CN218779075U - 一种凝固炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种凝固炉，涉及凝固炉技术领域。本实用新型包括机架，机架的内部装设有坩埚升降装置，坩埚升降装置的输出端形成有坩埚冷却腔，坩埚升降装置的输出端装设有坩埚支撑杆，且坩埚支撑杆位于坩埚冷却腔的内部；炉体，且炉体装设在机架的上侧，炉体的内部装设有石墨坩埚。本实用新型通过设置的第一升降装置，减少了现有技术中需要采用翻转铸机构进行加工的情况，降低了凝固炉占地空间大，提高了凝固炉空间利用率高，提高了加热速度，提高了凝固炉使用的寿命。
Description
技术领域
本实用新型属于凝固炉领域，具体地说，涉及一种凝固炉。
背景技术
定向的晶体凝固炉的操作如下。硅晶片被引入石英坩埚。然后使布置在坩埚的侧壁周围或坩埚之上和/或坩埚的底部之下的加热元件加热坩埚以熔化硅晶片。一旦硅晶片已经熔化，则冷却坩埚以结晶熔融硅。例如，通过布置在坩埚的底部之下的热交换器从底部冷却坩埚。于是熔融硅的结晶从坩埚的底部开始。该凝固被称为是定向的。该热交换器例如为板件，其布置在用于加热坩埚的底部的元件之下并且通过流体的循环来冷却。
现有硅锭浇铸用定向凝固炉，在运行前通过抽真空管道及抽真空泵机组将炉体内腔抽成真空状态，使得腔室内压力迅速降到0.05MPa以下，运行时通过气控球阀关闭，在某个生产阶段需要通过进气管道充入氩气，并通过气控球阀来控制进气量，气控球阀作为自动阀控制方便，但是一旦气动元件出现故障，或者在发生断气时，就无法实现连续生产，降低了生产效率。
综上，因此本实用新型提供了一种凝固炉，以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种凝固炉。
为解决上述技术问题，本实用新型采用技术方案的基本构思是：
一种凝固炉，包括机架，机架的内部装设有坩埚升降装置，坩埚升降装置的输出端形成有坩埚冷却腔，坩埚升降装置的输出端装设有坩埚支撑杆，且坩埚支撑杆位于坩埚冷却腔的内部；
炉体，且炉体装设在机架的上侧，炉体的内部装设有石墨坩埚，且石墨坩埚的底部装设在坩埚支撑杆的一端，坩埚支撑杆上装设有冷却腔盖，炉体上装设有水冷电极。
可选的，炉体的上侧装设有第一保温层，炉体的外侧装设有第二保温层。
可选的，第二保温层的外侧壁均布装设有多个感应线圈，炉体的底部开设有通孔，且坩埚冷却腔位于通孔的内部，石墨坩埚、第一保温层的一侧均开设有开口，且两个开口相互连通。
采用上述技术方案后，本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果，当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以下所述的所有优点：
水冷电极，方便了水冷电极对石墨坩埚内部的进气量进行控制，减少了现有技术中气动元件在出现故障时无法实现连续生产，提高了石墨坩埚内部材料加工的效率。
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的描述。
附图说明
下面描述中的附图仅仅是一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。在附图中：
图1为本实用新型一实施例的立体结构示意图；
图2为本实用新型一实施例的剖面结构示意图。
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
机架1，坩埚升降装置101，坩埚冷却腔102，坩埚支撑杆103，冷却腔盖104，支撑板105；
炉体2，石墨坩埚201，水冷电极202，第一保温层203，第二保温层204，感应线圈205。
需要说明的是，这些附图和文字描述并不旨在以任何方式限制本实用新型的构思范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本实用新型的概念。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。
请参阅图1-2所示，在本实施例中提供了一种凝固炉，包括机架1，机架1的内部装设有坩埚升降装置101，坩埚升降装置101的输出端形成有坩埚冷却腔102，坩埚升降装置101的输出端装设有坩埚支撑杆103，且坩埚支撑杆103位于坩埚冷却腔102的内部；
炉体2，且炉体2装设在机架1的上侧，炉体2的内部装设有石墨坩埚201，且石墨坩埚201的底部装设在坩埚支撑杆103的一端，坩埚支撑杆103上装设有冷却腔盖104，炉体2上装设有水冷电极202。
当需要对石墨坩埚201进行使用时，首先启动坩埚升降装置101，坩埚升降装置101的输出端通过坩埚支撑杆103带动石墨坩埚201在炉体2的内部滑动，然后通过水冷电极202对石墨坩埚201的内部进行控制，然后把材料放置在石墨坩埚201的内部即可。
水冷电极202，方便了水冷电极202对石墨坩埚201内部的进气量进行控制，减少了现有技术中气动元件在出现故障时无法实现连续生产，提高了石墨坩埚201内部材料加工的效率。
本实施例的炉体2的上侧装设有第一保温层203，炉体2的外侧装设有第二保温层204，机架1的内部装设有支撑板105，且坩埚升降装置101的底部装设在支撑板105上，坩埚升降装置101可为电动推杆。
本实施例的第二保温层204的外侧壁均布装设有多个感应线圈205，炉体2的底部开设有通孔，且坩埚冷却腔102位于通孔的内部，石墨坩埚201、第一保温层203的一侧均开设有开口，且两个开口相互连通。
本实用新型不局限于上述实施方式，任何人应得知在本实用新型的启示下作出的结构变化，凡是与本实用新型具有相同或相近的技术方案，均落入本实用新型的保护范围之内。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。
Claims (6)
1.一种凝固炉，其特征在于，包括：
机架(1)，机架(1)的内部装设有坩埚升降装置(101)，坩埚升降装置(101)的输出端形成有坩埚冷却腔(102)，坩埚升降装置(101)的输出端装设有坩埚支撑杆(103)，且坩埚支撑杆(103)位于坩埚冷却腔(102)的内部；
炉体(2)，且炉体(2)装设在机架(1)的上侧，炉体(2)的内部装设有石墨坩埚(201)，且石墨坩埚(201)的底部装设在坩埚支撑杆(103)的一端，坩埚支撑杆(103)上装设有冷却腔盖(104)，炉体(2)上装设有水冷电极(202)。
2.根据权利要求1所述的一种凝固炉，其特征在于，炉体(2)的上侧装设有第一保温层(203)。
3.根据权利要求1所述的一种凝固炉，其特征在于，炉体(2)的外侧装设有第二保温层(204)。
4.根据权利要求3所述的一种凝固炉，其特征在于，第二保温层(204)的外侧壁均布装设有多个感应线圈(205)。
5.根据权利要求1所述的一种凝固炉，其特征在于，炉体(2)的底部开设有通孔，且坩埚冷却腔(102)位于通孔的内部。
6.根据权利要求2所述的一种凝固炉，其特征在于，石墨坩埚(201)、第一保温层(203)的一侧均开设有开口，且两个开口相互连通。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202223101310.1U CN218779075U (zh) | 2022-11-22 | 2022-11-22 | 一种凝固炉 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN218779075U true CN218779075U (zh) | 2023-03-31 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202223101310.1U Active CN218779075U (zh) | 2022-11-22 | 2022-11-22 | 一种凝固炉 |
Country Status (1)
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2022
- 2022-11-22 CN CN202223101310.1U patent/CN218779075U/zh active Active
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