CN218525565U - 一种组合式结构的晶圆夹盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种组合式结构的晶圆夹盘，包括主体，所述主体的端部固定有连接件，所述连接件的端部内侧对称固定有连接杆，所述主体的顶端设置有夹盘，所述主体的表面设置有连接机构，所述连接件的端部内侧设置有防尘机构；本实用新型通过设计的连接槽、连接块、卡槽与卡扣，能够实现让夹盘与主体准确无误的对接，同时配合设计的限位槽、限位块、伸缩弹簧、贯穿槽与操作块，可以进一步对夹盘与主体进行限位组合连接，并且让定位孔与螺孔准确无误的对位，以便于使用定位杆进行牢固的组合固定，相比较现有的技术，大大方便了夹盘与主体的组合连接，提高了故障排除的工作效率。

Description

一种组合式结构的晶圆夹盘

技术领域

本实用新型属于晶圆夹盘技术领域，具体涉及一种组合式结构的晶圆夹盘。

背景技术

晶圆夹盘圆是晶圆传输系统的关键部件，负责在不同工位之间按工序快速、高效、平稳地搬运及传送晶圆。

现有的晶圆夹盘在进行使用的过程中，如若出现故障的情况后，需要及时的拆开晶圆夹盘进行故障检修，但是现有的晶圆夹盘与主体之间是通过多个螺钉拧合固定连接的，在进行拆分时较为麻烦，且需要借助拆卸工作多次重复的拧下螺钉，才能够进行拆开检修，该连接方式检修过程十分繁琐，且不够便捷，工作效率低下，为此我们提出一种组合式结构的晶圆夹盘。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种组合式结构的晶圆夹盘，以解决上述背景技术中提出的该晶圆夹盘无法便捷的进行组合连接，导致检修过程十分麻烦的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种组合式结构的晶圆夹盘，包括主体，所述主体的端部固定有连接件，所述连接件的端部内侧对称固定有连接杆，所述主体的顶端设置有夹盘，所述主体的表面设置有连接机构，所述连接件的端部内侧设置有防尘机构，所述连接机构包括：

连接组件，该连接组件设置在主体的内侧端部；

辅助定位组件，该辅助定位组件设置在连接组件的内侧；

限位组件，该限位组件设置在夹盘与主体之间的内侧；

调节组件，该调节组件设置在限位组件的内侧；

定位组件，该定位组件设置在夹盘的表面。

优选的，所述连接组件包括对称开设在主体顶端内侧的连接槽以及对称固定在夹盘端部的连接块，所述连接块与连接槽卡合连接。

优选的，所述辅助定位组件包括对称开设在连接块表面两侧的卡槽以及对称固定在连接槽内壁两侧的卡扣，所述卡扣与卡槽卡合连接。

优选的，所述限位组件包括对称开设在夹盘底端的限位槽以及对称开设在主体顶端的内置槽，所述内置槽的内部设置有限位块，所述限位块与限位槽卡合连接，所述限位块与内置槽之间对称连接有伸缩弹簧，所述内置槽的内壁一侧对称开设有滑槽，所述限位块的一侧对称固定有滑块，所述滑块与滑槽卡合连接。

优选的，所述调节组件包括对称贯穿开设在内置槽内壁另一侧的贯穿槽以及设置在主体侧面贯穿过贯穿槽内部与限位块固定连接的操作杆，所述主体的侧面设置有与操作杆固定连接的操作块，所述操作杆的表面贯穿开设有贯穿孔，所述贯穿槽的内部固定有贯穿过贯穿孔内部的固定杆。

优选的，所述定位组件包括对称开设在主体顶端拐角处的定位孔以及对称贯穿开设在夹盘表面的螺孔，所述夹盘的顶端设置有贯穿过螺孔内部与定位孔拧合连接的定位杆。

优选的，所述防尘机构包括：

防尘组件，该防尘组件设置在连接件的端部内侧；

吸附组件，该吸附组件设置在防尘组件的端部。

优选的，所述防尘组件包括设置在连接件端部内侧的防尘盖，所述防尘盖与连接杆套设连接。

优选的，所述吸附组件包括对称固定在防尘盖端部的磁铁以及固定在防尘盖表面的操作环，所述磁铁与连接件吸附连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设计的连接槽、连接块、卡槽与卡扣，能够实现让夹盘与主体准确无误的对接，同时配合设计的限位槽、限位块、伸缩弹簧、贯穿槽与操作块，可以进一步对夹盘与主体进行限位组合连接，并且让定位孔与螺孔准确无误的对位，以便于使用定位杆进行牢固的组合固定，相比较现有的技术，大大方便了夹盘与主体的组合连接，提高了故障排除的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的外观结构示意图；

图2为本实用新型中图1的A处放大示意图；

图3为本实用新型的限位槽结构示意图；

图4为本实用新型的内置槽结构示意图；

图5为本实用新型中图1的B处放大示意图；

图中：1、主体；2、连接件；3、连接杆；4、夹盘；100、连接槽；101、连接块；200、卡槽；201、卡扣；300、限位槽；301、内置槽；302、限位块；303、伸缩弹簧；304、滑槽；305、滑块；400、贯穿槽；401、操作杆；402、操作块；403、贯穿孔；404、固定杆；500、定位孔；501、螺孔；502、定位杆；600、防尘盖；700、磁铁；701、操作环。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种组合式结构的晶圆夹盘，包括主体1，主体1的端部固定有连接件2，连接件2的端部内侧对称固定有连接杆3，主体1的顶端设置有夹盘4，主体1的表面设置有连接机构，连接件2的端部内侧设置有防尘机构，连接机构包括：

连接组件，该连接组件设置在主体1的内侧端部；

辅助定位组件，该辅助定位组件设置在连接组件的内侧；

限位组件，该限位组件设置在夹盘4与主体1之间的内侧；

调节组件，该调节组件设置在限位组件的内侧；

定位组件，该定位组件设置在夹盘4的表面。

实施例2

请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种组合式结构的晶圆夹盘，包括主体1，主体1的端部固定有连接件2，连接件2的端部内侧对称固定有连接杆3，主体1的顶端设置有夹盘4，主体1的表面设置有连接机构，连接件2的端部内侧设置有防尘机构，连接机构包括：

连接组件，该连接组件设置在主体1的内侧端部；

辅助定位组件，该辅助定位组件设置在连接组件的内侧；

限位组件，该限位组件设置在夹盘4与主体1之间的内侧；

调节组件，该调节组件设置在限位组件的内侧；

定位组件，该定位组件设置在夹盘4的表面。

本实施例中，优选的，连接组件包括对称开设在主体1顶端内侧的连接槽100以及对称固定在夹盘4端部的连接块101，通过连接块101与连接槽100卡合连接，能够让夹盘4与主体1便捷的进行组合连接。

本实施例中，优选的，辅助定位组件包括对称开设在连接块101表面两侧的卡槽200以及对称固定在连接槽100内壁两侧的卡扣201，通过卡扣201与卡槽200卡合连接，可以对连接块101进行限位。

本实施例中，优选的，限位组件包括对称开设在夹盘4底端的限位槽300以及对称开设在主体1顶端的内置槽301，内置槽301的内部设置有限位块302，通过限位块302与限位槽300卡合连接，可以对夹盘4进行辅助限位固定，同时让定位孔500与螺孔501准确无误的对位，限位块302与内置槽301之间对称连接有伸缩弹簧303，内置槽301的内壁一侧对称开设有滑槽304，限位块302的一侧对称固定有滑块305，通过滑块305与滑槽304卡合连接，可以对限位块302起到移动导向作用。

本实施例中，优选的，调节组件包括对称贯穿开设在内置槽301内壁另一侧的贯穿槽400以及设置在主体1侧面贯穿过贯穿槽400内部与限位块302固定连接的操作杆401，主体1的侧面设置有与操作杆401固定连接的操作块402，可以拨动操作杆401在贯穿槽400的内部滑动，操作杆401的表面贯穿开设有贯穿孔403，贯穿槽400的内部固定有贯穿过贯穿孔403内部的固定杆404，可以对操作杆401起到移动导向作用。

本实施例中，优选的，定位组件包括对称开设在主体1顶端拐角处的定位孔500以及对称贯穿开设在夹盘4表面的螺孔501，夹盘4的顶端设置有贯穿过螺孔501内部与定位孔500拧合连接的定位杆502，通过拧紧定位杆502，可以对夹盘4进行牢固的限位，以便于让夹盘4与主体1进行组合连接。

实施例3

请参阅图1至图5，本实用新型提供一种技术方案：本实施例中，优选的，防尘机构包括：

防尘组件，该防尘组件设置在连接件2的端部内侧；

吸附组件，该吸附组件设置在防尘组件的端部。

本实施例中，优选的，防尘组件包括设置在连接件2端部内侧的防尘盖600，通过防尘盖600与连接杆3套设连接，可以对连接杆3起到防尘的作用。

本实施例中，优选的，吸附组件包括对称固定在防尘盖600端部的磁铁700以及固定在防尘盖600表面的操作环701，通过操作环701的作用下，能够拉动防尘盖600进行移动，通过磁铁700与连接件2吸附连接，可以对防尘盖600进行吸附限位。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型在需要对主体1内部的设备进行检修时，先拧松定位杆502，使其端部从定位孔500的内部退出旋入螺孔501的内部，解除对夹盘4的限位，接着按压操作块402，使其带动操作杆401在贯穿槽400的内部滑动，并且带动贯穿孔403在固定杆404的表面移动起到导向作用，同时带动限位块302挤压伸缩弹簧303缩入内置槽301的内部，使得限位块302的端部从限位槽300的内部退出，同时带动滑块305在滑槽304的内部滑动起到导向作用，就可以解除对夹盘4的限位，然后拉动夹盘4的前端，使得夹盘4在主体1的顶端滑动，并且带动连接块101从连接槽100的内部移出，并且带动卡扣201与卡槽200挤压分离，就可以把夹盘4从主体1的顶端拆下，随后就可以对主体1进行检修，检修完毕后，把夹盘4与主体1贴合连接，接着推动夹盘4，使其在主体1的表面滑动，并且让夹盘4的端部挤压限位块302，限位块302受到外力挤压伸缩弹簧303缩入内置槽301的内部，使得夹盘4的端部与主体1的内侧端部贴合，并且让连接块101嵌入连接槽100的内部，同时带动卡扣201与卡槽200挤压卡合连接，就可以对夹盘4进行暂时定位，这时，失去外力挤压的限位块302通过伸缩弹簧303的作用下，从内置槽301的内部弹出卡入限位槽300的内部，就可以对夹盘4进行限位，同时让定位孔500与螺孔501准确无误的对位，然后拧紧定位杆502，使其在螺孔501的内部旋转与定位孔500拧合固定连接，就可以对夹盘4进行固定，以便于让夹盘4与主体1组合使用，在需要对连接件2进行接线工作时，先拉动操作环701，使其带动防尘盖600在连接件2的端部移动，并且带动磁铁700与连接件2的内侧端部分离，就可以把防尘盖600从连接杆3的端部取下，然后就可以与连接杆3进行接线工作。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例（详见上述详尽的描述），对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种组合式结构的晶圆夹盘，包括主体（1），所述主体（1）的端部固定有连接件（2），所述连接件（2）的端部内侧对称固定有连接杆（3），所述主体（1）的顶端设置有夹盘（4），其特征在于：所述主体（1）的表面设置有连接机构，所述连接件（2）的端部内侧设置有防尘机构，所述连接机构包括：

连接组件，该连接组件设置在主体（1）的内侧端部；

辅助定位组件，该辅助定位组件设置在连接组件的内侧；

限位组件，该限位组件设置在夹盘（4）与主体（1）之间的内侧；

调节组件，该调节组件设置在限位组件的内侧；

定位组件，该定位组件设置在夹盘（4）的表面。

2.根据权利要求1所述的一种组合式结构的晶圆夹盘，其特征在于：所述连接组件包括对称开设在主体（1）顶端内侧的连接槽（100）以及对称固定在夹盘（4）端部的连接块（101），所述连接块（101）与连接槽（100）卡合连接。

3.根据权利要求1所述的一种组合式结构的晶圆夹盘，其特征在于：所述辅助定位组件包括对称开设在连接块（101）表面两侧的卡槽（200）以及对称固定在连接槽（100）内壁两侧的卡扣（201），所述卡扣（201）与卡槽（200）卡合连接。

4.根据权利要求1所述的一种组合式结构的晶圆夹盘，其特征在于：所述限位组件包括对称开设在夹盘（4）底端的限位槽（300）以及对称开设在主体（1）顶端的内置槽（301），所述内置槽（301）的内部设置有限位块（302），所述限位块（302）与限位槽（300）卡合连接，所述限位块（302）与内置槽（301）之间对称连接有伸缩弹簧（303），所述内置槽（301）的内壁一侧对称开设有滑槽（304），所述限位块（302）的一侧对称固定有滑块（305），所述滑块（305）与滑槽（304）卡合连接。

5.根据权利要求1所述的一种组合式结构的晶圆夹盘，其特征在于：所述调节组件包括对称贯穿开设在内置槽（301）内壁另一侧的贯穿槽（400）以及设置在主体（1）侧面贯穿过贯穿槽（400）内部与限位块（302）固定连接的操作杆（401），所述主体（1）的侧面设置有与操作杆（401）固定连接的操作块（402），所述操作杆（401）的表面贯穿开设有贯穿孔（403），所述贯穿槽（400）的内部固定有贯穿过贯穿孔（403）内部的固定杆（404）。

6.根据权利要求1所述的一种组合式结构的晶圆夹盘，其特征在于：所述定位组件包括对称开设在主体（1）顶端拐角处的定位孔（500）以及对称贯穿开设在夹盘（4）表面的螺孔（501），所述夹盘（4）的顶端设置有贯穿过螺孔（501）内部与定位孔（500）拧合连接的定位杆（502）。

7.根据权利要求1所述的一种组合式结构的晶圆夹盘，其特征在于：所述防尘机构包括：

防尘组件，该防尘组件设置在连接件（2）的端部内侧；

吸附组件，该吸附组件设置在防尘组件的端部。

8.根据权利要求7所述的一种组合式结构的晶圆夹盘，其特征在于：所述防尘组件包括设置在连接件（2）端部内侧的防尘盖（600），所述防尘盖（600）与连接杆（3）套设连接。

9.根据权利要求7所述的一种组合式结构的晶圆夹盘，其特征在于：所述吸附组件包括对称固定在防尘盖（600）端部的磁铁（700）以及固定在防尘盖（600）表面的操作环（701），所述磁铁（700）与连接件（2）吸附连接。

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