CN218446201U - 用于相衬显微镜的接收装置及相衬显微系统 - Google Patents

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CN218446201U CN202223029949.3U CN202223029949U CN218446201U CN 218446201 U CN218446201 U CN 218446201U CN 202223029949 U CN202223029949 U CN 202223029949U CN 218446201 U CN218446201 U CN 218446201U
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姜雯
郝成龙
谭凤泽
朱健
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Abstract

本实用新型提供了一种用于相衬显微镜的接收装置及相衬显微系统,其中,该接收装置包括:第一聚焦透镜、相移超透镜、第二聚焦透镜和相机探测器;第一聚焦透镜与第二聚焦透镜具有公共焦面,且相移超透镜位于公共焦面处;第一聚焦透镜用于接收环绕光束和衍射光束;相移超透镜中间区域的相位与边缘区域的相位均为常数相位;相移超透镜被配置为在不同时刻分别提供n种不同的相位差;相机探测器用于接收第二聚焦透镜在不同时刻出射的光束。通过本实用新型实施例提供的接收装置及相衬显微系统,可以为处于边缘位置的环绕光束和处于中间位置的衍射光束在不同时刻提供不同的相位延迟,可以对相衬显微镜进行定量成像;并且,具有小型化、轻量化的特点。

Description

用于相衬显微镜的接收装置及相衬显微系统
技术领域
本实用新型涉及相衬显微镜技术领域,具体而言,涉及一种用于相衬显微镜的接收装置及相衬显微系统。
背景技术
相衬显微成像(Phase contrast,PC)技术是一种光学显微技术,光线在穿过透明的样品时会产生微小的相位差,而这个相位差可以被转换为图像中的幅度或对比度的变化,这样就可以利用相位差来成像。
相衬显微镜是利用相衬显微成像技术实现成像的。常规的相衬显微镜在图像平面(Image Plane)处设置相机探测器,由相机探测器采集所成的像。常规的相衬显微镜只能实现定性的相位观察,所采集到的信息有限。
实用新型内容
为解决上述问题,本实用新型实施例的目的在于提供一种用于相衬显微镜的接收装置及相衬显微系统。
第一方面,本实用新型实施例提供了一种用于相衬显微镜的接收装置,包括:第一聚焦透镜、相移超透镜、第二聚焦透镜和相机探测器;所述第一聚焦透镜与所述第二聚焦透镜具有公共焦面,且所述相移超透镜位于所述公共焦面处;
所述第一聚焦透镜远离所述相移超透镜的一侧被配置为接收由相衬显微镜所投射的成像光束,所述成像光束包括环绕光束和衍射光束,所述环绕光束以分离的方式环绕所述衍射光束;
所述相移超透镜中间区域的相位与边缘区域的相位均为常数相位;所述相移超透镜被配置为在不同时刻分别提供n种不同的相位差,所述相位差为所述中间区域的相位与所述边缘区域的相位之间的差值,且第i种所述相位差为2πi/n,i=1,2,…,n,n≥2;所述中间区域与所述衍射光束的位置对应,所述边缘区域与所述环绕光束的位置对应;
所述相机探测器位于所述第二聚焦透镜远离所述相移超透镜的一侧,被配置为接收所述第二聚焦透镜在不同时刻出射的光束。
在一种可能的实现方式中,所述相移超透镜的所述中间区域和/或所述边缘区域为相位可调超透镜。
在一种可能的实现方式中,所述相位可调超透镜包括:第一电极层、第二电极层和多个周期排列的纳米结构;所述第一电极层和所述第二电极层在工作波段透明,所述纳米结构的材料为相变材料;
所述纳米结构位于所述第一电极层与所述第二电极层之间,且所述第一电极层与所述第二电极层通过所述纳米结构实现电连接;
所述第一电极层与所述第二电极层间隔设置,且所述第一电极层与所述第二电极层中的至少一个能够接入大小可变的电压。
在一种可能的实现方式中,多个所述纳米结构的尺寸相同。
在一种可能的实现方式中,所述相移超透镜的所述边缘区域为相位可调超透镜;所述相移超透镜的所述中间区域为透明材质。
在一种可能的实现方式中,所述中间区域为圆形区域,且所述中间区域与所述边缘区域相邻接。
在一种可能的实现方式中,所述第一聚焦透镜与所述第二聚焦透镜中的至少一个为聚焦超透镜。
在一种可能的实现方式中,所述第一聚焦透镜与所述第二聚焦透镜均为聚焦超透镜,且所述第一聚焦透镜、所述相移超透镜和所述第二聚焦透镜为一体封装结构。
在一种可能的实现方式中,n=3或4。
第二方面,本实用新型实施例还提供了一种相衬显微系统,包括:相衬显微镜和如上所述的接收装置;
所述相衬显微镜被配置为出射成像光束;
所述接收装置位于所述相衬显微镜的出光侧。
本实用新型实施例上述第一方面提供的方案中,在两个聚焦透镜的公共焦面处设置相移超透镜,该相移超透镜设有边缘区域和中间区域,且在不同时刻二者之间的相位差是不同的,从而可以为处于边缘位置的环绕光束和处于中间位置的衍射光束在不同时刻提供不同的相位延迟;并且,该相位差为2πi/n,从而可以基于相移法实现定量相位成像。利用该接收装置可以对相衬显微镜进行定量成像,可以获取到传统相衬显微镜所采集不到的信息;并且,利用相移超透镜实现相移,体积较小,结构紧凑,该接收装置具有小型化、轻量化的特点。
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了相衬显微镜的结构示意图;
图2示出了本实用新型实施例所提供的接收装置的一种结构示意图;
图3示出了本实用新型实施例所提供的接收装置中,第一聚焦透镜所接收到的成像光束的示意图;
图4示出了本实用新型实施例所提供的相移超透镜的结构示意图;
图5示出了本实用新型实施例所提供的相位可调超透镜的结构示意图;
图6示出了本实用新型实施例所提供的相衬显微系统的一种结构示意图;
图7示出了本实用新型实施例所提供的相衬显微系统的另一种结构示意图。
图标:
1、相衬显微镜;11、光源;101、环绕光束;102、衍射光束;12、聚光器环;13、聚焦镜;14、载样台;141、样品;15、物镜;16、相位板;17、远心系统;2、接收装置;21、第一聚焦透镜;22、相移超透镜;22a、边缘区域;22b、中间区域;221、第一电极层;222、第二电极层;223、纳米结构;224、基底;225、填充物;23、第二聚焦透镜;24、相机探测器。
具体实施方式
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
本实用新型实施例提供一种用于相衬显微镜的接收装置,该接收装置可以接收该相衬显微镜出射的环绕光束和衍射光束,并利用基于相移的定量相位成像技术(Quantitative Phase Imaging,QPI)可以实现定量相位成像。为方便描述,本实用新型实施例中,首先介绍相衬显微镜的结构和工作原理。
参见图1所示,该相衬显微镜1包括:聚光器环12、聚焦镜13、载样台14、物镜15、相位板16和远心系统17,且聚光器环12、聚焦镜13、载样台14、物镜15、相位板16、远心系统17依次设置,例如,这些器件是共轴的。其中,聚光器环12用于接收检测光束;例如,如图1所示,该相衬显微镜1还可以包括光源11,该光源11能够发出检测光束,聚光器环12位于该光源11的出光侧;如图1所示,光源11的右侧为其出光侧,光束整体从左向右传播。相衬显微镜1的核心点在于:在聚焦镜13的前焦面放置聚光器环12,在物镜15的后焦面放置相位板16。
其中,该聚光器环12通常被构造为带有透明环(例如,透明圆环)的不透明平黑(光吸收)板,该聚光器环12位于聚焦镜13的前焦平面;该透明圆环使得聚光器环12能够将光源11出射的检测光束调整为环形光。聚焦镜13用于将该环形光会聚至载样台14上,载样台14用于放置样品141,会聚的环形光可以照射至该样品141。
该光源11发出的检测光线可以满足科勒照明条件;例如,该光源11包含能够对光束进行准直的准直元件等。在科勒照明条件下,环形光中不与样品141相互作用的光束(例如,无衍射的零级光束)可以直接透过该样品141,形成环绕光束101(也称为环绕波、S波等),该环绕光束101本质上也是一种环形光。在这种情况下,物镜15的后焦面与聚焦镜13前孔径平面(即前焦面)共轭,因此无衍射(零级)光波在物镜15的后孔径形成聚光器环12的明亮图像,能够形成环绕光束101;其中,相位板16位于物镜15的后孔径(即后焦面),该无衍射光波可以叠加在相位板16上。被样品141衍射的球面波前作为衍射光束102(也称为衍射波、D波等),其可以在整个物镜15后孔径的不同位置穿过衍射面。衍射光束102的分布取决于样品141中光散射对象的数量、大小和折射率差。对于大多数样品,只有一小部分入射光波被衍射,并且大部分光不偏离地穿过,经远心系统17后最终照亮整个图像平面,使得位于图像平面处的相机探测器可以采集到相应的图像,实现成像;图1中以24表示该相机探测器。
因为直接的零级光和衍射光在衍射面上是空间分离的,即环绕光束101与衍射光束102是分离的,所以可以选择性地操纵任何一个波分量(环绕光束101、衍射光束102)的相位而不干扰另一个。
相位板16安装在物镜15后焦面处,以便选择性地改变通过样品141的环绕光束101的相位和振幅。在一些相位对比物镜中,相位板16包含蚀刻在玻璃中的环,该环减小了厚度,以便将环绕光束101的相位差分推进四分之一波长。通常,环上还涂有一层金属薄膜,以将环绕光束101的振幅降低60%-90%,图1以不同的灰度表示透过相位板16前后的环绕光束101。环绕光束101与衍射光束102通过干涉重新组合,即可在图像平面上产生合成的图像。
本实用新型实施例提供的接收装置,其用于相衬显微镜,并接收相衬显微镜出射的环绕光束101和衍射光束102,即相衬显微镜的出射光并不射向位于图像平面的相机探测器,而是射向该接收装置,或者说,由该接收装置替换传统的相机探测器,以实现成像。为方便描述,本实用新型实施例将相衬显微镜的出射光称为成像光束。参见图2所示,该接收装置包括:第一聚焦透镜21、相移超透镜22、第二聚焦透镜23和相机探测器24;第一聚焦透镜21与第二聚焦透镜23具有公共焦面,且相移超透镜22位于该公共焦面处。本实用新型实施例中,第一聚焦透镜21与第二聚焦透镜23是共焦面设置的,即第一聚焦透镜21的后焦平面与第二聚焦透镜23的前焦平面可以是重叠的,二者具有公共焦面;并且,该相移超透镜22位于该公共焦面处。
第一聚焦透镜21远离相移超透镜22的一侧被配置为接收由相衬显微镜所投射的成像光束,该成像光束包括环绕光束101和衍射光束102,环绕光束101以分离的方式环绕该衍射光束102。其中,如上所述,相衬显微镜能够出射分离的环绕光束101和衍射光束102,即成像光束;在该第一聚焦透镜21远离相移超透镜22的一侧,第一聚焦透镜21所接收到的成像光束的示意图可参见图3所示,环绕光束101是环形光,衍射光束102被该环绕光束101环绕,且二者是空间分离的。
相移超透镜22中间区域的相位与边缘区域的相位均为常数相位;相移超透镜22被配置为在不同时刻分别提供n种不同的相位差,该相位差为中间区域的相位与边缘区域的相位之间的差值,且第i种相位差为2πi/n,i=1,2,…,n,n≥2;中间区域与衍射光束102的位置对应,边缘区域与环绕光束101的位置对应。
相机探测器24位于第二聚焦透镜23远离相移超透镜22的一侧,被配置为接收第二聚焦透镜23在不同时刻出射的光束。例如,该相机探测器24位于第二聚焦透镜23的后焦平面处。其中,可以采用现有的CCD(电荷耦合器件)相机等作为该相机探测器24,该相机探测器24的工作原理为成熟技术,此处不做详述。
本实用新型实施例中,相移超透镜22主要包括两部分区域,即中间区域和边缘区域;如图2和图4所示,边缘区域22a位于该相移超透镜22的边缘位置,中间区域22b位于该相移超透镜22的中间位置。其中,该边缘区域22a与环绕光束101的位置对应,从而能够向环绕光束101提供相应的相位;该中间区域22b与衍射光束102的位置对应,从而能够向衍射光束102提供相应的相位。例如,该中间区域22b与边缘区域22a相邻接,二者之间的分界线位于环绕光束101与衍射光束102之间的分离空间;并且,该中间区域22b可以为圆形区域,相应地,该边缘区域22a的内环为圆形,例如,边缘区域22a为圆环形区域。
并且,该相移超透镜22边缘区域的相位与中间区域的相位均为常数相位,即该边缘区域22a每个位置处的相位均为同一个数值,该中间区域22b每个位置处的相位也均为同一个数值。并且,在不同时刻,该常数相位可以不是固定值,即该常数相位是可变的,中间区域22b的相位与边缘区域22a的相位之间的差值也是可变的。具体地,以ti表示第i个时刻,以
Figure BDA0003944744270000081
表示在时刻ti边缘区域22a的相位,以
Figure BDA0003944744270000082
表示在时刻ti中间区域22b的相位,则该相移超透镜22在时刻ti所提供的相位差
Figure BDA0003944744270000083
可表示为:
Figure BDA0003944744270000084
并且,由于在不同时刻,某个区域的常数相位是可变的,使得在不同时刻,该相移超透镜22能够提供不同的相位差,即在不同时刻,相位差
Figure BDA0003944744270000085
可以是不同的。例如,相移超透镜22在第i个时刻ti所提供的相位差
Figure BDA0003944744270000086
即为第i种相位差,则
Figure BDA0003944744270000087
例如,n=4,则该相移超透镜22能够提供4种相位差,且四种相位差依次为:
Figure BDA0003944744270000088
Figure BDA0003944744270000089
Figure BDA00039447442700000810
π、
Figure BDA00039447442700000811
2π。
本实用新型实施例中,相移超透镜22在不同时刻能够提供不同的相位差,使得环绕光束101与衍射光束102在透过该相移超透镜22时,可以在不同时刻为二者施加具有不同相位差的相位,即该相移超透镜22在不同时刻能够对环绕光束101与衍射光束102提供不同的相位延迟,从而实现相移;并且,相机探测器24在不同时刻也可以接收到不同相位延迟所对应的光束,相机探测器24采集到的本质上是该光束的光强信息,利用相移法,即可将多个时刻的光强信息转换为定量的相位信息,实现定量相位成像。可选地,为方便采集多个光强信息以及提高采集效率,n=3或者n=4;相应地,采用三步相移法或四步相移法即可实现定量相位成像。其中,相移法为现有的成熟技术,此处不做详述。
本实用新型实施例提供的用于相衬显微镜的接收装置,在两个聚焦透镜的公共焦面处设置相移超透镜22,该相移超透镜22设有边缘区域22a和中间区域22b,且在不同时刻二者之间的相位差是不同的,从而可以为处于边缘位置的环绕光束101和处于中间位置的衍射光束102在不同时刻提供不同的相位延迟;并且,该相位差为2πi/n,从而可以基于相移法实现定量相位成像。利用该接收装置可以对相衬显微镜进行定量成像,可以获取到传统相衬显微镜所采集不到的信息;并且,利用相移超透镜22实现相移,体积较小,结构紧凑,该接收装置具有小型化、轻量化的特点。
可选地,该相移超透镜22的中间区域和/或边缘区域为相位可调超透镜。本实用新型实施例中,边缘区域22a与中间区域22b均为相移超透镜22的一部分,其本身也可以是超透镜,并且,该超透镜的相位是可调的,即该超透镜的相位是常数相位,且常数相位可变。例如,该相移超透镜22的边缘区域22a为相位可调超透镜,中间区域22b为相位固定的超透镜;或者,该相移超透镜22的中间区域22b为相位可调超透镜,边缘区域22a为相位固定的超透镜;或者,该相移超透镜22的边缘区域22a和中间区域22b均为相位可调超透镜。边缘区域22a与中间区域22b中的至少一个是相位可调的,从而可以改变二者之间的相位差。
其中,为节约成本,边缘区域22a与中间区域22b中的一个是相位可调超透镜,另一个的相位固定不变。在这种情况下,相位固定不变的区域可以为透明材质;例如,相位固定不变的区域为玻璃材质(或者,其只具有超透镜的基底,表面未设有纳米结构);或者,该相位固定不变的区域为空气;例如,相移超透镜22的边缘区域22a为相位可调超透镜,相移超透镜22的中间区域22b为透明材质,若该透明材质为空气,则该相移超透镜22是环状结构,其中间区域22b为通孔。
在相衬显微镜中,一般只有一小部分检测光被样品141衍射,大部分光不偏离地穿过样品141,即环绕光束101的强度大于衍射光束102的强度;为了最小化样品和背景之间的强度差异,需要降低环绕光束101的幅度,例如,可以在相位板16的环上涂一层金属薄膜,以降低环绕光束101的振幅。本实用新型实施例利用相位可调超透镜比透明材质一般具有更高反射率的特点,将相移超透镜22的边缘区域22a设为相位可调超透镜,将相移超透镜22的中间区域22b设为透明材质,也可以降低环绕光束101的振幅,减小环绕光束101与衍射光束102之间的强度差异。
可选地,参见图5所示,该相位可调超透镜包括:第一电极层221、第二电极层222和多个周期排列的纳米结构223,图5仅示出了其中一个纳米结构223。第一电极层221、第二电极层222在工作波段透明,该工作波段为成像光束所在波段,例如,第一电极层221、第二电极层222的材料可以为氧化铟锡(ITO)等;纳米结构223的材料为相变材料,例如,该相变材料可以是GexSbyTez(简称GST)材料等。其中,纳米结构223位于第一电极层221与第二电极层222之间,且第一电极层221与第二电极层222通过纳米结构223实现电连接;第一电极层221与第二电极层222间隔设置,且第一电极层221与第二电极层222中的至少一个能够接入大小可变的电压。
本实用新型实施例中,该相位可调超透镜本质上是超透镜,其包括多个周期排列的纳米结构223,利用纳米结构223对入射光(例如,环绕光束101或衍射光束102)提供相应的相位;其中,由于该相位可调超透镜具有常数相位,故所有纳米结构223所调制的相位是相同的;例如,所有纳米结构223的尺寸是相同的,即不同纳米结构223的形状、高度、直径(或边长)等是相同。
本实用新型实施例中,第一电极层221与第二电极层222能够向纳米结构223提供不同的电压,即第一电极层221与第二电极层222之间具有电压差,从而可以向纳米结构223提供电压,利用电热转换能够向位于第一电极层221与第二电极层222之间的纳米结构223施加相应的温度;通过改变第一电极层221与第二电极层222中的至少一个的电压,即可改变纳米结构223的温度,进而改变该纳米结构223的相位调制效果,从而改变相位可调超透镜的常数相位。
例如,参见图5所示,第一电极层221和第二电极层222分别设置在纳米结构223的两侧(如图5中的上下两侧)。第一电极层221的电压为V1,第二电极层222接地,二者之间的电势差ΔV=V1,电流流过纳米结构223时,纳米结构223自发热,从而改变自身的温度,进而可以实现对该纳米结构223的相位控制。
其中,该纳米结构223以及电极层可以设置在基底224上,如图5所示,基底224的一侧依次设置第二电极层222、纳米结构223、第一电极层221。并且,为方便加工制作,该纳米结构223的周围还填充有填充物225,该填充物225可以起到支撑作用。
可选地,第一聚焦透镜21与第二聚焦透镜23中的至少一个为聚焦超透镜。例如,如图2所示,第一聚焦透镜21与第二聚焦透镜23均为聚焦超透镜。其中,聚焦超透镜指的是具有聚焦功能的超透镜,该聚焦超透镜的相位分布满足:
Figure BDA0003944744270000111
其中,(x,y)表示聚焦超透镜中的位置坐标,
Figure BDA0003944744270000112
表示位置(x,y)处的相位,f表示该聚焦超透镜的焦距,λ表示入射光波长。
可选地,在第一聚焦透镜21与第二聚焦透镜23均为聚焦超透镜的情况下,二者与相移超透镜22均为超透镜,三者可以采用半导体封装工艺等进行一体封装,使得第一聚焦透镜21、相移超透镜22和第二聚焦透镜23为一体封装结构,结构更加紧凑。
本实用新型实施例还提供一种相衬显微系统,参见图6所示,该相衬显微系统包括:相衬显微镜1和如上任一实施例提供的接收装置2。其中,该相衬显微镜1被配置为出射成像光束;接收装置2位于相衬显微镜1的出光侧。
例如,以图1所示的相衬显微镜为例,该相衬显微系统的具体结构可参见图7所示,相衬显微镜1出射包括环绕光束101和衍射光束102的成像光束。该成像光束经第一聚焦透镜21后到达相移超透镜22,在不同时刻,相移超透镜22为成像光束中的环绕光束101和衍射光束102提供不同的相位差,实现相移;并且,被相移超透镜22所调制的不同时刻的成像光束经第二聚焦透镜23可以到达相机探测器24,由相机探测器采集不同时刻的光强分布,利用相移法得到相应的相位信息,最终实现定量相位成像。其中,该相衬显微镜1和接收装置2的工作原理可参见之前的内容,这里不做详述。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换的技术方案,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种用于相衬显微镜的接收装置,其特征在于,包括:第一聚焦透镜(21)、相移超透镜(22)、第二聚焦透镜(23)和相机探测器(24);所述第一聚焦透镜(21)与所述第二聚焦透镜(23)具有公共焦面,且所述相移超透镜(22)位于所述公共焦面处;
所述第一聚焦透镜(21)远离所述相移超透镜(22)的一侧被配置为接收由相衬显微镜所投射的成像光束,所述成像光束包括环绕光束(101)和衍射光束(102),所述环绕光束(101)以分离的方式环绕所述衍射光束(102);
所述相移超透镜(22)中间区域的相位与边缘区域的相位均为常数相位;所述相移超透镜(22)被配置为在不同时刻分别提供n种不同的相位差,所述相位差为所述中间区域的相位与所述边缘区域的相位之间的差值,且第i种所述相位差为2πi/n,i=1,2,…,n,n≥2;所述中间区域与所述衍射光束(102)的位置对应,所述边缘区域与所述环绕光束(101)的位置对应;
所述相机探测器(24)位于所述第二聚焦透镜(23)远离所述相移超透镜(22)的一侧,被配置为接收所述第二聚焦透镜(23)在不同时刻出射的光束。
2.根据权利要求1所述的接收装置,其特征在于,所述相移超透镜(22)的所述中间区域和/或所述边缘区域为相位可调超透镜。
3.根据权利要求2所述的接收装置,其特征在于,所述相位可调超透镜包括:第一电极层(221)、第二电极层(222)和多个周期排列的纳米结构(223);所述第一电极层(221)和所述第二电极层(222)在工作波段透明,所述纳米结构(223)的材料为相变材料;
所述纳米结构(223)位于所述第一电极层(221)与所述第二电极层(222)之间,且所述第一电极层(221)与所述第二电极层(222)通过所述纳米结构(223)实现电连接;
所述第一电极层(221)与所述第二电极层(222)间隔设置,且所述第一电极层(221)与所述第二电极层(222)中的至少一个能够接入大小可变的电压。
4.根据权利要求3所述的接收装置,其特征在于,多个所述纳米结构(223)的尺寸相同。
5.根据权利要求2所述的接收装置,其特征在于,所述相移超透镜(22)的所述边缘区域为相位可调超透镜;所述相移超透镜(22)的所述中间区域为透明材质。
6.根据权利要求1所述的接收装置,其特征在于,所述中间区域为圆形区域,且所述中间区域与所述边缘区域相邻接。
7.根据权利要求1所述的接收装置,其特征在于,所述第一聚焦透镜(21)与所述第二聚焦透镜(23)中的至少一个为聚焦超透镜。
8.根据权利要求7所述的接收装置,其特征在于,所述第一聚焦透镜(21)与所述第二聚焦透镜(23)均为聚焦超透镜,且所述第一聚焦透镜(21)、所述相移超透镜(22)和所述第二聚焦透镜(23)为一体封装结构。
9.根据权利要求1所述的接收装置,其特征在于,n=3或4。
10.一种相衬显微系统,其特征在于,包括:相衬显微镜和如权利要求1-9任意一项所述的接收装置;
所述相衬显微镜被配置为出射成像光束;
所述接收装置位于所述相衬显微镜的出光侧。
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