CN218481568U - 一种用于探针卡的水平调节机构 - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 74
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 claims description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 16
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 2
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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Abstract
本实用新型公开了一种用于探针卡的水平调节机构，包括连接座、调节块、调节螺丝和探针卡主体，所述调节块上设有四个第一调节螺孔；所述连接座中间为调节区域，调节区域设有四个第二调节螺孔；所述调节块置于连接座和探针卡主体之间，第一调节螺孔与第二调节螺孔位置相对，调节螺丝与第一调节螺孔、第二调节螺孔均螺纹配合，旋转调节螺丝即可调整调节块的倾斜度，调节块与探针卡主体相抵接。本实用新型利用调节螺丝来改变调节块的水平度，从而灵活调节与调节块抵接的探针卡的水平度，保证探针卡处于水平状态，保证探针卡与晶圆能够更好地接触，保证晶圆测试精准度。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆测试技术领域，特别涉及一种用于探针卡的水平调节机构。
背景技术
探针卡是一种用于晶圆检测的测试装置，通过将测试机的测试信号通过自身传递给被测对象，并将被测对象的响应信号经由自身回传给测试机，实现芯片性能的测试，配合其他测试及分析仪器可以实现完整的芯片优劣、性能高低的测试，实现不良品的筛选，降低不必要的封装成本。探针卡在与晶圆接触时，探针卡的水平度十分重要，水平度越好，探针与晶圆的接触更好，保证晶圆测试的准确性。而现有探针卡安装到测试机上后，往往没有单独的调平操作，使得探针卡的水平度有轻微偏差，虽然探针卡仍可以进行晶圆检测，但是检测精度会有影响。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种用于探针卡的水平调节机构，可以微调探针卡的水平度，提高晶圆检测精度。
为此，本实用新型的技术方案是：一种用于探针卡的水平调节机构，包括连接座、调节块、调节螺丝和探针卡主体，所述调节块上设有四个第一调节螺孔；所述连接座中间为调节区域，调节区域设有四个第二调节螺孔；所述调节块置于连接座和探针卡主体之间，第一调节螺孔与第二调节螺孔位置相对，调节螺丝与第一调节螺孔、第二调节螺孔均螺纹配合，旋转调节螺丝即可调整调节块的倾斜度，调节块与探针卡主体相抵接。
本实用新型放置在探针卡上使用，探针卡主体包括PCB基板、转接板、探针模组等，探针卡装配好后，再通过连接座安装到测试机上。连接座与调节块事先通过调节螺丝固定在一起，连接座与探针卡之间通过安装螺丝连接，调平时，安装螺丝不拧紧，在显微镜下贯穿探针卡的水平度，然后根据观察的结果，轻微旋转相应位置的调节螺丝，使得调节块发生轻微倾斜，从而改变与调节块抵触的探针卡主体的水平度，保证探针卡与晶圆能够更好的接触。
优选地，还包括水平垫块，水平垫块置于调节块与探针卡主体之间；所述水平垫块由优力胶制成，为圆形结构。水平垫块可以隔开调节螺丝和探针卡主体之间的接触，保证调节水平时，调节螺丝不会损伤探针卡主体，且优力胶材质的垫块强度好，压缩变形小，既具有塑料的刚性，又有橡胶的弹性。
优选地，所述调节块为亚克力材质，调节块为圆形结构，调节块上的四个第一调节螺孔呈正方形分布。四个第一调节螺钉构成的正方形对角线交点即为调节块的圆心，保证四个第一调节螺孔位置对称，可以改动调节块的四个对称点的高度，从而改变调节块的整体倾斜度。
优选地，所述连接座上还设有若干安装螺孔，探针卡主体与连接座通过若干安装螺丝固定连接。探针卡主体通过安装螺丝与连接座固定，连接座再安装到测试机上。
优选地，所述连接座的调节区域为圆形结构，调节区域外侧为镂空结构。连接座的调节区域与调节块的尺寸形状相匹配，镂空结构可以减轻连接座的重量。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：在连接座和探针卡主体之间设置调节块，利用调节螺丝来改变调节块的水平度，从而灵活调节与调节块抵接的探针卡的水平度，保证探针卡处于水平状态，保证探针卡与晶圆能够更好地接触，保证晶圆测试精准度。
附图说明
以下结合附图和本实用新型的实施方式来作进一步详细说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的结构剖视图；
图3为本实用新型的零件爆炸图；
图4为本实用新型工作状态图；
图5为本实用新型工作状态的零件爆炸图。
图中标记为：连接座1、调节区域11、镂空结构12、第二调节螺孔13、安装螺孔14、调节块2、第一调节螺孔21、水平垫块3、调节螺丝4、PCB基板5、PCB转接板6、探针模组7。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向(X)”、“纵向(Y)”、“竖向(Z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本实用新型的具体保护范围。
此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本实用新型描述中，“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
参见附图。本实施例所述水平调节机构，用于连接探针卡主体和测试机，包括连接座1、调节块2、水平垫块3和调节螺丝4。
所述连接座1整体为正方形结构，四个端点为倒角，连接座中间为调节区域11，调节区域为圆形结构，调节区域外侧为镂空结构12，镂空结构可以减轻连接座的重量。所述调节区域11设有四个第二调节螺孔13，四个第二调节螺孔呈正方形分布，即四个第二调节螺孔构成正方形的端点；所述连接座1上还设有若干安装螺孔14，探针卡主体与连接座通过若干安装螺丝固定连接。探针卡主体通过安装螺丝与连接座固定，连接座再安装到测试机上。
所述调节块2为亚克力材质，调节块为圆形结构，调节块2上的四个第一调节螺孔21呈正方形分布。四个第一调节螺钉21构成的正方形对角线交点即为调节块的圆心，保证四个第一调节螺孔位置对称，可以改动调节块的四个对称点的高度，从而改变调节块的整体倾斜度。
所述水平垫块3置于调节块与探针卡主体之间，水平垫块3由优力胶制成，为圆形结构。水平垫块可以隔开调节螺丝和探针卡主体之间的接触，保证调节水平时，调节螺丝不会损伤探针卡主体，且优力胶材质的垫块强度好，压缩变形小，既具有塑料的刚性，又有橡胶的弹性。
所述调节块2置于连接座和探针卡主体之间，第一调节螺孔21与第二调节螺孔13位置相对，调节螺丝4与第一调节螺孔21、第二调节螺孔13均螺纹配合，旋转调节螺丝4即可调整调节块2的倾斜度，调节块与探针卡主体相抵接。
探针卡主体包括PCB基板5、PCB转接板6、探针模组7等，探针卡装配好后，再通过连接座安装到测试机上。连接座1与调节块2事先通过调节螺丝4固定在一起，连接座与探针卡之间通过安装螺丝连接，调平时，安装螺丝不拧紧，在显微镜下贯穿探针卡的水平度，然后根据观察的结果，轻微旋转相应位置的调节螺丝，使得调节块发生轻微倾斜，从而改变与调节块抵触的探针卡主体的水平度，保证探针卡与晶圆能够更好的接触。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种用于探针卡的水平调节机构，其特征在于：包括连接座、调节块、调节螺丝和探针卡主体，所述调节块上设有四个第一调节螺孔；所述连接座中间为调节区域，调节区域设有四个第二调节螺孔；所述调节块置于连接座和探针卡主体之间，第一调节螺孔与第二调节螺孔位置相对，调节螺丝与第一调节螺孔、第二调节螺孔均螺纹配合，旋转调节螺丝即可调整调节块的倾斜度，调节块与探针卡主体相抵接。
2.如权利要求1所述的一种用于探针卡的水平调节机构，其特征在于：还包括水平垫块，水平垫块置于调节块与探针卡主体之间；所述水平垫块由优力胶制成，为圆形结构。
3.如权利要求1所述的一种用于探针卡的水平调节机构，其特征在于：所述调节块为亚克力材质，调节块为圆形结构，调节块上的四个第一调节螺孔呈正方形分布。
4.如权利要求1所述的一种用于探针卡的水平调节机构，其特征在于：所述连接座上还设有若干安装螺孔，探针卡主体与连接座通过若干安装螺丝固定连接。
5.如权利要求1所述的一种用于探针卡的水平调节机构，其特征在于：所述连接座的调节区域为圆形结构，调节区域外侧为镂空结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222722430.7U CN218481568U (zh) | 2022-10-14 | 2022-10-14 | 一种用于探针卡的水平调节机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222722430.7U CN218481568U (zh) | 2022-10-14 | 2022-10-14 | 一种用于探针卡的水平调节机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218481568U true CN218481568U (zh) | 2023-02-14 |
Family
ID=85168945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202222722430.7U Active CN218481568U (zh) | 2022-10-14 | 2022-10-14 | 一种用于探针卡的水平调节机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218481568U (zh) |
-
2022
- 2022-10-14 CN CN202222722430.7U patent/CN218481568U/zh active Active
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
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