CN218653499U - 一种新型半导体设备滤风整流装备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型半导体设备滤风整流装备，包括机体，机体内部的一侧设有过滤网板，过滤网板位置处的机体底端设有排污口，排污口的顶端延伸至机体的内部，过滤网板一侧的机体内部转动连接有整流板，整流板位置处的机体顶端安装有手轮，手轮的底端延伸至机体的内部并与整流板的顶端固定连接，机体一侧的外壁上设有进风口，进风口的一端延伸至机体的内部，进风口远离机体的一端安装有供风管，机体远离进风口一侧的外壁上设有出风口，出风口的一端延伸至机体的内部，出风口远离机体的一端安装有排风管。本实用新型不仅降低了风能产生泄漏的现象，还达到了调节风能流速的目的，而且降低了过滤网板产生堵塞的现象。

Description

一种新型半导体设备滤风整流装备

技术领域

本实用新型涉及半导体滤风整流技术领域，具体为一种新型半导体设备滤风整流装备。

背景技术

半导体通常是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的一种材料，其广泛应用于集成电路、通信系统和光伏发电等领域，由于半导体生产要求严格、过程复杂，生产过程中常因设备内部风流量的不均匀性而出现产能低、合格率低的问题，为了改善此类现象，因而需使用到相应的滤风整流装备。

目前的滤风整流装备能够较好地改善半导体设备内部风流量的不均匀性，其主要设置有机体、整流板、过滤网板、进风口与出风口等部件，具体的是将整流板与过滤网板设置于机体中，再将进风口与出风口设置于机体两侧的外壁上，即可组合形成滤风整流装备，当对其进行使用时，将供风管与排风管分别连接于进风口与出风口，使得风能经供风管并由进风口流入至机体的内部，再由过滤网板对其进行过滤后，由整流板整流后由出风口并经排风管排入至半导体设备中，以改善风流量不均匀的问题，根据上述可知，该滤风整流装备虽能够对风能进行整流处理，但通常不便于对进风口与供风管以及出风口与排风管的连接位置处进行密封处理，导致风能易经进风口与供风管以及出风口与排风管的连接位置处产生泄漏的现象，时常困扰着人们。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型半导体设备滤风整流装备，以解决上述背景技术中提出滤风整流装备虽能够对风能进行整流处理，但通常不便于对进风口与供风管以及出风口与排风管的连接位置处进行密封处理，导致风能易经进风口与供风管以及出风口与排风管的连接位置处产生泄漏现象的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型半导体设备滤风整流装备，包括机体，所述机体内部的一侧设有过滤网板，所述过滤网板位置处的机体底端设有排污口，所述排污口的顶端延伸至机体的内部，所述过滤网板一侧的机体内部转动连接有整流板，所述整流板位置处的机体顶端安装有手轮，所述手轮的底端延伸至机体的内部并与整流板的顶端固定连接，所述机体一侧的外壁上设有进风口，所述进风口的一端延伸至机体的内部，所述进风口远离机体的一端安装有供风管，所述机体远离进风口一侧的外壁上设有出风口，所述出风口的一端延伸至机体的内部，所述出风口远离机体的一端安装有排风管，所述出风口与进风口一端的内壁上皆设有插接框，所述插接框的一端分别延伸至排风管与供风管的内部，所述插接框一端的外壁分别与排风管以及供风管的内壁相触碰，所述出风口与排风管以及供风管与进风口的连接位置处皆安装有两组管卡，所述管卡两侧的外壁上分别设有第一连接板与第二连接板。

优选的，所述机体底端的两侧皆设有支腿，所述支腿关于机体的中心线对称，以便对机体进行支撑处理。

优选的，所述过滤网板远离整流板一侧的机体内部设有限位框，所述限位框远离过滤网板一侧的机体内部转动连接有螺纹杆，以便对螺纹筒进行安置处理。

优选的，所述螺纹杆一端的外壁上螺纹连接有螺纹筒，所述螺纹筒一侧的外壁上设有承载杆，所述承载杆远离螺纹筒的一端贯穿限位框并设有刷板，所述刷板远离承载杆一侧的内壁与过滤网板的外壁相触碰，以降低过滤网板产生堵塞的现象。

优选的，所述螺纹杆的顶端安装有旋柄，所述旋柄远离螺纹杆的一端延伸至机体的外部，以便带动螺纹杆进行旋转。

优选的，所述第二连接板远离第一连接板一侧的外壁上设有锁紧螺母，所述第一连接板远离第二连接板一侧的外壁上安装有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的一端依次贯穿第一连接板以及第二连接板并与锁紧螺母螺纹连接，以便将管卡安装于出风口与排风管以及供风管与进风口连接位置处的外壁上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该新型半导体设备滤风整流装备不仅降低了风能产生泄漏的现象，还达到了调节风能流速的目的，而且降低了过滤网板产生堵塞的现象；

(1)通过旋转锁紧螺栓，使其一端依次贯穿第一连接板以及第二连接板并旋入至锁紧螺母中，即可将两组管卡分别安装于出风口与排风管以及供风管与进风口的连接位置处，以便对出风口与排风管以及供风管与进风口的连接位置处进行密封处理，从而降低了风能产生泄漏的现象；

(2)通过旋转手轮，使其带动整流板位于机体的内部进行旋转，以使得整流板与机体之间的间隙发生变化，从而达到了调节风能流速的目的；

(3)通过旋转旋柄，使其带动螺纹杆进行旋转，经限位框对承载杆的移动幅度进行限位后，使得螺纹筒位于螺纹杆的外壁进行滑移，以使得螺纹筒经承载杆带动刷板倾斜移动，因刷板的内壁接触于过滤网板的外壁，即可由刷板对过滤网板进行刷动清洁，所清洁的污渍则会落入至机体的底部并经排污口排出，从而降低了过滤网板产生堵塞的现象。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图2为本实用新型的图1中A处放大结构示意图；

图3为本实用新型的管卡正视结构示意图；

图4为本实用新型的管卡侧视结构示意图。

图中：1、机体；2、旋柄；3、过滤网板；4、手轮；5、出风口；6、排风管；7、整流板；8、支腿；9、供风管；10、进风口；11、螺纹筒；12、螺纹杆；13、限位框；14、承载杆；15、刷板；16、排污口；17、第一连接板；18、锁紧螺栓；19、管卡；20、插接框；21、第二连接板；22、锁紧螺母。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种新型半导体设备滤风整流装备，包括机体1，机体1底端的两侧皆设有支腿8，支腿8关于机体1的中心线对称；

使用时，通过将支腿8对称设置于机体1的底端，以便对机体1进行支撑处理；

机体1内部的一侧设有过滤网板3，过滤网板3远离整流板7一侧的机体1内部设有限位框13，限位框13远离过滤网板3一侧的机体1内部转动连接有螺纹杆12；

使用时，通过将螺纹杆12设置于机体1的内部，以便对螺纹筒11进行安置处理；

螺纹杆12一端的外壁上螺纹连接有螺纹筒11，螺纹筒11一侧的外壁上设有承载杆14，承载杆14远离螺纹筒11的一端贯穿限位框13并设有刷板15，刷板15远离承载杆14一侧的内壁与过滤网板3的外壁相触碰；

使用时，通过刷板15对过滤网板3的外壁进行刷动清洁，以降低过滤网板3产生堵塞的现象；

螺纹杆12的顶端安装有旋柄2，旋柄2远离螺纹杆12的一端延伸至机体1的外部；

使用时，通过旋转旋柄2，以便带动螺纹杆12进行旋转；

过滤网板3位置处的机体1底端设有排污口16，排污口16的顶端延伸至机体1的内部；

过滤网板3一侧的机体1内部转动连接有整流板7，整流板7位置处的机体1顶端安装有手轮4，手轮4的底端延伸至机体1的内部并与整流板7的顶端固定连接；

机体1一侧的外壁上设有进风口10，进风口10的一端延伸至机体1的内部；

进风口10远离机体1的一端安装有供风管9，机体1远离进风口10一侧的外壁上设有出风口5，出风口5的一端延伸至机体1的内部；

出风口5远离机体1的一端安装有排风管6，出风口5与进风口10一端的内壁上皆设有插接框20，插接框20的一端分别延伸至排风管6与供风管9的内部，插接框20一端的外壁分别与排风管6以及供风管9的内壁相触碰；

出风口5与排风管6以及供风管9与进风口10的连接位置处皆安装有两组管卡19，管卡19两侧的外壁上分别设有第一连接板17与第二连接板21，第二连接板21远离第一连接板17一侧的外壁上设有锁紧螺母22，第一连接板17远离第二连接板21一侧的外壁上安装有锁紧螺栓18，锁紧螺栓18的一端依次贯穿第一连接板17以及第二连接板21并与锁紧螺母22螺纹连接；

使用时，通过将锁紧螺栓18的一端依次贯穿第一连接板17以及第二连接板21并旋入至锁紧螺母22的内部，以便将管卡19安装于出风口5与排风管6以及供风管9与进风口10连接位置处的外壁上。

本申请实施例在使用时，首先通过将供风管9与排风管6的一端套设于两组插接框20的一端，即可将排风管6与供风管9安装于出风口5与进风口10的一端，随后由供风管9将风能经进风口10输送至机体1的内部，使得过滤网板3对风能中的灰尘颗粒进行过滤，并由整流板7对风能进行整流，随后风能经出风口5与排风管6排至半导体设备中，即可改善风流量不均匀的现象，再通过旋转锁紧螺栓18，使其一端依次贯穿第一连接板17以及第二连接板21并旋入至锁紧螺母22中，即可将两组管卡19分别安装于出风口5与排风管6以及供风管9与进风口10的连接位置处，以便对出风口5与排风管6以及供风管9与进风口10的连接位置处进行密封处理，进而可降低风能产生泄漏的现象，之后通过旋转手轮4，使其带动整流板7位于机体1的内部进行旋转，以使得整流板7与机体1之间的间隙发生变化，即可按需调节风能的流速，最后通过旋转旋柄2，使其带动螺纹杆12进行旋转，经限位框13对承载杆14的移动幅度进行限位后，使得螺纹筒11位于螺纹杆12的外壁进行滑移，以使得螺纹筒11经承载杆14带动刷板15倾斜移动，即可由刷板15对过滤网板3进行刷动清洁，以降低过滤网板3产生堵塞的现象，从而完成滤风整流装备的使用。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种新型半导体设备滤风整流装备，其特征在于，包括机体(1)，所述机体(1)内部的一侧设有过滤网板(3)，所述过滤网板(3)位置处的机体(1)底端设有排污口(16)，所述排污口(16)的顶端延伸至机体(1)的内部，所述过滤网板(3)一侧的机体(1)内部转动连接有整流板(7)，所述整流板(7)位置处的机体(1)顶端安装有手轮(4)，所述手轮(4)的底端延伸至机体(1)的内部并与整流板(7)的顶端固定连接，所述机体(1)一侧的外壁上设有进风口(10)，所述进风口(10)的一端延伸至机体(1)的内部，所述进风口(10)远离机体(1)的一端安装有供风管(9)，所述机体(1)远离进风口(10)一侧的外壁上设有出风口(5)，所述出风口(5)的一端延伸至机体(1)的内部，所述出风口(5)远离机体(1)的一端安装有排风管(6)，所述出风口(5)与进风口(10)一端的内壁上皆设有插接框(20)，所述插接框(20)的一端分别延伸至排风管(6)与供风管(9)的内部，所述插接框(20)一端的外壁分别与排风管(6)以及供风管(9)的内壁相触碰，所述出风口(5)与排风管(6)以及供风管(9)与进风口(10)的连接位置处皆安装有两组管卡(19)，所述管卡(19)两侧的外壁上分别设有第一连接板(17)与第二连接板(21)。

2.根据权利要求1所述的一种新型半导体设备滤风整流装备，其特征在于：所述机体(1)底端的两侧皆设有支腿(8)，所述支腿(8)关于机体(1)的中心线对称。

3.根据权利要求1所述的一种新型半导体设备滤风整流装备，其特征在于：所述过滤网板(3)远离整流板(7)一侧的机体(1)内部设有限位框(13)，所述限位框(13)远离过滤网板(3)一侧的机体(1)内部转动连接有螺纹杆(12)。

4.根据权利要求3所述的一种新型半导体设备滤风整流装备，其特征在于：所述螺纹杆(12)一端的外壁上螺纹连接有螺纹筒(11)，所述螺纹筒(11)一侧的外壁上设有承载杆(14)，所述承载杆(14)远离螺纹筒(11)的一端贯穿限位框(13)并设有刷板(15)，所述刷板(15)远离承载杆(14)一侧的内壁与过滤网板(3)的外壁相触碰。

5.根据权利要求3所述的一种新型半导体设备滤风整流装备，其特征在于：所述螺纹杆(12)的顶端安装有旋柄(2)，所述旋柄(2)远离螺纹杆(12)的一端延伸至机体(1)的外部。

6.根据权利要求1所述的一种新型半导体设备滤风整流装备，其特征在于：所述第二连接板(21)远离第一连接板(17)一侧的外壁上设有锁紧螺母(22)，所述第一连接板(17)远离第二连接板(21)一侧的外壁上安装有锁紧螺栓(18)，所述锁紧螺栓(18)的一端依次贯穿第一连接板(17)以及第二连接板(21)并与锁紧螺母(22)螺纹连接。

Images