CN218719881U - 一种可多方向调节角度的屏蔽探针装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种可多方向调节角度的屏蔽探针装置，包括底部具有第一空间的基座本体，具有第一端和第二端的第一调角组件设于第一空间，第一调角组件的第一端通过第一转动轴与基座本体可转动连接，第二端通过第二转动轴与夹持有探针的夹持组件可转动连接，第一转动轴和第二转动轴的轴线方向分别为第一方向、第二方向，驱动组件设于基座本体靠近第二端侧，贯穿基座本体与第一调角组件抵接，驱动组件沿第三方向移动时，可驱动第一调角组件带动夹持组件沿第一转动轴转动，同时夹持组件还可沿着第二转动轴转动，多方向控制夹持组件的转动角度即可实现对探针位置的灵活调节，从而提升探针转动灵活度，使探针尖端更快速准确地接触待测晶圆的晶粒位置。

Description

一种可多方向调节角度的屏蔽探针装置

技术领域

本申请涉及电子与通信技术领域，具体涉及一种可多方向调节角度的屏蔽探针装置。

背景技术

晶圆探针台是信息科学与系统科学、电子与通信技术领域常用的分析仪器之一，加工完成的晶圆在封装之前都需要进行性能测试，以确保芯片的质量可靠性，手动探针台易于配置环境和转换测试条件而被科研人员广泛使用，但在晶圆扎针测试的过程中，探针需对晶圆上的每一个晶粒依次接触并逐个测试，该操作对探针的灵活度和可操控性要求很高，需要将探针尖端置于待测物的准确位置，这就对手动控制产生很大难度，在现有技术中，夹持探针的结构简单，与针座连接的夹持结构只能围绕一个转动轴转动，探针调节方向较单一，使得测试过程中调节探针位置时的灵活度低，探针尖端对准待测物准确位置这一操作难度大，导致测试前对针时间长，测试效率低。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请旨在提供一种可多方向调节角度的屏蔽探针装置，包括：

基座本体，所述基座本体的底部具有第一空间；

第一调角组件，所述第一调角组件设于所述第一空间，所述第一调角组件具有第一端和第二端，靠近所述第一端侧与所述基座本体可转动连接，其转动轴为第一转动轴，所述第一转动轴的轴线方向为第一方向；

夹持组件，所述夹持组件可转动连接于所述第一调角组件的第二端，其转动轴为第二转动轴，所述第二转动轴的轴线方向为第二方向，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述夹持组件上设有探针；

驱动组件，所述驱动组件设于所述基座本体靠近所述第二端侧，贯穿所述基座本体与所述第一调角组件抵接，所述驱动组件可沿第三方向移动，并驱动所述夹持组件沿所述第一转动轴转动，所述第三方向与所述第一方向垂直。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述基座本体上靠近所述第一端侧设有限位组件，所述限位组件一端置于所述第一空间内，其底部与所述第一调角组件之间具有第一间隙。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一转动轴外套设有扭簧，所述扭簧一端抵在所述第一空间内壁上，另一端抵在所述第一调角组件靠近所述基座本体侧。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述基座本体上具有第一通孔，所述第一通孔的轴线方向为所述第三方向，所述第一通孔内壁具有第一内螺纹；所述驱动组件外壁具有与所述第一内螺纹相配的第一外螺纹，所述驱动组件穿过所述第一通孔与所述第一调角组件抵接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述基座本体上设有第二通孔，所述第二通孔的轴线方向为所述第三方向，所述第二通孔内部具有第二内螺纹，所述限位组件外壁具有与所述第二内螺纹相配的第二外螺纹，所述限位组件在所述第二通孔内转动可调节所述第一间隙大小。

根据本申请实施例提供的技术方案，沿所述第三方向，所述第一调角组件靠近所述基座本体侧具有第一凹槽，所述驱动组件抵在所述第一凹槽内。

根据本申请实施例提供的技术方案，第一调角组件远离所述限位组件端可转动连接有第二调角组件，其转动轴为第三转动轴，所述第三转动轴的轴线方向为第四方向，所述第四方向与所述第一方向平行，所述第二调角组件远离所述第一调角组件端与所述夹持组件可转动连接，其转动轴为所述第二转动轴。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述夹持组件具有第三通孔，所述第三通孔的轴线方向为第五方向，所述第五方向与所述第二方向垂直，贯穿所述第三通孔设有屏蔽部，所述探针设于所述屏蔽部内。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述夹持组件包括第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件上设有第二凹槽，所述第二夹持件上设有第三凹槽，所述第二凹槽和所述第三凹槽形成所述第三通孔；所述第一夹持件靠近所述第二调角组件侧设有第四通孔，所述第四通孔套设于所述第二转动轴外。

综上所述，本申请提出一种多方向调节角度的屏蔽探针装置，基座本体底部的第一空间中设有第一调角组件，第一调角组件一端通过第一转动轴与基座本体可转动连接，夹持有探针的夹持组件通过第二转动轴可转动连接于第一调角组件的另一端，第一转动轴和第二转动轴的轴线方向垂直，驱动组件贯穿基座本体，底部抵在第一调角组件上，与传统技术相比，在使用过程中，通过控制驱动组件向下移动，底部抵接并带动夹持组件沿着第一转动轴顺时针转动，同时夹持组件还可沿着第二转动轴转动，多方向控制夹持组件的转动角度即可实现对探针位置的灵活调节，从而提升探针转动灵活度，使探针尖端更快速准确地接触待测晶圆的晶粒位置，加快晶圆性能测试的进程。

附图说明

图1为本申请实施例提供的可多方向调节角度的屏蔽探针装置的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的第一调角组件内部的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的基座本体的第一空间内部的结构示意图；

图中所述文字标注表示为：

1、基座本体；11、安装部；12、竖向板；2、第一调角组件；21、第一凹槽；22、第四凹槽；23、第一间隙；24、第七通孔；3、第一转动轴； 31、扭簧；4、驱动组件；5、限位组件；6、第二调角组件；61、第六通孔； 7第三转动轴；8、夹持组件；9、屏蔽部；10、探针；

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

诚如背景技术中提到的，针对现有技术中的问题，本申请提出了一种可多方向调节角度的屏蔽探针装置，包括：

基座本体1，所述基座本体1的底部具有第一空间；可选地，所述基座本体1一端具有安装部11，所述安装部11通过螺栓固定于测试针座上，所述基座本体1具有调节部12，所述调节部12包括横向板和竖向板，所述横向板的延伸方向为水平方向，所述横向板的两侧边沿向下延伸形成竖向板，两个所述竖向板之间形成所述第一空间，两个所述竖向板远离所述安装部侧具有倾斜面，所述倾斜面与水平方向形成第一夹角，所述第一夹角的开口方向朝向远离所述安装部11的方向；两个所述竖向板具有与所述第一空间连通第一通孔组，所述第一通孔组包括相对的第五通孔和第六通孔，所述第五通孔和所述第六通孔的轴线方向为所述第一方向，所述第一方向垂直于所述竖向板；

第一调角组件2，所述第一调角组件2设于所述第一空间，所述第一调角组件2具有第一端和第二端，靠近所述第一端侧与所述基座本体1可转动连接，其转动轴为第一转动轴3，所述第一转动轴的轴线方向为第一方向；可选地，所述第一调角组件2靠近所述安装部11为所述第一端，远离所述安装部11为所述第二端，所述第一端与所述第二端分别位于所述第一转动轴3两侧，所述第二端具有第一凸块，所述第一凸块具有第七通孔24，所述第七通孔24的轴线方向为所述第一方向，所述第一调角组件2远离所述第一凸块端具有第二通孔组，所述第二通孔组的轴线方向为所述第一方向，所述第一转动轴3为圆柱形销子，所述销子贯穿所述第一通孔组和所述第二通孔组将所述基座本体1与所述第一调角组件2可转动连接；

夹持组件8，所述夹持组件8可转动连接于所述第一调角组件2的第二端，其转动轴为第二转动轴，所述第二转动轴的轴线方向为第二方向，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述夹持组件8上设有探针10；可选地，所述夹持组件8通过所述第二转动轴与所述第一调角组件2的所述第二端可转动连接，所述夹持组件8可沿所述第二转动轴转动；

驱动组件4，所述驱动组件4设于所述基座本体1靠近所述第二端侧，贯穿所述基座本体1与所述第一调角组件2抵接，所述驱动组件4可沿第三方向移动，并驱动所述夹持组件8沿所述第一转动轴3转动，所述第三方向与所述第一方向垂直；可选地，所述驱动组件4为手拧螺钉，该手拧螺钉为第一手拧螺钉，所述第一手拧螺钉贯穿所述基座本体1且底部与所述第一调角组件2靠近所述第二端侧抵接，当沿所述第三方向向下拧所述驱动组件4时，所述螺钉抵着所述第一调角组件2沿着所述第一转动轴3 顺时针转动，所述第三方向垂直于所述横向板；

在使用过程中，通过控制所述驱动组件4沿所述第三方向移动，所述驱动组件4底部抵着所述第一调角组件2沿着所述第一转动轴3转动，所述第一调角组件2转动并带动所述夹持组件8联动，所述夹持组件8又能沿所述第二转动轴转动，所以通过多方向控制所述夹持组件8的转动角度，实现对所述探针10位置的灵活调节，从而提升所述探针10转动灵活度，使所述探针10尖端更快速准确地接触待测晶圆的晶粒位置，加快晶圆性能测试的进程。

如图1所示，进一步地，所述基座本体1上靠近所述第一端侧设有限位组件5，所述限位组件一端置于所述第一空间内，其底部与所述第一调角组件2之间具有第一间隙23；可选地，所述限位组件5为手拧螺钉，与所述基座本体1固定连接，所述限位组件5的底端与所述第一调角组件2靠近所述第一端侧保持一定空隙，该空隙即为所述第一间隙23，所述限位组件5与所述驱动组件4分别位于所述第一转动轴3的两端，当所述第一调角组件2顺时针转动时，沿所述第三方向所述第一调角组件2的所述第一端会在所述第一间隙23内朝向所述限位组件5的底部转动，在转动过程中当所述第一调角组件2的所述第一端抵在所述限位组件5的底部时，所述第一调角组件2停止转动，该操作可控制所述第一调角组件2的旋转角度保持在较微小的范围，实现对探针10微调过程的限位作用。

如图2所示，进一步地，所述第一转动轴3外套设有扭簧31，所述扭簧31一端抵在所述第一空间内壁上，另一端抵在所述第一调角组件2靠近所述基座本体1侧；可选地，所述扭簧31插进所述圆柱形销子后，两端指向同一方向，所述扭簧31一端抵着所述基座本体1的所述第一空间内壁，另一端抵着所述第一调角组件2的所述第二端，当所述驱动组件4沿所述第三方向向下移动时，所述第一夹角的开口角度逐渐增大，所述扭簧31处于则处于被拉伸状态，当测试完毕后，拧松所述驱动组件4后，处于被拉伸状态的所述扭簧31需恢复原始状态，这个过程产生的回弹力将所述第一调角组件2归位，整个装置回归原本状态以供后续使用。

如图2-3所示，进一步地，所述基座本体1上具有第一通孔，所述第一通孔的轴线方向为所述第三方向，所述第一通孔内壁具有第一内螺纹；所述驱动组件4外壁具有与所述第一内螺纹相配的第一外螺纹，所述驱动组件4穿过所述第一通孔与所述第一调角组件2抵接；可选地，所述基座本体1的所述横向板上设有所述第一通孔，所述第一通孔为螺纹孔，所述螺纹孔的螺纹为所述第一内螺纹，所述第一手拧螺钉的螺纹即为所述第一外螺纹。

如图1-3所示，进一步地，所述基座本体1上设有第二通孔，所述第二通孔的轴线方向为所述第三方向，所述第二通孔内部具有第二内螺纹，所述限位组件5外壁具有与所述第二内螺纹相配的第二外螺纹，所述限位组件5在所述第二通孔内转动可调节所述第一间隙23大小；可选地，在靠近所述安装部侧，所述基座本体1的所述横向板上具有所述第二通孔，所述第二通孔为螺纹孔，该螺纹孔的螺纹为所述第二内螺纹，所述第一通孔和所述第二通孔分别位于所述第一转动轴3的两侧，所述第二通孔用于放置限位组件5，所述限位组件也为手拧螺钉，该手拧螺钉为第二手拧螺钉，所述第二手拧螺钉的螺纹为所述第二外螺纹，拧动所述第二手拧螺钉控制所述第一调角组件2的旋转范围。

如图1-3所示，进一步地，沿所述第三方向，所述第一调角组件2靠近所述基座本体1侧具有第一凹槽22，所述驱动组件4抵在所述第一凹槽22 内；可选地，在水平方向上，所述第一凹槽21与所述限位组件5相对的一端设有比其更深的第四凹槽22，所述限位组件5的底部与所述第四凹槽22 的底部内壁具有所述第一间隙23，所述第二通孔组设于所述第四凹槽22的两侧壁上。

如图1所示，进一步地，第一调角组件2远离所述限位组件5端可转动连接有第二调角组件6，其转动轴为第三转动轴7，所述第三转动轴7的轴线方向为第四方向，所述第四方向与所述第一方向平行，所述第二调角组件6远离所述第一调角组件2端与所述夹持组件8可转动连接，其转动轴为所述第二转动轴；可选地，所述第二调角组件6包括旋转关节，所述旋转关节的形状与所述第一调角组件2带有所述第一凸块端相适配，所述旋转关节与所述第一凸块相对端设有与所述第七通孔24相对的第八通孔，所述第三转动轴也为手拧螺钉，该手拧螺钉为第三手拧螺钉，所述第三转动轴贯穿所述第七通孔和所述第八通孔，所述旋转关节与所述夹持组件相对端设有第九通孔61，所述第九通孔61用于放置所述第二转动轴，在测试过程中首先拧动第三手拧螺钉进行大范围粗调，使探针10尖端逐渐靠近待测晶圆，当接近晶圆待测点时，再控制所述驱动组件4进行小范围微调，使得探针10尖端准确落在待测点上，在某种特定情景下，以上操作也可配合所述夹持组件8沿着所述第二转动轴转动寻找合适的角度，通过控制所述第一调角组件2沿所述第一转动轴3转动、所述第二调角组件6沿所述第三转动轴7转动、所述夹持组件8沿所述第二转动轴转动共同配合以最终准确对针。

如图1所示，进一步地，所述夹持组件8具有第三通孔，所述第三通孔的轴线方向为第五方向，所述第五方向与所述第二方向垂直，贯穿所述第三通孔设有屏蔽部9，所述探针10设于所述屏蔽部9内；可选地，所述屏蔽部9采用三同轴电缆原理设置中心层、内屏蔽层、外屏蔽层结构，所述中心层用于设置所述探针10，该结构可屏蔽探测过程中部分电器元件产生的干扰电流。

如图1所示，进一步地，所述夹持组件8包括第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件上设有第二凹槽，所述第二夹持件上设有第三凹槽，所述第二凹槽和所述第三凹槽形成所述第三通孔；所述第一夹持件靠近所述第二调角组件6侧设有第四通孔，所述第四通孔套设于所述第二转动轴外；可选地，所述第一夹持件和所述第二夹持件具有四对相对的第三通孔组，所述第三通孔组的轴线方向为所述第二方向，所述第三通孔组内设有连接组件，所述连接组件将所述第一夹持件和所述第二夹持件固定连接，所述第一夹持件与所述旋转关节相对端具有第二凸块，所述第四通孔设于所述第二凸块上，贯穿所述第四通孔和所述第六通孔设有所述第二转动轴，所述第二转动轴为第四手拧螺钉，拧动所述第四手拧螺钉可调节所述夹持组件8沿着所述第二转动轴的转动角度。

本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。以上所述仅是本申请的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均应视为本申请的保护范围。

Claims (9)

1.一种可多方向调节角度的屏蔽探针装置，其特征在于，包括：

基座本体(1)，所述基座本体(1)的底部具有第一空间；

第一调角组件(2)，所述第一调角组件(2)设于所述第一空间，所述第一调角组件(2)具有第一端和第二端，靠近所述第一端侧与所述基座本体(1)可转动连接，其转动轴为第一转动轴(3)，所述第一转动轴(3)的轴线方向为第一方向；

夹持组件(8)，所述夹持组件(8)可转动连接于所述第一调角组件(2)的第二端，其转动轴为第二转动轴，所述第二转动轴的轴线方向为第二方向，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述夹持组件(8)上设有探针(10)；

驱动组件(4)，所述驱动组件(4)设于所述基座本体(1)靠近所述第二端侧，贯穿所述基座本体(1)与所述第一调角组件(2)抵接，所述驱动组件(4)可沿第三方向移动，并驱动所述夹持组件(8)沿所述第一转动轴(3)转动，所述第三方向与所述第一方向垂直。

2.根据权利要求1所述的可多方向调节角度的屏蔽探针装置，其特征在于：所述基座本体(1)上靠近所述第一端侧设有限位组件(5)，所述限位组件(5)一端置于所述第一空间内，其底部与所述第一调角组件(2)之间具有第一间隙(23)。

3.根据权利要求2所述的可多方向调节角度的屏蔽探针装置，其特征在于：所述第一转动轴(3)外套设有扭簧(31)，所述扭簧(31)一端抵在所述第一空间内壁上，另一端抵在所述第一调角组件(2)靠近所述基座本体(1)侧。

4.根据权利要求3所述的可多方向调节角度的屏蔽探针装置，其特征在于：所述基座本体(1)上具有第一通孔，所述第一通孔的轴线方向为所述第三方向，所述第一通孔内壁具有第一内螺纹；所述驱动组件(4)外壁具有与所述第一内螺纹相配的第一外螺纹，所述驱动组件(4)穿过所述第一通孔与所述第一调角组件(2)抵接。

5.根据权利要求3所述的可多方向调节角度的屏蔽探针装置，其特征在于：所述基座本体(1)上设有第二通孔，所述第二通孔的轴线方向为所述第三方向，所述第二通孔内部具有第二内螺纹，所述限位组件(5)外壁具有与所述第二内螺纹相配的第二外螺纹，所述限位组件(5)在所述第二通孔内转动可调节所述第一间隙(23)大小。

6.根据权利要求1所述的可多方向调节角度的屏蔽探针装置，其特征在于：沿所述第三方向，所述第一调角组件(2)靠近所述基座本体(1)侧具有第一凹槽(22)，所述驱动组件(4)抵在所述第一凹槽(22)内。

7.根据权利要求2所述的可多方向调节角度的屏蔽探针装置，其特征在于：所述第一调角组件(2)远离所述限位组件(5)端可转动连接有第二调角组件(6)，其转动轴为第三转动轴(7)，所述第三转动轴(7)的轴线方向为第四方向，所述第四方向与所述第一方向平行，所述第二调角组件(6)远离所述第一调角组件(2)端与所述夹持组件(8)可转动连接，其转动轴为所述第二转动轴。

8.根据权利要求7所述的可多方向调节角度的屏蔽探针装置，其特征在于：所述夹持组件(8)具有第三通孔，所述第三通孔的轴线方向为第五方向，所述第五方向与所述第二方向垂直，贯穿所述第三通孔设有屏蔽部(9)，所述探针(10)设于所述屏蔽部(9)内。

9.根据权利要求8所述的可多方向调节角度的屏蔽探针装置，其特征在于：所述夹持组件(8)包括第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件上设有第二凹槽，所述第二夹持件上设有第三凹槽，所述第二凹槽和所述第三凹槽形成所述第三通孔；所述第一夹持件靠近所述第二调角组件(6)侧设有第四通孔，所述第四通孔套设于所述第二转动轴外。

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