块第一陶瓷片40沿第一方向X相向或相背移动，以用于调节光斑孔43在第一方向X的尺寸；第二陶瓷驱动组件45安装于盒体20上，第二陶瓷驱动组件45用于驱动两块第二陶瓷片41沿第二方向Z相向或相背移动，以用于调节光斑孔43在第二方向Z的尺寸。

第一陶瓷组件和第二陶瓷组件的结构相同，通过采用两块沿第一方向X间隔设置的第一陶瓷片40以及两块沿第二方向Z间隔设置的第二陶瓷片41，两块第一陶瓷片40与两块第二陶瓷片41垂直交叉形成正方形的光斑孔43，在调节光斑孔43的尺寸时，仅需要利用第一陶瓷驱动组件44和/或第二陶瓷驱动组件45驱动对应的陶瓷片移动，便可以调节光斑孔43的尺寸，调节方式方便快捷，从而能够实现对光斑孔43的实时调节。

其中，陶瓷片具有耐高温的特性，能够承受激光长时间的照射，且发生变形的幅度小，光斑孔43的尺寸精度更高。第一陶瓷驱动组件44和第二陶瓷驱动组件45可以是相同结构，也可以是不同结构。在本实施例中，第一陶瓷驱动组件44和第二陶瓷驱动组件45为相同结构，并且第一陶瓷驱动组件44和第二陶瓷驱动组件45可以是多种直线驱动机构，譬如可以是电机丝杆螺母副机构、气缸、电动推杆、直线模组或者压电惯性驱动器等。

在本实施例中，考虑到结构整体尺寸的控制，第一陶瓷驱动组件44和第二陶瓷驱动组件45均采用为压电惯性驱动器，为现有技术。压电惯性驱动器中的电机为压电惯性粘滑电机。通过第一陶瓷驱动组件44和第二陶瓷驱动组件45的设置，使得光斑孔43的尺寸调节范围为最大20mm×20mm，最小为900nm×500nm。

在本方案中，所采用的压电惯性驱动器所采用的型号为Thorlabs的压电惯性驱动器，市场直接采购所得，该压电惯性驱动器具有小型尺寸，以紧凑封装提供高分辨线性运动控制和长位移范围。每个驱动器可支持max.2.5kg(5.51lbs)的负载，并实现20nm的典型运动距离，无回弹。通过KIM001或KIM101控制器，步长的调节度可达30％，可达约max.30nm。但是，由于开环设计、迟滞和应用条件，实际的步长可能有20％的差异。如要消除这种变动，需要使用一个外部反馈系统。我们还提供真空兼容的压电惯性驱动器。这些驱动器在静止且没有供电到压电器件时会自主锁定，因此非常适用于需要纳米级分辨率和长期对准稳定性的“设置且保持”应用。只要压电装置没有主动平移螺丝，可随时使用位于后方的手拧螺丝或用5/64英寸(2mm)六角扳手进行手动调节。这些驱动器通过一个10mm(0.39英寸)长的分立式压电陶瓷堆栈驱动，可在3.5mm/min的速度下运转。

在一些实施例中，两块第一陶瓷片40以及两块第二陶瓷片41上相向的一侧均具有倾斜设置的散射面，散射面用于对接收到的激光进行散射。由于激光经过盒体20内的陶瓷片的部分遮挡后，激光可能会在陶瓷片上发生反射后与激光器发生干涉，从而对激光器造成损害，因此通过在第一陶瓷片40以及第二陶瓷片41上相向的一侧均具有倾斜设置的散射面，散射面可以对接收到的激光进行散射，降低激光在陶瓷片上反射至激光器的概率。

在一些实施例中，盒体20上设置有锁紧孔21，当光斑孔43的尺寸调整完成后，通过螺钉穿过对应的锁紧孔21以对第一陶瓷组件和第二陶瓷组件进行固定。当光斑孔43的尺寸调节到位后，在工作过程中，由于激光的能量照射在陶瓷片上，温度的影响会使得第一陶瓷片40或者第二陶瓷片41发生轻微的变形或偏移。因此为了通过螺钉穿过对应的锁紧孔21以对第二陶瓷组件和第二陶瓷组件进行固定，进一步降低光斑孔43尺寸的变化值。

具体的，请参阅图1，盒体20上设置有第一锁紧孔21和第二锁紧孔21，第一锁紧孔21和第二锁紧孔21均为长条形孔，第一锁紧孔21的长度方向沿第一方向X延伸设置，第二锁紧孔21的长度方向沿第二方向Z延伸设置；第一陶瓷片40上设置有与第一锁紧孔21相配合的第一固定孔，以通过螺钉穿过第一锁紧孔21与第一固定孔螺接定位；第二陶瓷片41上设置有与第二锁紧孔21相配合的第二固定孔，以通过螺钉穿过第二锁紧孔21与第二固定孔螺接定位。

在一些实施例中，盒体20与安装座之间设有U形的安装架30，安装架30设置于安装座上，盒体20沿激光通孔25的轴心可转动地设置于安装架30上，以用于调节盒体20的角度。通过在安装座上设置有安装架30，让盒体20与安装架30之间转动连接，从而使得盒体20能够绕激光通孔25的中心转动，完成盒体20内所形成的光斑孔43在角度上的调节，更好的进行光斑对中。

在一些实施例中，盒体20上设有两根导向轴23，安装架30上U形的两端设置有弧形的导向孔31，两根导向轴23分别对应穿过两个导向孔31且外端旋接有阻挡件230。通过盒体20上的两根导向轴23穿设于导向孔31内，导向孔31为弧形孔，可以引导盒体20与安装架30之间沿激光通孔25的中心转动，当工作人员手动对盒体20的角度进行微调时，旋松两个阻挡件230的任意一者时，盒体20能沿对应导向孔31的弧度方向移动，以使盒体20与安装架30的角度可调，调节完成后，旋紧阻挡件230。

在一些实施例中，安装架30上设置有供锁止件穿过的弧形长孔32，盒体20上对应设置有螺孔24，锁止件穿过弧形长孔32与螺孔24配合，以阻止盒体20与安装架30发生转动。通过安装架30上设置有弧形长孔32，利用锁止件穿过弧形长孔32后与盒体20的螺孔24锁紧，进一步加强了对盒体20和安装架30的锁紧定位。在调节盒体20的角度前，需要先旋松锁止件，然后利用导向轴23沿导向孔31转动，调节角度，调节完成后，旋紧锁止件。

其中，弧形长孔32的数量设为三个，三个弧形长孔32上分别设置有锁止件，锁止件穿过弧形长孔32后与盒体20上的锁紧孔21锁紧固定，完成安装架30与盒体20的定位。

在一些实施例中，安装座10上设有对中调节机构，对中调节机构用于调节盒体20在安装座10上的位置，以使激光通孔25与激光器发出的激光对中。将安装座安装在激光器上时，盒体20的激光通孔25的中心不一定与激光器的激光对中，而激光器的位置相对固定，因此通过在安装座10上设置有对中调节机构，利用对中调节机构来调节盒体20的位置，使得盒体进行光斑对中。

在一些实施例中，对中调节机构包括第一直线驱动组件51和第二直线驱动组件52，第一直线驱动组件51设于安装座10上，第一直线驱动组件51的驱动端与第二直线驱动组件52连接，以带动第二直线驱动组件52沿第一方向X移动，第二直线驱动组件52的驱动端与盒体20连接，以带动盒体20沿第二方向Z移动。通过对中调节机构包括有第一直线驱动组件51和第二直线驱动组件52，第一直线驱动组件51和第二直线驱动组件52两者共同配合，从而能够对盒体20在第一方向X和第二方向Z的位置进行调节，实现光斑的自动对中。

其中，第一直线驱动组件51和第二直线驱动组件52可以是多种直线驱动机构，譬如可以是电机丝杆螺母副、气缸、电动推杆、直线模组或者压电惯性驱动器等。在本实施例中，考虑到结构整体尺寸控制，因此第一直线驱动组件51和第二直线驱动组件52均采用为压电惯性驱动器，为现有技术，这里便不再对第一直线驱动组件51和第二直线驱动组件52的结构进行赘述。在本方案中，所采用的压电惯性驱动器所采用的型号为Thorlabs的压电惯性驱动器。

在一些实施例中，盒体20与第二直线驱动组件52之间还设置有第三直线调节组件53，第三直线调节组件53用于调节盒体20与安装座在第三方向Y上的位置，第三方向Y垂直于第一方向X和第二方向Z设置。第三直线调节组件53可以用来调节盒体20与安装座在第三方向Y上的位置，从而使得盒体20在三维上的位置均可以调节，完成盒体20上光斑的对中。

其中，第三直线调节组件53可以是多种直线调节机构，在本实施例中，第三直线调节组件53为丝杆螺母副机构，人为手动转动丝杆，带动螺母沿第三方向Y移动，从而使得盒体20在第三方向Y的位置发生调整。

以下对激光光斑整形装置的过程进行说明：

先将激光光斑整形装置安装于激光器上，然后对其位置进行人工粗调，这里至少包括利用第三直线调节组件53的手动调节，以及绕光轴中心旋转的手动调节等，手动调整好盒体20的三维以及旋转位置后，利用压电惯性驱动器进行微调，盒体20自动进行光斑对中以及光斑孔43的尺寸调节。这里需要借助于CCD，即CCD相机，CCD在直线平台的作用下移动到光轴中心，激光器的圆形光斑通过盒体后变成方形光斑，CCD判断光斑孔43的四条边是否到光斑的中心距离相等，当距离不等时，控制器根据CCD提供的光束位置，控制对中调节机构调节盒体20在第一方向X和第二方向Z上的位置，实现盒体20的光斑自动对中。然后CCD判断光斑孔43的尺寸是否满足尺寸要求，当光斑孔43的尺寸不满足要求时，控制器CCD提供的光束位置，控制第一陶瓷驱动组件44和第二陶瓷驱动组件45，调节光斑孔43的尺寸满足要求，然后直线平台将CCD移开，加工产品。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例中的特征可以相互结合。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种激光光斑整形装置，用于装配于激光器上，其特征在于，包括安装座、盒体、第一陶瓷组件和第二陶瓷组件，所述安装座用于与所述激光器连接，所述盒体设置于所述安装座上，所述盒体厚度方向的两侧开设有供激光穿过的激光通孔，所述第一陶瓷组件和所述第二陶瓷组件设置于所述盒体内，且所述第一陶瓷组件和所述第二陶瓷组件两者在所述激光通孔处垂直交叉挡光，以形成供激光穿过的光斑孔；其中，所述第一陶瓷组件和所述第二陶瓷组件均可移动地设置于所述盒体内，以用于调节所述光斑孔的大小。

2.如权利要求1所述的激光光斑整形装置，其特征在于，所述第一陶瓷组件和第二陶瓷组件的结构相同，所述第一陶瓷组件包括两块第一陶瓷片，所述两块第一陶瓷片沿第一方向间隔分布于所述激光通孔的两侧且至少部分伸入于所述激光通孔内；所述第二陶瓷组件包括两块第二陶瓷片，所述两块第二陶瓷片沿第二方向间隔分布于所述激光通孔的两侧且至少部分伸入于所述激光通孔内，所述第二方向垂直于所述第一方向设置；

所述激光光斑整形装置还包括第一陶瓷驱动组件和第二陶瓷驱动组件，所述第一陶瓷驱动组件安装于所述盒体上，所述第一陶瓷驱动组件用于驱动所述两块第一陶瓷片沿所述第一方向相向或相背移动，以用于调节所述光斑孔在所述第一方向的尺寸；所述第二陶瓷驱动组件安装于所述盒体上，所述第二陶瓷驱动组件用于驱动所述两块第二陶瓷片沿所述第二方向相向或相背移动，以用于调节所述光斑孔在所述第二方向的尺寸。

3.如权利要求2所述的激光光斑整形装置，其特征在于，所述两块第一陶瓷片以及所述两块第二陶瓷片上相向的一侧均具有倾斜设置的散射面，所述散射面用于对接收到的激光进行散射。

4.如权利要求3所述的激光光斑整形装置，其特征在于，所述盒体上设置有锁紧孔，当所述光斑孔的尺寸调整完成后，通过螺钉穿过对应的锁紧孔以对所述第一陶瓷组件和所述第二陶瓷组件进行固定。

5.如权利要求2所述的激光光斑整形装置，其特征在于，所述盒体与所述安装座之间设有U形的安装架，所述安装架设置于所述安装座上，所述盒体沿所述激光通孔的轴心可转动地设置于所述安装架上，以用于调节所述盒体的角度。

6.如权利要求5所述的激光光斑整形装置，其特征在于，所述盒体上设有两根导向轴，所述安装架上U形的两端设置有弧形的导向孔，两根所述导向轴分别对应穿过两个所述导向孔且外端旋接有阻挡件。

7.如权利要求6所述的激光光斑整形装置，其特征在于，所述安装架上设置有供锁止件穿过的弧形长孔，所述盒体上对应设置有螺孔，所述锁止件穿过所述弧形长孔与所述螺孔配合，以阻止所述盒体与所述安装架发生转动。

8.如权利要求1所述的激光光斑整形装置，其特征在于，所述安装座上设有对中调节机构，所述对中调节机构用于调节所述盒体在所述安装座上的位置，以使所述激光通孔与所述激光器发出的激光对中。

9.如权利要求8所述的激光光斑整形装置，其特征在于，所述对中调节机构包括第一直线驱动组件和第二直线驱动组件，所述第一直线驱动组件的驱动端与所述第二直线驱动组件连接，以带动所述第二直线驱动组件沿第二方向移动；所述第二直线驱动组件的驱动端与所述盒体连接，以带动所述盒体沿第一方向移动。

10.如权利要求9所述的激光光斑整形装置，其特征在于，所述盒体与所述第二直线驱动组件之间还设置有第三直线调节组件，所述第三直线调节组件用于调节所述盒体与所述安装座在第三方向上的位置，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向设置。

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