CN218726857U - 一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片。芯片表面设置有数量相等的微电极、金属引脚和连接点位，单个微电极和单个金属引脚通过连接点位导通相连，连接点位通过芯片正面、背面的金属线路与微电极和金属引脚分别相连，连接点位为芯片的导通孔，并用金属填孔实现电路导通；微电极包括参比电极、对电极、两颗或两颗以上的工作电极，其中至少有一颗工作电极为校准电极，令芯片具备自校准功能，在一次性同时检测多个指标基础上，大幅增加了稳定性与灵敏度，通过芯片结构设计简化了微电极与金属引脚的连接线路，降低了加工难度与成本，为生化传感电极的设计与应用提供了新思路。

Description

一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片

技术领域

本实用新型属于生物传感器领域，具体涉及一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片。

背景技术

目前最新型的POCT化学传感仪器产品可实现多个样本同时进行检测，大幅节省检测时间，同时使得即时检测更为快捷。POCT器件多采用生物传感器来实现，通过将生物酶分子固定于微型分析器件的固相界面，特异性识别分析物后采用电化学或光学方法进行检测，并立即给出读数。典型的基于生物传感器的商业化POCT器件以血糖仪、血气分析仪为代表，主要用于血糖监测、血气及电解质分析。

针对一次性同时检测多个物质指标的生化检测耗材器件，目前已有相关技术，具体是将检测特定生化分子的微电极集成在整体检测器件上，并将其应用于多参数电化学检测。以上技术最大的限制是在同一器件上加工多个电极检测元件，加工步骤复杂，难度较高，且成本较大，同时检测多个指标也导致检测器件内部线路繁复，且同时检测存在不同检测点相互干扰问题，无法保证灵敏度和准确性。

有鉴于此，本实用新型旨在提供一种在多参数电化学检测基础上，降低芯片成本与加工难度、并在保证多参数同时检测的同时提高灵敏度、准确性的电化学检测芯片，并实现对生化电解质中多种指标的同时检测。

实用新型内容

本实用新型所要解决的问题是提高现有电极的检测灵敏度和稳定性，以实现生化电解质中针对特定微量金属离子的检测。有鉴于此，本实用新型提供了一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片及其制备方法与在生化电解质检测中的应用。

本实用新型的目的是提供一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片芯片表面设置有数量相等的微电极、金属引脚和连接点位，微电极位于芯片正面，金属引脚位于芯片背面，单个微电极和单个金属引脚通过连接点位导通相连，连接点位通过芯片正面、背面的金属线路与微电极和金属引脚分别相连，连接点位为芯片的导通孔，并用金属填孔实现电路导通；微电极包括参比电极、对电极、两颗或两颗以上的工作电极，其中至少有一颗工作电极为校准电极。

微电极形状包括圆盘型电极，金属引脚形状包括矩形。

进一步，芯片表面设置有定位孔。

定位孔可便于将芯片固定或封装使用，在电镀过程中也可用作固定芯片位置。

进一步，芯片正面设置有五颗微电极，包括作为参比电极的第一微电极(1)，作为对电极的第二微电极(2)，作为工作电极的第三微电极(3)、第四微电极(4)和第五微电极(5)，其中第五微电极(5)为校准电极；第一微电极(1)通过金属线路连接到第一连接点位(6)，第二微电极(2)通过金属线路连接到第二连接点位(7)，第三微电极(3)通过金属线路连接到第三连接点位(8)，第四微电极(4)通过金属线路连接到第四连接点位(9)，第五微电极(5)通过金属线路连接到第五连接点位(10)；芯片背面设置有五个金属引脚，包括第一金属引脚(11)、第二金属引脚(12)、第三金属引脚(13)、第四金属引脚(14)和第五金属引脚(15)，第一金属引脚(11)通过金属线路连接到第一连接点位(6)，第二金属引脚(12)通过金属线路连接到第二连接点位(7)，第三金属引脚(13)通过金属线路连接到第三连接点位(8)，第四金属引脚(14)通过金属线路连接到第四连接点位(9)，第五金属引脚(15)通过金属线路连接到第五连接点位(10)；第一微电极(1)与第一金属引脚(11)通过第一连接点位(6)导通相连，第二微电极(2)与第二金属引脚(12)通过第二连接点位(7)导通相连，第三微电极(3)与第三金属引脚(13)通过第三连接点位(8)导通相连，第四微电极(4)与第四金属引脚(14)通过第四连接点位(9)导通相连，第五微电极(5)与第五金属引脚(15)通过第五连接点位(10)导通相连。

第二微电极(2)、第三微电极(3)、第四微电极(4)和第五微电极(5)表面依次修饰有镍层和纯金层；第二微电极(2)表面修饰金属铂层，第一微电极(1)表面修饰银-氯化银层。

进一步，微电极表面铜层厚度大于35.0μm，镍层厚度大于3.0μm，纯金层厚度大于1.0μm，铂层厚度大于0.5μm，氯化银-银层厚度为0.01～0.05mm。

第一金属引脚(11)、第二金属引脚(12)、第三金属引脚(13)、第四金属引脚(14)和第五金属引脚(15)表面依次修饰有化镍层和化金层，设置有金属线路将其与分别第一连接点位(6)、第二连接点位(7)、第三连接点位(8)、第四连接点位(9)和第五连接点位(10)对应相连，在芯片背面修饰阻焊油墨，覆盖金属线路和连接点位。

进一步，金属引脚表面化镍层厚度大于3.0μm，化金层厚度大于0.05μm。

芯片表面涂覆油墨，微电极表面修饰单层油墨或多层油墨构成电解池，油墨的厚度为20～30μm。

进一步，芯片正面修饰有第一层油墨(17)，覆盖金属线路和连接点位以及微电极部分边沿区域，在微电极区域形成第一层电解池(20)；在第一层电解池(20)外围区域修饰第二层油墨(18)，在微电极区域形成第二层电解池(21)；在第二层电解池(21)外围区域修饰第三层油墨(19)，在微电极区域形成第三层电解池(22)。

进一步，微电极的金属圆盘与第一层电解池(20)、第二层电解池(21)以及第三层电解池(22)构成同心圆，同心圆圆心距为30～50μm。

如附图1和附图5所示，为体液生化分子传感检测微电极阵列芯片正面示意图，附图3和附图7为体液生化分子传感检测微电极阵列芯片线路结构正面示意图。

芯片正面设置有五颗微电极，包括作为参比电极的第一微电极(1)，作为对电极的第二微电极(2)，作为工作电极的第三微电极(3)、第四微电极(4)和第五微电极(5)，其中第五微电极(5)为校准电极；第一微电极(1)通过金属线路连接到第一连接点位(6)，第二微电极(2)通过金属线路连接到第二连接点位(7)，第三微电极(3)通过金属线路连接到第三连接点位(8)，第四微电极(4)通过金属线路连接到第四连接点位(9)，第五微电极(5)通过金属线路连接到第五连接点位(10)。

如附图2和附图6所示，为体液生化分子传感检测微电极阵列芯片背面示意图，附图4和附图8为体液生化分子传感检测微电极阵列芯片线路结构背面示意图。

芯片背面设置有五个金属引脚，包括第一金属引脚(11)、第二金属引脚(12)、第三金属引脚(13)、第四金属引脚(14)和第五金属引脚(15)，第一金属引脚(11)通过金属线路连接到第一连接点位(6)，第二金属引脚(12)通过金属线路连接到第二连接点位(7)，第三金属引脚(13)通过金属线路连接到第三连接点位(8)，第四金属引脚(14)通过金属线路连接到第四连接点位(9)，第五金属引脚(15)通过金属线路连接到第五连接点位(10)；第一微电极(1)与第一金属引脚(11)通过第一连接点位(6)导通相连，第二微电极(2)与第二金属引脚(12)通过第二连接点位(7)导通相连，第三微电极(3)与第三金属引脚(13)通过第三连接点位(8)导通相连，第四微电极(4)与第四金属引脚(14)通过第四连接点位(9)导通相连，第五微电极(5)与第五金属引脚(15)通过第五连接点位(10)导通相连。

如附图9所示，为体液生化分子传感检测微电极阵列芯片中微电极剖面图，具体为第三微电极(3)的剖面图。从图中可看出，第三微电极(3)表面金属层修饰面积为圆形，其直径为1.20mm，在第三微电极(3)表面修饰第一层油墨(17)，主要覆盖芯片表面未被电极修饰区域及电极边缘部分区域，没有被油墨覆盖的电极层与油墨围坝构成第一层电解池(20)，其直径为0.90mm；在第一层油墨(17)表面继续修饰第二层油墨(18)，其围坝在第一层电解池(20)基础上构成第二层电解池(21)，其直径为1.10mm；在第二层油墨(18)表面再修饰第三层油墨(19)，其围坝在第一层电解池(20)和第二层电解池(21)的基础上构成第三层电解池(22)，其直径为1.30mm，三层电解池呈现同心圆结构。

本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型将多个微电极通过金属线路与连接点位相连，连接点位同时连接芯片正面的微电极与芯片背面对应的金属引脚，大幅节省了芯片面积，实现了微电极集成化目的，简化了微电极与金属引脚的连接线路结构设计，降低了加工难度与成本。

(2)本实用新型将三电极体系设置为五个或以上的微电极集成，并在多个工作电极中设置校准电极，实现了微电极集成芯片自校准功能的实现，同时作为校准电极的工作电极也可用于某种目标物的单独检测，在一次性同时检测多个指标的基础上，大幅增加了芯片稳定性与灵敏度。

(3)本实用新型在微电极表面构筑多层次微型电解池结构，避免了检测过程中不同检测位点相互干扰，保证了电极灵敏的准确性。

(4)本实用新型在微电极表面修饰纯金属反应层尤其是纯厚金层，保证了微电极检测的灵敏度和准确性，且可通过在微电极表面修饰特定反应层与施加特定电位，令特定工作电极检测特定生化物质，以此实现依照特定的检测需求针对性选择不同模组配置的微电极集成传感芯片进行检测。

附图说明

利用附图对实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它附图。

图1是实施例1的体液生化分子传感检测微电极阵列芯片正面示意图；

图2是实施例1的体液生化分子传感检测微电极阵列芯片背面示意图；

图3是实施例1的体液生化分子传感检测微电极阵列芯片线路结构正面示意图；

图4是实施例1的体液生化分子传感检测微电极阵列芯片线路结构背面示意图；

图5是实施例4的体液生化分子传感检测微电极阵列芯片正面示意图；

图6是实施例4的体液生化分子传感检测微电极阵列芯片背面示意图；

图7是实施例4的体液生化分子传感检测微电极阵列芯片线路结构正面示意图；

图8是实施例4的体液生化分子传感检测微电极阵列芯片线路结构背面示意图；

图9是体液生化分子传感检测微电极阵列芯片中微电极剖面图。

图例说明：

1、第一微电极；2、第二微电极；3、第三微电极；4、第四微电极；5、第五微电极；6、第一连接点位；7、第二连接点位；8、第三连接点位；9、第四连接点位；10、第五连接点位；11、第一金属引脚；12、第二金属引脚；13、第三金属引脚；14、第四金属引脚；15、第五金属引脚；16、定位孔；17、第一层油墨；18、第二层油墨；19、第三层油墨；20、第一层电解池；21、第二层电解池；22、第三层电解池。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白结合以下具体实施例，并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。

实施例1

一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，如附图3和附图4所示，芯片正面设置有五颗圆形微电极，包括作为参比电极的第一微电极1，作为对电极的第二微电极2，作为工作电极的第三微电极3、第四微电极4和第五微电极5，其中第五微电极5为校准电极；第一微电极1通过金属线路连接到第一连接点位6，第二微电极2通过金属线路连接到第二连接点位7，第三微电极3通过金属线路连接到第三连接点位8第四微电极4通过金属线路连接到第四连接点位9，第五微电极5通过金属线路连接到第五连接点位10。

芯片背面设置有五个矩形金属引脚，包括第一金属引脚11、第二金属引脚12、第三金属引脚13、第四金属引脚14和第五金属引脚15，第一金属引脚11通过金属线路连接到第一连接点位6，第二金属引脚12通过金属线路连接到第二连接点位7，第三金属引脚13通过金属线路连接到第三连接点位8，第四金属引脚14通过金属线路连接到第四连接点位9，第五金属引脚15通过金属线路连接到第五连接点位10；第一微电极1与第一金属引脚11通过第一连接点位6导通相连，第二微电极2与第二金属引脚12通过第二连接点位7导通相连，第三微电极3与第三金属引脚13通过第三连接点位8导通相连，第四微电极4与第四金属引脚14通过第四连接点位9导通相连，第五微电极5与第五金属引脚15通过第五连接点位10导通相连。

第一微电极1表面修饰氯化银-银层，厚度为0.05mm；第二微电极2表面修饰铜层，再修饰金属铂层，其中铜层厚度为35.0μm，金属铂层厚度为0.5μm；第三微电极3、第四微电极4和第五微电极5表面修饰铜层，再依次修饰镍层和纯金层，其中铜层厚度为35.0μm，镍层厚度为3.0μm，纯金层厚度为1.0μm。

第一金属引脚11、第二金属引脚12、第三金属引脚13、第四金属引脚14和第五金属引脚15规格相同，先修饰铜层，再依次修饰化镍层和化金层，其中化镍层厚度为3.0μm，化金层厚度为0.05μm。

体液生化分子传感检测微电极阵列芯片正面设置的五颗微电极表面设置有多层电解池，如附图9所示，微电极金属修饰层的直径为1.20mm，在电极表面修饰第一层油墨17，主要覆盖芯片表面未被电极修饰区域及电极边缘部分区域，没有被油墨覆盖的电极层与油墨围坝构成第一层电解池20，其直径为0.90mm；在第一层油墨17表面继续修饰第二层油墨18，其围坝在第一层电解池20基础上构成第二层电解池21，其直径为1.10mm；在第二层油墨18表面再修饰第三层油墨19，其围坝在第一层电解池20和第二层电解池21的基础上构成第三层电解池22，其直径为1.30mm，三层电解池呈现同心圆结构。可根据实际检测需求增减电解池层数。

芯片左下角与右上角对称位置设置有定位用通孔，其直径为0.5mm，可便于将芯片固定于检测卡类封装结构中。

实施例2

一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，芯片正面设置有五颗圆形微电极，包括作为参比电极的第一微电极1，作为对电极的第二微电极2，作为工作电极的第三微电极3、第四微电极4和第五微电极5，其中第五微电极5为校准电极；第一微电极1通过金属线路连接到第一连接点位6，第二微电极2通过金属线路连接到第二连接点位7，第三微电极3通过金属线路连接到第三连接点位8，第四微电极4通过金属线路连接到第四连接点位9，第五微电极5通过金属线路连接到第五连接点位10。

芯片背面设置有五个矩形金属引脚，包括第一金属引脚11、第二金属引脚12、第三金属引脚13、第四金属引脚14和第五金属引脚15，第一金属引脚11通过金属线路连接到第一连接点位6，第二金属引脚12通过金属线路连接到第二连接点位7，第三金属引脚13通过金属线路连接到第三连接点位8，第四金属引脚14通过金属线路连接到第四连接点位9，第五金属引脚15通过金属线路连接到第五连接点位10；第一微电极1与第一金属引脚11通过第一连接点位6导通相连，第二微电极2与第二金属引脚12通过第二连接点位7导通相连，第三微电极3与第三金属引脚13通过第三连接点位8导通相连，第四微电极4与第四金属引脚14通过第四连接点位9导通相连，第五微电极5与第五金属引脚15通过第五连接点位10导通相连。

第一微电极1表面修饰氯化银-银层，厚度为0.03mm；第二微电极2表面修饰铜层，再修饰金属铂层，其中铜层厚度为40.0μm，金属铂层厚度为1.0μm；第三微电极3、第四微电极4和第五微电极5表面修饰铜层，再依次修饰镍层和纯金层，其中铜层厚度为40.0μm，镍层厚度为5.0μm，纯金层厚度为3.0μm。

第一金属引脚11、第二金属引脚12、第三金属引脚13、第四金属引脚14和第五金属引脚15规格相同，先修饰铜层，再依次修饰化镍层和化金层，其中化镍层厚度为5.0μm，化金层厚度为0.10μm。

体液生化分子传感检测微电极阵列芯片正面设置的五颗微电极表面设置有多层电解池，微电极金属修饰层的直径为1.20mm，在电极表面修饰第一层油墨17，主要覆盖芯片表面未被电极修饰区域及电极边缘部分区域，没有被油墨覆盖的电极层与油墨围坝构成第一层电解池20，其直径为1.00mm；在第一层油墨17表面继续修饰第二层油墨18，其围坝在第一层电解池20基础上构成第二层电解池21，其直径为1.25mm，两层电解池呈现同心圆结构。

芯片左上角与右下角对称位置设置有定位用通孔，其直径为0.5mm，可便于将芯片固定于检测卡类封装结构中。

实施例3

一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，芯片正面设置有五颗圆形微电极，包括作为参比电极的第一微电极1，作为对电极的第二微电极2，作为工作电极的第三微电极3、第四微电极4和第五微电极5，其中第五微电极5为校准电极；第一微电极1通过金属线路连接到第一连接点位6，第二微电极2通过金属线路连接到第二连接点位7，第三微电极3通过金属线路连接到第三连接点位8，第四微电极4通过金属线路连接到第四连接点位9，第五微电极5通过金属线路连接到第五连接点位10。

芯片背面设置有五个矩形金属引脚，包括第一金属引脚11、第二金属引脚12、第三金属引脚13、第四金属引脚14和第五金属引脚15，第一金属引脚11通过金属线路连接到第一连接点位6，第二金属引脚12通过金属线路连接到第二连接点位7，第三金属引脚13通过金属线路连接到第三连接点位8，第四金属引脚14通过金属线路连接到第四连接点位9，第五金属引脚15通过金属线路连接到第五连接点位10；第一微电极1与第一金属引脚11通过第一连接点位6导通相连，第二微电极2与第二金属引脚12通过第二连接点位7导通相连，第三微电极3与第三金属引脚13通过第三连接点位8导通相连，第四微电极4与第四金属引脚14通过第四连接点位9导通相连，第五微电极5与第五金属引脚15通过第五连接点位10导通相连。

第一微电极1表面修饰氯化银-银层，厚度为0.01mm；第二微电极2表面修饰铜层，再修饰金属铂层，其中铜层厚度为45.0μm，金属铂层厚度为1.5μm；第三微电极3、第四微电极4和第五微电极5表面修饰铜层，再依次修饰镍层和纯金层，其中铜层厚度为45.0μm，镍层厚度为7.0μm，纯金层厚度为5.0μm。

第一金属引脚11、第二金属引脚12、第三金属引脚13、第四金属引脚14和第五金属引脚15规格相同，先修饰铜层，再依次修饰化镍层和化金层，其中化镍层厚度为7.0μm，化金层厚度为0.30μm。

体液生化分子传感检测微电极阵列芯片正面设置的五颗微电极表面设置有多层电解池，微电极金属修饰层的直径为1.20mm，在电极表面修饰第一层油墨17，主要覆盖芯片表面未被电极修饰区域及电极边缘部分区域，没有被油墨覆盖的电极层与油墨围坝构成第一层电解池20，其直径为0.90mm；在第一层油墨17表面继续修饰第二层油墨18，其围坝在第一层电解池20基础上构成第二层电解池21，其直径为1.10mm；在第二层油墨18表面再修饰第三层油墨19，其围坝在第一层电解池20和第二层电解池21的基础上构成第三层电解池22，其直径为1.15mm；在第三层油墨19表面再修饰第四层油墨，其围坝在前三层电解池的基础上构成第四层电解池，其直径为1.25mm；在第四层油墨表面再修饰第五层油墨，其围坝在前四层电解池的基础上构成第五层电解池，其直径为1.35mm，五层电解池呈现同心圆结构。

芯片下端左右对称位置设置有定位用通孔，其直径为0.5mm，可便于将芯片固定于检测卡类封装结构中。

实施例4

一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，如附图5和附图6所示，芯片正面设置有五颗圆形微电极，其直径为1.2mm，包括作为参比电极的第一微电极1，作为对电极的第二微电极2，作为工作电极的第三微电极3、第四微电极4和第五微电极5，其中第五微电极5为校准电极。

芯片正面设置有5个导通孔，其直径为0.3mm，作为连接点位。第一微电极1通过金属线路连接到第一连接点位6，第二微电极2通过金属线路连接到第二连接点位7，第三微电极3通过金属线路连接到第三连接点位8，第四微电极4通过金属线路连接到第四连接点位9，第五微电极5通过金属线路连接到第五连接点位10。

芯片背面设置有五个矩形金属引脚，包括第一金属引脚11、第二金属引脚12、第三金属引脚13、第四金属引脚14和第五金属引脚15，第一金属引脚11通过金属线路连接到第一连接点位6，第二金属引脚12通过金属线路连接到第二连接点位7，第三金属引脚13通过金属线路连接到第三连接点位8，第四金属引脚14通过金属线路连接到第四连接点位9，第五金属引脚15通过金属线路连接到第五连接点位10；第一微电极1与第一金属引脚11通过第一连接点位6导通相连，第二微电极2与第二金属引脚12通过第二连接点位7导通相连，第三微电极3与第三金属引脚13通过第三连接点位8导通相连，第四微电极4与第四金属引脚14通过第四连接点位9导通相连，第五微电极5与第五金属引脚15通过第五连接点位10导通相连。

第一微电极1表面修饰氯化银-银层，厚度为0.05mm；第二微电极2表面修饰铜层，再修饰金属铂层，其中铜层厚度为35.0μm，金属铂层厚度为0.5μm；第三微电极3、第四微电极4和第五微电极5表面修饰铜层，再依次修饰镍层和纯金层，其中铜层厚度为35.0μm，镍层厚度为3.0μm，纯金层厚度为1.0μm。

第一金属引脚11、第二金属引脚12、第三金属引脚13、第四金属引脚14和第五金属引脚15规格相同，先修饰铜层，再依次修饰化镍层和化金层，其中化镍层厚度为3.0μm，化金层厚度为0.05μm。

体液生化分子传感检测微电极阵列芯片正面设置的五颗微电极表面设置有多层电解池，如附图9所示，微电极金属修饰层的直径为1.20mm，在电极表面修饰第一层油墨17，主要覆盖芯片表面未被电极修饰区域及电极边缘部分区域，没有被油墨覆盖的电极层与油墨围坝构成第一层电解池20，其直径为0.90mm；在第一层油墨17表面继续修饰第二层油墨18，其围坝在第一层电解池20基础上构成第二层电解池21，其直径为1.10mm；在第二层油墨18表面再修饰第三层油墨19，其围坝在第一层电解池20和第二层电解池21的基础上构成第三层电解池22，其直径为1.30mm，三层电解池呈现同心圆结构。可根据实际检测需求增减电解池层数。

芯片上端左右对称位置设置有定位用通孔，其直径为0.5mm，可便于将芯片固定于检测卡类封装结构中。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经过适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本实用新型中所未详细描述的技术细节均可通过本领域中的任一现有技术实现。特别的，本实用新型中所有未详细描述的技术特点均可通过任一现有技术实现。

Claims (10)

1.一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，其特征在于，所述芯片表面设置有数量相等的微电极、金属引脚和连接点位，所述微电极位于所述芯片正面，所述金属引脚位于所述芯片背面，单个所述微电极和单个所述金属引脚通过所述连接点位导通相连，所述连接点位通过所述芯片正面、背面的金属线路与所述微电极和所述金属引脚分别相连，所述连接点位为所述芯片的导通孔，并用金属填孔实现电路导通；所述微电极包括参比电极、对电极、两颗或两颗以上的工作电极，其中至少有一颗工作电极为校准电极。

2.根据权利要求1所述的一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，其特征在于，所述芯片表面设置有定位孔。

3.根据权利要求1所述的一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，其特征在于，所述芯片正面设置有五颗所述微电极，包括作为参比电极的第一微电极(1)，作为对电极的第二微电极(2)，作为工作电极的第三微电极(3)、第四微电极(4)和第五微电极(5)，其中所述第五微电极(5)为校准电极；所述第一微电极(1)通过金属线路连接到第一连接点位(6)，所述第二微电极(2)通过金属线路连接到第二连接点位(7)，所述第三微电极(3)通过金属线路连接到第三连接点位(8)，所述第四微电极(4)通过金属线路连接到第四连接点位(9)，所述第五微电极(5)通过金属线路连接到第五连接点位(10)；所述芯片背面设置有五个所述金属引脚，包括第一金属引脚(11)、第二金属引脚(12)、第三金属引脚(13)、第四金属引脚(14)和第五金属引脚(15)，所述第一金属引脚(11)通过金属线路连接到所述第一连接点位(6)，所述第二金属引脚(12)通过金属线路连接到所述第二连接点位(7)，所述第三金属引脚(13)通过金属线路连接到所述第三连接点位(8)，所述第四金属引脚(14)通过金属线路连接到所述第四连接点位(9)，所述第五金属引脚(15)通过金属线路连接到所述第五连接点位(10)；所述第一微电极(1)与所述第一金属引脚(11)通过所述第一连接点位(6)导通相连，所述第二微电极(2)与所述第二金属引脚(12)通过所述第二连接点位(7)导通相连，所述第三微电极(3)与所述第三金属引脚(13)通过所述第三连接点位(8)导通相连，所述第四微电极(4)与所述第四金属引脚(14)通过所述第四连接点位(9)导通相连，所述第五微电极(5)与所述第五金属引脚(15)通过所述第五连接点位(10)导通相连。

4.根据权利要求3所述的一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，其特征在于，所述第二微电极(2)、所述第三微电极(3)、所述第四微电极(4)和所述第五微电极(5)表面依次修饰有镍层和纯金层；所述第二微电极(2)表面修饰金属铂层，所述第一微电极(1)表面修饰银-氯化银层。

5.根据权利要求4所述的一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，其特征在于，所述微电极表面铜层厚度大于35.0μm，所述镍层厚度大于3.0μm，所述纯金层厚度大于1.0μm，所述铂层厚度大于0.5μm，所述氯化银-银层厚度为0.01～0.05mm。

6.根据权利要求3所述的一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，其特征在于，所述第一金属引脚(11)、所述第二金属引脚(12)、所述第三金属引脚(13)、所述第四金属引脚(14)和所述第五金属引脚(15)表面依次修饰有化镍层和化金层，设置有金属线路将其分别与所述第一连接点位(6)、所述第二连接点位(7)、所述第三连接点位(8)、所述第四连接点位(9)和所述第五连接点位(10)对应相连，在所述芯片背面修饰阻焊油墨，覆盖金属线路和所述连接点位。

7.根据权利要求6所述的一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，其特征在于，所述金属引脚表面所述化镍层厚度大于3.0μm，所述化金层厚度大于0.05μm。

8.根据权利要求1所述的一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，其特征在于，所述芯片表面涂覆油墨，所述微电极表面修饰单层油墨或多层油墨构成电解池，所述油墨的厚度为20～30μm。

9.根据权利要求8所述的一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，其特征在于，所述芯片正面修饰有第一层油墨(17)，覆盖金属线路和所述连接点位以及所述微电极部分边沿区域，在所述微电极区域形成第一层电解池(20)；在所述第一层电解池(20)外围区域修饰第二层油墨(18)，在所述微电极区域形成第二层电解池(21)；在所述第二层电解池(21)外围区域修饰第三层油墨(19)，在所述微电极区域形成第三层电解池(22)。

10.根据权利要求9所述的一种体液生化分子传感检测微电极阵列芯片，其特征在于，所述微电极的金属圆盘与所述第一层电解池(20)、所述第二层电解池(21)以及所述第三层电解池(22)构成同心圆，所述同心圆圆心距为30～50μm。

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