CN218888750U - 等离子体发生器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种等离子体发生器，包括后电极组件及输出电极组件，输出电极组件包括与后电极组件联通的输出电极，输出电极内腔沿介质流动方向包括端部依次衔接的第一压缩段、喉口直段及第一扩张段。沿介质流动方向：第一压缩段的截流面积逐渐减小，喉口直段的截流面积相同，第一扩张段的截流面积逐渐增大。在本申请提供的等离子体发生器中，通过介质在输出电极内腔中先压缩后扩充，在功率相同情况下，通过提升电弧电压，降低运行电流，达到降低电极烧蚀率的目的，因此，本申请提供的等离子体发生的使用寿命延长。

Description

等离子体发生器

技术领域

本实用新型涉及等离子体技术领域，特别涉及一种等离子体发生器。

背景技术

等离子体发生器是用人工方法获得等离子体的装置。直流电弧等离子体发生器可以产生高温的热等离子体射流，该等离子体射流不仅温度高而且活性强，因此，在煤粉点火、材料表面处理、材料热加工、废弃物处理等方面均有成功应用。但是，大功率等离子体发生器的应用受电极寿命低的影响，无法普及。

目前，大功率等离子体发生器一般采用管式结构，通过增大弧斑面积，降低电流密度，从而降低电极烧蚀率。常用的管式等离子体发生器都采用管状结构或近似管状结构，通过提升工作电流实现大功率输出，该方案增大了电弧电流密度和电极烧蚀率，电极寿命低，等离子体发生器的使用寿命缩短。

因此，如何提高等离子体发生器的运行稳定性，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种等离子体发生器，该等离子体发生器的运行稳定性提高。

为实现上述目的，本实用新型提供一种等离子体发生器，包括后电极组件及输出电极组件，所述输出电极组件包括与所述后电极组件联通的输出电极，所述输出电极内腔沿介质流动方向包括端部依次衔接的第一压缩段、喉口直段及第一扩张段；

沿介质流动方向：所述第一压缩段的截流面积逐渐减小，所述喉口直段的截流面积相同，所述第一扩张段的截流面积逐渐增大。

可选地，在上述等离子体发生器中，所述输出电极内腔还包括与第二压缩段及衔接所述第二压缩段出口和所述第一压缩段入口的入口直段，沿介质流动方向：所述第二压缩段的截流面积逐渐减小，所述入口直段的截流面积相同。

可选地，在上述等离子体发生器中，所述输出电极内腔还包括入口与所述第一扩张段出口衔接第二扩张段，沿介质流动方向，所述第二扩张段的截流面积逐渐增大，所述第一扩张段的扩张角小于第二扩张段的扩张角。

可选地，在上述等离子体发生器中，还包括发生器壳体，所述发生器壳体与直流电源的正极连接，所述后电极组件包括后电极，所述后电极与直流电源的负极连接，所述发生器壳体上设有输出电极冷却介质入口、输出电极冷却介质出口及用于向所述输出电极输送工作介质的主进气进口，所述输出电极组件还包括隔水套、外水套和底座，所述输出电极的一端与所述底座连接，所述隔水套套设在所述输出电极的外侧，所述隔水套的一端与所述底座连接，所述隔水套的另一端与所述输出电极相连；所述外水套套设在隔水套的外侧，所述外水套的一端与所述底座连接，所述外水套的另一端与所述输出电极连接，所述隔水套与所述输出电极之间空间形成进水流道，所述隔水套与所述外水套之间回水流道，沿冷却介质流动方向，依次设置所述输出电极冷却介质入口、所述进水流道、所述回水流道和所述输出电极冷却介质出口连接。

可选地，在上述等离子体发生器中，还包括设置在所述输出电极外周面上的散热翅片，所述散热翅片包括多个，相邻所述散热翅片之间形成冷却介质流道。

可选地，在上述等离子体发生器中，所述散热翅片设置在输出电极靠近喷口处，沿冷却介质流动方向，所述散热翅片的进口端由所述输出电极向所述隔水套位置倾斜设置。

可选地，在上述等离子体发生器中，还包括旋流件，所述旋流件连接所述隔水套与底座连接，且将所述输出电极冷却介质入口与所述进水流道联通，所述旋流件套设在所述输出电极外侧，且所述旋流件沿圆周方向设有等间距设置以用于流体旋流进入所述旋流件内腔的旋流腔体。

可选地，在上述等离子体发生器中，还包括设置在所述输出电极的工作介质进口端的第一风环，所述第一风环与所述底座一体成型，所述第一风环上设有进气孔，所述进气孔沿所述第一风环周向均匀分布。

可选地，在上述等离子体发生器中，还包括第一支撑环、第二支撑环和环绝缘筒，所述后电极组件能够远离所述输出电极一侧滑动与所述发生器壳体分离，所述第一支撑环套设在所述后电极第一端外侧，且位于所述发生器壳体内部；所述后电极组件还包括：

后电极基座，所述后电极基座与所述后电极的第二端连接，所述后电极的第一端和第二端为所述后电极的内腔中工作介质流动方向的相对两端，所述后电极基座内部设有用于向所述后电极的内腔中输送工作介质的辅进气进口；

后电极枪体，所述后电极基座远离所述后电极一端与所述后电极枪体连接，所述后电极枪体套设在所述后电极基座外侧，且所述后电极枪体与所述后电极基座之间形成用于冷却介质流动的腔体；

及后电极导管，所述后电极导管一端与所述后电极枪体连接，所述后电极导管另一端与所述第一支撑环连接，所述后电极导管套设于所述后电极外侧，所述绝缘筒套设在所述后电极导管外侧，所述绝缘筒一端与所述第一支撑环连接，所述绝缘筒另一端与所述第二支撑环连接，所述发生器壳体远离所述输出电极组件的一端与所述第二支撑环连接。

可选地，在上述等离子体发生器中，还包括设置在所述输出电极的工作介质进口端的第一风环，所述第一风环与所述第一支撑环一体成型，所述第一风环上设有进气孔，所述进气孔沿所述第一风环周向均匀分布。

可选地，在上述等离子体发生器中，所述后电极为靠近所述后电极基座一端的底端为盲孔管状结构，所述后电极底端侧壁安装有联通所述后电极基座与所述后电极内腔的通孔，所述后电极内腔的底部呈外凸的圆锥状。

可选地，在上述等离子体发生器中，还包括布置在后电极的底部的第二风环，所述第二风环沿圆周方向布置以用于气体旋流进入第二风环内腔的进气孔，所述第二风环与所述后电极的通孔连接；

所述后电极基座内部设置通气孔，所述通气孔入口端直径小于所述通气孔出口端直径，所述通气孔套设在所述第二风环外周，所述通气孔出口端直径大于所述第二风环的外径。

在上述技术方案中，本实用新型提供的等离子体发生器包括后电极组件及输出电极组件，输出电极组件包括与后电极组件联通的输出电极，输出电极内腔沿介质流动方向包括端部依次衔接的第一压缩段、喉口直段及第一扩张段。沿介质流动方向：第一压缩段的截流面积逐渐减小，喉口直段的截流面积相同，第一扩张段的截流面积逐渐增大。

通过上述描述可知，在本申请提供的等离子体发生器中，通过介质在输出电极内腔中先压缩后扩充，在功率相同情况下，通过提升电弧电压，降低运行电流，达到降低电极烧蚀率的目的，因此，本申请提供的等离子体发生的使用寿命延长。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所提供的等离子发生器的外观图；

图2为本实用新型实施例所提供的输出电极组件的结构示意图；

图3为图2所述沿A-A方向一种风环的结构示意图；

图4为图2所述沿B-B方向水槽的结构示意图；

图5为另一种本实用新型实施例所提供的第一风环的结构示意图；

图6为本实用新型实施例所提供的等离子发生器的结构视图。

其中图1-6中：

100、发生器壳体；

101、输出电极组件；1011、输出电极；1011A、第二压缩段；1011B、入口直段；1011C、第一压缩段；1011D、喉口直段；1011E、第一扩张段；1011F、第二扩张段；1012、隔水套；1013外水套；1014、底座；

102、后电极组件；1021、后电极；1022、后电极基座；1023、后电极枪体；1024、后电极导管；

103、第一支撑环；

104、第二支撑环；

105；绝缘筒；

201、后电极冷却介质入口；202、后电极冷却介质出口；203、输出电极冷却介质入口；204、输出电极冷却介质出口；

301、主进气进口；302、辅进气进口；

401、第一风环；

402、第二风环；

501、散热翅片；

502、旋流件。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种等离子体发生器，该等离子体发生器的使用寿命延长。

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

请参考图1至图6。

在一种具体实施方式中，本实用新型具体实施例提供的等离子体发生器包括后电极组件102及输出电极组件101，输出电极组件101包括与后电极组件102联通的输出电极1011，输出电极1011内腔沿介质流动方向包括第一压缩段1011C、喉口直段1011D及第一扩张段1011E。沿介质流动方向：第一压缩段1011C的截流面积逐渐减小，喉口直段1011D的截流面积相同，第一扩张段1011E的截流面积逐渐增大。优选，第一压缩段1011C和第一扩张段1011E至少一者的内表面为圆锥形表面。

其中，后电极组件102包括后电极1021，后电极1021与输出电极1011联通的主体腔体可以为截流面积相同的腔体，具体可以为圆柱形腔体。

通过上述描述可知，在本申请具体实施例所提供的等离子体发生器中，可以产生焓值高、火焰长且粗的等离子体射流，通过介质在输出电极1011内腔中先压缩后扩充，在功率相同情况下，通过提升电弧电压，降低运行电流，达到降低电极烧蚀率的目的，因此，本申请提供的等离子体发生的使用寿命延长。

在一种具体实施方式中，输出电极1011内腔还包括与第二压缩段1011A及衔接第二压缩段1011A出口和第一压缩段1011C入口的入口直段1011B，沿介质流动方向：第二压缩段1011A的截流面积逐渐减小，入口直段1011B的截流面积相同。

输出电极1011内腔还包括入口与第一扩张段1011E出口衔接第二扩张段1011F，沿介质流动方向，第二扩张段1011F的截流面积逐渐增大，第一扩张段1011E的扩张角小于第二扩张段1011F的扩张角，其中扩张角为第一扩张段1011E内壁和第二扩张段1011F内壁与输出电极1011轴线方向。第一扩张段1011E的扩张角α1小于第二扩张段1011F的扩张角α2。

如图2所示，优选，第二扩张段1011F采用圆弧倒角。

当入口直段1011B和喉口直段1011D均匀圆柱形结构时，入口直段1011B的内径d1大于喉口直段1011D的内径d0。

在一种具体实施方式中，该等离子体发生器还包括发生器壳体100，发生器壳体100与直流电源的正极连接，后电极组件102与直流电源的负极连接。发生器壳体100上设有输出电极1011冷却介质入口、输出电极1011冷却介质出口及用于向输出电极1011输送工作介质的主进气进口301。

输出电极组件101还包括隔水套1012、外水套1013和底座1014，输出电极1011的一端与底座1014连接，隔水套1012套设在输出电极1011的外侧，隔水套1012的一端与底座1014连接，隔水套1012的另一端与输出电极1011相连；外水套1013套设在隔水套1012的外侧，外水套1013的一端与底座1014连接，外水套1013的另一端与输出电极1011连接，隔水套1012与输出电极1011之间空间形成进水流道，隔水套1012与外水套1013之间回水流道，沿冷却介质流动方向，依次设置输出电极1011冷却介质入口、进水流道、回水流道和输出电极冷却介质出口204连接。具体的，输出电极1011入口端面与底座1014端面齐平设置。

在具体组装时，优选，底座1014与发生器壳体100通过螺栓连接，发生器壳体100出口端面相对两端，例如左右各设置有腰形孔，与底座1014入口端面腰形孔对应安装，实现冷却介质的流入和流出输出电极组件101。具体的，底座1014腰形孔的底部开有圆形槽，将腰形孔与底座1014的中心孔联通，实现冷却介质流动。

为了提供散热效果，优选，该等离子体发生器还包括设置在输出电极1011外周面上的散热翅片501，散热翅片501包括多个，相邻散热翅片501之间形成冷却介质流道。优选，散热翅片501设置在输出电极1011靠近喷口处。具体的，散热翅片501为梯形结构，且长边与设置梯形翅片结构，后电极1021外侧设置梯形翅片结构。如图6所示，沿冷却介质流动方向，散热翅片501的进口端由输出电极1011向隔水套1012位置倾斜设置。输出电极1011外侧布置散热翅片501实现加强冷却。

为了实现冷却介质稳定流动，优选，相邻两个散热翅片501等间距设置。

在一种具体实施方式中，该等离子体发生器还包括旋流件502，旋流件502连接隔水套1012与底座1014连接，且将输出电极1011冷却介质入口与进水流道联通，旋流件502套设在输出电极1011外侧，旋流件502沿圆周方向设有等间距设置以用于流体旋流进入旋流件502内腔的旋流腔体。旋流结构沿圆周方向等间距布置8～12个旋流腔体，具体的，隔水套1012与底座1014连接。具体的，旋流腔体可以为开设在旋流件502上联通外壁和内壁形成流动腔体的旋流槽或旋流孔。

具体的，该等离子体发生器还包括设置在电极组件的工作介质进口端的第一风环401，可布置在输出电极1011上，第一风环401上设有进气孔，进气孔沿第一风环401周向均匀分布，第一风环401与底座1014一体成型。具体的，第一风环401布置在底座1014靠近后电极组件102一端，工作介质经第一风环401切向旋转进入输出电极1011和后电极1021内部。第一风环401沿圆周方向等间距布置6～18个进气孔，进气孔用于气体旋流进入第一风环内腔，进气孔的形状一致，如图5所示，进气孔可采用圆孔结构。如图3所示，进气孔也可采用槽型结构，例如直接开设在输出电极1011端部。

本申请提供的等离子体发生器还包括后电极组件102及第一支撑环103，其中，第一风环401可以布置在第一支撑环103靠近输出电极1011的一端，后电极1021通过第一支撑环103与输出电极1011断开设置，优选，第一风环401与第一支撑环103一体成型。后电极组件102能够远离输出电极1011一侧滑动与发生器壳体100分离，即当需要拆卸后电极组件102时，无需现将输出电极组件101拆出，便于后电极组件102拆卸。

后电极组件102还包括后电极基座1022、后电极枪体1023及后电极导管1024，后电极1021第一端与输出电极1011连接，第一支撑环103套设在后电极1021第一端外侧，且位于发生器壳体100内部；具体的，后电极1021入口端面采用圆弧倒角。

后电极1021为靠近后电极基座1022一端的底端为盲孔管状结构，后电极1021底端侧壁安装有联通后电极基座1022与后电极1021内腔的通孔。后电极1021内腔的底部呈外凸的圆锥状，后电极1021内径d2大于输出电极1011入口直段1011B的内径d1。

为了提高后电极1021的散热效果，优选，后电极1021外侧布置加强冷却用的翅片结构。

后电极基座1022与后电极1021的第二端连接，后电极1021的第一端和第二端为后电极1021的内腔中工作介质流动方向的相对两端，后电极基座1022内部设有用于向后电极1021的内腔中输送工作介质的辅进气进口302。

后电极基座1022远离后电极1021一端与后电极枪体1023连接，后电极枪体1023套设在后电极基座1022外侧，且后电极枪体1023与后电极基座1022之间形成用于冷却介质流动的腔体。

后电极导管1024一端与后电极枪体1023连接，后电极导管1024另一端与第一支撑环103连接，后电极导管1024套设于后电极1021外侧。后电极组件102上布置有后电极冷却介质入口201、后电极冷却介质出口202和辅进气进口302，其中辅进气进口302用于工作介质进入。

后电极1021底部布置有第二风环402，工作介质经第二风环402切向旋转进入后电极组件102内部，后电极1021采用管状盲孔结构，后电极1021底部呈圆锥状，后电极1021底部一端与后电极基座1022连接，后电极基座1022另一端与后电极枪体1023连接，后电极导管1024一端与后电极枪体1023连接，后电极导管1024布置于后电极1021外侧。后电极基座1022内部设置通气孔，优选，通气孔入口端直径小于出口端直径，通气孔出口端直径大于第二风环402的外径。

后电极基座1022内部设置通气孔，通气孔入口端直径小于出口端直径，通气孔出口端直径大于第二风环402的外径。

等离子体发生器还包括第二支撑环104及套设在后电极导管1024外侧的环绝缘筒105，绝缘筒105布置在发生器壳体100与后电极组件102之间。第二支撑环104套设在后电极导管1024外侧，绝缘筒105一端与第一支撑环103连接，绝缘筒105另一端与第二支撑环104连接，发生器壳体100远离输出电极组件101的一端与第二支撑环104连接。

等离子体发生器还包括布置在后电极1021的底部的第二风环402，第二风环402沿圆周方向布置进气孔，进气孔用于气体旋流进入第二风环402内腔。第二风环402沿圆周方向等间距布置4～10个进气孔，进气孔的形状一致，采用圆孔结构。

后电极枪体1023上布置有后电极冷却介质的入口、后电极冷却介质的出口，后电极基座1022后端布置有辅进气进口302，发生器壳体100后部布置有主进气进口301。

后电极1021和输出电极1011采用紫铜、无氧铜、铜合金或银合金等导电性好、导热性能强的材质。

本申请提供的等离子体发生器，结构简单，采用单个输出电极1011，可实现显著提升电弧电压的目的。在功率相同情况下，通过提升电弧电压，降低运行电流，达到降低电极烧蚀率的目的。同时电极外侧增加旋流和翅片结构，明显增加换热效果，从而提高电极的使用寿命。本申请提供的后电极组件102轴向定位稳定可靠，确保后电极1021与输出电极1011的起弧间隙尺寸可控，显著提高发生器的启动成功率，同时大幅简化电极更换的操作步骤。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (12)

1.一种等离子体发生器，其特征在于，包括后电极组件(102)及输出电极组件(101)，所述输出电极组件(101)包括与所述后电极组件(102)联通的输出电极(1011)，所述输出电极(1011)内腔沿介质流动方向包括端部依次衔接的第一压缩段(1011C)、喉口直段(1011D)及第一扩张段(1011E)；

沿介质流动方向：所述第一压缩段(1011C)的截流面积逐渐减小，所述喉口直段(1011D)的截流面积相同，所述第一扩张段(1011E)的截流面积逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于，所述输出电极(1011)内腔还包括与第二压缩段(1011A)及衔接所述第二压缩段(1011A)出口和所述第一压缩段(1011C)入口的入口直段(1011B)，沿介质流动方向：所述第二压缩段(1011A)的截流面积逐渐减小，所述入口直段(1011B)的截流面积相同。

3.根据权利要求2所述的等离子体发生器，其特征在于，所述输出电极(1011)内腔还包括入口与所述第一扩张段(1011E)出口衔接第二扩张段(1011F)，沿介质流动方向，所述第二扩张段(1011F)的截流面积逐渐增大，所述第一扩张段(1011E)的扩张角小于第二扩张段(1011F)的扩张角。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的等离子体发生器，其特征在于，还包括发生器壳体(100)，所述发生器壳体(100)与直流电源的正极连接，所述后电极组件(102)包括后电极(1021)，所述后电极(1021)与直流电源的负极连接，所述发生器壳体(100)上设有输出电极(1011)冷却介质入口、输出电极(1011)冷却介质出口及用于向所述输出电极(1011)输送工作介质的主进气进口(301)，所述输出电极组件(101)还包括隔水套(1012)、外水套(1013)和底座(1014)，所述输出电极(1011)的一端与所述底座(1014)连接，所述隔水套(1012)套设在所述输出电极(1011)的外侧，所述隔水套(1012)的一端与所述底座(1014)连接，所述隔水套(1012)的另一端与所述输出电极(1011)相连；所述外水套(1013)套设在隔水套(1012)的外侧，所述外水套(1013)的一端与所述底座(1014)连接，所述外水套(1013)的另一端与所述输出电极(1011)连接，所述隔水套(1012)与所述输出电极(1011)之间空间形成进水流道，所述隔水套(1012)与所述外水套(1013)之间回水流道，沿冷却介质流动方向，依次设置所述输出电极(1011)冷却介质入口、所述进水流道、所述回水流道和所述输出电极(1011)冷却介质出口连接。

5.根据权利要求4所述的等离子体发生器，其特征在于，还包括设置在所述输出电极(1011)外周面上的散热翅片(501)，所述散热翅片(501)包括多个，相邻所述散热翅片(501)之间形成冷却介质流道。

6.根据权利要求5所述的等离子体发生器，其特征在于，所述散热翅片(501)设置在输出电极(1011)靠近喷口处，沿冷却介质流动方向，所述散热翅片(501)的进口端由所述输出电极(1011)向所述隔水套(1012)位置倾斜设置。

7.根据权利要求4所述的等离子体发生器，其特征在于，还包括旋流件(502)，所述旋流件(502)连接所述隔水套(1012)与底座(1014)连接，且将所述输出电极(1011)冷却介质入口与所述进水流道联通，所述旋流件(502)套设在所述输出电极(1011)外侧，且所述旋流件(502)沿圆周方向设有等间距设置以用于流体旋流进入所述旋流件(502)内腔的旋流腔体。

8.根据权利要求4所述的等离子体发生器，其特征在于，还包括设置在所述输出电极(1011)的工作介质进口端的第一风环(401)，所述第一风环(401)与所述底座(1014)一体成型，所述第一风环(401)上设有进气孔，所述进气孔沿所述第一风环(401)周向均匀分布。

9.根据权利要求4所述的等离子体发生器，其特征在于，还包括第一支撑环(103)、第二支撑环(104)和环绝缘筒(105)，所述后电极组件(102)能够远离所述输出电极(1011)一侧滑动与所述发生器壳体(100)分离，所述第一支撑环(103)套设在所述后电极(1021)第一端外侧，且位于所述发生器壳体(100)内部；所述后电极组件(102)还包括：

后电极基座(1022)，所述后电极基座(1022)与所述后电极(1021)的第二端连接，所述后电极(1021)的第一端和第二端为所述后电极(1021)的内腔中工作介质流动方向的相对两端，所述后电极基座(1022)内部设有用于向所述后电极(1021)的内腔中输送工作介质的辅进气进口(302)；

后电极枪体(1023)，所述后电极基座(1022)远离所述后电极(1021)一端与所述后电极枪体(1023)连接，所述后电极枪体(1023)套设在所述后电极基座(1022)外侧，且所述后电极枪体(1023)与所述后电极基座(1022)之间形成用于冷却介质流动的腔体；

及后电极导管(1024)，所述后电极导管(1024)一端与所述后电极枪体(1023)连接，所述后电极导管(1024)另一端与所述第一支撑环(103)连接，所述后电极导管(1024)套设于所述后电极(1021)外侧，所述绝缘筒(105)套设在所述后电极导管(1024)外侧，所述绝缘筒(105)一端与所述第一支撑环(103)连接，所述绝缘筒(105)另一端与所述第二支撑环(104)连接，所述发生器壳体(100)远离所述输出电极组件(101)的一端与所述第二支撑环(104)连接。

10.根据权利要求9所述的等离子体发生器，其特征在于，还包括设置在所述输出电极(1011)的工作介质进口端的第一风环(401)，所述第一风环(401)与所述第一支撑环(103)一体成型，所述第一风环(401)上设有进气孔，所述进气孔沿所述第一风环(401)周向均匀分布。

11.根据权利要求9所述的等离子体发生器，其特征在于，所述后电极(1021)为靠近所述后电极基座(1022)一端的底端为盲孔管状结构，所述后电极(1021)底端侧壁安装有联通所述后电极基座(1022)与所述后电极(1021)内腔的通孔，所述后电极(1021)内腔的底部呈外凸的圆锥状。

12.根据权利要求11所述的等离子体发生器，其特征在于，还包括布置在后电极(1021)的底部的第二风环(402)，所述第二风环(402)沿圆周方向布置以用于气体旋流进入第二风环内腔的进气孔，所述第二风环(402)与所述后电极(1021)的通孔连接；

所述后电极基座(1022)内部设置通气孔，所述通气孔入口端直径小于所述通气孔出口端直径，所述通气孔套设在所述第二风环(402)外周，所述通气孔出口端直径大于所述第二风环(402)的外径。

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