CN218670709U - 一体化流量控制器装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一体化流量控制器装置，包括装置箱，所述装置箱内部开设有进液槽、限流槽、连接槽、泄压槽和排液槽，所述进液槽一端与限流槽侧面相连，所述限流槽底部与连接槽顶部一端相连，所述连接槽另一端顶部与泄压槽底部相连，所述泄压槽侧面与排液槽一端相连，所述限流槽内部设有控流装置，且控流装置内部设有限制流量大小的限流机构，所述泄压槽内部设有对液体压力排泄的泄压机构，所述装置箱安装有测压装置，所述装置箱两端分别安装有进液管和排液管，所述进液管和排液管分别设置于进液槽和排液槽表面。本实用新型通过限流机构的设置，可对液体进行限流设置，避免液体流量过大或过小对其造成影响。

Description

一体化流量控制器装置

技术领域

本实用新型涉及流量控制器装置技术领域，尤其涉及一体化流量控制器装置。

背景技术

在半导体制造装置或者化工厂中，为了控制材料气体或蚀刻气体等流体的流动，利用了各种类型的流量计或者流量控制装置。其中，压力式流量控制装置由于能够通过组合了控制阀和节流部的比较简单的机构来高精度地控制各种流体的流量，因此被广泛利用。

在一体化流量控制器的使用中，由于一体化流量控制器整体结构不合理，在使用时一体化流量控制器必须保证内部流向压力大小，避免压力过大或过小都会对工作造成影响，从而造成流量表在一体化流量控制器必须保证内部工作的稳定性，而流槽内流量控制精度是保证下道工序生产稳定的重要工艺参数，因此，亟需设计一体化流量控制器装置来解决这一问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一体化流量控制器装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一体化流量控制器装置，包括装置箱，所述装置箱内部开设有进液槽、限流槽、连接槽、泄压槽和排液槽，所述进液槽一端与限流槽侧面相连，所述限流槽底部与连接槽顶部一端相连，所述连接槽另一端顶部与泄压槽底部相连，所述泄压槽侧面与排液槽一端相连，所述限流槽内部设有控流装置，且控流装置内部设有限制流量大小的限流机构，所述泄压槽内部设有对液体压力排泄的泄压机构，所述装置箱安装有测压装置。

作为本实用新型的进一步方案，所述限流机构包括限流环和滑槽，所述限流环滑动于限流槽内部，所述限流环弧面处安装有两个限位块，且两个限位块呈对称设置，所述滑槽设有两个，且两个滑槽均开设于限流槽内部，两个所述限位块分别滑动于两个滑槽内部，所述限流环弧面处开设有限流孔，且限流孔连接于限流环底部，所述限流环顶部安装有限位环，所述限位环内部转动有转盘，所述转盘顶部安装有螺纹杆，所述螺纹杆穿插转动于装置箱顶部，所述螺纹杆顶部安装有旋转阀，所述装置箱顶部安装有连接轴，所述连接轴套接于螺纹杆表面。

作为本实用新型的进一步方案，所述泄压机构包括控压块，所述控压块滑动于泄压槽内部，且控压块每部滑动有弹簧和滑板，所述滑板安装于弹簧顶部，所述滑板顶部安装有连接杆，且连接杆穿插滑动于装置箱顶部，所述测压装置安装于固定板顶部，且固定板安装于装置箱顶部，所述测压装置内部安装有压力监测器，所述连接杆顶部安装于压力监测器底部。

作为本实用新型的进一步方案，所述装置箱两端分别安装有进液管和排液管，所述进液管和排液管分别设置于进液槽和排液槽表面。

本实用新型的有益效果为：

1.通过控流装置的设置可对流量进行控制，在使用时先旋转旋转阀带动螺纹杆转动，螺纹杆在装置箱和连接轴的限制下向下滑动，螺纹杆可带动转盘和限位环向下滑动，限流环通过限位块的限制，使限流环向下滑动，使限流孔于进液槽接触面积越来越大，从而可控制液体流量越来越大，这时可进行使用，当不需要使用时，反转旋转阀带动螺纹杆和转盘转动，使螺纹杆和转盘向上转动，转盘带动限位环和限流环向上滑动，此时限流孔与进液槽接触面变小，从而可关闭液体流入量，进而提高了该设备的使用效果。

2.通过测压装置的设置，可对液体流量进行监测，当使用时液体通过限流孔流入连接槽，液体通过自身压力将控压块向上滑动，此时液体可从排液槽排出，控压块带动弹簧进行压缩，弹簧产生的压力通过滑板和连接杆传递至压力监测器上，此时可对液体压力进行监测，进而提高了该设备的实用性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一体化流量控制器装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一体化流量控制器装置的剖视图；

图3为本实用新型提出的一体化流量控制器装置的A处放大图；

图4为本实用新型提出的一体化流量控制器装置的剖面侧视图。

图中：1、装置箱；11、进液槽；12、限流槽；13、连接槽；14、泄压槽；15、排液槽；2、进液管；21、排液管；3、转盘；31、旋转阀；32、螺纹杆；33、连接轴；34、限位环；35、限流环；36、限流孔；37、限位块；38、滑槽；4、测压装置；41、固定板；42、压力监测器；5、控压块；51、滑板；52、连接杆；53、弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-4，一体化流量控制器装置，包括装置箱1，装置箱1内部开设有进液槽11、限流槽12、连接槽13、泄压槽14和排液槽15，进液槽11一端与限流槽12侧面相连，限流槽12底部与连接槽13顶部一端相连，连接槽13另一端顶部与泄压槽14底部相连，泄压槽14侧面与排液槽15一端相连，所述限流槽12内部设有控流装置3，且控流装置3内部设有限制流量大小的限流机构，泄压槽14内部设有对液体压力排泄的泄压机构，装置箱1安装有测压装置4，通过该装置的设置，可对需要控制的液体进行限流设置，进而提高该装置的实用性。

参照图1-4，在一个优选的实施方式中，限流机构包括限流环35和滑槽38，限流环35滑动于限流槽12内部，限流环35弧面处安装有两个限位块37，且两个限位块37呈对称设置，滑槽38设有两个，且两个滑槽38均开设于限流槽12内部，两个限位块37分别滑动于两个滑槽38内部，限流环35弧面处开设有限流孔36，且限流孔36连接于限流环35底部，限流环35顶部安装有限位环34，限位环34内部转动有转盘39，转盘39顶部安装有螺纹杆32，螺纹杆32穿插转动于装置箱1顶部，螺纹杆32顶部安装有旋转阀31，装置箱1顶部安装有连接轴33，连接轴33套接于螺纹杆32表面，用于限制液体的流量大小。

参照图1、图2和图4，在一个优选的实施方式中，泄压机构包括控压块5，控压块5滑动于泄压槽14内部，且控压块5每部滑动有弹簧53和滑板51，滑板51安装于弹簧53顶部，滑板51顶部安装有连接杆52，且连接杆52穿插滑动于装置箱1顶部，测压装置4安装于固定板41顶部，且固定板41安装于装置箱1顶部，测压装置4内部安装有压力监测器42，连接杆52顶部安装于压力监测器42底部，用于对控制流量大小后的液压进行监测。

参照图1和图2，在一个优选的实施方式中，装置箱1两端分别安装有进液管2和排液管21，进液管2和排液管21分别设置于进液槽11和排液槽15表面，便于该装置于外部相连接。

从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果：在实际使用时，通过控流装置3的设置可对流量进行控制，在使用时先旋转旋转阀31带动螺纹杆32转动，螺纹杆32在装置箱1和连接轴33的限制下向下滑动，螺纹杆32可带动转盘39和限位环34向下滑动，限流环35通过限位块37的限制，使限流环35向下滑动，使限流孔36于进液槽11接触面积越来越大，从而可控制液体流量越来越大，这时可进行使用，当不需要使用时，反转旋转阀31带动螺纹杆32和转盘39转动，使螺纹杆32和转盘39向上转动，转盘39带动限位环34和限流环35向上滑动，此时限流孔36与进液槽11接触面变小，从而可关闭液体流入量，进而提高了该设备的使用效果，通过测压装置4的设置，可对液体流量进行监测，当使用时液体通过限流孔36流入连接槽13，液体通过自身压力将控压块5向上滑动，此时液体可从排液槽15排出，控压块5带动弹簧53进行压缩，弹簧53产生的压力通过滑板51和连接杆52传递至压力监测器42上，此时可对液体压力进行监测，进而提高了该设备的实用性。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一体化流量控制器装置，包括装置箱(1)，其特征在于，所述装置箱(1)内部开设有进液槽(11)、限流槽(12)、连接槽(13)、泄压槽(14)和排液槽(15)，所述进液槽(11)一端与限流槽(12)侧面相连，所述限流槽(12)底部与连接槽(13)顶部一端相连，所述连接槽(13)另一端顶部与泄压槽(14)底部相连，所述泄压槽(14)侧面与排液槽(15)一端相连，所述限流槽(12)内部设有控流装置(3)，且控流装置(3)内部设有限制流量大小的限流机构，所述泄压槽(14)内部设有对液体压力排泄的泄压机构，所述装置箱(1)安装有测压装置(4)。

2.根据权利要求1所述的一体化流量控制器装置，其特征在于，所述限流机构包括限流环(35)和滑槽(38)，所述限流环(35)滑动于限流槽(12)内部，所述限流环(35)弧面处安装有两个限位块(37)，且两个限位块(37)呈对称设置。

3.根据权利要求2所述的一体化流量控制器装置，其特征在于，所述滑槽(38)设有两个，且两个滑槽(38)均开设于限流槽(12)内部，两个所述限位块(37)分别滑动于两个滑槽(38)内部，所述限流环(35)弧面处开设有限流孔(36)，且限流孔(36)连接于限流环(35)底部。

4.根据权利要求3所述的一体化流量控制器装置，其特征在于，所述限流环(35)顶部安装有限位环(34)，所述限位环(34)内部转动有转盘(39)，所述转盘(39)顶部安装有螺纹杆(32)，所述螺纹杆(32)穿插转动于装置箱(1)顶部，所述螺纹杆(32)顶部安装有旋转阀(31)，所述装置箱(1)顶部安装有连接轴(33)，所述连接轴(33)套接于螺纹杆(32)表面。

5.根据权利要求1所述的一体化流量控制器装置，其特征在于，所述泄压机构包括控压块(5)，所述控压块(5)滑动于泄压槽(14)内部，且控压块(5)每部滑动有弹簧(53)和滑板(51)，所述滑板(51)安装于弹簧(53)顶部，所述滑板(51)顶部安装有连接杆(52)，且连接杆(52)穿插滑动于装置箱(1)顶部。

6.根据权利要求5所述的一体化流量控制器装置，其特征在于，所述测压装置(4)安装于固定板(41)顶部，且固定板(41)安装于装置箱(1)顶部，所述测压装置(4)内部安装有压力监测器(42)，所述连接杆(52)顶部安装于压力监测器(42)底部。

7.根据权利要求1所述的一体化流量控制器装置，其特征在于，所述装置箱(1)两端分别安装有进液管(2)和排液管(21)，所述进液管(2)和排液管(21)分别设置于进液槽(11)和排液槽(15)表面。

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