CN218677086U - 一种晶圆盒提取装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆盒提取设备领域，公开了一种晶圆盒提取装置，包括手持架和两个夹持部，两个夹持部对称安装在手持架的两端，夹持部上具有与晶圆盒敞口端的条形凸起或者晶圆盒顶端的条形凸起相适配的卡接槽；手持架包括U形杆，U形杆的两端均固定有用于连接夹持部的连接板；夹持部上设有若干连接位，若干连接位沿U形杆两端连接线的方向等距离设置，连接板通过螺栓安装在与其对应的夹持部的其中一个连接位内；提取装置还包括阻挡部，所述阻挡部转动安装在手持架上，且阻挡部的至少部分结构能够移动至晶圆盒的敞口端处，以阻挡晶圆从晶圆盒的敞口端处滑出。本实用新型不仅便于提取转移晶圆盒，还能够降低晶圆从晶圆盒内滑落的风险。

Description

一种晶圆盒提取装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆盒提取设备技术领域，尤其涉及一种晶圆盒提取装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的IC产品。在晶圆的加工过程中，为了保证晶圆的安全以及放置晶圆被污染，通常使用晶圆盒作为晶圆的储存装置和运输装置。并且工作人员通常还会使用专用的晶圆盒提取工具，使装有晶圆的晶圆盒在各个工作位之间转移，例如在对晶圆盒以及对放置在晶圆盒内的晶圆进行清洗的过程中，需要将晶圆盒在浸泡槽、清洗槽、甩干槽等工作位之间转移。

为了方便取放晶圆，晶圆盒的一侧通常设置为敞口结构，这就导致工作人员在使用晶圆盒提取工具转移晶圆盒的过程中，晶圆容易从晶圆盒的敞口端处滑落，增大晶圆损坏的风险，影响产品的成品率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种晶圆盒提取装置，解决了背景技术中指出的，工作人员在使用晶圆盒提取工具转移晶圆盒的过程中，晶圆容易从晶圆盒的敞口端处滑落，增大晶圆损坏的风险的问题。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：

一种晶圆盒提取装置，包括手持架和两个夹持部，两个所述夹持部对称安装在手持架的两端，所述夹持部上具有与晶圆盒敞口端的条形凸起或者晶圆盒顶端的条形凸起相适配的卡接槽。

进一步，所述手持架包括U形杆，所述U形杆的两端均固定有用于连接夹持部的连接板；所述夹持部上设有若干连接位，若干所述连接位沿U形杆两端连接线的方向等距离设置，所述连接板通过螺栓安装在与其对应的夹持部的其中一个连接位内。

进一步，所述提取装置还包括阻挡部，所述阻挡部转动安装在手持架上，且所述阻挡部的至少部分结构能够移动至晶圆盒的敞口端处，以阻挡晶圆从晶圆盒的敞口端处滑出。

进一步，所述阻挡部包括连接臂和阻挡杆，所述连接臂的一端转动安装在U形杆的一端上，所述连接臂的另一端与阻挡杆的一端固定，晶圆盒的敞口端位于所述阻挡杆的运动轨迹上。

进一步，所述连接臂的一端设有转动连接部，所述转动连接部上具有安装通孔，所述转动连接部于安装通孔处设有缺口；所述U形杆靠近夹持部一端的侧壁上具有供转动连接部安装的环形连接槽。

进一步，所述转动连接部于安装通孔的内侧壁上设有限位凸起，所述U形杆于环形连接槽的外侧壁上设有若干与限位凸起相适配的限位凹槽，若干所述限位凹槽沿环形连接槽的圆周等角度分布。

进一步，所述夹持部于卡接槽的内侧壁上设有若干防滑凸起，若干所述防滑凸起沿卡接槽的长度方向等间距设置。

进一步，所述手持架还包括安装在U形杆的横杆部位的手握部。

进一步，所述手持架还包括连接在U形杆的两根竖杆部位之间的支撑杆。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型通过设置手持架和两个夹持部，能够作用于晶圆盒敞口端的条形凸起或者晶圆盒顶端的条形凸起，从而实现对晶圆盒的两种提取操作；并且在作用于晶圆盒敞口端的条形凸起的提取方式中，晶圆盒的敞口端始终朝向上侧，能够降低晶圆滑出的风险。

2、本实用新型通过设置阻挡部，当夹持部作用于晶圆盒顶端的条形凸起时，阻挡部中的阻挡杆能够移动至晶圆盒的敞口端的前方，从而阻止晶圆从晶圆盒的敞口端处滑出。

附图说明

图1是现有技术中晶圆盒的结构示意图；

图2是本实用新型晶圆盒提取装置的结构示意图；

图3是本实用新型晶圆盒提取装置的爆炸结构示意图；

图4是本实用新型图3中A处的放大示意图；

图5是本实用新型中晶圆盒提取装置作用于晶圆盒敞口端的条形凸起的示意图；

图6是本实用新型中晶圆盒提取装置作用于晶圆盒顶端的条形凸起的示意图；

其中，1、手持架；11、U形杆；111、环形连接槽；112、限位凹槽；12、连接板；13、手握部；14、支撑杆；2、夹持部；21、卡接槽；22、防滑凸起；23、连接位；3、阻挡部；31、连接臂；32、阻挡杆；33、转动连接部；331、安装通孔；332、缺口；333、限位凸起；4、晶圆盒；41、条形凸起。

具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容了解本实用新型的优点和功效。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本实用新型的限制，为了更好地说明本实用新型的实施例，图中某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本实用新型实施例的图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件，在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本实用新型的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述用语的具体含义。

如图1所示，在现有技术中，晶圆盒4敞口端的两侧均具有条形凸起41，晶圆盒4顶端的两侧也具有条形凸起41，本申请的方案主要利用晶圆盒4自带的条形凸起41来实现对晶圆盒4的提取。

如图2-图6所示，本实用新型提供一种晶圆盒4提取装置，包括手持架1和两个夹持部2，手持架1包括U形杆11，U形杆11为倒立放置状态。夹持部2的主体为条形板状结构，两个夹持部2分别安装在U形杆11的两端上，两个夹持部2相对的一侧均具有沿夹持部2长度方向设置的卡接槽21。卡接槽21与晶圆盒4敞口端的条形凸起41或者晶圆盒4顶端的条形凸起41相适配。

本实施例针对晶圆盒4的提取有两种实现方式：

第一种是使晶圆盒4敞口端的两个条形凸起41分别进入两个夹持部2的卡接槽21内，然后工作人员便能够通过手持架1将晶圆盒4提取转移。在这种提取方式中，晶圆盒4的敞口端始终朝向上侧，能够降低晶圆滑出的风险。

第二种是使晶圆盒4顶端的两个条形凸起41分别进入两个夹持部2的卡接槽21内，然后工作人员便能够通过手持架1将晶圆盒4提取转移。这种方式虽然能够将晶圆盒4提取，但是晶圆滑出的风险仍然较大。

为了降低第二种提取方式中晶圆滑出的风险，本实施例中的提取装置还包括阻挡部3，阻挡部3转动安装在手持架1上。当该提取装置以第二种提取方式提取晶圆盒4时，阻挡部3的至少部分结构能够移动至晶圆盒4的敞口端处，以阻挡晶圆从晶圆盒4的敞口端处滑出。

具体的，阻挡部3包括连接臂31和阻挡杆32，连接臂31的一端一体成型有转动连接部33，转动连接部33上具有安装通孔331，转动连接部33于安装通孔331处设有缺口332，该缺口332将原本完整圆形结构的安装通孔331隔断。U形杆11靠近夹持部2一端的侧壁上具有环形连接槽111，转动连接部33通过安装通孔331转动安装在U形杆11的环形连接槽111内。连接臂31远离转动连接部33的一端与阻挡杆32的一端固定，晶圆盒4的敞口端位于阻挡杆32的运动轨迹上。当该提取装置以第二种提取方式提取晶圆盒4时，可以驱动连接臂31围绕环形连接槽111转动，将阻挡杆32移动至晶圆盒4的敞口端的前方，从而阻止晶圆从晶圆盒4的敞口端处滑出。

在本实施例中，阻挡部3的数量可以设置为两个，两个阻挡部3分别安装在U形杆11的两端处，从而提升阻止晶圆从晶圆盒4的敞口端处滑出的效果。

在本实施例中，转动连接部33于安装通孔331的内侧壁上设有限位凸起333，该限位凸起333为半球形结构。U形杆11于环形连接槽111的外侧壁上设有若干与限位凸起333相适配的限位凹槽112，若干限位凹槽112沿环形连接槽111的圆周等角度分布。当连接臂31围绕环形连接槽111转动时，限位凸起333能够卡入其中一个限位凹槽112内，使得连接臂31能够定位在某一个角度位置上，起到限制阻挡部3随意转动的作用，从而使得阻挡杆32能够顺利起到阻挡晶圆从晶圆盒4的敞口端处滑出的作用。

在本实施例中，U形杆11的两端均固定有用于连接夹持部2的连接板12。夹持部2上设有两个连接位23，每个连接位23均能够与连接板12相匹配。两个连接位23沿U形杆11两端连接线的方向等距离设置，连接板12通过两个螺栓安装在与其对应的夹持部2的其中一个连接位23内。通过这样设置，当连接板12安装在不同的连接位23内时，能够起到调节两个夹持部2的间距的作用，从而使得该提取装置能够匹配不同尺寸的晶圆盒4，拓宽该提取装置的施用范围。

在本实施例中，夹持部2于卡接槽21的内侧壁上设有若干防滑凸起22，若干防滑凸起22沿卡接槽21的长度方向等间距设置。该防滑凸起22可以为柔性的橡胶凸起。当晶圆盒4的条形凸起41进入卡接槽21内时，能够挤压防滑凸起22，从而使得晶圆盒4不会轻易的脱离该提取装置，提升对晶圆盒4的保护作用。

在本实施例中，手持架1还包括安装在U形杆11的横杆部位的手握部13，该手握部13可以由海绵或者橡胶材料制成，使得工作人员使用该提取装置时的体验感更佳。

在本实施例中，手持架1还包括连接在U形杆11的两根竖杆部位之间的支撑杆14。通过支撑杆14对U形杆11的两端起到连接稳固作用，使得该提取装置的结构更加紧凑。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

Claims (9)

1.一种晶圆盒提取装置，其特征在于，包括手持架和两个夹持部，两个所述夹持部对称安装在手持架的两端，所述夹持部上具有与晶圆盒敞口端的条形凸起或者晶圆盒顶端的条形凸起相适配的卡接槽。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒提取装置，其特征在于：所述手持架包括U形杆，所述U形杆的两端均固定有用于连接夹持部的连接板；所述夹持部上设有若干连接位，若干所述连接位沿U形杆两端连接线的方向等距离设置，所述连接板通过螺栓安装在与其对应的夹持部的其中一个连接位内。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒提取装置，其特征在于：所述提取装置还包括阻挡部，所述阻挡部转动安装在手持架上，且所述阻挡部的至少部分结构能够移动至晶圆盒的敞口端处，以阻挡晶圆从晶圆盒的敞口端处滑出。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒提取装置，其特征在于：所述阻挡部包括连接臂和阻挡杆，所述连接臂的一端转动安装在U形杆的一端上，所述连接臂的另一端与阻挡杆的一端固定，晶圆盒的敞口端位于所述阻挡杆的运动轨迹上。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆盒提取装置，其特征在于：所述连接臂的一端设有转动连接部，所述转动连接部上具有安装通孔，所述转动连接部于安装通孔处设有缺口；所述U形杆靠近夹持部一端的侧壁上具有供转动连接部安装的环形连接槽。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆盒提取装置，其特征在于：所述转动连接部于安装通孔的内侧壁上设有限位凸起，所述U形杆于环形连接槽的外侧壁上设有若干与限位凸起相适配的限位凹槽，若干所述限位凹槽沿环形连接槽的圆周等角度分布。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种晶圆盒提取装置，其特征在于：所述夹持部于卡接槽的内侧壁上设有若干防滑凸起，若干所述防滑凸起沿卡接槽的长度方向等间距设置。

8.根据权利要求1-6任一项所述的一种晶圆盒提取装置，其特征在于：所述手持架还包括安装在U形杆的横杆部位的手握部。

9.根据权利要求1-6任一项所述的一种晶圆盒提取装置，其特征在于：所述手持架还包括连接在U形杆的两根竖杆部位之间的支撑杆。

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