CN218837088U - 一种大尺寸晶圆研磨机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种大尺寸晶圆研磨机，包括固定台，所述固定台下端的四角处均设置有支撑柱，所述固定台的上方设置有固定架，且固定架下端的两侧与固定台焊接固定，所述固定架上端的中间位置处设置有伸缩机构，所述伸缩机构的输出端设置有转动机构，所述转动机构的下端设置有研磨轮，还包括调节块，其设置在所述固定台上端的两侧，所述调节块的内部均转动设置有双螺纹传动杆，所述双螺纹传动杆的一端均焊接有转轴，所述转轴的一端均贯穿并延伸至调节块的外部，且转轴均与调节块转动连接。该大尺寸晶圆研磨机可以通过调节控制四个夹持块彼此间的距离，从而对晶圆进行横向与纵向的夹持，进而适应大尺寸的晶圆，方便日常的使用。

Description

一种大尺寸晶圆研磨机

技术领域

本实用新型涉及晶圆研磨机技术领域，具体为一种大尺寸晶圆研磨机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，通过研磨机对晶圆进行转动研磨，对晶圆进行减薄，从而使得晶圆的厚度满足生产需要。

现有公告号为CN208391781U的中国专利公开了一种防震型晶圆研磨机，包括晶圆研磨机本体，晶圆研磨机本体的上表面设置有研磨座，研磨座固定在晶圆研磨机本体的上表面，研磨座的内部设置有转轮，转轮的外表面设置有清洁刷，研磨座的内部开设有碎屑排放管，碎屑排放管贯穿晶圆研磨机本体的内部并延伸至晶圆研磨机本体的底部。

上述方案虽然可以提高晶圆研磨的效率，降低晶圆研磨的时间，但是该研磨机的晶圆槽尺寸固定，而需要打磨的晶圆有大小之分，对于大尺寸的晶圆其无法放入，导致影响正常的研磨，从而使用不方便，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种大尺寸晶圆研磨机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种大尺寸晶圆研磨机，以解决上述背景技术中提出的晶圆研磨机晶大尺寸晶圆放入麻烦导致使用不方便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大尺寸晶圆研磨机，包括固定台，所述固定台下端的四角处均设置有支撑柱，所述固定台的上方设置有固定架，且固定架下端的两侧与固定台焊接固定，所述固定架上端的中间位置处设置有伸缩机构，所述伸缩机构的输出端设置有转动机构，所述转动机构的下端设置有研磨轮；

还包括调节块，其设置在所述固定台上端的两侧，所述调节块的内部均转动设置有双螺纹传动杆，所述双螺纹传动杆的一端均焊接有转轴，所述转轴的一端均贯穿并延伸至调节块的外部，且转轴均与调节块转动连接，所述双螺纹传动杆前后端的外部均通过螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的一侧均焊接有限位块，所述螺纹套的另一侧均焊接有夹持块，所述夹持块的一端均贯穿并延伸至调节块的外部，且夹持块均与调节块滑动配合；

还包括传动腔，其开设在所述固定台内部的两侧，所述传动腔的内部均设置有滑块，所述传动腔内部的前后侧均焊接有滑杆，所述滑杆均贯穿滑块的一端，且滑杆均与滑块滑动配合，所述滑块的上方均焊接有三个等距分布的连接块，所述滑块的一侧均焊接有拉杆，所述连接块和拉杆的一端均延伸至传动腔的外部，且拉杆和连接块均与传动腔滑动配合，所述连接块位于传动腔外部的一端均与调节块固定连接。

优选的，所述滑杆的外部均套设有复位弹簧，且复位弹簧的一端均与滑块相连接。

优选的，所述双螺纹传动杆的一侧均固定设置有导向杆，所述导向杆均贯穿限位块，且导向杆均与限位块滑动配合。

优选的，所述夹持块位于调节块外部的一端均粘连固定有弧形夹板，且弧形夹板的弧面均为四分之一圆。

优选的，所述转轴位于调节块外部的一端均焊接有防滑块。

优选的，所述调节块的前侧均通过阻尼转轴转动设置有防误触盖。

优选的，所述拉杆位于传动腔外部的一端均固定设置有拉板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在固定台内部的两侧开设有传动腔，通过拉动拉杆可以使滑块在滑杆上滑动且挤压复位弹簧，在复位弹簧的弹性复原作用下可以带动滑块移动，通过滑块带动连接块使调节块进行水平的移动，从而可以改变两侧弧形夹板之间的距离，从而可以适应大尺寸的晶圆，对大尺寸的晶圆进行横向的夹持，全程只需拉动拉杆即可，方便使用。

2、本实用新型通过在调节块的一侧设置有弧形夹板，弧形夹板的弧面为四分之一圆，通过转动防滑块即可使双螺纹传动杆带动螺纹套进行移动，通过螺纹套可以使两个弧形夹板进行相反或相向的移动，从而可以对大尺寸的晶圆进行纵向的夹持，全程只需转动防滑块即可，方便使用。

3、本实用新型通过在调节块的前侧通过阻尼转轴转动设置有防误触盖，当进行研磨时，通过关闭防误触盖可以有效的表面对防滑块的误触，从而避免了弧形夹板的脱松意外。

附图说明

图1为本实用新型的内部结构正视图；

图2为本实用新型的调节块内部结构俯视图；

图3为本实用新型的固定台内部结构俯视图；

图4为本实用新型的图1中A区域局部放大图。

图中：1、固定台；2、固定架；3、伸缩机构；4、转动机构；5、研磨轮；6、调节块；7、双螺纹传动杆；8、螺纹套；9、限位块；10、转轴；11、导向杆；12、夹持块；13、弧形夹板；14、防误触盖；15、防滑块；16、传动腔；17、拉杆；18、滑杆；19、复位弹簧；20、滑块；21、连接块；22、拉板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种大尺寸晶圆研磨机，包括固定台1，固定台1下端的四角处均设置有支撑柱，固定台1的上方设置有固定架2，且固定架2下端的两侧与固定台1焊接固定，固定架2上端的中间位置处设置有伸缩机构3，伸缩机构3的输出端设置有转动机构4，转动机构4的下端设置有研磨轮5；

还包括调节块6，其设置在固定台1上端的两侧，调节块6的内部均转动设置有双螺纹传动杆7，双螺纹传动杆7的一端均焊接有转轴10，转轴10的一端均贯穿并延伸至调节块6的外部，且转轴10均与调节块6转动连接，双螺纹传动杆7前后端的外部均通过螺纹连接有螺纹套8，螺纹套8的一侧均焊接有限位块9，螺纹套8的另一侧均焊接有夹持块12，夹持块12的一端均贯穿并延伸至调节块6的外部，且夹持块12均与调节块6滑动配合；

还包括传动腔16，其开设在固定台1内部的两侧，传动腔16的内部均设置有滑块20，传动腔16内部的前后侧均焊接有滑杆18，滑杆18均贯穿滑块20的一端，且滑杆18均与滑块20滑动配合，滑块20的上方均焊接有三个等距分布的连接块21，滑块20的一侧均焊接有拉杆17，连接块21和拉杆17的一端均延伸至传动腔16的外部，且拉杆17和连接块21均与传动腔16滑动配合，连接块21位于传动腔16外部的一端均与调节块6固定连接。该大尺寸晶圆研磨机通过复位弹簧19的弹性复原作用会带动滑块20移动，滑块20移动会通过连接块21使调节块6朝大尺寸的晶圆进行移动，从而通过带动弧形夹板13可以对大尺寸的晶圆进行横向的夹持，手持防滑块15转动会带动转轴10同步的转动，从而使双螺纹传动杆7带动螺纹套8同步的转动，在导向杆11的限位导向作用下可以对螺纹套8的轴向进行限位，从而使两个螺纹套8进行相反或相向的水平的直线运动，螺纹套8移动会带动夹持块12使弧形夹板13同步的移动，从而可以带动两个弧形夹板13对大尺寸的晶圆进行纵向的夹持，通过横向与纵向的夹持，可以适应大尺寸的晶圆，从而方便日常的使用。

请参阅图2、图3和图4，滑杆18的外部均套设有复位弹簧19，且复位弹簧19的一端均与滑块20相连接，在复位弹簧19的弹性复原作用下会带动滑块20位置复原；

请参阅图1和图2，双螺纹传动杆7的一侧均固定设置有导向杆11，导向杆11均贯穿限位块9，且导向杆11均与限位块9滑动配合，限位块9受到导向杆11的限位导向，可以对螺纹套8的轴向进行限位，从而使两个螺纹套8进行相反或相向的水平的直线运动；

请参阅图1和图2，夹持块12位于调节块6外部的一端均粘连固定有弧形夹板13，且弧形夹板13的弧面均为四分之一圆，通过弧形夹板13可以对大尺寸晶圆进行夹持；

请参阅图2，转轴10位于调节块6外部的一端均焊接有防滑块15，防滑块15外壁开设有防滑条纹，可以避免转动转轴10时打滑；

请参阅图2，调节块6的前侧均通过阻尼转轴转动设置有防误触盖14，防误触盖14的设置避免了防滑块15转动导致两个弧形夹板13纵向夹持的松动；

请参阅图1、图2和图3，拉杆17位于传动腔16外部的一端均固定设置有拉板22，通过拉板22可以方便拉动拉杆17。

工作原理：使用时，手持拉板22带动拉杆17，拉杆17可以带动滑块20在滑杆18上滑动且挤压复位弹簧19，将大尺寸的晶圆放置在两个调节块6之间，松开拉板22，在复位弹簧19的弹性复原作用下会带动滑块20位置复原，滑块20移动会通过连接块21使调节块6朝大尺寸的晶圆进行移动，从而通过带动弧形夹板13可以对大尺寸的晶圆进行横向的夹持，适应大尺寸的晶圆，此时通过阻尼转轴打开防滑块15，手持防滑块15进行转动，防滑块15转动会带动转轴10同步的转动，转轴10会带动双螺纹传动杆7转动，双螺纹传动杆7与螺纹套8螺纹连接，故可以使螺纹套8同步的转动，而螺纹套8与限位块9焊接固定，由于限位块9受到导向杆11的限位导向，故可以对螺纹套8的轴向进行限位，从而使两个螺纹套8进行相反或相向的水平的直线运动，螺纹套8移动会带动夹持块12同步的一端，而夹持块12的一端粘连固定有弧形夹板13，故可以带动两个弧形夹板13对大尺寸的晶圆进行纵向的夹持，通过横向与纵向的夹持，可以适应大尺寸的晶圆，从而方便日常的使用，最后通过启动伸缩机构3带动转动机构4下移，启动转动机构4带动其下端的研磨轮5旋转，从而对固定好的大尺寸晶圆进行研磨，研磨时通过阻尼转轴可以将防误触盖14与调节块6接触闭合，从而避免了防滑块15转动导致两个弧形夹板13纵向夹持的松动。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种大尺寸晶圆研磨机，包括固定台(1)，所述固定台(1)下端的四角处均设置有支撑柱，所述固定台(1)的上方设置有固定架(2)，且固定架(2)下端的两侧与固定台(1)焊接固定，所述固定架(2)上端的中间位置处设置有伸缩机构(3)，所述伸缩机构(3)的输出端设置有转动机构(4)，所述转动机构(4)的下端设置有研磨轮(5)，其特征在于：

还包括调节块(6)，其设置在所述固定台(1)上端的两侧，所述调节块(6)的内部均转动设置有双螺纹传动杆(7)，所述双螺纹传动杆(7)的一端均焊接有转轴(10)，所述转轴(10)的一端均贯穿并延伸至调节块(6)的外部，且转轴(10)均与调节块(6)转动连接，所述双螺纹传动杆(7)前后端的外部均通过螺纹连接有螺纹套(8)，所述螺纹套(8)的一侧均焊接有限位块(9)，所述螺纹套(8)的另一侧均焊接有夹持块(12)，所述夹持块(12)的一端均贯穿并延伸至调节块(6)的外部，且夹持块(12)均与调节块(6)滑动配合；

还包括传动腔(16)，其开设在所述固定台(1)内部的两侧，所述传动腔(16)的内部均设置有滑块(20)，所述传动腔(16)内部的前后侧均焊接有滑杆(18)，所述滑杆(18)均贯穿滑块(20)的一端，且滑杆(18)均与滑块(20)滑动配合，所述滑块(20)的上方均焊接有三个等距分布的连接块(21)，所述滑块(20)的一侧均焊接有拉杆(17)，所述连接块(21)和拉杆(17)的一端均延伸至传动腔(16)的外部，且拉杆(17)和连接块(21)均与传动腔(16)滑动配合，所述连接块(21)位于传动腔(16)外部的一端均与调节块(6)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆研磨机，其特征在于：所述滑杆(18)的外部均套设有复位弹簧(19)，且复位弹簧(19)的一端均与滑块(20)相连接。

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆研磨机，其特征在于：所述双螺纹传动杆(7)的一侧均固定设置有导向杆(11)，所述导向杆(11)均贯穿限位块(9)，且导向杆(11)均与限位块(9)滑动配合。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆研磨机，其特征在于：所述夹持块(12)位于调节块(6)外部的一端均粘连固定有弧形夹板(13)，且弧形夹板(13)的弧面均为四分之一圆。

5.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆研磨机，其特征在于：所述转轴(10)位于调节块(6)外部的一端均焊接有防滑块(15)。

6.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆研磨机，其特征在于：所述调节块(6)的前侧均通过阻尼转轴转动设置有防误触盖(14)。

7.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆研磨机，其特征在于：所述拉杆(17)位于传动腔(16)外部的一端均固定设置有拉板(22)。

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