CN218890730U - 一种高效节能真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及真空镀膜设备技术领域，且提供了一种高效节能真空镀膜设备，包括镀膜室，所述镀膜室的背面通过铰链活动卡接有后舱室，所述镀膜室的一侧表面放置有水泵，所述水泵的一端固定连接有导液管道，所述水泵的另一端固定连接有送液管道，通过喷液装置的设置，使药液通过导流板上开设的分流槽内，而药剂喷头下表面开设有若干个相同的细小的通槽，而药液会顺着分流槽流动到药剂喷液的细孔内，使药液分散流进分淋盖上的通槽处，使药液雾化，并且通过下方的集料管与集料箱对其喷淋的药液进行收集，解决了现有技术中使用大量药水后反复涂抹且未接触的药水会向下滴落与隔离仓内壁接触造成浪费的问题；降低了对药剂的消耗，减少不必要的成本。

Description

一种高效节能真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，具体而言，涉及一种高效节能真空镀膜设备。

背景技术

真空蒸发镀膜是真空镀膜技术中开发时间最早，应用领域最广的一种薄膜沉积方法，近年来随着长寿命电阻蒸发源、电子束蒸发源、激光束蒸发源等在真空蒸发镀膜技术中的应用，使这一技术的发展更趋完善，目前仍然在真空镀膜技术中占有相当重要的地位。

经检索中国专利申请号202022848334.8的专利，公开了一种新型节能高效率真空镀膜机，涉及真空镀膜领域，包括机体，所述机体的内部顶端设置有活动板，所述活动板的底端开设有凹槽，所述凹槽的内部顶端设置有往复丝杠，所述往复丝杠的一端通过轴承与凹槽的一侧槽壁活动连接，所述凹槽内部设置有活动块，所述活动块的一侧表面开设有螺纹槽。本实用新型通过在机体内部设置有活动板，通过第一驱动电机带动活动板内部的活动块水平移动，进而使活动块底端的雾化喷头水平移动，通过电动推杆使活动板垂直移动，进而使雾化喷头垂直移动，实现对工件的多方位喷涂，通过在活动板下方设置有可转动的圆盘，使喷涂更加均匀，提高了工件的喷涂效率。

因此我们对此做出改进，提出一种高效节能真空镀膜设备，且现有的真空镀膜方式通常是喷涂式涂覆法，其主要是将工件置于隔离舱内，然后使用大量药水后反复涂抹，直到到达理想效果，当喷涂较小的工件时喷出的水柱的会与工件部分进行接触，而未接触的药水会向下滴落与隔离仓内壁接触造成浪费，这就导致药剂消耗量大，成本过高的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于：针对目前存在一种高效节能真空镀膜设备通常是喷涂式涂覆法，其主要是将工件置于隔离舱内，然后使用大量药水后反复涂抹，直到到达理想效果，当喷涂较小的工件时喷出的水柱的会与工件部分进行接触，而未接触的药水会向下滴落与隔离仓内壁接触造成浪费，这就导致药剂消耗量大，成本过高的问题。

为了实现上述发明目的，本实用新型提供了以下技术方案：

一种高效节能真空镀膜设备，包括镀膜室，所述镀膜室的背面通过铰链活动卡接有后舱室，所述镀膜室的一侧表面放置有水泵，所述水泵的一端固定连接有导液管道，所述水泵的另一端固定连接有送液管道，所述送液管道的一端贯穿连接有药剂箱，所述导液管道的一端固定连接有喷液装置；所述喷液装置包括固定连接在导液管道一端的药剂喷头，所述药剂喷头外弧面底部通过螺纹连接有分淋盖，所述药剂喷头的内弧面底部固定连接有导流板，所述导流板的上表面开设有分流槽，所述药剂喷头的下表面中部开设有集中槽。

作为本申请优选的技术方案，所述分淋盖下表面弧形处均开设有与分流槽与集中槽相适配的通槽，所述通槽的数量为若干个，所述导液管道连接药剂喷头的一端贯穿连接在镀膜室内。

作为本申请优选的技术方案，所述镀膜室的底部一侧贯穿连接有集料管，所述集料管的一端贯穿连接有集料箱，所述药剂箱与集料箱均放置在后舱室的一侧，所述镀膜室与后舱室的内侧壁为中空结构。

作为本申请优选的技术方案，所述镀膜室的上表面通过螺栓固定安装有支撑底座，所述支撑底座的上表面中部固定连接安装有立柱，所述支撑底座通过立柱固定安装有矩形架，所述矩形架的上表面通过螺栓固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端贯穿连接有清理装置。

作为本申请优选的技术方案，所述清理装置包括固定连接在伺服电机一端的凹起块，所述凹起块的下表面通过螺栓固定连接有横杆，所述横杆的两端均开设有通槽。

作为本申请优选的技术方案，所述通槽的内侧壁均通过螺栓固定连接有C形板，所述C形板的一侧表面开设有通槽，所述通槽的内侧壁固定连接有矩形块，所述矩形块的一侧表面开设有滑槽。

作为本申请优选的技术方案，所述滑槽的内侧壁均滑动连接有凸块，所述凸块的上表面中部活动连接有球形轴，所述球形轴的上表面活动卡接有定位块，所述定位块的上表面通过螺栓固定连接有移动板。

作为本申请优选的技术方案，所述固定板的一侧表面均开设有导向槽，所述导向杆均与导向槽相滑动连接，所述凸块的数量为四个，并滑动连接在横杆的两侧。

作为本申请优选的技术方案，所述弧形清洁板的数量为四个，并均匀分布在两个所述固定板的两侧，所述弧形清洁板的一侧弧面与镀膜室与后舱室的内侧壁相搭接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

在本申请的方案中：

1.通过喷液装置的设置，使药液通过导流板上开设的分流槽内，而药剂喷头下表面开设有若干个相同的细小的通槽，而药液会顺着分流槽流动到药剂喷液的细孔内，使药液分散流进分淋盖上的通槽处，使药液雾化，并且通过下方的集料管与集料箱对其喷淋的药液进行收集，解决了现有技术中使用大量药水后反复涂抹且未接触的药水会向下滴落与隔离仓内壁接触造成浪费的问题；降低了对药剂的消耗，减少不必要的成本。

2.通过清理装置的设置，使通过滑动凸块使其在矩形块开设的滑槽内向上或向下移动，而移动会使定位块上表面的移动板同步移动，当移动板移动时，一侧的导向杆会在固定板上开设的导向槽内滑动，此时会带动一端的弧形清洁板位置随之变动，且可通过后端的药剂箱清洗后倒入清洁剂，使药剂箱与镀膜室同时清理，解决了现有技术中需要下个工件进行镀膜时人工进行清理的问题，提高了装置的可拆卸活动性，避免了人工过多参与提高了下次镀膜的工作效率。

附图说明

图1为本申请提供的一种高效节能真空镀膜设备的正面结构示意图；

图2为本申请提供的一种高效节能真空镀膜设备的剖面结构示意图；

图3为本申请提供的一种高效节能真空镀膜设备的背面结构示意图；

图4为本申请提供的一种高效节能真空镀膜设备的清理装置结构示意图；

图5为本申请提供的一种高效节能真空镀膜设备的清理装置局部结构示意图；

图6为本申请提供的一种高效节能真空镀膜设备的喷液装置结构示意图；

图7为本申请提供的一种高效节能真空镀膜设备图4中A处放大的结构示意图。

图中标示：

1、镀膜室；2、后舱室；3、水泵；4、导液管道；5、送液管道；6、药剂箱；7、喷液装置；701、药剂喷头；702、分淋盖；703、导流板；704、分流槽；705、集中槽；8、集料管；9、集料箱；10、支撑底座；11、矩形架；12、伺服电机；13、清理装置；131、凹起块；132、横杆；133、C形板；134、矩形块；135、滑槽；136、凸块；137、球形轴；138、定位块；139、移动板；1310、导向杆；1311、弧形清洁板；1312、固定板；1313、导向槽。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。

因此，以下对本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的部分实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征和技术方案可以相互组合。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，这类术语仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

实施例1：

如图1、图2、图3、图6和图7所示，本实施方式提出一种高效节能真空镀膜设备，包括镀膜室1，镀膜室1的背面通过铰链活动卡接有后舱室2，镀膜室1的一侧表面放置有水泵3，水泵3的一端固定连接有导液管道4，水泵3的另一端固定连接有送液管道5，送液管道5的一端贯穿连接有药剂箱6，导液管道4的一端固定连接有喷液装置7；喷液装置7包括固定连接在导液管道4一端的药剂喷头701，药剂喷头701外弧面底部通过螺纹连接有分淋盖702，药剂喷头701的内弧面底部固定连接有导流板703，导流板703的上表面开设有分流槽704，药剂喷头701的下表面中部开设有集中槽705，分淋盖702下表面弧形处均开设有与分流槽704与集中槽705相适配的通槽，通槽的数量为若干个，导液管道4连接药剂喷头701的一端贯穿连接在镀膜室1内。

通过喷液装置7，工作人员将药剂放置在药剂箱6内，并通过铰链将镀膜室1与后舱室2打开，并将工件放入其中，当开始工作前工作人员将水泵3打开，使水泵3一端的送液管道5将药剂吸收，并通过导液管道4将药液输送至镀膜室1内部，并通过药剂喷头701将药液从分淋盖702喷洒出，而药液在药剂喷头内部，是通过导流板703上开设的分流槽704内，而药剂喷头701下表面开设有若干个相同的细小的通槽，而药液会顺着分流槽704流动到药剂喷液701的细孔内，使药液分散流进分淋盖702上的通槽处，使药液雾化，当需压将药液直流时旋转分淋盖702使上表面将药剂喷头701下表面的通槽堵住，被迫使药液流入集中槽705内，使其变为直流喷洒。

实施例2：

下面结合具体的工作方式对实施例1中的方案进行进一步的介绍，详见下文描述：

如图1、图2、图3、图4和图5所示，作为优选的实施方式，在上述方式的基础上，进一步的，镀膜室1的底部一侧贯穿连接有集料管8，集料管8的一端贯穿连接有集料箱9，药剂箱6与集料箱9均放置在后舱室2的一侧，镀膜室1与后舱室2的内侧壁为中空结构，镀膜室1的上表面通过螺栓固定安装有支撑底座10，支撑底座10的上表面中部固定连接安装有立柱，支撑底座10通过立柱固定安装有矩形架11，矩形架11的上表面通过螺栓固定安装有伺服电机12，伺服电机12的输出端贯穿连接有清理装置13，清理装置13包括固定连接在伺服电机12一端的凹起块131，凹起块131的下表面通过螺栓固定连接有横杆132，横杆132的两端均开设有通槽，通槽的内侧壁均通过螺栓固定连接有C形板133，C形板133的一侧表面开设有通槽，通槽的内侧壁固定连接有矩形块134，矩形块134的一侧表面开设有滑槽135，滑槽135的内侧壁均滑动连接有凸块136，凸块136的上表面中部活动连接有球形轴137，球形轴137的上表面活动卡接有定位块138，定位块138的上表面通过螺栓固定连接有移动板139，固定板1312的一侧表面均开设有导向槽1313，导向杆1310均与导向槽1313相滑动连接，凸块136的数量为四个，并滑动连接在横杆132的两侧，弧形清洁板1311的数量为四个，并均匀分布在两个固定板1312的两侧，弧形清洁板1311的一侧弧面与镀膜室1与后舱室2的内侧壁相搭接；

通过清理装置13使伺服电机12带动底端的弧形清洁板1311开始对镀膜室1内侧壁进行清洗，而清理装置13可通过进行拆卸，并可通过滑动凸块136使其在矩形块134开设的滑槽135内向上或向下移动，而移动会使定位块138上表面的移动板139同步移动，当移动板139移动时，一侧的导向杆1310会在固定板1312上开设的导向槽1313内滑动，此时会带动一端的弧形清洁板1311位置随之变动，同时定位块138可将移动板139托出，并通过球形轴137将定位块138翻转90°使将弧形清洁板1311托举至镀膜室1的内顶壁与内底壁上，均可对镀膜室1整体进行清洁。

实施例3：

下面结合具体的工作方式对实施例1和实施例2中的方案进行进一步的介绍，详见下文描述：

具体的，本一种高效节能真空镀膜设备在使用时：通过喷液装置7，工作人员将药剂放置在药剂箱6内，并通过铰链将镀膜室1与后舱室2打开，并将工件放入其中，当开始工作前工作人员将水泵3打开，使水泵3一端的送液管道5将药剂吸收，并通过导液管道4将药液输送至镀膜室1内部，并通过药剂喷头701将药液从分淋盖702喷洒出，而药液在药剂喷头内部，是通过导流板703上开设的分流槽704内，而药剂喷头701下表面开设有若干个相同的细小的通槽，而药液会顺着分流槽704流动到药剂喷液701的细孔内，使药液分散流进分淋盖702上的通槽处，使药液雾化，当需压将药液直流时旋转分淋盖702使上表面将药剂喷头701下表面的通槽堵住，被迫使药液流入集中槽705内，使其变为直流洒，并通过清理装置13使伺服电机12带动底端的弧形清洁板1311开始对镀膜室1内侧壁进行清洗，而清理装置13可通过进行拆卸，并可通过滑动凸块136使其在矩形块134开设的滑槽135内向上或向下移动，而移动会使定位块138上表面的移动板139同步移动，当移动板139移动时，一侧的导向杆1310会在固定板1312上开设的导向槽1313内滑动，此时会带动一端的弧形清洁板1311位置随之变动，同时定位块138可将移动板139托出，并通过球形轴137将定位块138翻转90°使将弧形清洁板1311托举至镀膜室1的内顶壁与内底壁上，均可对镀膜室1整体进行清洁。

以上实施例仅用以说明本实用新型而并非限制本实用新型所描述的技术方案，尽管本说明书参照上述的各个实施例对本实用新型已进行了详细的说明，但本实用新型不局限于上述具体实施方式，因此任何对本实用新型进行修改或等同替换；而一切不脱离发明的精神和范围的技术方案及其改进，其均涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (10)

1.一种高效节能真空镀膜设备，包括镀膜室(1)，其特征在于，所述镀膜室(1)的背面通过铰链活动卡接有后舱室(2)，所述镀膜室(1)的一侧表面放置有水泵(3)，所述水泵(3)的一端固定连接有导液管道(4)，所述水泵(3)的另一端固定连接有送液管道(5)，所述送液管道(5)的一端贯穿连接有药剂箱(6)，所述导液管道(4)的一端固定连接有喷液装置(7)；

所述喷液装置(7)包括固定连接在导液管道(4)一端的药剂喷头(701)，所述药剂喷头(701)外弧面底部通过螺纹连接有分淋盖(702)，所述药剂喷头(701)的内弧面底部固定连接有导流板(703)，所述导流板(703)的上表面开设有分流槽(704)，所述药剂喷头(701)的下表面中部开设有集中槽(705)。

2.根据权利要求1所述的一种高效节能真空镀膜设备，其特征在于，所述分淋盖(702)下表面弧形处均开设有与分流槽(704)与集中槽(705)相适配的通槽，所述通槽的数量为若干个，所述导液管道(4)连接药剂喷头(701)的一端贯穿连接在镀膜室(1)内。

3.根据权利要求2所述的一种高效节能真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜室(1)的底部一侧贯穿连接有集料管(8)，所述集料管(8)的一端贯穿连接有集料箱(9)，所述药剂箱(6)与集料箱(9)均放置在后舱室(2)的一侧，所述镀膜室(1)与后舱室(2)的内侧壁为中空结构。

4.根据权利要求1所述的一种高效节能真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜室(1)的上表面通过螺栓固定安装有支撑底座(10)，所述支撑底座(10)的上表面中部固定连接安装有立柱，所述支撑底座(10)通过立柱固定安装有矩形架(11)，所述矩形架(11)的上表面通过螺栓固定安装有伺服电机(12)，所述伺服电机(12)的输出端贯穿连接有清理装置(13)。

5.根据权利要求4所述的一种高效节能真空镀膜设备，其特征在于，所述清理装置(13)包括固定连接在伺服电机(12)一端的凹起块(131)，所述凹起块(131)的下表面通过螺栓固定连接有横杆(132)，所述横杆(132)的两端均开设有通槽。

6.根据权利要求5所述的一种高效节能真空镀膜设备，其特征在于，所述通槽的内侧壁均通过螺栓固定连接有C形板(133)，所述C形板(133)的一侧表面开设有通槽，所述通槽的内侧壁固定连接有矩形块(134)，所述矩形块(134)的一侧表面开设有滑槽(135)。

7.根据权利要求6所述的一种高效节能真空镀膜设备，其特征在于，所述滑槽(135)的内侧壁均滑动连接有凸块(136)，所述凸块(136)的上表面中部活动连接有球形轴(137)，所述球形轴(137)的上表面活动卡接有定位块(138)，所述定位块(138)的上表面通过螺栓固定连接有移动板(139)。

8.根据权利要求7所述的一种高效节能真空镀膜设备，其特征在于，所述移动板(139)的一侧表面两侧均固定安装有导向杆(1310)，所述导向杆(1310)的顶端固定安装有弧形清洁板(1311)，所述弧形清洁板(1311)的一侧表面滑动搭接有固定板(1312)。

9.根据权利要求8所述的一种高效节能真空镀膜设备，其特征在于，所述固定板(1312)的一侧表面均开设有导向槽(1313)，所述导向杆(1310)均与导向槽(1313)相滑动连接，所述凸块(136)的数量为四个，并滑动连接在横杆(132)的两侧。

10.根据权利要求9所述的一种高效节能真空镀膜设备，其特征在于，所述弧形清洁板(1311)的数量为四个，并均匀分布在两个所述固定板(1312)的两侧，所述弧形清洁板(1311)的一侧弧面与镀膜室(1)与后舱室(2)的内侧壁相搭接。

Images