CN218460337U - 一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及等微波等离子体领域，且公开了一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，包括控制箱以及微波喷枪，控制箱包含电源箱、流量调节旋钮、微波电源、触摸屏、流量计、I/O端口以及220V电源接口，所述I/O端口以及220V电源接口固定安装在电源箱的内壁上，所述微波电源固定安装在电源箱的底部内壁上，所述电源箱、流量调节旋钮以及触摸屏均安装在电源箱的侧壁上，触摸屏、流量调节旋钮以及电源箱从上到下排列，该可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，可实现较大面积放电，提高清洗效率。

Description

一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备

技术领域

本实用新型涉及微波等离子体领域，具体为一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备。

背景技术

等离子表面清洗是一种绿色环保的新型干法改性技术，主要应用于包装、半导体、3C、医疗、锂电、汽车等行业。等离子体，即物质的第四态，是由处于高速运动的电子，处于激活状态的中性原子、分子、自由基，离子化的原子、分子，分子分解反应过程中产生的紫外线以及未反应的分子、原子等构成，因其在总体上仍保持电中性状态，故称等离子体。

等离子体表面改性是利用其中活性粒子与材料表面发生一系列的物理和化学反应，使材料表面洁净度、活性、可粘性等发生改变。

而现有常压射流式等离子多使用直流高压或中频高压电源，微波电源极少使用，中频高压最为常见，频率多为10-40KHz。而现有微波常压射流式等离子仅能实现小面积放电，放电宽度小于5mm，极大限制了处理效率，现有微波常压射流式等离子技术，采用同轴结构，处理宽度小于5mm，清洗效率低，激发有延时，不能瞬时启动，无法满足工业瞬启瞬停的要求，为此我们提出了一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，解决了上述的问题。

(二)技术方案

为实现上述所述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，包括控制箱以及微波喷枪，控制箱包含电源箱、流量调节旋钮、微波电源、触摸屏、流量计、I/O端口以及220V电源接口，所述I/O端口以及220V电源接口固定安装在电源箱的内壁上，所述微波电源固定安装在电源箱的底部内壁上，所述电源箱、流量调节旋钮以及触摸屏均安装在电源箱的侧壁上，触摸屏、流量调节旋钮以及电源箱从上到下排列。

优选的，所述电源箱的顶部一体成型有两个对应的把手。

优选的，微波喷枪由RF接头、平板电极、激发装置以及气管接头，RF接头固定安装在平板电极上，RF接头另外一端连接微波电源，激发装置固定在平板电极上，平板电极通过螺栓固定在布气板上，布气板上安装有气管接头，用于通入工艺气体。

优选的，平板电极包括上极板、下极板以及沉铜层，所述上极板与下极板装配在一起，且上极板与下极板靠近一侧壁面上设置有沉铜层，平板电极以陶瓷为基材。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，具备以下有益效果：

1、该可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，可实现较大面积放电，提高清洗效率。

2、该可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，低放电温度，可用于热敏材料、薄膜等产品的清洗改性。

3、该可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，高离子浓度，可获得更好的清洗效果。

4、该可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，可实现微波等离子瞬时激发。

5、该可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，可兼容氧气、氩气、氮气、空气等多种气体。

6、该可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，对周边设备无干扰。

附图说明

图1为本实用新型立体示意图；

图2为微波喷枪示意图。

图中：1、电源箱；2、流量调节旋钮；3、微波电源；4、触摸屏；5、流量计；6、I/O 端口；7、220V电源接口；8、布气板；9、气管接头；10、RF接头；11、激发装置；12、上极板；13、下极板；14、沉铜层。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图2，一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，包括控制箱以及微波喷枪，控制箱包含电源箱1、流量调节旋钮2、微波电源3、触摸屏4、流量计5、 I/O端口6以及220V电源接口7，I/O端口6以及220V电源接口7固定安装在电源箱1的内壁上，微波电源3固定安装在电源箱1的底部内壁上，电源箱1、流量调节旋钮2以及触摸屏4均安装在电源箱1的侧壁上，触摸屏4、流量调节旋钮2以及电源箱1从上到下排列，微波电源3用于产生高频能量，触摸屏4用于人机交互，流量调节旋钮2用于调节流量调节阀，流量调节阀以及流量计5用于调控工艺气体流量。

进一步的，电源箱1的顶部一体成型有两个对应的把手。

进一步的，微波喷枪由RF接头10、平板电极、激发装置11以及气管接头9，RF接头10固定安装在平板电极上，RF接头10另外一端连接微波电源3，激发装置11固定在平板电极上，平板电极通过螺栓固定在布气板8上，布气板8上安装有气管接头9，用于通入工艺气体。

进一步的，平板电极包括上极板12、下极板13以及沉铜层14，上极板12与下极板13装配在一起，且上极板12与下极板13靠近一侧壁面上设置有沉铜层14，内表面沉铜用于等离子放电，获得气压后激发撞针撞击电极内的铜表面。

进一步的，平板电极以陶瓷为基材。

工作原理：接收到触摸屏触摸屏4给出的启动信号后，微波电源微波电源3释放能量并通过高频电缆、微波输入口传导至平板电极，通过微波在电极间形成高频磁场。同时激发装置激发装置11启动，气缸启动推动撞针与电极接触，并马上回缩脱离，在脱离的一瞬间，利用撞针与电极之间间距极小，极易电离之间的气体产生等离子体这一特性进行激发，激发成功后产生的等离子体会改电极之间气体的电导率，引发雪崩效应，通过高频磁场的振荡作用剥离更多气体中中电子，形成稳定的、浓度极高的等离子体。并通过经气体输入口进入的工艺气体的流动，将等离子体携带从平板电极间的缝隙喷射出，形成等离子束，实现微波等离子的大面积放电，提高清洗效率。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，包括控制箱以及微波喷枪，控制箱包含电源箱(1)、流量调节旋钮(2)、微波电源(3)、触摸屏(4)、流量计(5)、I/O端口(6)以及220V电源接口(7)，所述I/O端口(6)以及220V电源接口(7)固定安装在电源箱(1)的内壁上，所述微波电源(3)固定安装在电源箱(1)的底部内壁上，所述电源箱(1)、流量调节旋钮(2)以及触摸屏(4)均安装在电源箱(1)的侧壁上。

2.根据权利要求1所述的一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，其特征在于：所述触摸屏(4)、流量调节旋钮(2)以及电源箱(1)从上到下排列。

3.根据权利要求1所述的一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，其特征在于：所述电源箱(1)的顶部一体成型有两个对应的把手。

4.根据权利要求1所述的一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，其特征在于：所述微波喷枪由RF接头(10)、平板电极、激发装置(11)以及气管接头(9)，RF接头(10)固定安装在平板电极上，RF接头(10)另外一端连接微波电源(3)，激发装置(11)固定在平板电极上，平板电极通过螺栓固定在布气板(8)上，布气板(8)上安装有气管接头(9)。

5.根据权利要求4所述的一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，其特征在于：所述平板电极包括上极板(12)、下极板(13)以及沉铜层(14)，所述上极板(12)与下极板(13)装配在一起，且上极板(12)与下极板(13)靠近一侧壁面上设置有沉铜层(14)。

6.根据权利要求4所述的一种可瞬时启动的平板射流式微波等离子体清洗设备，其特征在于：所述平板电极以陶瓷为基材。

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