CN218456055U - 晶圆检测设备真空管 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种晶圆检测设备真空管，包括：第一连接管段、第二连接管段和弯折替换件。第一连接管段具有第一连接端和第二连接端，第一连接端连接于真空阀。第二连接管段具有第三连接端和第四连接端，第三连接端连接于晶圆载台。弯折替换件包括第一端和第二端，第一端活动连接于第二连接端，第二端活动连接第四连接端，弯折替换件用于承受晶圆检测设备真空管在运动过程中产生的弯矩。本申请解决了现有真空管更换成本过高的问题。

Description

晶圆检测设备真空管

技术领域

本申请涉及晶圆检测设备领域，特别是涉及晶圆检测设备真空管。

背景技术

在晶圆检测设备中，有一段连接真空阀和晶圆载台的真空管，晶圆载台由于自身调整位置的需要而进行运动。晶圆载台在运动时真空阀并不会随之运动，所以需要将真空管进行弯曲留出运动余量以便晶圆载台在运动时不会拉断真空管。当晶圆载台靠近真空阀时，真空管会被弯曲，当晶圆载台远离真空阀时，真空管会被拉直。晶圆载台需要频繁地调整位置，因而会频繁地靠近或远离真空阀，真空管也就会反复地被弯曲或被拉直，这样在真空管上会有一段弯折管段产生反复的被弯曲和被拉直。弯折管段被弯曲或被拉直的次数到达极限时，就会因为疲劳造成破损，使得弯折管段漏气进而使晶圆载台宕机。本申请人在研究中发现，由于现有真空管是一体成型的整条真空管，一旦弯折管段因为弯曲疲劳发生破损，需要将整条真空管都进行更换，但是此时真空管除弯折管段以外的地方并未破损，因为弯折管段破损直接更换掉整条真空管，会导致更换成本较高。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本申请提供了一种晶圆检测设备真空管，包括：第一连接管段、第二连接管段和弯折替换件。所述第一连接管段具有第一连接端和第二连接端，所述第一连接端连接于真空阀。所述第二连接管段具有第三连接端和第四连接端，所述第三连接端连接于晶圆载台。所述弯折替换件包括第一端和第二端，所述第一端活动连接于所述第二连接端，所述第二端活动连接于所述第四连接端，所述弯折替换件用于承受所述晶圆检测设备真空管在运动过程中产生的弯矩。

优选地，所述弯折替换件为管道，所述第一端和所述第二连接端连通，所述第二端和所述第四连接端连通。

优选地，所述晶圆检测设备真空管还包括第一快插接头，其一端与所述第一端活动连接，所述第一快插接头的另一端与所述第二连接端连接。

优选地，所述第一快插接头包括第一卡扣、第二卡扣和第一管件，所述第一卡扣设置于所述第一管件的一端，所述第一卡扣与所述第一端活动连接，所述第二卡扣设置于所述第一管件的另一端，所述第二卡扣和所述第二连接端连接。

优选地，所述晶圆检测设备真空管还包括第二快插接头，其一端和所述第二端活动连接，所述第二快插接头的另一端与所述第四连接端连接。

优选地，所述第二快插接头包括第三卡扣、第四卡扣和第二管件，所述第三卡扣设置于所述第二管件的一端，所述第三卡扣与所述第二端活动连接，所述第四卡扣设置于所述第二管件的另一端，所述第四卡扣和所述第四连接端连接。

优选地，所述弯折替换件为PUR管。

优选地，所述弯折替换件为套管，在所述第二连接端和所述第四连接端之间设置有弯折管段，所述弯折管段的一端和所述第一连接管段连通，所述弯折管段的另一端和所述第二连接管段连通，所述弯折替换件套设于所述弯折管段。

优选地，所述弯折替换件为橡胶管。

优选地，所述弯折替换件通过箍接的方式连接在第二连接端和第四连接端上。

本申请的有益效果在于：由于弯折替换件和第一连接管段及第二连接管段是活动连接，并且弯折替换件可以承受真空管在运动过程中产生的弯矩，在弯折替换件因为弯曲疲劳发生损坏时，可以仅更换掉弯折替换件，而不用将整条真空管都进行更换，降低了更换成本。

上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请较佳的实施例并配合附图对本申请进行详细说明。

附图说明

图1是本申请一实施例中，晶圆检测设备真空管应用分解图；

图2是本申请一实施例中，晶圆检测设备真空管应用立体图；

图3是本申请一实施例中，晶圆检测设备真空管应用仰视图；

图4是本申请一实施例中，图3的A-A线剖视图；

图5是本申请另一实施例中，晶圆检测设备真空管应用立体图；

图6是本申请另一实施例中，晶圆检测设备真空管安装方法流程图；

图7是本申请另一实施例中，晶圆检测设备真空管安装方法子流程图；

图8是本申请另一实施例中，晶圆检测设备真空管安装方法子流程图。

附图标记说明：

1 晶圆检测设备真空管

10 第一连接管段

100 第一连接端

101 第二连接端

11 第二连接管段

110 第三连接端

111 第四连接端

12 弯折替换件

120 第一端

121 第二端

12a 弯折管段

13 第一快插接头

130 第一卡扣

131 第二卡扣

132 第一管件

14 第二快插接头

140 第三卡扣

141 第四卡扣

142 第二管件

2 真空阀

3 晶圆载台

S1-S2 步骤

S11-S12 子步骤

S21-S22 子步骤

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所公开的内容轻易地了解本申请的其他优点及功效。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以互相组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于包覆不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

请同时参考图1和图2，在一个实施中是一种晶圆检测设备真空管1，包括：第一连接管段10、第二连接管段11和弯折替换件12。第一连接管段10和第二连接管段11可以是PVC(Polyvinyl chloride，聚氯乙烯)管。第一连接管段10具有第一连接端100和第二连接端101，第一连接端100连接于真空阀2。第一连接端100可以通过插接头和真空阀2连接。第二连接管段11具有第三连接端110和第四连接端111，第三连接端110连接于晶圆载台3。第三连接端110可以通过插接头和晶圆载台3连接。弯折替换件12包括第一端120和第二端121，第一端120活动连接于第二连接端101，第二端121活动连接于第四连接端111，弯折替换件12用于承受晶圆检测设备真空管1在运动过程中产生的弯矩。

由于弯折替换件12和第一连接管段10及第二连接管段11是分别的活动连接，并且弯折替换件12可以承受晶圆检测设备真空管1在运动过程中产生的弯矩，在弯折替换件12因为弯曲疲劳发生损坏时，可以仅更换掉弯折替换件12，而不用将整条晶圆检测设备真空管1都进行更换，降低了更换成本。

请同时参考图3和图4，优选地，弯折替换件12为管道，第一端120和第二连接端101连通，第二端121和第四连接端121连通。弯折替换件12为管道，第一端120和第二连接端101连通，第二端121和第四连接端121连通使得弯折替换件12既有连通功能，以便和第一连接管段10以及第二连接管段11连通形成真空。同时因为弯折替换件12所处的位置是晶圆检测设备真空管1所在的弯折部位，使弯折替换件12也具备承受弯矩的功能。

弯折替换件12和第一连接管段10及第二连接管段11的活动连接可以通过快插接头达成。如图4所示，优选地，晶圆检测设备真空管1还包括第一快插接头13，其一端与第一端120活动连接，第一快插接头13的另一端与第二连接端101连接。第一快插接头13可以是金属或者复合材料快插接头。第一快插接头13的一端可以通过螺纹或者卡接的方式和第一端120活动连接，以实现快速安装及拆卸。第一快插接头13的另一端与第二连接端101可以通过螺纹、胶接、一体成型或者卡接的方式连接。第一快插接头13的一端活动连接第一端120，由于第一快插接头13的另一端和第一连接管段10连接于第二连接端101，因此可以实现第一端120与第一连接管段10的快速锁紧及脱开，方便第一端120与第一连接管段10的快速安装及拆卸。

如图4所示，优选地，第一快插接头13包括第一卡扣130、第二卡扣131和第一管件132，第一卡扣130设置于第一管件132的一端，第一卡扣130与第一端120活动连接，第二卡扣131设置于第一管件132的另一端，第二卡扣131和第二连接端101连接。第一卡扣130和第二卡扣131可以是环形卡扣，第一管件132可以是圆管，第一卡扣130和第二卡扣131可以以卡接或螺纹连接的方式连接于第一管件132的两端。第一卡扣130可以与第一端120以卡接的方式连接。第二卡扣131可以和第二连接端101以卡接的方式连接。

请同时参考图3和图4，优选地，在另一实施中，晶圆检测设备真空管1还包括第二快插接头14，其一端和第二端121活动连接，第二快插接头14的另一端与第四连接端111连接。第二快插接头14可以是金属或者复合材料快插接头。第二快插接头14的一端可以通过螺纹或者卡接的方式和第二端121活动连接，以实现快速安装及拆卸。第二快插接头14的另一端与第四连接端111可以通过螺纹、胶接、一体成型或者卡接的方式连接。第二快插接头14的一端活动连接第二端121，由于第二快插接头14的另一端和第二连接管段11连接于第四连接端111，因此可以实现第二端121与第二连接管段11的快速锁紧及脱开，方便第二端121与第二连接管段11的快速安装及拆卸。

请同时参考图3和图4，优选地，第二快插接头14包括第三卡扣140、第四卡扣141和第二管件142，第三卡扣140设置于第二管件142的一端，第三卡扣140与第二端121活动连接，第四卡扣141设置于第二管件142的另一端，第四卡扣141和第四连接端111连接。第三卡扣140和第四卡扣141可以是环形卡扣，第二管件142可以是圆管，第三卡扣140和第四卡扣141可以以卡接或螺纹连接的方式连接于第二管件142的两端。第三卡扣140可以与第二端121以卡接的方式连接，第四卡扣141可以和第四连接端111以卡接的方式连接。

优选地，弯折替换件12为PUR(聚氨酯)管。采用PUR管为弯折替换件12，其耐弯曲性比PVC管更高。

如图5所示，优选地，在另一实施中，弯折替换件12为套管，在第二连接端101和第四连接端111之间设置有弯折管段12a，弯折管段12a的一端和第一连接管段10连通，弯折管段12a的另一端和第二连接管段11连通，弯折替换件12套设于弯折管段12a。弯折管段12a可以采用一体成型方式和第一连接管段10及第二连接管段11连接(也即弯折管段12a可以是现有真空管的弯折部位，可以将弯折替换件12套设在现有真空管的弯折部位)，弯折替换件12套设于弯折管段12a以承受弯矩，这样弯折管段12a承受的弯矩将变小，更难损坏。弯折替换件12损坏后，只需将弯折替换件12拆卸更换，无需更换整条晶圆检测设备真空管1。弯折替换件12可以采用卡箍活动连接在第二连接端101和第四连接端111上。

优选地，弯折替换件12可以为橡胶管。

如图6所示，晶圆检测设备真空管1可按如下方法进行连接安装：S1：将第一端120活动连接于第二连接端101。S2：将第二端121活动连接于第四连接端111。

如图7所示，优选地，步骤S1包括：S11：锁紧第一端120于第一快插接头13的一端。S12：以及锁紧第二连接端101于第一快插接头13的另一端。

优选地，步骤S11包括：将第一端120插接于第一卡扣130，沿第一管件132轴线向外拉第一卡扣130以将第一端120锁紧于第一卡扣130。

优选地，步骤S12包括：将第二连接端101插接于第二卡扣131，沿第一管件132轴线向外拉第二卡扣131以将第二连接端101锁紧于第二卡扣131。

如图8所示，优选地，步骤S2包括：S21：锁紧第二端121于第二快插接头14的一端。S22：以及锁紧第四连接端111于第二快插接头14的另一端。

优选地，步骤S21包括：将第二端121插接于第三卡扣140，沿第二管件142轴线向外拉第三卡扣140以将第二端121锁紧于第三卡扣140。

优选地，步骤S22包括：将第四连接端111插接于第四卡扣141，沿第二管件142轴线向外拉第四卡扣141以将第四连接端111锁紧于第四卡扣141。

以上仅为本申请之各种变化实施例，当不能以此限定实施之范围，凡是依本申请权利要求及说明书内容所作之简单的等效变化与修饰，皆仍属此专利涵盖之范围。

Claims (10)

1.一种晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，包括：

第一连接管段(10)，其具有第一连接端(100)和第二连接端(101)，所述第一连接端(100)连接于真空阀(2)；

第二连接管段(11)，其具有第三连接端(110)和第四连接端(111)，所述第三连接端(110)连接于晶圆载台(3)；以及

弯折替换件(12)，其包括第一端(120)和第二端(121)，所述第一端(120)活动连接于所述第二连接端(101)，所述第二端(121)活动连接于所述第四连接端(111)，所述弯折替换件(12)用于承受所述晶圆检测设备真空管(1)在运动过程中产生的弯矩。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述弯折替换件(12)为管道，所述第一端(120)和所述第二连接端(101)连通，所述第二端(121)和所述第四连接端(111)连通。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，还包括第一快插接头(13)，其一端与所述第一端(120)活动连接，所述第一快插接头(13)的另一端与所述第二连接端(101)连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述第一快插接头(13)包括第一卡扣(130)、第二卡扣(131)和第一管件(132)，所述第一卡扣(130)设置于所述第一管件(132)的一端，所述第一卡扣(130)与所述第一端(120)活动连接，所述第二卡扣(131)设置于所述第一管件(132)的另一端，所述第二卡扣(131)和所述第二连接端(101)连接。

5.根据权利要求2所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，还包括第二快插接头(14)，其一端和所述第二端(121)活动连接，所述第二快插接头(14)的另一端与所述第四连接端(111)连接。

6.根据权利要求5所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述第二快插接头(14)包括第三卡扣(140)、第四卡扣(141)和第二管件(142)，所述第三卡扣(140)设置于所述第二管件(142)的一端，所述第三卡扣(140)与所述第二端(121)活动连接，所述第四卡扣(141)设置于所述第二管件(142)的另一端，所述第四卡扣(141)和所述第四连接端(111)连接。

7.根据权利要求2-6任一项所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述弯折替换件(12)为PUR管。

8.根据权利要求1所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述弯折替换件(12)为套管，在所述第二连接端(101)和所述第四连接端(111)之间设置有弯折管段(12a)，所述弯折管段(12a)的一端和所述第一连接管段(10)连通，所述弯折管段(12a)的另一端和所述第二连接管段(11)连通，所述弯折替换件(12)套设于所述弯折管段(12a)。

9.根据权利要求8所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述弯折替换件(12)为橡胶管。

10.根据权利要求8所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述弯折替换件(12)通过箍接的方式连接在第二连接端(101)和第四连接端(111)上。

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