CN218835378U - 一种便于快速移动的清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶圆清洗装置技术领域，尤其涉及一种便于快速移动的清洗装置。提出如下技术方案：包括箱体，所述箱体的内部设置有清洗槽体，所述清洗槽体的内部分为两个清洗区，两个清洗区的上端均转动连接有盖体，所述清洗槽体的一侧滑动连接有U形连接板，所述U形连接板的底端设置有水平传动机构，所述垂直传动机构包括固定连接在清洗框一侧的L形连接杆，所述清洗槽体的一侧开设有供L形连接杆滑动的倒U形通槽。本实用新型通过设置垂直传动机构与水平传动机构，在使用的时候可以在清洗槽内转换清洗区，使酸洗后的晶圆不与空气接触，不会在清洗的过程中对晶圆造成损坏，并且提高了清洗的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆清洗装置技术领域，尤其涉及一种便于快速移动的清洗装置。
背景技术
晶圆在生产加工的时候需要对其进行清洗，因此需要使用到清洗装置，晶圆在清洗的时候需要将其浸泡在酸液槽内，浸泡一段时间后然后再将其转移到另一个清洗槽进行再次清洗，现有技术中清洗装置在清洗的时候，需要将浸泡好的晶圆取出，晶圆在酸液中浸泡后取出漏在空气中时间过长，会与空气中的物质发生反应，在清洗转移的过程中很容易对晶圆造成损坏，不利于清洗的顺利进行，鉴于此，我们提出一种便于快速移动的清洗装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对背景技术中存在的问题，提出一种便于快速移动的清洗装置。
本实用新型的技术方案：一种便于快速移动的清洗装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有清洗槽体，所述清洗槽体的内部分为两个清洗区，两个清洗区的上端均转动连接有盖体，所述清洗槽体的一侧滑动连接有U形连接板，所述清洗槽体的内部设置有清洗框，所述清洗框与U形连接板之间通过垂直传动机构传动连接，所述U形连接板的底端设置有水平传动机构，所述垂直传动机构包括固定连接在清洗框一侧的L形连接杆，所述清洗槽体的一侧开设有供L形连接杆滑动的倒U形通槽，所述箱体的上端设置有两个进液罩，两个所述进液罩分别与两个清洗区通过管道连接。
优选的，两个清洗区通过隔板隔开，所述隔板的顶端低于倒U形通槽的底端。
优选的，所述垂直传动机构包括转动连接在U形连接板内侧的丝杆一，所述U形连接板的顶端安装有电机一，所述电机一的输出轴与丝杆一的一端固定连接，所述丝杆一的外侧套设有传动块一，所述L形连接杆的外端与传动块一固定连接，所述U形连接板的内表面开设有供传动块一滑动的导向槽。
优选的，所述水平传动机构保证安装在箱体下端一侧的电机二，所述电机二的输出轴固定连接有丝杆二，所述U形连接板的底端固定连接有套块，所述套块螺纹套设在丝杆二的外侧。
优选的，所述U形连接板的外侧固定连接有导向块，所述箱体的一侧内壁开设有供导向块滑动的滑槽。
优选的，所述箱体的两侧均连接有排液管，两个排液管上均设置有阀门，两个所述排液管的内端分别延伸至两个清洗区内。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益的技术效果：
1、通过在清洗槽体的内部设置两个清洗区，在清洗槽体的一侧开设倒U形通槽，在清洗框的一端设置垂直传动机构，在U形连接板的底部设置水平传动机构，在垂直传动机构与水平传动机构配合下可以使清洗框不离开清洗槽体就能转移清洗区，整个清洗的过程中晶圆在转移清洗区的时候不需要取出，从而晶圆不会与空气接触，能够对晶圆起到保护，且提高了清洗的效率；
2、通过在箱体的上端一侧设置两个进液罩，两个进液罩分别与两个清洗区之间通过管道连通，在清洗的时候方便加入清洗液，需要打开盖体，避免在酸洗的过程中晶圆与空气反应。
附图说明
图1是一种便于快速移动的清洗装置的立体图；
图2是图1中清洗槽体的结构示意图；
图3是本实用新型中垂直传动机构与水平传动机构的结构示意图。
附图标记：1、箱体；2、清洗槽体；3、U形连接板；4、进液罩；5、盖体；6、排液管；7、清洗框；8、垂直传动机构；801、丝杆一；802、传动块一；803、L形连接杆；804、电机一；9、水平传动机构；901、电机二；902、丝杆二；903、套块；904、导向块；10、倒U形通槽。
具体实施方式
下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。
实施例
如图1-3所示，本实用新型提出的一种便于快速移动的清洗装置，包括箱体1，箱体1的内部设置有清洗槽体2，清洗槽体2的内部分为两个清洗区，两个清洗区的上端均转动连接有盖体5，清洗槽体2的一侧滑动连接有U形连接板3，清洗槽体2的内部设置有清洗框7，清洗框7与U形连接板3之间通过垂直传动机构8传动连接，U形连接板3的底端设置有水平传动机构9，垂直传动机构8包括固定连接在清洗框7一侧的L形连接杆803，清洗槽体2的一侧开设有供L形连接杆803滑动的倒U形通槽10，箱体1的上端设置有两个进液罩4，两个进液罩4分别与两个清洗区通过管道连接，可以在进液罩4内加入清洗液，液体通过相对应的管道流入清洗槽体2内；两个清洗区通过隔板隔开，隔板的顶端低于倒U形通槽10的底端，当清洗框7向上提起后清洗框7的底端高于倒U形通槽10的底端，从而清洗框7的底端高于隔板的高度，能够顺利的移动到另一个清洗区；箱体1的两侧均连接有排液管6，两个排液管6上均设置有阀门，两个排液管6的内端分别延伸至两个清洗区内，能够排出两个清洗区内的清洗液；
具体地，垂直传动机构8包括转动连接在U形连接板3内侧的丝杆一801，U形连接板3的顶端安装有电机一804，电机一804的输出轴与丝杆一801的一端固定连接，丝杆一801的外侧套设有传动块一802，L形连接杆803的外端与传动块一802固定连接，U形连接板3的内表面开设有供传动块一802滑动的导向槽，对传动块一802起到导向的作用，使传动块一802垂直向上或向下移动；水平传动机构9保证安装在箱体1下端一侧的电机二901，电机二901的输出轴固定连接有丝杆二902，丝杆二902的另一端与箱体1的另一侧内壁转动连接，U形连接板3的底端固定连接有套块903，套块903螺纹套设在丝杆二902的外侧；U形连接板3的外侧固定连接有导向块904，箱体1的一侧内壁开设有供导向块904滑动的滑槽，对U形连接板3与套块903导向支撑。
具体使用时，清洗晶圆的时候打开启动一个盖体5，将晶圆放置于清洗框7内，然后在将对应的清洗区加入酸液，对清洗框7内部的晶圆浸泡，当晶圆浸泡达到一定的时间后，启动电机一804带动丝杆一801转动，丝杆一801转动带动传动块一802向上移动，传动块一802向上移动通过L形连接杆803带动清洗框7向上移动，直至L形连接杆803与倒U形通槽10的上端内壁接触，然后关闭电机一804启动电机二901，电机二901的输出轴转动带动丝杆二902转动，丝杆二902转动带动套块903向另一侧清洗区的方向移动，直至L形连接杆803与倒U形通槽10的另一侧内壁接触，然后关闭电机二901启动电机一804，电机一804的输出轴反向转动带动丝杆一801反向转动，从而带动传动块一802向下移动，最后通过L形连接杆803带动清洗框7向下移动，落在另一个清洗区的底部，通过相对应的进液罩4向另一个清洗区加入清洗液，清洗完成后打开两个排液管6上的阀门将清洗区的液体排出，然后打开盖体5将清洗好的晶圆取出，整个清洗的过程中晶圆在转移清洗区的时候不需要取出，从而晶圆不会与空气接触，能够对晶圆起到保护，且提高了清洗的效率。
上述具体实施例仅仅是本实用新型优选的实施例，基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。
Claims (6)
1.一种便于快速移动的清洗装置，包括箱体（1），所述箱体（1）的内部设置有清洗槽体（2），其特征在于：
所述清洗槽体（2）的内部分为两个清洗区，两个清洗区的上端均转动连接有盖体（5），所述清洗槽体（2）的一侧滑动连接有U形连接板（3），所述清洗槽体（2）的内部设置有清洗框（7），所述清洗框（7）与U形连接板（3）之间通过垂直传动机构（8）传动连接，所述U形连接板（3）的底端设置有水平传动机构（9），所述垂直传动机构（8）包括固定连接在清洗框（7）一侧的L形连接杆（803），所述清洗槽体（2）的一侧开设有供L形连接杆（803）滑动的倒U形通槽（10），所述箱体（1）的上端设置有两个进液罩（4），两个所述进液罩（4）分别与两个清洗区通过管道连接。
2.根据权利要求1所述的一种便于快速移动的清洗装置，其特征在于，两个清洗区通过隔板隔开，所述隔板的顶端低于倒U形通槽（10）的底端。
3.根据权利要求2所述的一种便于快速移动的清洗装置，其特征在于，所述垂直传动机构（8）包括转动连接在U形连接板（3）内侧的丝杆一（801），所述U形连接板（3）的顶端安装有电机一（804），所述电机一（804）的输出轴与丝杆一（801）的一端固定连接，所述丝杆一（801）的外侧套设有传动块一（802），所述L形连接杆（803）的外端与传动块一（802）固定连接，所述U形连接板（3）的内表面开设有供传动块一（802）滑动的导向槽。
4.根据权利要求1所述的一种便于快速移动的清洗装置，其特征在于，所述水平传动机构（9）保证安装在箱体（1）下端一侧的电机二（901），所述电机二（901）的输出轴固定连接有丝杆二（902），所述U形连接板（3）的底端固定连接有套块（903），所述套块（903）螺纹套设在丝杆二（902）的外侧。
5.根据权利要求4所述的一种便于快速移动的清洗装置，其特征在于，所述U形连接板（3）的外侧固定连接有导向块（904），所述箱体（1）的一侧内壁开设有供导向块（904）滑动的滑槽。
6.根据权利要求1所述的一种便于快速移动的清洗装置，其特征在于，所述箱体（1）的两侧均连接有排液管（6），两个排液管（6）上均设置有阀门，两个所述排液管（6）的内端分别延伸至两个清洗区内。
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| CN202223265607.1U CN218835378U (zh) | 2022-12-07 | 2022-12-07 | 一种便于快速移动的清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN218835378U true CN218835378U (zh) | 2023-04-11 |
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ID=87306490
Family Applications (1)
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| CN202223265607.1U Active CN218835378U (zh) | 2022-12-07 | 2022-12-07 | 一种便于快速移动的清洗装置 |
Country Status (1)
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2022
- 2022-12-07 CN CN202223265607.1U patent/CN218835378U/zh active Active
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