CN218866378U - 一种冷却液循环利用控温装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种冷却液循环利用控温装置，包括冷却箱和第二液位开关，所述冷却箱顶面通过支腿固定安装有补充箱。有益效果：第一液位开关控制电磁阀的启闭，第二液位开关安装在设备冷却液存储箱内，当设备冷却液存储箱内部液位较低时，第二液位开关触发，打开第二水泵，第二水泵抽出回温箱中的冷却液，对设备冷却液存储箱进行补液，避免冷却液过少，同时，当冷却箱内部液位较低时，第一液位开关触发，打开电磁阀，位于补充箱内部的冷却液补充进入到冷却箱中，避免冷却箱和回温箱内部液位过低而引起冷却液循环故障的问题，维持冷却液稳定循环，且本装置控制原理简单，控制设备投入量少，成本更加低廉，使用更加方便。

Description

一种冷却液循环利用控温装置

技术领域

本实用新型涉及电子及半导体设备制造技术领域，具体来说，涉及一种冷却液循环利用控温装置。

背景技术

在电子及半导体设备制造过程中，需要进行严格的温度控制，在维持所需温度的过程中，需要提供一定的制冷量，抵消工艺过程中的热负荷，温控系统作为电子及半导体制造的辅助设备，通常通过制冷系统、循坏管路及储水装置提供冷却液，用以准确控制输出温度。

经过检索后发现，公开号为CN217330366U，名称为冷却液供给装置及温控系统，该申请提出了现有的技术方案通常仅包括一个冷却液储存箱，该冷却液储存箱与制冷系统、工艺设备相连通，形成循环回路，在温控设备运行的过程中，循环管路内的循环液体会慢慢减少，需要及时补液。而循环液减少需要补充时，每次补液需要发送命令到刻蚀工艺设备端，补液效率低的问题，通过通过第一液体容器与工艺设备、制冷装置相连通，形成循环回路，由第一液体容器为工艺设备提供冷却液，通过第二液体容器为第一液体容器补液，从而减少第一液体容器需要补液时与工艺设备端通信所需的确认次数和等待时间。再通过第二液体容器及时补充存储可循环利用的冷却液，相当于为温控系统增设了缓冲区，提高了补液效率，同时，增设了第二液体容器储存可循环利用的冷却液，提高了温控系统的运行时间，通过压力、温度、流量传感器实时采集信号，可编程控制器(PLC)程序精确控制，避免了自动补液时发生液体外漏。第二液体容器与工艺设备端通信，请求补液，减少了组成冷却液循环回路的第一液体容器直接与工艺设备端通信与信息确认的时间，避免了冷却液不足，影响工艺过程，但是，该申请补液温控控制结构较为复杂，需要安装多个传感器和电磁阀，并安装控制单元，控制形式复杂，不够简单高效，还可以进一步作出改进。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种冷却液循环利用控温装置，具备控制结构简单、生产使用方便的优点，进而解决上述背景技术中的问题。

(二)技术方案

为实现上述控制结构简单、生产使用方便的优点，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种冷却液循环利用控温装置，包括冷却箱和第二液位开关，所述冷却箱顶面通过支腿固定安装有补充箱，且补充箱通过连接管与冷却箱贯通连接，并且补充箱表面安装有电磁阀，所述冷却箱内部安装有第一液位开关，且第一液位开关输出端与电磁阀电性连接，所述冷却箱内部架设有换热管，且冷却箱一侧安装有回温箱，并且回温箱内部固定安装有恒温加热棒，所述回温箱底面通过连通管与冷却箱底面贯通连接，且回温箱上部一侧表面贯通连接有第一水泵，并且第一水泵输出端贯通连接有冷却液出管，所述回温箱上部一侧表面位于第一水泵下方贯通连接有第二水泵，且第二水泵输出端贯通连接有补充管，所述冷却箱上部另一侧表面贯通连接有冷却液进管，所述第二液位开关安装在设备冷却液存储箱内，且第二液位开关输出端与第二水泵电性连接。

进一步的，所述回温箱顶面中心位置固定安装有搅拌电机，且回温箱内部设置有搅拌桨，并且搅拌桨顶面贯穿回温箱与搅拌电机输出端连接。

进一步的，所述恒温加热棒设置有多个，且恒温加热棒布置在搅拌桨外侧。

进一步的，所述补充管和冷却液出管另一端均与设备冷却液存储箱贯通连接。

进一步的，所述连通管表面安装有单向阀，且单向阀方向为冷却液流入到回温箱中的方向。

进一步的，所述换热管一端贯通连接有换热介质进管，且换热管另一端贯通连接有换热介质出管，并且换热介质出管和换热介质进管分别接通换热介质循环冷却设备输入端和输出端。

进一步的，所述补充箱顶面贯通连接有补液口。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种冷却液循环利用控温装置，具备以下有益效果：

(1)、本实用新型采用了第一液位开关和第二液位开关，第一液位开关控制电磁阀的启闭，第二液位开关安装在设备冷却液存储箱内，监测设备冷却液存储箱的冷却液液位，在进行冷却液循环，冷却液从设备中流出后，经冷却液进管进入到冷却箱中，换热管内部通入换热介质，通过热交换为冷却液降温，降温后的冷却液通过连通管进入到回温箱中，经过恒温加热棒二次升温至合适温度后由第一水泵泵送回设备冷却液存储箱内，完成连续冷却液循环利用，同时，当设备冷却液存储箱内部液位较低时，第二液位开关触发，打开第二水泵，第二水泵抽出回温箱中的冷却液，对设备冷却液存储箱进行补液，避免冷却液过少，同时，当冷却箱内部液位较低时，第一液位开关触发，打开电磁阀，位于补充箱内部的冷却液补充进入到冷却箱中，避免冷却箱和回温箱内部液位过低而引起冷却液循环故障的问题，维持冷却液稳定循环，且本装置控制原理简单，控制设备投入量少，成本更加低廉，使用更加方便。

(2)、本实用新型采用了搅拌桨和搅拌电机，在冷却液进行二次升温时，工作人员可打开搅拌电机，搅拌电机带动搅拌桨转动，使位于回温箱内部的冷却液能够快速的混合，避免加热不均匀的情况发生，提高了冷却液二次升温的均匀性和效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提出的一种冷却液循环利用控温装置的结构示意图；

图2是本实用新型提出的一种冷却液循环利用控温装置的主视图；

图3是本实用新型提出的一种冷却液循环利用控温装置的外部结构示意图；

图4是本实用新型提出的一种冷却液循环利用控温装置的工作原理图。

图中：

1、冷却箱；2、补充箱；3、回温箱；4、换热管；5、冷却液进管；6、换热介质进管；7、换热介质出管；8、第一液位开关；9、支腿；10、补液口；11、连接管；12、电磁阀；13、搅拌电机；14、恒温加热棒；15、搅拌桨；16、连通管；17、单向阀；18、第一水泵；19、冷却液出管；20、第二水泵；21、补充管；22、第二液位开关。

具体实施方式

为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图，这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。

根据本实用新型的实施例，提供了一种冷却液循环利用控温装置。

现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明，如图1-4所示，根据本实用新型实施例的一种冷却液循环利用控温装置，包括冷却箱1和第二液位开关22，冷却箱1顶面通过支腿9固定安装有补充箱2，且补充箱2通过连接管11与冷却箱1贯通连接，连接管11两端分别贯通连接补充箱2和冷却箱1，并且补充箱2表面安装有电磁阀12，冷却箱1内部安装有第一液位开关8，且第一液位开关8输出端与电磁阀12电性连接，为常见控制结构，冷却箱1内部架设有换热管4，其中，换热管4一端贯通连接有换热介质进管6，且换热管4另一端贯通连接有换热介质出管7，并且换热介质出管7和换热介质进管6分别接通换热介质循环冷却设备输入端和输出端，换热介质可以是水或者其他导热系数好的液体，换热介质循环冷却设备可以是工业冷水机，且冷却箱1一侧安装有回温箱3，并且回温箱3内部固定安装有恒温加热棒14，通过二次升温避免冷却液温度过低影响电子及半导体设备生产，回温箱3底面通过连通管16与冷却箱1底面贯通连接，形成连通器结构，保证回温箱3液位不低于冷却箱1，且回温箱3上部一侧表面贯通连接有第一水泵18，并且第一水泵18输出端贯通连接有冷却液出管19，回温箱3上部一侧表面位于第一水泵18下方贯通连接有第二水泵20，且第二水泵20输出端贯通连接有补充管21，冷却箱1内部液位高于第一水泵18进水高度，冷却箱1上部另一侧表面贯通连接有冷却液进管5，第二液位开关22安装在设备冷却液存储箱内，且第二液位开关22输出端与第二水泵20电性连接，图中未详细示出，第一液位开关8控制电磁阀12的启闭，第二液位开关22安装在设备冷却液存储箱内，监测设备冷却液存储箱的冷却液液位，在进行冷却液循环，冷却液从设备中流出后，经冷却液进管5进入到冷却箱1中，换热管4内部通入换热介质，通过热交换为冷却液降温，降温后的冷却液通过连通管16进入到回温箱3中，经过恒温加热棒14二次升温至合适温度后由第一水泵18泵送回设备冷却液存储箱内，完成连续冷却液循环利用，同时，当设备冷却液存储箱内部液位较低时，第二液位开关22触发，打开第二水泵20，第二水泵20抽出回温箱3中的冷却液，对设备冷却液存储箱进行补液，避免冷却液过少，同时，当冷却箱1内部液位较低时，第一液位开关8触发，打开电磁阀12，位于补充箱2内部的冷却液补充进入到冷却箱1中，避免冷却箱1和回温箱3内部液位过低而引起冷却液循环故障的问题，维持冷却液稳定循环，且本装置控制原理简单，控制设备投入量少，成本更加低廉，使用更加方便。

在一个实施例中，回温箱3顶面中心位置固定安装有搅拌电机13，且回温箱3内部设置有搅拌桨15，并且搅拌桨15顶面贯穿回温箱3与搅拌电机13输出端连接，在冷却液进行二次升温时，工作人员可打开搅拌电机13，搅拌电机13带动搅拌桨15转动，使位于回温箱3内部的冷却液能够快速的混合，避免加热不均匀的情况发生，提高了冷却液二次升温的均匀性和效率。

在一个实施例中，恒温加热棒14设置有多个，且恒温加热棒14布置在搅拌桨15外侧，避免影响搅拌桨15工作。

在一个实施例中，补充管21和冷却液出管19另一端均与设备冷却液存储箱贯通连接，便于回流冷却液。

在一个实施例中，连通管16表面安装有单向阀17，且单向阀17方向为冷却液流入到回温箱3中的方向，避免二次加热后的冷却液回流入冷却箱1中。

在一个实施例中，补充箱2顶面贯通连接有补液口10，便于向补充箱2内部添加冷却液。

工作原理：

第一液位开关8控制电磁阀12的启闭，第二液位开关22安装在设备冷却液存储箱内，监测设备冷却液存储箱的冷却液液位，在进行冷却液循环，冷却液从设备中流出后，经冷却液进管5进入到冷却箱1中，换热管4内部通入换热介质，通过热交换为冷却液降温，降温后的冷却液通过连通管16进入到回温箱3中，经过恒温加热棒14二次升温至合适温度后由第一水泵18泵送回设备冷却液存储箱内，完成连续冷却液循环利用，同时，当设备冷却液存储箱内部液位较低时，第二液位开关22触发，打开第二水泵20，第二水泵20抽出回温箱3中的冷却液，对设备冷却液存储箱进行补液，避免冷却液过少，同时，当冷却箱1内部液位较低时，第一液位开关8触发，打开电磁阀12，位于补充箱2内部的冷却液补充进入到冷却箱1中，避免冷却箱1和回温箱3内部液位过低而引起冷却液循环故障的问题，维持冷却液稳定循环，且本装置控制原理简单，控制设备投入量少，成本更加低廉，使用更加方便。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，包括冷却箱(1)和第二液位开关(22)，所述冷却箱(1)顶面通过支腿(9)固定安装有补充箱(2)，且补充箱(2)通过连接管(11)与冷却箱(1)贯通连接，并且补充箱(2)表面安装有电磁阀(12)，所述冷却箱(1)内部安装有第一液位开关(8)，且第一液位开关(8)输出端与电磁阀(12)电性连接，所述冷却箱(1)内部架设有换热管(4)，且冷却箱(1)一侧安装有回温箱(3)，并且回温箱(3)内部固定安装有恒温加热棒(14)，所述回温箱(3)底面通过连通管(16)与冷却箱(1)底面贯通连接，且回温箱(3)上部一侧表面贯通连接有第一水泵(18)，并且第一水泵(18)输出端贯通连接有冷却液出管(19)，所述回温箱(3)上部一侧表面位于第一水泵(18)下方贯通连接有第二水泵(20)，且第二水泵(20)输出端贯通连接有补充管(21)，所述冷却箱(1)上部另一侧表面贯通连接有冷却液进管(5)，所述第二液位开关(22)安装在设备冷却液存储箱内，且第二液位开关(22)输出端与第二水泵(20)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述回温箱(3)顶面中心位置固定安装有搅拌电机(13)，且回温箱(3)内部设置有搅拌桨(15)，并且搅拌桨(15)顶面贯穿回温箱(3)与搅拌电机(13)输出端连接。

3.根据权利要求2所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述恒温加热棒(14)设置有多个，且恒温加热棒(14)布置在搅拌桨(15)外侧。

4.根据权利要求1所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述补充管(21)和冷却液出管(19)另一端均与设备冷却液存储箱贯通连接。

5.根据权利要求1所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述连通管(16)表面安装有单向阀(17)，且单向阀(17)方向为冷却液流入到回温箱(3)中的方向。

6.根据权利要求1所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述换热管(4)一端贯通连接有换热介质进管(6)，且换热管(4)另一端贯通连接有换热介质出管(7)，并且换热介质出管(7)和换热介质进管(6)分别接通换热介质循环冷却设备输入端和输出端。

7.根据权利要求1所述的一种冷却液循环利用控温装置，其特征在于，所述补充箱(2)顶面贯通连接有补液口(10)。

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