CN218772475U - 盘式加热器适配装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种盘式加热器适配装置，涉及半导体加工装置领域，其包括上盘体和下盘体，上盘体和下盘体之间设置有若干高度调节组件；高度调节组件包括弹性件以及若干固定件，若干固定件于弹性件上沿竖直方向堆叠，弹性件用于限制固定件的径向移动；上盘体和下盘体之间还设有紧固组件，紧固组件用于锁紧高度调节组件，以使位于最上端的固定件以及最下端的固定件分别抵紧于上盘体及下盘体。通过设置若干高度调节组件，实现对上盘体的稳定支撑，使得上盘体的高度及水平度能够长时间保持，减少机台的停机时间，同时提高配套元件以及靶材套件的使用寿命。

Description

盘式加热器适配装置

技术领域

本申请涉及半导体加工装置领域，具体涉及一种盘式加热器适配装置。

背景技术

盘式加热器适配装置主要应用于半导体加工中，包括上盘体和下盘体，在投入使用前，需要提前设置好上盘体和下盘体之间的高度，调节好上盘体相对下盘体的高度以及上盘体的水平度，保持电阻率均匀性偏差稳定在一个数值范围内。但现有的盘式加热器适配装置使用一段时间后，上盘体的高度以及水平度易发生变化，导致电阻率均匀性偏差不稳定，因此需要将机台停机，对配套元件以及靶材套件进行更换，重新调节上盘体的高度以及水平度，再进行电阻率均匀性偏差检测，确保参数合格后才能够将盘式加热器适配装置重新投入使用。

因此，需要一种新的盘式加热器适配装置，方便调节上盘体相对下盘体的高度以及水平度，且上盘体的高度以及水平度能够长时间保持，进而减少机台的停机时间，提高配套元件以及靶材套件的使用寿命。

实用新型内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种盘式加热器适配装置，能够方便的调节上盘体相对下盘体的高度及水平度，使得上盘体的高度及水平度能够长时间保持，减少机台的停机时间，同时提高配套元件以及靶材套件的使用寿命。

本说明书实施例提供以下技术方案：

本说明书实施例提供一种盘式加热器适配装置，包括：上盘体和下盘体，上盘体和下盘体之间设置有若干高度调节组件；

高度调节组件包括弹性件以及若干固定件，若干固定件于弹性件上沿竖直方向堆叠，弹性件用于限制固定件的径向移动；

上盘体和下盘体之间还设有紧固组件，紧固组件用于锁紧高度调节组件，以使位于最上端的固定件以及最下端的固定件分别抵紧于上盘体及下盘体。

优选的，高度调节组件还包括设置于上盘体下端的上圆环柱体以及设置于下盘体上端的下圆环柱体；

上圆环柱体和下圆环柱体之间为可拆卸滑移连接；

相互滑移连接的上圆环柱体和下圆环柱体之间设置有供弹性件以及若干固定件容纳的容纳空间；

位于最上端的固定件通过上圆环柱体的上端抵紧于上盘体的下端；

位于最下端的固定件通过下圆环柱体的下端抵紧于下盘体的上端。

优选的，若干高度调节组件于上盘体和下盘体之间呈周向均匀分布。

优选的，紧固组件包括若干根锁紧螺栓，每根锁紧螺栓均螺纹连接于上盘体和下盘体用于锁紧高度调节组件。

优选的，若干高度调节组件与若干根锁紧螺栓于周向上呈间隔分布。

优选的，弹性件为圆柱弹簧，圆柱弹簧呈竖直设置。

优选的，固定件为环形金属片。

优选的，弹性件的上端突出于下圆环柱体的上端，若干固定件于弹性件上堆叠的高度高于下圆环柱体的上端高度。

优选的，下圆环柱体开设有供固定件容纳的下腔体，固定件的外周与下腔体的内壁之间留有间隙。

优选的，环形金属片的材质为不锈钢材质。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

1、通过设置若干高度调节组件，通过改变每组高度调节组件的固定件数量或者固定件的厚度，对每组高度调节组件的整体高度进行调节，进而实现对上盘体的高度调节，再通过保证任意两组高度调节组件中的固定件数量及固定件厚度均一致，保证上盘体相对下盘体的水平度，再配合紧固组件，将高度调节组件锁紧，使得堆叠的若干固定件的上下两端能够分别与上盘体及下盘体相互抵紧，实现对上盘体的稳定支撑；

2、由于高度调节组件被锁紧后，上盘体和下盘体的间距，即上盘体相对下盘体的高度由每组高度调节组件中的固定件数量及固定件的厚度决定，只要固定件数量不改变，上盘体的高度以及相对于下盘体的水平度均可以稳定的保持较长的一段时间，进而可以有效的减少机台的停机时间，提高配套元件以及靶材套件的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实施例中的整体结构示意图；

图2是本实施例中的高度调节组件的结构示意图。

附图标记：1、上盘体；2、下盘体；3、高度调节组件；31、上圆环柱体；32、下圆环柱体；33、弹性件；331、圆柱弹簧；34、固定件；342、环形金属片；4、紧固组件；41、紧固螺栓。

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图示中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂，且图示中的虚线部分表示内部透视的结构。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。

申请人发现，现有的盘式加热器适配装置使用一段时间后，上盘体的高度以及水平度易发生变化，导致电阻率均匀性偏差不稳定，因此需要将机台停机，对配套元件以及靶材套件进行更换，重新调节上盘体的高度以及水平度，再进行电阻率均匀性偏差检测，确保参数合格后才能够将盘式加热器适配装置重新投入使用。但重新调节上盘体的高度以及水平度，需要将机台停机，对配套元件以及靶材套件进行更换，再调节好上盘体的高度以及水平度，进行电阻率均匀性偏差检测，确保参数合格后才能够将盘式加热器适配装置重新投入使用。因此，会导致机台的停机时间变长，配套元件以及靶材套件的使用寿命降低。

基于此，本说明书实施例提出了一种盘式加热器适配装置：如图1所示，包括上盘体1和下盘体2，在上盘体1和下盘体2之间设置若干高度调节组件3，设置高度调节组件3包括弹性件33以及若干于弹性件33上沿竖直方向堆叠的固定件34，通过调节固定件34的数量以及厚度，确保上盘体1和下盘体2之间的间距能够达到预期数值，进而确保上盘体1能够达到预期高度，再调节任意两组高度调节组件3中的固定件34数量以及固定件34厚度均一致，确保上盘体1的水平度，最后设置紧固组件4，将高度调节组件3锁紧。在实际使用时，固定件34的数量不会发生变化，因此较长一段时间内，上盘体1的高度以及水平度均不会发生较大变化，因此可以在机台上工作较长的时间，减少机台停机时间，进而提高配套元件以及靶材套件的使用寿命。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

如图1所示，本说明书实施例提供一种盘式加热器适配装置，可包括：上盘体1和下盘体2。上盘体1和下盘体2之间设置有若干高度调节组件3。

如图1和图2所示，高度调节组件3包括上圆环柱体31、下圆环柱体32、弹性件33以及若干固定件34。

上圆环柱体31的上端固定连接于上盘体1的下端，上圆环柱体31同轴开设有上腔体，上腔体的开口位于上圆环柱体31的下端。

下圆环柱体32的下端固定连接于下盘体2的上端，下圆环柱体32同轴开设有下腔体，下腔体的开口位于下圆环柱体32的上端。

上腔体的内径大于下圆环柱体32的外径，上圆环柱体31通过上腔体同轴套设于下圆环柱体32的外圈，且上圆环柱体31和下圆环柱体32之间为可拆卸滑移连接，滑移方向沿竖直方向设置。上腔体的内周壁和下圆环柱体32的外周壁之间留有0.15-0.25mm的间隙，便于上圆环柱体31和下圆环柱体32之间的拆卸。

在本实施例中，上腔体内周壁和下圆环柱体32的外周壁之间的间隙优选为0.2mm。

弹性件33为圆柱弹簧331，材质为不锈钢。圆柱弹簧331的下端同轴固定于下腔体的下端面，且圆柱弹簧331在下腔体和上腔体之间呈竖直设置。圆柱弹簧331的上端突出于下腔体并且伸入上腔体内。

固定件34为环形金属片342，且材质为不锈钢。环形金属片342内圈同轴套设于圆柱弹簧331的外周，并且若干环形金属片342于圆柱弹簧331上沿竖直方向堆叠。环形金属片342的外周与下腔体内壁之间留有0.08-0.12mm的间隙，便于在下腔体内增减环形金属片342的数量。环形金属片342的厚度可选0.5mm、1mm以及5mm等，直径可选范围为0.15cm-0.25cm。环形金属片342的直径、厚度以及堆叠所需的数量，具体根据上盘体1和下盘体2之间所需间隔的间距以及预留空间而定，在本实施例中不做过多限定。若干环形金属片342于圆柱弹簧331上完成堆叠后的最佳高度为1cm-2cm。在若干环形金属片342于弹性件33上完成堆叠后，位于最上端的环形金属片342会和圆柱弹簧331的上端一同突出于下圆环柱体32的上端，且下圆环柱体32的高度大于下圆环柱体32的轴向长度。

可替代的，弹性件33可以为包裹在若干固定件34外周的弹性护套，弹性护套的材质可以为橡胶，通过对若干固定件34形成包裹，限制若干固定件34的径向位移。固定件34可以为固定高度的环形铁块。

上盘体1和下盘体2之间设置有紧固组件4，紧固组件4包括若干根紧固螺栓41。若干根紧固螺栓41于上盘体1和下盘体2之间呈周向均匀分布，且每根紧固螺栓41均螺纹连接于上盘体1及下盘。若干根紧固螺栓41相互配合，以将若干高度调节组件3锁紧于上盘体1和下盘体2之间。高度调节组件3的锁紧，具体为，每组高度调节组件3内的若干固定件34均相互抵紧，位于最上端的固定件34抵紧于上腔体的上端，进而将上圆环柱体31的上端抵紧于上盘体1的下端，即最上端的固定件34通过上圆环柱体31的上端抵紧于上盘体1的下端；位于最下端的固定件34抵紧于下腔体的下端，进而将下圆环柱体32的下端抵紧于下盘体2的上端，即最下端的固定件34通过下圆环柱体32的下端抵紧于下盘体2的上端；上圆环柱体31的上端以及下圆环柱体32的下端分别抵紧于弹性件33的上下两端，使得弹性件33压缩，与若干固定件34一同被容纳于上腔体和下腔体之间共同形成的容纳空间内。

可替代的，上圆环柱体31和下圆环柱体32均可以为上下贯穿的圆环体，高度调节组件3锁紧后，位于最上端的固定件34直接抵接于上盘体1的下端，位于最下端的固定件34直接抵接于下盘体2的上端。

可替代的，紧固组件4还可以包括若干导柱以及丝杆，使得上盘体1和下盘体2之间通过若干导柱实现滑移连接，再通过丝杆精确调节上盘体1和下盘体2的间距，最后通过若干紧固螺栓41锁紧。

实际安装完毕后，由于每组高度调节组件3内的若干固定件34均已相互抵紧，因此后续使用过程中，只要固定件34的数量不减少，那么高度调节组件3的总高度可以维持较长的一段时间不发生较大波动。因此，只要保证任意两组高度调节组件3内的固定件34数量以及固定件34的厚度均一致，即可通过固定数量和固定厚度的固定件34，来保证上盘体1相对下盘体2的高度稳定不变，且使得高度维持在一个确定数值上。

在本实施例中，若干高度调节组件3于上盘体1和下盘体2之间呈周向均匀分布，且若干高度调节组件3和若干根紧固螺栓41于上盘体1和下盘体2之间呈一一对应间隔分布。由于若干高度调节组件3的总高度均保持一致，通过均匀分配若干高度调节组件3于上盘体1和下盘体2之间的位置，进而保证上盘体1的水平度，并且使得水平度在较长一段时间内不发生较大变化。因此在实际使用中，可以使得上盘体1的高度以及水平度在较长一段时间内均不发生较大的波动，使得电阻率均匀性偏差可以保持稳定，有效的减少机台的停机时间，提高配套元件以及靶材套件的使用寿命。

实际装配完高度调节组件3后，还需要进行电阻率均匀性测试，确保整体的性能指标能够符合生产需求。通过增减固定片的数量或者更换不同厚度的固定片，调节上盘体1的高度，对不同高度的上盘体1分别进行电阻率均匀性测试，选取出最优高度的上盘体1。

在其它实施例中，高度调节组件3也可以不包括上圆环柱体31和下圆环柱体32，直接将弹性件33的上下两端分别固定在上盘体1的下端以及下盘体2的上端，进而每组高度调节组件3中最上端的固定件34直接抵紧于上盘体1的下端，最下端的固定件34直接抵紧于下盘体2的上端。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种盘式加热器适配装置，其特征在于，包括：上盘体和下盘体，所述上盘体和下盘体之间设置有若干高度调节组件；

所述高度调节组件包括弹性件以及若干固定件，若干所述固定件于弹性件上沿竖直方向堆叠，所述弹性件用于限制固定件的径向移动；

所述上盘体和下盘体之间还设有紧固组件，所述紧固组件用于锁紧高度调节组件，以使位于最上端的固定件以及最下端的固定件分别抵紧于上盘体及下盘体。

2.根据权利要求1所述的盘式加热器适配装置，其特征在于，所述高度调节组件还包括设置于上盘体下端的上圆环柱体以及设置于下盘体上端的下圆环柱体；

所述上圆环柱体和下圆环柱体之间为可拆卸滑移连接；

相互滑移连接的上圆环柱体和下圆环柱体之间设置有供弹性件以及若干固定件容纳的容纳空间；

位于最上端的固定件通过上圆环柱体的上端抵紧于上盘体的下端；

位于最下端的固定件通过下圆环柱体的下端抵紧于下盘体的上端。

3.根据权利要求1或2中任一项所述的盘式加热器适配装置，其特征在于，若干所述高度调节组件于上盘体和下盘体之间呈周向均匀分布。

4.根据权利要求3所述的盘式加热器适配装置，其特征在于，所述紧固组件包括若干根锁紧螺栓，每根所述锁紧螺栓均螺纹连接于上盘体和下盘体用于锁紧高度调节组件。

5.根据权利要求4所述的盘式加热器适配装置，其特征在于，若干所述高度调节组件与若干根所述锁紧螺栓于周向上呈间隔分布。

6.根据权利要求1所述的盘式加热器适配装置，其特征在于，所述弹性件为圆柱弹簧，所述圆柱弹簧呈竖直设置。

7.根据权利要求1所述的盘式加热器适配装置，其特征在于，所述固定件为环形金属片。

8.根据权利要求2所述的盘式加热器适配装置，其特征在于，所述弹性件的上端突出于下圆环柱体的上端，若干所述固定件于所述弹性件上堆叠的高度高于下圆环柱体的上端高度。

9.根据权利要求2所述的盘式加热器适配装置，其特征在于，所述下圆环柱体开设有供固定件容纳的下腔体，所述固定件的外周与下腔体的内壁之间留有间隙。

10.根据权利要求7所述的盘式加热器适配装置，其特征在于，所述环形金属片的材质为不锈钢材质。

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