CN218801585U - 化学清洗槽喷砂机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及喷砂机技术领域，具体地说，涉及化学清洗槽喷砂机，包括喷砂机箱和设置在喷砂机箱内的喷砂腔室，喷砂机箱上设置有输送装置，输送装置包括固定安装在喷砂机箱底面上的气缸，气缸的伸缩轴上设置有封盖板，封盖板的左侧面上固定安装有两个相互对称的支撑板，中心板的底面上固定安装有驱动电机，驱动电机的输出轴上设置有放置盘，喷砂机箱上设置有吊装组件，吊装组件包括横梁，横梁的末端板体上固定安装有伺服电机，伺服电机的输出轴末端固定安装有环绕轴，环绕轴上绕设有钢绳，钢绳的另外一末端固定安装有挂钩。本实用新型便于进行化学清洗槽的输送喷砂和卸料取出操作，方便使用。

Description

化学清洗槽喷砂机

技术领域

本实用新型涉及喷砂机技术领域，具体地说，涉及化学清洗槽喷砂机。

背景技术

在半导体制程中，必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生操作，通过清洗及再生操作能够维持半导体制程设备的效能，并可延长半导体制程设备的使用寿命；

进行半导体制程设备的零件清洗操作时，通常会在对应的化学清洗槽内进行，由于在清洗的过程中，会朝着化学清洗槽内添加一定量的酸性药水，为了保证酸性药水不会对化学清洗槽自身造成腐蚀等，通常会在化学清洗槽的表面进行喷砂处理，喷砂处理后的化学清洗槽的表面形成一层镀膜，能够隔绝化学清洗槽直接与酸性药水接触，起到保护化学清洗槽的效果，进行具体的喷砂操作时，需要用到对应的喷砂机；

授权公告号为CN213054377U的实用新型专利公开了一种不锈钢内壁分体式喷砂机，包括设备机架，设备机架顶端设有旋风分离器，旋风分离器与设备机架内部设置的储砂罐连接，设备机架设有喷砂机构，设备机架一侧还设有回砂管。本实用新型的有益效果：配备了三个喷砂工位，每个喷砂工位皆可独立工作，每个工位下部设有两个独立的喷枪，而且气缸杆部安装旋转配件，当旋转配件接触到喷砂产品时，可与工位转盘同步旋转，使用旋风分离器使砂材与灰尘分离，喷枪的前置时间，加工时间，均可独立控制，且转盘马达，枪架马达，为变频控制，可独立调整速度，大量减少了人工的工作强度，同时企业的生产效率也得到大幅度提升；

虽然该技术方案具有大量减少了人工的工作强度，同时企业的生产效率也得到大幅度提升的优点，但是该技术方案在具体使用时，其上缺少将化学清洗槽输送至喷砂机内进行喷砂和喷砂完成后将化学清洗槽自动向外输送的组件，而人工使用外界工具进行化学清洗槽的送入和取出操作时，该过程比较费力，且耽误时间，影响加工效率，给使用者带来不便。鉴于此，我们提出了化学清洗槽喷砂机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供化学清洗槽喷砂机，以解决上述背景技术中提出的缺陷。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

化学清洗槽喷砂机，包括喷砂机箱和设置在喷砂机箱内的喷砂腔室，所述喷砂机箱上设置有用于将化学清洗槽放入和取出的输送装置，所述输送装置包括固定安装在所述喷砂机箱底面上的气缸，所述气缸的伸缩轴上设置有封盖板，所述封盖板用于对喷砂腔室进行封堵操作，所述封盖板的左侧面上固定安装有两个相互对称的支撑板，所述支撑板位于所述喷砂腔室内并与所述喷砂腔室之间滑动连接，两个所述支撑板之间固定安装有中心板；

所述中心板的底面上固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上设置有用于支撑化学清洗槽的放置盘。

优选的，所述气缸的伸缩轴末端固定安装有螺栓板，所述封盖板与所述螺栓板之间通过多个紧固螺栓固定连接，方便将封盖板固定安装在气缸的伸缩轴上。

优选的，所述驱动电机的输出轴末端固定安装有支撑盘，所述放置盘通过多个紧固螺栓固定安装在所述支撑盘上，方便将放置盘固定安装在驱动电机的输出轴上。

优选的，所述喷砂机箱的右侧面上固定安装有两个相互对称且均呈水平状设置的延伸板，所述支撑板的底面上固定安装有滚轮，所述滚轮抵在所述延伸板上；

通过设置的延伸板和滚轮，实现对支撑板进行进一步的支撑，保证支撑板的结构更加牢固稳定。

优选的，两个所述延伸板的末端板体上固定安装有后侧限位板，所述后侧限位板用于对封盖板的向后移动距离进行限位，通过设置的后侧限位板，实现对封盖板进行限位，使封盖板不会向后移动过长造成支撑板支撑在延伸板上不够稳定的情况。

优选的，所述延伸板和所述喷砂机箱的底面上均固定安装有多个等间距排列的支撑腿，便于利用支撑腿进行稳定的支撑操作。

优选的，所述喷砂机箱上设置有用于对化学清洗槽进行吊装的吊装组件，所述吊装组件包括与所述喷砂机箱顶部板体之间通过转轴转动连接的横梁，所述横梁的末端板体上固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴末端固定安装有环绕轴，所述环绕轴上绕设有钢绳，所述钢绳的其中一末端固定安装在所述环绕轴上，所述钢绳的另外一末端固定安装有挂钩；

保证在使用时，能够利用挂钩勾住化学清洗槽，再利用伺服电机工作，带动钢绳收卷或者展开，方便进行化学清洗槽的吊装操作。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过设置的输送装置，保证在使用时，能够利用气缸工作，带动支撑板、封盖板和放置盘移动，方便将放置盘上的化学清洗槽输送至喷砂腔室内进行喷砂操作，或者从喷砂腔室内将化学清洗槽向外输送取出，方便进行化学清洗槽的运送操作，且利用驱动电机工作，带动放置盘转动，能够进一步带动处在放置盘上的化学清洗槽转动，利于进行圆周喷砂操作，使对化学清洗槽进行喷砂更加均匀，利于应用在化学清洗槽喷砂操作上，方便使用，解决了常规的喷砂机在具体使用时，其上缺少将化学清洗槽输送至喷砂机内进行喷砂和喷砂完成后将化学清洗槽自动向外输送的组件，而人工使用外界工具进行化学清洗槽的送入和取出操作时，该过程比较费力，且耽误时间，影响加工效率，给使用者带来不便的问题。

2、本实用新型通过设置的吊装组件，方便利用挂钩勾住化学清洗槽，再利用伺服电机工作，带动钢绳收卷或者展开，进行化学清洗槽的吊装操作。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的爆炸结构示意图；

图3为本实用新型输送装置的爆炸结构示意图；

图4为本实用新型吊装组件的结构示意图。

图中各个标号的意义为：

1、喷砂机箱；10、喷砂腔室；11、延伸板；12、后侧限位板；13、支撑腿；

2、输送装置；20、支撑板；21、中心板；22、滚轮；23、封盖板；24、气缸；241、螺栓板；25、驱动电机；251、支撑盘；26、放置盘；

3、吊装组件；30、横梁；31、伺服电机；32、环绕轴；33、钢绳；34、挂钩。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：化学清洗槽喷砂机，包括喷砂机箱1和设置在喷砂机箱1内的喷砂腔室10，喷砂机箱1上设置有用于将化学清洗槽放入和取出的输送装置2，输送装置2包括固定安装在喷砂机箱1底面上的气缸24，气缸24的伸缩轴上设置有封盖板23，具体的，气缸24的伸缩轴末端固定安装有螺栓板241，封盖板23与螺栓板241之间通过多个紧固螺栓固定连接，方便将封盖板23固定安装在气缸24的伸缩轴上；

具体的，封盖板23用于对喷砂腔室10进行封堵操作，封盖板23的左侧面上固定安装有两个相互对称的支撑板20，支撑板20位于喷砂腔室10内并与喷砂腔室10之间滑动连接，两个支撑板20之间固定安装有中心板21，中心板21的底面上固定安装有驱动电机25，驱动电机25的输出轴上设置有用于支撑化学清洗槽的放置盘26，驱动电机25的输出轴穿过中心板21，保证在使用时，能够利用气缸24工作，带动放置在放置盘26上的化学清洗槽移动，实现将化学清洗槽输送至喷砂腔室10内进行喷砂操作，或者从喷砂腔室10内将化学清洗槽取出，使进行输送和取出化学清洗槽更加方便，另外，利用驱动电机25工作，带动放置盘26转动，进一步带动放置在放置盘26上的化学清洗槽转动，利于进行旋转喷砂操作，使进行喷砂更加均匀，利于对化学清洗槽进行喷砂操作。

本实施例中，驱动电机25的输出轴末端固定安装有支撑盘251，放置盘26通过多个紧固螺栓固定安装在支撑盘251上，方便将放置盘26固定安装在驱动电机25的输出轴上。

具体的，喷砂机箱1的右侧面上固定安装有两个相互对称且均呈水平状设置的延伸板11，支撑板20的底面上固定安装有滚轮22，滚轮22抵在延伸板11上；

通过设置的延伸板11和滚轮22，实现对支撑板20进行进一步的支撑，保证支撑板20的结构更加牢固稳定。

进一步的，两个延伸板11的末端板体上固定安装有后侧限位板12，后侧限位板12用于对封盖板23的向后移动距离进行限位，使封盖板23向后移动至抵在后侧限位板12上后便不能再继续向后移动，通过设置的后侧限位板12，实现对封盖板23进行限位，使封盖板23不会向后移动过长造成支撑板20支撑在延伸板11上不够稳定的情况。

此外，延伸板11和喷砂机箱1的底面上均固定安装有多个等间距排列的支撑腿13，便于利用支撑腿13进行稳定的支撑操作。

值得说明的是，喷砂机箱1上设置有用于对化学清洗槽进行吊装的吊装组件3，吊装组件3包括与喷砂机箱1顶部板体之间通过转轴转动连接的横梁30，横梁30的末端板体上固定安装有伺服电机31，伺服电机31的输出轴末端固定安装有环绕轴32，环绕轴32上绕设有钢绳33，钢绳33的其中一末端固定安装在环绕轴32上，钢绳33的另外一末端固定安装有挂钩34；

保证在使用时，能够利用挂钩34勾住化学清洗槽，再利用伺服电机31工作，带动钢绳33收卷或者展开，方便进行化学清洗槽的吊装操作。

值得注意的是，本实施例中的气缸24、伺服电机31和驱动电机25均为现有的常规技术，在此不再赘述。

本实用新型的化学清洗槽喷砂机在使用时，首先将挂钩34勾住化学清洗槽，接着将伺服电机31接通外界电源并使其工作，伺服电机31工作，其上的输出轴转动带动环绕轴32将钢绳33收卷，实现将化学清洗槽吊装至半空位置；

再将化学清洗槽移动放置在放置盘26上，并将挂钩34取下，再启动气缸24并使其工作，气缸24工作，其上的伸缩轴缩短带动支撑板20、放置盘26和放置盘26上的化学清洗槽移动至喷砂腔室10内进行喷砂操作；

喷砂过程中，将驱动电机25接通外界电源并使其工作，驱动电机25工作，其上的输出轴转动带动放置盘26转动，进一步带动放置在放置盘26上的化学清洗槽转动，利于进行旋转喷砂操作；

喷砂结束后，继续启动气缸24并使其工作，气缸24工作，其上的伸缩轴伸长带动支撑板20、放置盘26和放置盘26上的化学清洗槽向外运动，此时，化学清洗槽暴露在外，再继续利用挂钩34和伺服电机31进行吊装卸料操作，方便使用。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.化学清洗槽喷砂机，包括喷砂机箱(1)和设置在喷砂机箱(1)内的喷砂腔室(10)，其特征在于：所述喷砂机箱(1)上设置有用于将化学清洗槽放入和取出的输送装置(2)，所述输送装置(2)包括固定安装在所述喷砂机箱(1)底面上的气缸(24)，所述气缸(24)的伸缩轴上设置有封盖板(23)，所述封盖板(23)用于对喷砂腔室(10)进行封堵操作，所述封盖板(23)的左侧面上固定安装有两个相互对称的支撑板(20)，所述支撑板(20)位于所述喷砂腔室(10)内并与所述喷砂腔室(10)之间滑动连接，两个所述支撑板(20)之间固定安装有中心板(21)；

所述中心板(21)的底面上固定安装有驱动电机(25)，所述驱动电机(25)的输出轴上设置有用于支撑化学清洗槽的放置盘(26)。

2.根据权利要求1所述的化学清洗槽喷砂机，其特征在于：所述气缸(24)的伸缩轴末端固定安装有螺栓板(241)，所述封盖板(23)与所述螺栓板(241)之间通过多个紧固螺栓固定连接。

3.根据权利要求1所述的化学清洗槽喷砂机，其特征在于：所述驱动电机(25)的输出轴末端固定安装有支撑盘(251)，所述放置盘(26)通过多个紧固螺栓固定安装在所述支撑盘(251)上。

4.根据权利要求1所述的化学清洗槽喷砂机，其特征在于：所述喷砂机箱(1)的右侧面上固定安装有两个相互对称且均呈水平状设置的延伸板(11)，所述支撑板(20)的底面上固定安装有滚轮(22)，所述滚轮(22)抵在所述延伸板(11)上。

5.根据权利要求4所述的化学清洗槽喷砂机，其特征在于：两个所述延伸板(11)的末端板体上固定安装有后侧限位板(12)，所述后侧限位板(12)用于对封盖板(23)的向后移动距离进行限位。

6.根据权利要求5所述的化学清洗槽喷砂机，其特征在于：所述延伸板(11)和所述喷砂机箱(1)的底面上均固定安装有多个等间距排列的支撑腿(13)。

7.根据权利要求1所述的化学清洗槽喷砂机，其特征在于：所述喷砂机箱(1)上设置有用于对化学清洗槽进行吊装的吊装组件(3)，所述吊装组件(3)包括与所述喷砂机箱(1)顶部板体之间通过转轴转动连接的横梁(30)，所述横梁(30)的末端板体上固定安装有伺服电机(31)，所述伺服电机(31)的输出轴末端固定安装有环绕轴(32)，所述环绕轴(32)上绕设有钢绳(33)，所述钢绳(33)的其中一末端固定安装在所述环绕轴(32)上，所述钢绳(33)的另外一末端固定安装有挂钩(34)。

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