CN218867636U - 一种阵列tof光源及系统 - Google Patents

Abstract

一种阵列TOF光源，其特征在于，包括EEL阵列激光器和一个柱面透镜；所述EEL阵列激光器，内有多个有源区；多个所述有源区的出光口相邻排列，且多个所述有源区的阴极或阳极共用一个电极，阳极或阴极则是分开的；所述柱面透镜，用于将所述EEL阵列激光器发出的光束在快轴方向准直；多个所述有源区投射在所述柱面透镜上的区域没有重叠。本实用新型通过将EEL阵列激光器内设置有多个有源区，并共用阴极或阳极，从而大幅增加了激光器发射的一致性，并可以降低阵列TOF光源的功率，使得阵列TOF光源具有很好的一致性、可靠性，同时具有较低的功率，无散热问题，有利于实现高峰值功率与远距离探测。

Description

一种阵列TOF光源及系统

技术领域

本实用新型涉及TOF技术领域，具体地，涉及一种阵列TOF光源及系统。

背景技术

在深度测量技术中，常用的激光光源有垂直腔面激光发射器(VSCEL)和边缘激光发射器(EEL)。由于VSCEL发射出的光斑为圆形，并且功率较小，容易集成为阵列激光器，组成各类光斑，主要被用于结构光投射。而EEL由于发射出的光斑为椭圆形，并且功率较大，主要用于TOF技术测量。

EEL激光器用于结构光技术中的主要有两种：

一是使用多颗EEL激光器组成激光器阵列，但其一致性及可靠性较差。

二是使用单颗大功率EEL激光器的方案，但其功率较大，散热成为问题。

而现有技术中的VSCEL激光器阵列由于VSCEL激光器的功率限制，难在在较远距离内实现有效的测量。

以上背景技术内容的公开仅用于辅助理解本实用新型的实用新型构思及技术方案，其并不必然属于本专利申请的现有技术，在没有明确的证据表明上述内容在本专利申请的申请日已经公开的情况下，上述背景技术不应当用于评价本申请的新颖性和创造性。

实用新型内容

为此，本实用新型通过将EEL阵列激光器内设置有多个有源区，并共用阴极或阳极，从而大幅增加了激光器发射的一致性，并可以降低阵列TOF光源的功率，使得阵列TOF光源具有很好的一致性、可靠性，同时具有较低的功率，无散热问题，有利于实现高峰值功率与远距离探测。

第一方面，本实用新型提供一种阵列TOF光源，其特征在于，包括EEL阵列激光器和一个柱面透镜；

所述EEL阵列激光器，内有多个有源区；多个所述有源区的出光口相邻排列，且多个所述有源区的阴极或阳极共用一个电极，阳极或阴极则是分开的；

所述柱面透镜，用于将所述EEL阵列激光器发出的光束在快轴方向准直；

多个所述有源区投射在所述柱面透镜上的区域没有重叠。

可选地，所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，所述EEL阵列激光器的发光面位于所述柱面透镜的焦点。

可选地，所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，还包括控制器；所述控制器通过可寻址的驱动，控制每一个所述有源区处于点亮或者关闭状态。

可选地，所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，所述有源区依次点亮，且每次只点亮一个所述有源区。

可选地，所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，在一个发射周期内，所有所述有源区均会被点亮。

可选地，所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，多个所述有源区投射在所述柱面透镜上的区域上设置有不透明图案，并且多个所述不透明图案均不相同。

可选地，所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，出射的光束为矩形。

可选地，所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，所述柱面透镜包含一反射面，以改变所述光束的方向。

第二方面，本实用新型提供一种阵列TOF系统，其特征在于，包括阵列TOF光源和接收传感器；

所述阵列TOF光源为前述任一项所述的阵列TOF光源；

所述接收传感器与所述阵列TOF光源同步，接收激光的反射信号进行三维重建。

可选地，所述的一种阵列TOF系统，其特征在于，所述接收传感器划分为n个子区域；其中，n为所述有源区的个数；

所述子区域与所述有源区一一对应；

当所述有源区工作时，只有与其对应的所述子区域工作。

与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：

本实用新型通过利用EEL阵列激光器，并设置多个有源区，可以降低单个激光器的功率，从而降低光源的瞬时功率，减小对驱动电源的功率要求，从而使得现有的驱动电源驱动的阵列TOF光源可以探测更远的距离。

本实用新型中多个有源区共用阳极或阴极，可以使得多个有源区具有很好的一致性，避免多个激光器位置或角度不一致导致的光束不均匀、发射不稳定等问题。

本实用新型中多个所述有源区投射在所述柱面透镜上的区域没有重叠，从而可以使得多个阵列激光器的光束互相分隔开，便于对各个光束进行光学操作，可以增加不同有源区投射出的光束的信息密度。

本实用新型不需要设置扫描系统，就可以实现对不同区域的分区照射，简化了系统，提高了稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型实施例中一种阵列TOF光源的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中一种EEL阵列激光器的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中另一种EEL阵列激光器的结构示意图；

图4为本实用新型实施例中一种出光口的结构示意图；

图5为本实用新型实施例中另一种出光口的结构示意图；

图6为本实用新型实施例中一种激光脉冲时序示意图；

图7为本实用新型实施例中另一种柱面透镜的结构示意图；

图8为本实用新型实施例中一种阵列TOF发射端的结构示意图；

图9为本实用新型实施例中一种阵列TOF系统工作示意图；

图10为本实用新型实施例中一种激光投射器投射的区域示意图；

图11为本实用新型实施例中一种传感器启用区域示意图；

图12为本实用新型实施例中几种光斑图案。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本实用新型，但不以任何形式限制本实用新型。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本实用新型的保护范围。

本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本实用新型的实施例，例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

本实用新型实施例提供的一种阵列TOF光源及系统，旨在解决现有技术中存在的问题。

下面以具体地实施例对本实用新型的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例中不再赘述。下面将结合附图，对本实用新型的实施例进行描述。

本实用新型实施例提供的阵列TOF光源，EEL阵列激光器的多个阳极或阴极共用，而多个阴极或阳极则分开，可以保证阵列TOF光源的一致性和可靠性，发射的控制效果也更好，可以实现分时发射，降低功率，减小于驱动电源的要求。同时，采用柱面透镜对光束进行准直，多个所述有源区投射在所述柱面透镜上的区域没有重叠，使得对于光束的操作更加灵活，效率更高。

图1为本实用新型实施例中一种阵列TOF光源的结构示意图。如图1所示，本实用新型实施例中一种阵列TOF光源包括：

EEL阵列激光器1，内有多个有源区。

具体地说，多个所述有源区的出光口相邻排列，且多个所述有源区的阴极或阳极共用一个电极，阳极或阴极则是分开的。图2示出了有源区的阴极共用一个电极的示意图。图3示出了有源区的阳极共用一个电极的示意图。本说明书以图2进行示例性说明。如图2所示，多个EEL激光器10设置在基板13上。多个EEL激光器10的阴极通过金线12与极板11连接，实现多个EEL激光器10共用阴极的效果，并方便控制。多个EEL激光器10的阳极14与基板13中的激光发射器连接，用于控制激光器的发射。在基板13的另一侧设置有出光口15。每个激光器设置有一个出光口。金线12与极板11均为导电材料。基板13为绝缘材料。极板11不仅具有导电的功能，还可以起到约束EEL激光器10的作用，从而使得EEL阵列激光器1的出射光束更加稳定。多个EEL激光器紧密贴合，使得相对位置更加稳固，从出光口15出射的光束方向更加一致、更加均匀。

在部分实施例中，极板11的表面与阴极处于同一表面。阴极与极板11紧密贴合，从而无需金线12即可实现连通。阴极与极板11紧密贴合，再配合壳体与基板，实现对激光器位置与方向的精确固定。为使极板11的表面与阴极处于同一表面，可以增加基板13的厚度，或者增加极板11的厚度。当采取增加基板13的厚度时，可以使得与极板11下部的基板13较厚，而EEL激光器10下部的基板13较薄。当采取增加极板11的厚度时，基板13保持水平，以方便对基板13的生产加工，而极板11只需要增加厚度，就可以实现与阴极表面处于同一表面。在工业生产中，可以根据极板11与基板13的材质、加工难度综合考虑采用何种方案，以达到成本最优。

相比于VSCEL激光器，EEL激光器的远场发散角更大，发射光束较宽，具有高功率密度和高脉冲峰值功率。VCSEL激光器有可能将2D发射器阵列和2D SPAD探测器阵列组合成一个没有运动部件的阵列TOF系统。而本实用新型的技术方案则使得EEL激光器同样具有了组成探测器阵列，并且可以拥有比VSCEL激光器阵列更好的远距离探测效率与稳定性。本实用新型所采用的EEL激光器波长可以是905nm、1550nm等各类可行的波长。在目前的工业生产能力上，905nm是主流的波长应用，主要是由于硅在该波长处吸收光子，而硅基光电探测器通常比探测1550nm光所需的铟镓砷(InGaAs)近红外探测器更加成熟，从成本和整体成熟度方面来讲是大批量应用的必然选择，性价比更高。而1550nm激光远离人眼吸收的可见光光谱，相比于905nm激光,同等功率的1550nm激光人眼安全性提高40倍，是未来可预期的具有巨大潜力的波长。

柱面透镜2，用于将所述EEL阵列激光器发出的光束在快轴方向准直。

具体地说，柱面透镜2为一个与EEL阵列激光器相对位置固定不动的透镜。本实施例只对光束在快轴方向准直，而无需对慢轴或其他方向进行准直，可以降低对于柱面透镜的要求，在保证投射效果的同时，成本更低。多个所述有源区投射在所述柱面透镜上的区域没有重叠。多个有源区投射在柱面透镜上的区域没有完全充满柱面透镜，即柱面透镜上存在未被有源区照射的区域，以保证各个有源区光束的独立可操作性。EEL阵列激光器1的发光面位于柱面透镜2的焦点。发光面是指多个出光口构成的面。柱面透镜2可以为普通透镜、超透镜等。当柱面透镜为超透镜时，可以使得阵列TOF光源的尺寸大大减小。

在部分实施例中，如图1所示，多个出光口位于一排。由于EEL激光器发射的光束为椭圆形，经柱面透镜2处理后的光束呈矩形。每个出光口单独点亮。每次点亮经阵列TOF光源发射出的光束均不重叠。一个EEL激光器发射出的光束对目标面的部分区域进行照射，且在目标面上呈矩形。有源区是指包含EEL激光器在内的区域，以区别于不能发光的区域。出光口是有源区的发光口。一个有源区对应一个出光口。

在部分实施例中，如图4所示，多个出光口位于至少两排。由于EEL激光器发射出的光束为椭圆形，所以EEL激光器并不是均匀地排列在基板上，而是横向间距小于纵向间距排列。由于单个EEL激光器投射出的光束不为圆形，通过对EEL激光器的投射方向与位置的设计，可以实现不同的投射效果。比如，EEL激光器投射出的光束为椭圆形，通过将激光器在长轴方向连接，会形成细长的线扫描区域，以获得最广的视角宽度；通过将激光器在短轴方向连接，会形成粗长的线扫描区域，以获得最接近正方形的扫描范围。进一步地，柱面透镜2对光束进行整形，以使出射的光束为矩形。当出射的光束为矩形时，可以更好地使光束对目标区域进行照射，无死角，实现对目标区域的全覆盖，并且对于目标区域的照射更加均匀。

在部分实施例中，如图5所示，多个出光口位于同一个圆上，且朝向不同的方向。在本实施例中，柱面透镜对于光束角还具有一定的整形作用，以使得多束出射的光束可以实现360度的全覆盖。在本实施例中，相邻的出光口发射出的光束经过柱面透镜2后，激光照射区域也是相邻的，从而实现360度内的全覆盖。优选地，柱面透镜将从出光口出射的光束整形成矩形。与前述实施例类似地，本实施例中的阵列TOF光源也可以通过对激光角度的设计，实现不同范围的扫描。比如，当阵列TOF光源投射出的光束的短边与相邻光束的短边相连时，实现360度全覆盖所需的EEL光源数量最少。当激光雷光源投射出的光束的长边与相邻光束的长边相连时，实现360度全覆盖所需的EEL光源数据最多，但覆盖面积最大。本实施例可以应用于各类监测装备，如无人机、移动机器人等，以实现对环境全方位的监测。

在部分实施例中，还可以将图4所示实施例与图5所示实施例相结合，以实现720度的全角度监控。具体地说，设置多排TOF光源，并且每一排的出光口均位于同一圆上，并且不同的圆尺寸不同。每一个TOF光源的朝向均不同。通过对多个TOF光源的朝向设计，使得多个TOF光源可以覆盖每个目标面的点。在本实施例中，经柱面透镜2发射出的光束不为矩形，而是两侧呈直线，上下呈椭球形，以使不同TOF光源发射出的光束可以完整覆盖整个空间。

在部分实施例中，还包括控制器，通过可寻址的驱动，控制每一个所述有源区处于点亮或者关闭状态。所述有源区依次点亮，且每次只点亮一个所述有源区。在一个发射周期内，所有所述有源区均会被点亮。有源区依次点亮是指有源区以非常小的时间间隔顺序点亮，而非指以相邻的顺序对有源区依次点亮。事实上，由于在较远的探测距离内，激光光束传播的时间被拉长，相邻的有源区如果在较短的时间内投射，可能会由于光溢出等原因导致数据接收端存在互相干扰。在本实施例中，有源区以不小于2的等差间隔依次点亮。比如，有源区从左到右依次编号为1，2，3，。。。20，以2为间隔，则点亮的顺序依次为1，3，5，7，9，11，13，15，17，19，2，4，6，8，10，12，14，16，18，20。可见，本实施例中在以等差间隔点亮完成一轮后，继续对未点亮的有源区进行等差间隔地点亮，直至所有有源区全部被点亮，以实现点亮过程的高效可控。

图6示出了一种激光脉冲时序示意图。图6上图中示出了多个发射周期。从图6上图中可以看出，在一个发射周期内，阵列TOF光源以脉冲群的方式进行发射。在图6上图中，一个发射周期为10ms，相邻两个发射周期的起始发射时间相隔100ms，即以第一次脉冲发射时间为0s，则后续脉冲发射时间依次为100ms,200ms,300ms。。。由于扫描顺序是固定的，这种扫描方式可以保证每个有源区的发射间隔与脉冲群周期是相同的，并且多个有源区的发射间隔都相同，从而保证扫描的稳定性。图6下图中示出了一个发射周期，即一个脉冲群。一个脉冲群由多个单脉冲组成，并且具有固定的间隔。从图6下图中可以看出，一个脉冲群中有20个单脉冲，单脉冲持续时间1ns，相邻脉冲间隔500ns。

图7示出了另一种柱面透镜的结构示意图。图7中的柱面透镜包含一反射面，以改变光束的方向。尽管图7中示出的柱面透镜将光束的方向改变了90度，本领域技术人员可以理解的是，本实施例可以通过改变反射面与入射光线的夹角实现光束任意角度的改变，比如30度、60度、80度、100度、120度、130度、150度等。在本实施例中，柱面透镜包含处理部和反射部。反射部包含一入射面和一反射面，用于改变光束的角度。入射面与光束方向垂直。反射部的高度不小于光束在柱面透镜处的高度，反射部的宽度不小于光束在柱面透镜处的宽度。处理部与反射部一体成形，使经反射部反射的光束通过并出射，用于实现对光束的准直、整形等。处理部的方向与经反射面后的光束的前进方向相同。本实施例可以实现激光光束出射角度的改变，并且可以实现任意角度的改变，从而可以实现多种情景下的应用，满足各类应用需求。

图8示出了一种阵列TOF发射端的结构示意图。相比于前述实施例，本实施例中，光束经过柱面透镜后，还依次穿过中间像面3和投射镜头4，最终投射在目标面5上。中间像面3用于对光束进行进一步整形，以使得成像效果更佳。中间像面3既可以是单一的光学元件，也可以是多个光学元件。中间像面3既可以是传统光学元件，又可以是超透镜等新型光学元件。投射镜头4用于将经过中间像面3的光斑成像到目标面5。从图8中可以看出，阵列TOF光源在目标面5上的面积随目标面与阵列TOF光源的距离增加而增加。相应地，在目标面上单位面积激光密度会下降。因此，需要根据不同的应用需求，选择相应工作距离的中间像面3和投射镜头4，以使得阵列TOF光源在工作距离下可以清楚地探测到目标对象的数据。

图9为本实用新型实施例中一种阵列TOF系统工作示意图。如图9所示，本实用新型实施例中一种阵列TOF系统包括阵列TOF光源和接收传感器；

所述阵列TOF光源为前述实施例中任一项所述的阵列TOF光源；

所述接收传感器与所述阵列TOF光源同步，接收激光的反射信号进行三维重建。

具体地说，阵列TOF光源依次点亮有源区，在一个发射周期内实现多次脉冲发射。而接收传感器与阵列TOF光源同步进行调整，以接收激光脉冲的反射信号。本实施例可以采用三种方式计算目标对象的深度，并进行三维重建：

第一，根据接收传感器接收到的信号与阵列TOF光源发射信号的时间差，利用光传播的时间差可以直接计算得到目标区域的深度值，进而可以进行三维重建。

第二，根据接收传感器接收到的信号与阵列TOF光源发射信号的时间差，利用光发射与接收的相位差可以间接计算得到目标区域的深度值，进而可以进行三维重建。

第三，根据发射的光斑图案的形变，利用视差原理，计算得到目标区域的深度值，进行可以进行三维重建。

由于本实施例中采用的阵列TOF光源可以探测远距离的目标，因此，本实施例可以实现对远、中、近距离的全覆盖监控。同时，由于本实施例中有源区依次点亮，并且依次获得不同区域的多张目标区域的信号，因此可以对不同有源区根据不同的深度信息进行不同的数据处理。比如，采用第一种方式对某有源区的数据计算得到的数据小于第一阈值(预设值)，则在第二次点亮该有源区时，采用第二或第三种方式计算，依次调节，直至所有有源区的数据处理方式与深度值符合预设区间。通过对有源区的单独处理，而非整个阵列TOF光源进行处理，使得调节更加精细，获得的数据更加准确，同时，相比于仅靠算法计算的方式，本实施例降低了对处理能力的消耗，提高了系统的稳定性与鲁棒性。

在一个发射周期内，可以探测完整目标区域301，但每次脉冲只覆盖较小目标区域302。多个较小目标区域302拼接在一起，构成完成目标区域301。d为目标区域与接收传感器中的传感器的距离，而非与接收传感器前端光学元件的距离。阵列TOF光源扫描的顺序可以是随机的，即有源区的工作顺序是随机的。接收传感器与阵列TOF光源同步工作。在有源区的工作顺序是随机的情况下，有源区的切换效率较高，转换较快，有利于提高效率，减小阵列TOF系统的计算负荷。

图10示出了一种激光投射器投射的光斑示意图。光束经过柱面透镜处理后，发射出的光斑呈特定的形状，如本实施例中的矩形。但是由于工艺及光学特性的原因，经柱面透镜出射的光斑并不能达到预期中的严格的矩形，而是在边缘处呈现逐渐扩散的形态。显然，在边缘处不均匀的光斑对于获得精确的结果是不利的。因此，本实施例中只取光斑较均匀的部分作为有效投射区域，而渐变区域视为无效投射区域。图10中方框内即为较均匀的区域，为有效区域。尽管图10中未出示，在部分实施例中，有效投射区域不为矩形，而是两侧呈直线，上下呈椭球形，以使不同TOF光源发射出的光束可以完整覆盖整个空间。

图11示出了一种传感器启用区域示意图。与图10相对应的，传感器只启用部分区域，并且启动的区域与EEL阵列激光器启用的区域对应，以过滤掉无效投射区域的信号，保证接收信号的质量。将接收传感器划分为n个子区域；其中，n为所述有源区的个数；所述子区域与所述有源区一一对应；当所述有源区工作时，只有与其对应的所述子区域工作。子区域面积占接收传感器面积的比例与有源区面积占EEL阵列激光器面积的比例相同。从另一方面看，由于无效投射区域的存在，依次点亮的有源区不能是相邻的，以规避无效投射区域的杂光干扰。由于有源区与子区域是一一对应的，相邻的有源区对应的子区域也相邻，因此，激光投射器投射时，依次启用的有源区不相邻，以保证数据质量。

图12为本实用新型实施例中几种光斑图案。图案设置在柱面透镜2接收光束的面上，并且与有源区一一对应。每个有源区对应的图案均不相同。图案不透明，以形成各类图案。各类图案优选形状较多、线条较细的方案，以使得通过的激光较多，照射的面积较大。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

以上对本实用新型的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本实用新型的实质内容。

Claims (10)

1.一种阵列TOF光源，其特征在于，包括EEL阵列激光器和一个柱面透镜；

所述EEL阵列激光器，内有多个有源区；多个所述有源区的出光口相邻排列，且多个所述有源区的阴极或阳极共用一个电极，阳极或阴极则是分开的；

所述柱面透镜，用于将所述EEL阵列激光器发出的光束在快轴方向准直；

多个所述有源区投射在所述柱面透镜上的区域没有重叠。

2.根据权利要求1所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，所述EEL阵列激光器的发光面位于所述柱面透镜的焦点。

3.根据权利要求1所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，还包括控制器；所述控制器通过可寻址的驱动，控制每一个所述有源区处于点亮或者关闭状态。

4.根据权利要求3所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，所述有源区依次点亮，且每次只点亮一个所述有源区。

5.根据权利要求3所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，在一个发射周期内，所有所述有源区均会被点亮。

6.根据权利要求1所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，多个所述有源区投射在所述柱面透镜上的区域上设置有不透明图案，并且多个所述不透明图案均不相同。

7.根据权利要求1所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，出射的光束为矩形。

8.根据权利要求1所述的一种阵列TOF光源，其特征在于，所述柱面透镜包含一反射面，以改变所述光束的方向。

9.一种阵列TOF系统，其特征在于，包括阵列TOF光源和接收传感器；

所述阵列TOF光源为权利要求1-8中任一项所述的阵列TOF光源；

所述接收传感器与所述阵列TOF光源同步，接收激光的反射信号进行三维重建。

10.根据权利要求9所述的一种阵列TOF系统，其特征在于，所述接收传感器划分为n个子区域；其中，n为所述有源区的个数；

所述子区域与所述有源区一一对应；

当所述有源区工作时，只有与其对应的所述子区域工作。

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