CN218672457U - 一种净化空调系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种净化空调系统，包括第一新风处理机组、第一洁净室、第一夹层空间、第一冷却器、第一风机过滤器机组、第二新风处理机组、第二洁净室、第二夹层空间、第二风机过滤器机组和第一加热器；第一新风处理机组通过第一送风管与第一夹层空间连通；第一冷却器位于第一夹层空间内；第一夹层空间通过第一风机过滤器机组连通形成第一循环回路；第二新风处理机组通过第二送风管与第二夹层空间连通；第二夹层空间通过第二风机过滤器机组连通形成第二循环回路；第一洁净室的发热负荷高于第二洁净室的发热负荷，第一加热器用于加热经第二风机过滤器机组进入第二洁净室的空气。

Description

一种净化空调系统

技术领域

本实用新型涉及空调技术领域，特别涉及一种净化空调系统。

背景技术

电子工业厂房洁净室的净化空调系统通常采用新风处理机组+风机过滤器机组+干式冷却器相结合的形式，该系统的设计是为了考虑将洁净室的温度和相对湿度分别独立控制，以达到节能目的，其中，新风处理机组为了保证洁净室内的相对湿度和正压值，对室外新鲜空气经过滤、冷却或加热、加湿或除湿等多个功能段组合处理后送入洁净室；风机过滤器机组为了保证洁净室内的洁净度，内部设置有高效或超高效空气过滤器，室内空气经过风机过滤器机组过滤处理后送入洁净室；干式冷却器为了保证洁净室内的温度，根据洁净室的整体发热负荷特点，需要全年供给冷水，室内空气经过干式冷却器冷却处理后送入洁净室。

根据工艺设备发热量不同，洁净室分为高发热负荷洁净室和低发热负荷洁净室。半导体工厂实际工程中，室外新风通常由集中设置的新风处理机组(往往配置1～2台备用机组)集中统一处理后，通过风管送入各个洁净室或洁净区，为了同时满足高发热负荷洁净室和低发热负荷洁净室的温度控制需求，洁净室的空气处理过程存在冷热抵消现象，是不合理的。

实用新型内容

本实用新型公开了一种净化空调系统，用于减少冷热抵消。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种净化空调系统，包括：第一新风处理机组、第一洁净室、第一夹层空间、第一冷却器、第一风机过滤器机组、第二新风处理机组、第二洁净室、第二夹层空间、第二风机过滤器机组和第一加热器；

所述第一新风处理机组通过第一送风管与所述第一夹层空间连通；所述第一冷却器位于所述第一夹层空间内；所述第一夹层空间位于所述第一洁净室外侧，且所述第一夹层空间通过所述第一风机过滤器机组连通形成第一循环回路；

所述第二新风处理机组通过第二送风管与所述第二夹层空间连通；所述第二夹层空间位于所述第二洁净室外侧，且所述第二夹层空间通过所述第二风机过滤器机组连通形成第二循环回路；

所述第一洁净室的发热负荷高于所述第二洁净室的发热负荷，所述第一加热器用于加热经所述第二风机过滤器机组进入所述第二洁净室的空气。

上述净化空调系统中，将高发热负荷洁净室即第一洁净室和低发热负荷洁净室即第二洁净室分区控制，也就是说，对送入第一洁净室的新风以及送入第二洁净室的新风分别控制温度，仅对供应第二洁净室的空气按需通过第一加热器进行再热，而对供应第一洁净室的空气不加热，从而减少第一新风处理机组的再热耗热量，进而减少了第一冷却器的冷却耗能，因此，上述净化空调系统可以降低洁净室空气处理过程的冷热抵消现象，降低空调系统能耗，达到节能减排的目的。

在一些实施例中，所述第二新风处理机组内设置有所述第一加热器。

在一些实施例中，所述第二送风管上设置有所述第一加热器；或者，

所述第二夹层空间内设置有所述第一加热器。

在一些实施例中，第二夹层空间内还设置有第二冷却器。

在一些实施例中，所述净化空调系统还包括连通管和第二加热器，所述第一送风管和所述第二送风管通过所述连通管连通，所述第二加热器设置于所述连通管上，用于加热经所述连通管进入所述第二送风管的空气。

在一些实施例中，所述净化空调系统还包括连通管，所述第一送风管和所述第二送风管通过所述连通管连通；

且当所述第二送风管上设置有所述第一加热器时，所述第一加热器设置于所述第二送风管位于所述连通管和所述第二夹层空间之间的管路上。

在一些实施例中，所述连通管上设置有风阀，所述风阀用于调节所述连通管的流量。

在一些实施例中，所述第一新风处理机组内设置有第三加热器。

在一些实施例中，所述第二新风处理机组内设置有第四加热器。

在一些实施例中，所述第一夹层空间包括第一上技术夹层、第一下技术夹层以及连通所述第一上技术夹层和所述第一下技术夹层的第一回风夹道；和/或，

所述第二夹层空间包括第二上技术夹层、第二下技术夹层以及连通所述第二上技术夹层和所述第二下技术夹层的第二回风夹道。

附图说明

图1-图19为本实用新型实施例提供的不同净化空调系统的结构示意图；

图20为本实用新型实施例提供的第一夹层空间或者第二夹层空间的布局图。

图标：1-第一新风处理机组；11-第一进风管；12-第一送风管；13-第一风机；14-第一再热加热器；21-第一洁净室；22-第一夹层空间；221-第一上技术夹层；222-第一下技术夹层；223-第一回风夹道；23-第一干式冷却器；24-第一风机过滤器机组；25-第一工艺设备；3-第二新风处理机组；31-第二进风管；32-第二送风管；33-第二风机；34-第二再热加热器；41-第二洁净室；42-第二夹层空间；421-第二上技术夹层；422-第二下技术夹层；423-第二回风夹道；43-第二干式冷却器；44-第二风机过滤器机组；45-第二工艺设备；46-送风加热器；47-循环气流加热器；5-连通管；6-风阀；7-第三再热加热器。

具体实施方式

首先介绍一下本申请的应用场景：目前生产厂房的净化空调系统，为了保证低发热负荷洁净室的温湿度控制要求，需要在新风处理机组中设置再热加热器，将前段已处理的空气集中加热后，再送入洁净室的夹层空间与回风混合，而高发热负荷洁净室需要设置更多冷却能力的冷却器，以满足洁净室的温湿度控制要求，对于服务于低发热负荷洁净室和高发热负荷洁净室的整体空调系统而言，空气处理过程存在冷热抵消现象。

基于上述应用场景，本申请实施例提供了一种减少冷热抵消的净化空调系统。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图3所示，本实用新型实施例提供了一种净化空调系统，包括：第一新风处理机组1、第一洁净室21、第一夹层空间22、第一冷却器、第一风机过滤器机组24、第二新风处理机组3、第二洁净室41、第二夹层空间42、第二风机过滤器机组44和第一加热器；第一新风处理机组1通过第一送风管12与第一夹层空间22连通；第一冷却器位于第一夹层空间22内；第一夹层空间22位于第一洁净室21外侧，且第一夹层空间22通过第一风机过滤器机组24连通形成第一循环回路；第二新风处理机组3通过第二送风管32与第二夹层空间42连通；第二夹层空间42位于第二洁净室41外侧，且第二夹层空间42通过第二风机过滤器机组44连通形成第二循环回路；第一洁净室21的发热负荷高于第二洁净室41的发热负荷，第一加热器用于加热经第二风机过滤器机组44进入第二洁净室41的空气。

上述净化空调系统中，将高发热负荷洁净室即第一洁净室21和低发热负荷洁净室即第二洁净室41分区控制，也就是说，对送入第一洁净室21的新风以及送入第二洁净室41的新风分别控制温度，仅对供应第二洁净室41的空气按需通过第一加热器进行再热，而对供应第一洁净室21的空气不加热，从而减少第一新风处理机组1的再热耗热量，进而减少了第一冷却器的冷却耗能，因此，上述净化空调系统可以降低洁净室空气处理过程的冷热抵消现象，降低空调系统能耗，达到节能减排的目的。

在一些实施例中，第二新风处理机组3内设置有第一加热器。

一种可能实现的方式中，参照图1，净化空调系统包括：第一新风处理机组1、第一洁净室21、第一夹层空间22、第一冷却器和第一风机过滤器机组24，以及第二新风处理机组3、第二洁净室41、第二夹层空间42和第二风机过滤器机组44。第一新风处理机组1的进风口连接有第一进风管11，用于通入室外新风，第一新风处理机组1的出风口连接有第一送风管12，第一新风处理机组1内设置有第一风机13。第一新风处理机组1通过第一送风管12将处理好的新风送入第一夹层空间22，第一夹层空间22通过第一风机过滤器机组24与第一洁净室21连通，建立空气循环回路。需要说明的是，第一送风管12可以是一个、两个或者两个以上。第二新风处理机组3的进风口连接有第二进风管31，用于通入室外新风，第二新风处理机组3的出风口连接有第二送风管32，第二新风处理机组3内设置有第二风机33。第二新风处理机组3通过第二送风管32将处理好的新风送入第二夹层空间42，第二夹层空间42通过第二风机过滤器机组44与第二洁净室41连通，建立空气循环回路。需要说明的是，第二送风管32可以是一个、两个或者两个以上。第二新风处理机组3内设置有第一加热器，示例性的，如图1所示，第一加热器为第二再热加热器34。可以理解的是，第一冷却器可以为第一干式冷却器23，也可以为风机盘管机组、空调机组或其它用于空气处理的相关设备。

由于图1中第一工艺设备25和第二工艺设备45的结构不同以及分别实施的工艺不同，图1中第一洁净室21为高发热负荷洁净室，第二洁净室41为低发热负荷洁净室，为高发热负荷洁净室供应新风的第一新风处理机组1与为低发热负荷洁净室供应新风的第二新风处理机组3单独设置，分开控制：

对于第一洁净室21而言，第一新风处理机组1内不设置再热加热器，第一新风处理机组1处理后的空气采用露点送风，如送风温度为9.5℃～11℃，可以利用低温新风消除第一洁净室21的部分发热负荷，第一洁净室21的循环空气先与低温新风在第一夹层空间22混合，后通过第一干式冷却器23冷却(耗冷量减少)，或者第一洁净室21的循环空气先通过第一干式冷却器23冷却(耗冷量减少)，后与低温新风在第一夹层空间22混合，这取决于第一干式冷却器23与第一送风管12接入第一夹层空间22的出风口在循环气流路径上的相对位置，最后通过第一洁净室21顶部的第一风机过滤器机组24送入第一洁净室21内，以保证第一洁净室21内温度的控制要求。

对于第二洁净室41而言，第二新风处理机组3内设置第二再热加热器34，将第二新风处理机组3前段已处理的接近露点温度的空气集中加热到15℃～20℃，再送入第二洁净室41的第二夹层空间42与回风混合后，通过第二洁净室41顶部的第二风机过滤器机组44送入第二洁净室41内，以保证第二洁净室41内温度的控制要求。

需要说明的是，当第一新风处理机组1与第二新风处理机组3分别设置备用机组时，如有部分机组需要检修或发生故障需要关闭时，可由各自的备用机组投入使用，不影响各自新风的风量和送风温度。

还需要说明的是，对于第一洁净室21而言，可以利用低温新风消除第一洁净室21的部分发热负荷，降低了第一洁净室21的第一干式冷却器23的耗冷量，同时第一新风处理机组1可减少或杜绝再热量。与现有技术中集中设置的新风处理机组中设置再热加热器，将前段已处理的接近露点温度的空气集中加热到15℃～20℃，再送入第一洁净室21的第一夹层空间22与回风混合，但第一洁净室21需要设置更多冷却能力的第一干式冷却器23相比，既减少或杜绝了第一新风处理机组1的再热耗热量，也减少了第一洁净室21的第一干式冷却器23的耗冷量，达到节能减排的目的。

在一些实施例中，第二送风管32上设置有第一加热器。

一种可能实现的方式中，参照图2，与图1中结构不同的是，第一加热器未设置在第二新风处理机组3内，而是设置在第二送风管32上，即图2中送风加热器46。

对于第二洁净室41而言，第二送风管32上设置送风加热器46，将第二新风处理机组3已处理的接近露点温度的空气集中加热到15℃～20℃，再送入第二洁净室41的第二夹层空间42与回风混合后，通过第二洁净室41顶部的第二风机过滤器机组44送入第二洁净室41内，以保证第二洁净室41内温度的控制要求。

同理，本实施例提供的净化空调系统既杜绝了第一新风处理机组1的再热耗热量，也减少了第一洁净室21的干式冷却器的耗冷量，达到节能减排的目的。

在一些实施例中，第二夹层空间42内设置有第一加热器。

一种可能实现的方式中，参照图3，与图1中结构不同的是，第一加热器未设置在第二新风处理机组3内，而是设置在第二夹层空间42内，即图3中循环气流加热器47。循环气流加热器47安装于第二洁净室41空气循环回路气流路径中，可以对空气进行加热；循环气流加热器47也可以为风机盘管机组、空调机组或其它用于空气处理的相关设备；

对于第二洁净室41而言，低温新风送入第二夹层空间42与回风混合后，为避免直接送入第二洁净室41内，使第二洁净室41内的空气温度偏低，可通过循环气流加热器47对混合后的空气部分或全部进行加热，也可通过循环气流加热器47先对部分或全部回风进行加热，后与第二新风处理机组3送进来的新风相混合，这取决于循环气流加热器47与第二送风管32接入第二夹层空间42的出风口在循环气流路径上的相对位置，最后通过第二风机过滤器机组44送入第二洁净室41内，满足工艺生产对第二洁净室41的温度控制要求。

同理，本实施例提供的净化空调系统既杜绝了第一新风处理机组1的再热耗热量，也减少了第一洁净室21的干式冷却器的耗冷量，达到节能减排的目的。

在一些实施例中，第二夹层空间42内还设置有第二冷却器。

一种可能实现的方式中，参照图4，与图1中结构不同的是，第二夹层空间42内还设置有第二冷却器，第二冷却器可以为第二干式冷却器43，也可以为风机盘管机组、空调机组或其它用于空气处理的相关设备。第二干式冷却器43可以对空气进行冷却，以满足工艺生产对第二洁净室41的湿度控制要求。

一种可能实现的方式中，参照图5，与图2中结构不同的是，第二夹层空间42内还设置有第二冷却器，第二冷却器可以为第二干式冷却器43，也可以为风机盘管机组、空调机组或其它用于空气处理的相关设备。第二干式冷却器43可以对空气进行冷却，以满足工艺生产对第二洁净室41的湿度控制要求。

一种可能实现的方式中，参照图6，与图2中结构不同的是，第二夹层空间42内还设置有第二冷却器，第二冷却器可以为第二干式冷却器43，也可以为风机盘管机组、空调机组或其它用于空气处理的相关设备。第二干式冷却器43可以对空气进行冷却，以满足工艺生产对第二洁净室41的湿度控制要求。需要说明的是，循环气流加热器47与第二干式冷却器43可以为竖直上下布置，也可以为水平左右布置，也可以为分开独立布置。

可以理解的是，第一加热器可以为一个也可以为两个或者两个以上，如图7所示，第一加热器为两个，第一个为设置于第二新风处理机组3内的第二再热加热器34，第二个为设置于第二送风管32上的送风加热器46。如图8所示，第一加热器为两个，第一个为设置于第二新风处理机组3内的第二再热加热器34，第二个为设置于第二夹层空间42内的循环气流加热器47。

在一些实施例中，第一新风处理机组1内设置有第三加热器。

可以理解的是，第一新风处理机组1内设置有第三加热器，可以根据需要开启或者关闭，以适应更多工艺需求。

一种可能实现的方式中，参照图9，与图8中结构不同的是，第一新风处理机组1内设置有第三加热器，即第一再热加热器14。第一新风处理机组1给第一洁净室21供应新风时，第一再热加热器14不开启，减少或杜绝了第一新风处理机组1的再热耗热量。若第一新风处理机组1不给第一洁净室21供应新风而给第二洁净室41供应新风时，第一再热加热器14可以开启。

在一些实施例中，净化空调系统还包括连通管5和第二加热器，第一送风管12和第二送风管32通过连通管5连通，第二加热器用于加热经连通管5进入第二送风管32的空气。

需要说明的是，净化空调系统中第一送风管12和第二送风管32通过连通管5连通，也就是说，第一新风处理机组1和第二新风处理机组3可以共用第一新风处理机组1的备用机组，且第一新风处理机组1也可以给第二洁净室41供应新风。

一种可能实现的方式中，参照图10，与图1中结构不同的是，第一送风管12和第二送风管32通过连通管5连通，连通管5上设置有第二加热器即图10中第三再加热器。

一种可能实现的方式中，参照图11，与图10中结构不同的是，第一新风处理机组1内设置有第三加热器，即第一再热加热器14。第一新风处理机组1给第一洁净室21供应新风时，第一再热加热器14不开启，减少或杜绝了第一新风处理机组1的再热耗热量。若第一新风处理机组1不给第一洁净室21供应新风而给第二洁净室41供应新风时，第一再热加热器14可以开启。

在一些实施例中，连通管5上设置有风阀6，风阀6用于调节连通管5的流量。

一种可能实现的方式中，参照图12，与图10中结构不同的是，连通管5上设置有风阀6，平时风阀6关闭，当第二新风处理机组3需要检修或发生故障需要关闭时，将第一新风处理机组1的备用机组投入运行，以保证第二洁净室41的送风需求。

图12中第一洁净室21为高发热负荷洁净室，第二洁净室41为低发热负荷洁净室，为高发热负荷洁净室供应新风的第一新风处理机组1与为低发热负荷洁净室供应新风的第二新风处理机组3集中设置，分开控制：

对于第一洁净室21而言，第一新风处理机组1内不设置再热加热器，新风处理机组处理后的空气采用露点送风，送风温度通常为9.5℃～11℃，可以利用低温新风消除第一洁净室21的部分发热负荷，第一洁净室21的循环空气先与低温新风在第一夹层空间22混合，后通过第一干式冷却器23冷却(耗冷量减少)，或者第一洁净室21的循环空气先通过第一干式冷却器23冷却(耗冷量减少)，后与低温新风在第一夹层空间22混合，这取决于第一干式冷却器23与第一送风管12接入第一夹层空间22的出风口在循环气流路径上的相对位置，最后通过第一洁净室21顶部的第一风机过滤器机组24送入第一洁净室21内，以保证第一洁净室21内温度的控制要求。

对于第二洁净室41而言，第二新风处理机组3内设置再热加热器，将前段已处理的接近露点温度的空气集中加热到15℃～20℃，再送入第二洁净室41的第二夹层空间42与回风混合后，通过第二洁净室41顶部的第二风机过滤器机组44送入第二洁净室41内，以保证第二洁净室41内温度的控制要求。

需要说明的是，在第一新风处理机组1中设置备用机组，该备用机组可以同时作为第二新风处理机组3的合用备用机组，第一新风处理机组1出口与第二新风处理机组3出口采用连通管5相连通，连通管5上设置有风阀6，风阀6平时关闭，连通管5上设置有第三再热加热器7，第三再热加热器7平时不启用，正常情况第一新风处理机组1与第二新风处理机组3分组独立控制，如第一新风处理机组1有机组需要检修或发生故障需要关闭时，将第一新风处理机组1的备用机组投入运行，不影响新风总风量和送风温度，如第二新风处理机组3有机组需要检修或发生故障需要关闭时，将第一新风处理机组1的备用机组投入运行，运行连通管5上的第三再加热器，使通过连通管5并入第二新风处理机组3的新风量和温度，达到第二新风处理机组3的需求值，也不会影响新风总风量和送风温度。

还需要说明的是，对于第一洁净室21而言，可以利用低温新风消除洁净室的部分发热负荷，降低了第一洁净室21的第一干式冷却器23的耗冷量，同时新风处理机组可减少或杜绝再热量。与现有技术中集中设置的新风处理机组中设置再热加热器，将前段已处理的接近露点温度的空气集中加热到15℃～20℃，再送入第一洁净室21的第一夹层空间22与回风混合，但第一洁净室21需要设置更多冷却能力的第一干式冷却器23相比，既减少或杜绝了第一新风处理机组1的再热耗热量，也减少了第一洁净室21的干式冷却器的耗冷量，达到节能减排的目的。

一种可能实现的方式中，参照图13，与图12中结构不同的是，第一新风处理机组1内设置有第三加热器，即第一再热加热器14。第一新风处理机组1给第一洁净室21供应新风时，第一再热加热器14不开启，减少或杜绝了第一新风处理机组1的再热耗热量。若第一新风处理机组1不给第一洁净室21供应新风而给第二洁净室41供应新风时，第一再热加热器14可以开启。

在一些实施例中，净化空调系统还包括连通管5，第一送风管12和第二送风管32通过连通管5连通；且当第二送风管32上设置有第一加热器时，第一加热器设置于第二送风管32位于连通管5和第二夹层空间42之间的管路上。

一种可能实现的方式中，参照图14，与图7中结构不同的是，第一送风管12和第二送风管32通过连通管5连通；且当第二送风管32上设置有第一加热器时，第一加热器设置于第二送风管32位于连通管5和第二夹层空间42之间的管路上。

第一洁净室21为高发热负荷洁净室，第二洁净室41为低发热负荷洁净室，为高发热负荷洁净室供应新风的第一新风处理机组1与为低发热负荷洁净室供应新风的第二新风处理机组3集中设置，集中设置的新风处理机组(第一新风处理机组1和第二新风处理机组3)内可不设置加热器，或者设置的加热器不投入运行，如图14和图15所示仅第二新风处理机组3设置有第二再热加热器34，或者如图16和图17所示，第一新风处理机组1设置有第一再热加热器14，第二新风处理机组3设置有第二再热加热器34。集中设置的新风处理机组处理后的空气采用露点送风，送风温度通常为9.5℃～11℃。对于第二洁净室41而言，第二送风管32上设置有送风加热器46，将集中设置的新风处理机组已集中处理的接近露点温度的空气再加热到15℃～20℃后，送入第二洁净室41的第二夹层空间42与回风混合后，通过第二洁净室41顶部的第二风机过滤器机组44送入第二洁净室41内，以保证第二洁净室41内温度的控制要求。对于第一洁净室21而言，可以利用低温新风消除洁净室的部分发热负荷，第一洁净室21的循环空气先与低温新风在第一夹层空间22混合，后通过第一干式冷却器23冷却(耗冷量减少)，或者第一洁净室21的循环空气先通过第一干式冷却器23冷却(耗冷量减少)，后与低温新风在第一夹层空间22混合，这取决于第一干式冷却器23与第一送风管12接入第一夹层空间22的出风口在循环气流路径上的相对位置，最后通过第一洁净室21顶部的第一风机过滤器机组24送入第一洁净室21内，以保证第一洁净室21内温度的控制要求。对于第一洁净室21而言，可以利用低温新风消除第一洁净室21的部分发热负荷，降低了第一洁净室21的第一干式冷却器23的耗冷量，同时集中布置的新风处理机组可杜绝再热。与现有技术中集中设置的新风处理机组中设置再热加热器，将前段已处理的接近露点温度的空气集中加热到15℃～20℃，再送入第一洁净室21的第一夹层空间22与回风混合，但第一洁净室21需要设置更多冷却能力的第一干式冷却器23相比，既杜绝了集中设置的新风处理机组的再热耗热量，也减少了第一洁净室21的干式冷却器的耗冷量，达到节能减排的目的。

需要说明的是，在第一新风处理机组1中设置备用机组，该备用机组同时作为第二新风处理机组3的合用备用机组，第一送风管12和第二送风管32通过连通管5连通，结合图15和图17，连通管5上设置有风阀6，风阀6平时关闭，正常情况第一新风处理机组1与第二新风处理机组3分组独立控制，如第一新风处理机组1有机组需要检修或发生故障需要关闭时，将第一新风处理机组1的备用机组投入运行，不影响新风总风量和送风温度，如第二新风处理机组3有机组需要检修或发生故障需要关闭时，将第一新风处理机组1的备用机组投入运行，开启连通管5上的风阀6，使通过连通管5并入第二新风处理机组3的新风量，达到第二新风处理机组3的需求值，也不会影响新风总风量和送风温度。

一种可能实现的方式中，参照图18，与图8中结构不同的是，第一送风管12和第二送风管32通过连通管5连通。

图18中第一洁净室21为高发热负荷洁净室，第二洁净室41为低发热负荷洁净室。服务于第二洁净室41的循环气流加热器47与第二干式冷却器43可以为竖直上下布置，也可以为水平左右布置，也可以为分开独立布置，也可以只布置第二循环气流加热器47，而不布置第二干式冷却器43。为高发热负荷洁净室供应新风与为低发热负荷洁净室供应新风的新风处理机组集中设置，集中设置的新风处理机组可杜绝再热。

对于第一洁净室21而言，集中设置的新风处理机组处理后的空气采用露点送风，送风温度通常为9.5℃～11℃，可以利用低温新风消除洁净室的部分发热负荷，第一洁净室21的循环空气先与低温新风在第一夹层空间22混合，后通过第一干式冷却器23冷却(耗冷量减少)，或者第一洁净室21的循环空气先通过第一干式冷却器23冷却(耗冷量减少)，后与低温新风在第一夹层空间22混合，这取决于第一干式冷却器23与第一送风管12接入第一夹层空间22的出风口在循环气流路径上的相对位置，最后通过洁净室顶部的风机过滤器机组送入洁净室内，以保证第一洁净室21内温度的控制要求。

对于第二洁净室41而言，低温新风送入第二夹层空间42与回风混合后，为避免直接送入第二洁净室41内，使第二洁净室41内的空气温度偏低，可通过第二循环气流加热器47对混合后的空气部分或全部进行加热，也可通过第二循环气流加热器47先对部分或全部回风进行加热，后与新风处理机组送进来的新风相混合，这取决于第二循环气流加热器47与第二送风管32接入第二夹层空间42的出风口在循环气流路径上的相对位置，最后通过第二风机过滤器机组44送入第二洁净室41内，满足工艺生产对洁净室的温度控制要求。

与现有技术中集中设置的新风处理机组中设置再热加热器，将前段已处理的接近露点温度的空气集中加热到15℃～20℃，再送入洁净室的回风夹道与回风混合，但第一洁净室21需要设置更多冷却能力的第一干式冷却器23相比，既杜绝了集中布置的新风处理机组的再热耗热量，也减少了第一洁净室21的干式冷却器的耗冷量，达到节能减排的目的。

需要说明的是，在第一新风处理机组1中设置备用机组，该备用机组同时作为第二新风处理机组3的合用备用机组，第一送风管12和第二送风管32通过连通管5连通，结合图18，连通管5上设置有风阀6，风阀6平时关闭，正常情况第一新风处理机组1与第二新风处理机组3分组独立控制，如第一新风处理机组1有机组需要检修或发生故障需要关闭时，将第一新风处理机组1的备用机组投入运行，不影响新风总风量和送风温度，如第二新风处理机组3有机组需要检修或发生故障需要关闭时，将第一新风处理机组1的备用机组投入运行，开启连通管5上的风阀6，使通过连通管5并入第二新风处理机组3的新风量，达到第二新风处理机组3的需求值，也不会影响新风总风量和送风温度。

在一些实施例中，第二新风处理机组3内设置有第四加热器。

一种可能实现的方式中，如图14-图19所示，第二新风处理机组3内设置有第四加热器，即第二再热加热器34。在实际运行中，第二再热加热器34可以根据实际需要开启也可以不开启。

需要说明的是，第一夹层空间22包括与所述第一洁净室21连通的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或其它与第一洁净室21相连通的气流可以流通的任何空间。第二夹层空间42包括与所述第二洁净室41连通的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或其它与第二洁净室41相连通的气流可以流通的任何空间。

在一些实施例中，如图20所示，第一夹层空间22包括第一上技术夹层221、第一下技术夹层222以及连通第一上技术夹层221和第一下技术夹层222的第一回风夹道223。

第二夹层空间42包括第二上技术夹层421、第二下技术夹层422以及连通第二上技术夹层421和第二下技术夹层422的第二回风夹道423。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种净化空调系统，其特征在于，包括：第一新风处理机组、第一洁净室、第一夹层空间、第一冷却器、第一风机过滤器机组、第二新风处理机组、第二洁净室、第二夹层空间、第二风机过滤器机组和第一加热器；

所述第一新风处理机组通过第一送风管与所述第一夹层空间连通；所述第一冷却器位于所述第一夹层空间内；所述第一夹层空间位于所述第一洁净室外侧，且所述第一夹层空间通过所述第一风机过滤器机组连通形成第一循环回路；

所述第二新风处理机组通过第二送风管与所述第二夹层空间连通；所述第二夹层空间位于所述第二洁净室外侧，且所述第二夹层空间通过所述第二风机过滤器机组连通形成第二循环回路；

所述第一洁净室的发热负荷高于所述第二洁净室的发热负荷，所述第一加热器用于加热经所述第二风机过滤器机组进入所述第二洁净室的空气。

2.根据权利要求1所述的净化空调系统，其特征在于，所述第二新风处理机组内设置有所述第一加热器。

3.根据权利要求1所述的净化空调系统，其特征在于，所述第二送风管上设置有所述第一加热器；或者，

所述第二夹层空间内设置有所述第一加热器。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的净化空调系统，其特征在于，所述第二夹层空间内还设置有第二冷却器。

5.根据权利要求2所述的净化空调系统，其特征在于，所述净化空调系统还包括连通管和第二加热器，所述第一送风管和所述第二送风管通过所述连通管连通，所述第二加热器设置于所述连通管上，用于加热经所述连通管进入所述第二送风管的空气。

6.根据权利要求3所述的净化空调系统，其特征在于，所述净化空调系统还包括连通管，所述第一送风管和所述第二送风管通过所述连通管连通；

且当所述第二送风管上设置有所述第一加热器时，所述第一加热器设置于所述第二送风管位于所述连通管和所述第二夹层空间之间的管路上。

7.根据权利要求5或6所述的净化空调系统，其特征在于，所述连通管上设置有风阀，所述风阀用于调节所述连通管的流量。

8.根据权利要求2或6所述的净化空调系统，其特征在于，所述第一新风处理机组内设置有第三加热器。

9.根据权利要求6所述的净化空调系统，其特征在于，所述第二新风处理机组内设置有第四加热器。

10.根据权利要求1所述的净化空调系统，其特征在于，所述第一夹层空间包括第一上技术夹层、第一下技术夹层以及连通所述第一上技术夹层和所述第一下技术夹层的第一回风夹道；和/或，

所述第二夹层空间包括第二上技术夹层、第二下技术夹层以及连通所述第二上技术夹层和所述第二下技术夹层的第二回风夹道。

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