CN218534433U - 一种用于晶圆生产的背检平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆生产设备技术领域，具体是一种用于晶圆生产的背检平台，所述工作平台的顶部中心处固接有检测台，且工作平台的顶部端面固定连接有四个支柱，所述支柱的顶端与固定架的底端固接，所述固定架的顶部两侧对称固接有两个安装架，两个所述安装架的相对侧端面均固接有安装板，且两个安装架之间设有高清摄像机，所述安装板与高清摄像机通过锁紧螺栓固定，所述高清摄像机的两侧均开设有定位卡槽。本实用新型通过限位槽内的控制组件、收纳槽内的弹性定位组件与高清摄像机上的定位卡槽之间的配合，既能够实现对高清摄像机的初步固定，又能够便于对后续的锁紧螺栓安装起到辅助定位作用，避免在固定锁紧螺栓时发生错位。

Description

一种用于晶圆生产的背检平台

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产设备技术领域，具体是一种用于晶圆生产的背检平台。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，晶圆片在生产制程过程中，通常需要用到高清镜头和相机对样品表面的缺陷进行检测，这就对高清摄像设备的要求极为严格，不能出现任何错误，需要工作人员定期对设备进行维护。

经检索，中国专利网公开了一种半导体晶圆检测平台(CN215727630U)，包括平台、XY移动平台、相机镜头安装梁、真空吸附治具、气浮减震器、底脚，XY移动平台设置在平台上，相机镜头安装梁跨设在XY移动平台上方，相机镜头安装梁与平台连接，平台的底部与底脚采用气浮减震器连接，真空吸附治具设置在XY移动平台的上端面，真空吸附治具包括真空吸附机构、真空吸附治具本体，真空吸附治具本体的一侧设有凹槽，真空吸附治具本体另一侧设有真空吸附机构。同现有技术相比，通过在平台与底脚之间设置气浮减震器，对平台整体进行减震与自动调平，真空吸附治具上设有凹槽，与叉型机械手配合取放晶圆片，防止机械手臂刮伤或撞击晶圆片。但是此类设备由于缺少定位结构，使得工作人员在对高清相机进行安装固定时常常会出现螺栓连接错位的现象，不仅使得安装效率下降，还容易对设备造成损坏；因此，本领域技术人员提供了一种用于晶圆生产的背检平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆生产的背检平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆生产的背检平台，包括工作平台，所述工作平台的顶部中心处固接有检测台，且工作平台的顶部端面固定连接有四个支柱，所述支柱的顶端与固定架的底端固接，所述固定架的顶部两侧对称固接有两个安装架，两个所述安装架的相对侧端面均固接有安装板，且两个安装架之间设有高清摄像机，所述安装板与高清摄像机通过锁紧螺栓固定，所述高清摄像机的两侧均开设有定位卡槽，两个所述安装架的相对侧端面均开设有收纳槽，所述收纳槽内设有弹性定位组件，所述弹性定位组件与定位卡槽适应。

作为本实用新型更进一步的方案：所述弹性定位组件包括与收纳槽内壁固定连接的弹簧以及与收纳槽滑动连接有定位卡块，所述弹簧套在支杆上，且弹簧的另一端与定位卡块固接，所述定位卡块与定位卡槽贴合，所述安装架内设有限位槽，所述限位槽内设有控制组件，所述控制组件通过支杆与定位卡块连接。

作为本实用新型更进一步的方案：所述控制组件包括固定安装于限位槽内壁上的电磁铁以及与限位槽滑动连接的永磁铁，所述永磁铁背离电磁铁的一侧端面固接有限位块，所述限位块与支杆固接，所述支杆的另一端延伸至收纳槽内与定位卡块固接。

作为本实用新型更进一步的方案：所述限位块与限位槽滑动连接，所述限位块背离永磁铁的一侧端面固接有缓冲垫，所述缓冲垫套在支杆上。

作为本实用新型更进一步的方案：所述高清摄像机的两侧端面均开设有四个螺纹槽，所述锁紧螺栓贯穿安装板与螺纹槽螺纹连接，所述安装板的中心处设有开口，所述定位卡块与开口适应。

作为本实用新型更进一步的方案：所述安装架的外侧壁上固定安装有控制面板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过对电磁铁通电，使得电磁铁与永磁铁之间产生磁吸力，进而使得永磁铁在向电磁铁滑动时带动限位块一起滑动，从而使得支杆带动定位卡块收缩进收纳槽中，便于工作人员将高清摄像机放在两个安装架之间，使得定位卡槽与定位卡块对应，通过对电磁铁断电，使得电磁铁与永磁铁之间的磁吸力消失，通过压缩的弹簧具有的弹力带动定位卡块滑出收纳槽与定位卡槽贴合，实现对高清摄像机的初步固定，为后续安装锁紧螺栓起到辅助定位的作用，避免在固定锁紧螺栓时发生错位。

附图说明

图1为一种用于晶圆生产的背检平台的整体结构示意图；

图2为一种用于晶圆生产的背检平台的安装架内部结构示意图；

图3为图2中A处的放大结构示意图。

图中：1、工作平台；2、检测台；3、支柱；4、固定架；5、安装架；6、控制面板；7、安装板；8、高清摄像机；9、锁紧螺栓；10、定位卡槽；11、限位槽；12、收纳槽；13、电磁铁；14、永磁铁；15、限位块；16、缓冲垫；17、支杆；18、弹簧；19、定位卡块。

具体实施方式

请参阅图1～3，本实用新型实施例中，一种用于晶圆生产的背检平台，包括工作平台1，工作平台1的顶部中心处固接有检测台2，且工作平台1的顶部端面固定连接有四个支柱3，支柱3的顶端与固定架4的底端固接，固定架4的顶部两侧对称固接有两个安装架5，两个安装架5的相对侧端面均固接有安装板7，且两个安装架5之间设有高清摄像机8，安装板7与高清摄像机8通过锁紧螺栓9固定，高清摄像机8的两侧均开设有定位卡槽10，两个安装架5的相对侧端面均开设有收纳槽12，收纳槽12内设有弹性定位组件，弹性定位组件与定位卡槽10适应；当工作人员在安装高清摄像机8时，通过收纳槽12内的弹性定位组件与高清摄像机8上的定位卡槽10相配合，既能够实现对高清摄像机8的初步固定，又能够便于对后续的锁紧螺栓9安装起到辅助定位作用，工作人员再通过锁紧螺栓9将高清摄像机8固定在安装架5上。

弹性定位组件包括与收纳槽12内壁固定连接的弹簧18以及与收纳槽12滑动连接有定位卡块19，弹簧18套在支杆17上，且弹簧18的另一端与定位卡块19固接，定位卡块19与定位卡槽10贴合，安装架5内设有限位槽11，限位槽11内设有控制组件，控制组件通过支杆17与定位卡块19连接；通过控制组件可以带动支杆17上的定位卡块19滑入收纳槽12之中，便于工作人员将高清摄像机8放在两个安装架5之间，通过弹簧18的弹力作用可以带动定位卡块19滑出收纳槽12与定位卡槽10卡槽贴合，实现对高清摄像机8的锁定。

控制组件包括固定安装于限位槽11内壁上的电磁铁13以及与限位槽11滑动连接的永磁铁14，永磁铁14背离电磁铁13的一侧端面固接有限位块15，限位块15与支杆17固接，支杆17的另一端延伸至收纳槽12内与定位卡块19固接；通过对电磁铁13通电，使得电磁铁13与永磁铁14之间产生磁吸力，又有电磁铁13与永磁铁14之间产生的磁吸力大于弹簧18的弹力，进而使得永磁铁14在向电磁铁13滑动时带动限位块15一起滑动，从而使得与限位块15固接的支杆17带动定位卡块19收缩进收纳槽12中，通过对电磁铁13断电，使得电磁铁13与永磁铁14之间的磁吸力消失，通过压缩的弹簧18具有的弹力带动定位卡块19滑出收纳槽12。

限位块15与限位槽11滑动连接，限位块15背离永磁铁14的一侧端面固接有缓冲垫16，缓冲垫16套在支杆17上；当电磁铁13断电后，弹簧18带动定位卡块19滑出收纳槽12的同时，与定位卡块19固接的支杆17带动限位块15滑至限位槽11的另一侧，通过限位块15上的缓冲垫16具有的弹性势能减小了缓冲垫16与限位槽11内壁接触时产生的冲击力，避免了限位块15的磨损。

高清摄像机8的两侧端面均开设有四个螺纹槽，锁紧螺栓9贯穿安装板7与螺纹槽螺纹连接，安装板7的中心处设有开口，定位卡块19与开口适应；工作人员通过将锁紧螺栓9贯穿安装板7与高清摄像机8上的螺纹槽螺纹连接，使得高清摄像机8能够固定在两个安装架5之间。

安装架5的外侧壁上固定安装有控制面板6；通过安装架5上的控制面板6便于工作人员控制电磁铁13的通电和断电状态。

本实用新型的工作原理是：当工作人员在安装高清摄像机8时，通过对电磁铁13通电，使得电磁铁13与永磁铁14之间产生磁吸力，又有电磁铁13与永磁铁14之间产生的磁吸力大于弹簧18的弹力，进而使得永磁铁14在向电磁铁13滑动时带动限位块15一起滑动，从而使得与限位块15固接的支杆17带动定位卡块19收缩进收纳槽12中，同时弹簧18处于压缩状态，工作人员将高清摄像机8放在两个安装架5之间，使得定位卡槽10与定位卡块19对应，通过对电磁铁13断电，使得电磁铁13与永磁铁14之间的磁吸力消失，通过压缩的弹簧18具有的弹力带动定位卡块19滑出收纳槽12与定位卡槽10贴合，实现对高清摄像机8的初步固定，为后续安装锁紧螺栓9起到辅助定位的作用，避免在固定锁紧螺栓9时发生错位，工作人员再将锁紧螺栓9贯穿安装板7与高清摄像机8上的螺纹槽螺纹连接，使得高清摄像机8能够固定在安装架5上，当需要拆卸高清摄像机8时，反向操作，先将锁紧螺栓9拆卸，再对电磁铁13通电，使得定位卡块19滑出定位卡槽10，便于工作人员对高清摄像机8进行拆卸。

以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于晶圆生产的背检平台，包括工作平台(1)，其特征在于，所述工作平台(1)的顶部中心处固接有检测台(2)，且工作平台(1)的顶部端面固定连接有四个支柱(3)，所述支柱(3)的顶端与固定架(4)的底端固接，所述固定架(4)的顶部两侧对称固接有两个安装架(5)，两个所述安装架(5)的相对侧端面均固接有安装板(7)，且两个安装架(5)之间设有高清摄像机(8)，所述安装板(7)与高清摄像机(8)通过锁紧螺栓(9)固定，所述高清摄像机(8)的两侧均开设有定位卡槽(10)，两个所述安装架(5)的相对侧端面均开设有收纳槽(12)，所述收纳槽(12)内设有弹性定位组件，所述弹性定位组件与定位卡槽(10)适应。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆生产的背检平台，其特征在于，所述弹性定位组件包括与收纳槽(12)内壁固定连接的弹簧(18)以及与收纳槽(12)滑动连接有定位卡块(19)，所述弹簧(18)套在支杆(17)上，且弹簧(18)的另一端与定位卡块(19)固接，所述定位卡块(19)与定位卡槽(10)贴合，所述安装架(5)内设有限位槽(11)，所述限位槽(11)内设有控制组件，所述控制组件通过支杆(17)与定位卡块(19)连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆生产的背检平台，其特征在于，所述控制组件包括固定安装于限位槽(11)内壁上的电磁铁(13)以及与限位槽(11)滑动连接的永磁铁(14)，所述永磁铁(14)背离电磁铁(13)的一侧端面固接有限位块(15)，所述限位块(15)与支杆(17)固接，所述支杆(17)的另一端延伸至收纳槽(12)内与定位卡块(19)固接。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆生产的背检平台，其特征在于，所述限位块(15)与限位槽(11)滑动连接，所述限位块(15)背离永磁铁(14)的一侧端面固接有缓冲垫(16)，所述缓冲垫(16)套在支杆(17)上。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆生产的背检平台，其特征在于，所述高清摄像机(8)的两侧端面均开设有四个螺纹槽，所述锁紧螺栓(9)贯穿安装板(7)与螺纹槽螺纹连接，所述安装板(7)的中心处设有开口，所述定位卡块(19)与开口适应。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆生产的背检平台，其特征在于，所述安装架(5)的外侧壁上固定安装有控制面板(6)。

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