CN218414531U - 一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备，该系统包括定轴轮机构；设置在所述定轴轮机构上方的滚轮运动机构，所述滚轮运动机构可围绕所述定轴轮机构的定轴转动并可沿上下方向运动，以对位于所述滚轮运动机构下方的底座上的半导体产品进行贴合压实；与所述底座相邻设置的定位轮机构，所述定位轮机构用于检测所述底座上是否存在所述半导体产品以及配合所述定轴轮机构将所述半导体产品定位到设定位置。采用本公开的多自由度定位检知系统，能够有效精准地对半导体产品进行定位检知，不损坏产品，同时简单耐用，降低生产成本。

Description

一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备

技术领域

本公开一般涉及半导体测试技术领域，具体涉及一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备。

背景技术

在半导体生产测试工序中，相关技术通过气缸整形机构进行产品定位。然而，依赖气缸动作具有诸多不确定性，比如气缸损坏、卡顿或者部件松动会使定位不精准，并且气缸动作可控性差，比如力度过大或者顶料位置异常会造成半导体产品变形和缺损，增加不良率，同时气缸等部件长时间高频次作业之后容易损坏，使用寿命短，增加了生产成本。

实用新型内容

鉴于相关技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备，能够有效精准地对半导体产品进行定位检知，不损坏产品，同时简单耐用，降低生产成本。

第一方面，本公开提供一种多自由度定位检知系统，所述系统包括：

定轴轮机构；

设置在所述定轴轮机构上方的滚轮运动机构，所述滚轮运动机构可围绕所述定轴轮机构的定轴转动并可沿上下方向运动，以对位于所述滚轮运动机构下方的底座上的半导体产品进行贴合压实；

与所述底座相邻设置的定位轮机构，所述定位轮机构用于检测所述底座上是否存在所述半导体产品以及配合所述定轴轮机构将所述半导体产品定位到设定位置。

可选地，在本公开一些实施例中，所述定位轮机构包括定位轮、第一滑块、固定支架和产品检知传感器；所述定位轮和所述产品检知传感器均设置在所述第一滑块上，所述第一滑块设置在所述固定支架的滑轨上。

可选地，在本公开一些实施例中，所述定位轮机构还包括卡料检知装置，所述卡料检知装置用于监测所述定位轮的移动位移是否超过预设阈值。

可选地，在本公开一些实施例中，所述卡料检知装置包括卡料检知传感器、金属感应片和定位轮拉簧；所述卡料检知传感器和所述金属感应片相对设置，所述卡料检知传感器位于所述固定支架上，所述金属感应片位于所述第一滑块上，所述定位轮拉簧的第一端连接所述固定支架，所述定位轮拉簧的第二端连接所述金属感应片。

可选地，在本公开一些实施例中，所述定位轮机构还包括报警器，所述报警器用于当所述卡料检知传感器无法感应到所述金属感应片时发出报警信号。

可选地，在本公开一些实施例中，所述滚轮运动机构包括滚轮支架、第二滑块和滚轮；所述滚轮支架设置在所述定轴轮机构上，所述第二滑块和所述滚轮均位于所述滚轮支架的侧面，所述第二滑块设置在所述滚轮支架的滑轨上，所述滚轮设置在所述第二滑块上且位于所述底座上方。

可选地，在本公开一些实施例中，所述滚轮运动机构还包括滚轮固定块；所述滚轮固定块位于所述第二滑块和所述滚轮之间且与所述滚轮一体设置在所述第二滑块上。

可选地，在本公开一些实施例中，所述滚轮运动机构还包括上下拉簧和调节螺丝；所述上下拉簧的第一端与所述滚轮支架相连接，所述上下拉簧的第二端与所述调节螺丝的第一端相连接，所述调节螺丝的第二端固定在所述滚轮固定块上。

可选地，在本公开一些实施例中，所述定轴轮机构包括定轴轮支架和定轴轮；所述定轴轮可在所述定轴轮支架上绕轴转动。

第二方面，本公开提供一种测试设备，所述设备包括底座以及第一方面中任意一项所述的系统。

从以上技术方案可以看出，本公开实施例具有以下优点：

本公开实施例提供了一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备，该系统通过定轴轮机构、滚轮运动机构和定位轮机构三个轮系机构的配合，提高了定位自由度，能够有效精准地对半导体产品进行定位检知，减小了整体摩擦系数，运动顺畅，不损坏产品，同时消除了质量隐患，简单耐用，避免了气缸等易损件的使用，由此降低了生产成本。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本公开的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本公开实施例提供的一种多自由度定位检知系统的立体结构示意图；

图2为本公开实施例提供的一种多自由度定位检知系统的平面结构示意图。

附图标记：

10-多自由度定位检知系统，11-定轴轮机构，111-定轴轮支架，112-定轴轮，12-滚轮运动机构，121-滚轮支架，122-第二滑块，123-滚轮，124-滚轮固定块，125-上下拉簧，126-调节螺丝，13-定位轮机构，131-定位轮，132-第一滑块，133-固定支架，134-产品检知传感器，135-卡料检知装置，1351-卡料检知传感器，1352-金属感应片，1353-定位轮拉簧，21-底座。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本公开方案，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本公开保护的范围。

本公开的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便描述的本公开的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

此外，术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或模块的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或模块，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或模块。

为了便于理解和说明，下面通过图1至图2详细地阐述本公开实施例提供的多自由度定位检知系统及具有其的测试设备。

请参考图1，其为本公开实施例提供的一种多自由度定位检知系统的立体结构示意图。该多自由度定位检知系统10包括定轴轮机构11、设置在定轴轮机构11上方的滚轮运动机构12以及与底座21相邻设置的定位轮机构13，其中滚轮运动机构12可围绕定轴轮机构11的定轴转动并可沿上下方向运动，以对位于滚轮运动机构12下方的底座21上的半导体产品进行贴合压实，而定位轮机构13能够检测底座21上是否存在半导体产品以及配合定轴轮机构11将半导体产品定位到设定位置。

示例性地，下面结合图2所示对本公开实施例的多自由度定位检知系统10的各组成机构进行详细介绍。比如，本公开实施例中定轴轮机构11包括但不限于定轴轮支架111和定轴轮112，定轴轮112可在定轴轮支架111上绕轴转动。

再如，本公开实施例中滚轮运动机构12包括但不限于滚轮支架121、第二滑块122和滚轮123，其中滚轮支架121设置在定轴轮机构11上，第二滑块122和滚轮123均位于滚轮支架121的侧面，而第二滑块122设置在滚轮支架121的滑轨上，滚轮123设置在第二滑块122上且位于底座21上方。

可选地，本公开一些实施例中滚轮运动机构12还可以包括滚轮固定块124，该滚轮固定块124位于第二滑块122和滚轮123之间且与滚轮123一体设置在第二滑块122上。

可选地，本公开一些实施例中滚轮运动机构12还可以包括上下拉簧125和调节螺丝126。其中，上下拉簧125的第一端与滚轮支架121相连接，上下拉簧125的第二端与调节螺丝126的第一端相连接，调节螺丝126的第二端固定在滚轮固定块124上，这样设置的好处是能够通过调节螺丝126来调节上下拉簧125的松紧度，从而调节滚轮运动机构12向下压力大小。如果半导体产品位置异常，由于滚轮123可以绕轴转动并且材质为硬橡胶，此时能够确保半导体产品贴合压实在底座21上，没有质量隐患。

又如，本公开实施例中定位轮机构13包括但不限于定位轮131、第一滑块132、固定支架133和产品检知传感器134，其中定位轮131和产品检知传感器134均设置在第一滑块132上，而第一滑块132设置在固定支架133的滑轨上。实际使用时，包含定轴轮支架111和定轴轮112的定轴轮机构11能够保证半导体产品塑封体顶端位置固定，而定位轮131能够灵活地将半导体产品定位到设定位置。加之，定轴轮112和定位轮131均为耐磨尼龙材质，因此确保了半导体产品安全、有效以及精准的定位效果。

可选地，本公开一些实施例中定位轮机构13还可以包括卡料检知装置135，该卡料检知装置135用于监测定位轮131的移动位移是否超过预设阈值。例如，卡料检知装置135包括但不限于卡料检知传感器1351、金属感应片1352和定位轮拉簧1353，其中卡料检知传感器1351和金属感应片1352相对设置，而卡料检知传感器1351位于固定支架133上，金属感应片1352位于第一滑块132上，以及定位轮拉簧1353的第一端连接固定支架133，定位轮拉簧1353的第二端连接金属感应片1352，由此该定位轮拉簧1353能够起到弹性限位的作用。

可选地，本公开一些实施例中定位轮机构13还可以包括报警器(图中未示出)，这样设置的好处是在卡料检知传感器1351无法感应到金属感应片1352的情况下，表明半导体产品偏差过大而导致定位轮131位移过大，此时该报警器发出报警信号，能够杜绝撞机风险。

基于前述实施例，本公开实施例提供一种测试设备，该测试设备包括但不限于图1～图2对应实施例的底座21以及多自由度定位检知系统10。

本公开实施例提供的多自由度定位检知系统及具有其的测试设备，该系统通过定轴轮机构、滚轮运动机构和定位轮机构三个轮系机构的配合，提高了定位自由度，能够有效精准地对半导体产品进行定位检知，减小了整体摩擦系数，运动顺畅，不损坏产品，同时消除了质量隐患，简单耐用，避免了气缸等易损件的使用，由此降低了生产成本。

需要说明的是，以上实施例仅用以说明本公开的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本公开进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本公开各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种多自由度定位检知系统，其特征在于，所述系统包括：

定轴轮机构；

设置在所述定轴轮机构上方的滚轮运动机构，所述滚轮运动机构可围绕所述定轴轮机构的定轴转动并可沿上下方向运动，以对位于所述滚轮运动机构下方的底座上的半导体产品进行贴合压实；

与所述底座相邻设置的定位轮机构，所述定位轮机构用于检测所述底座上是否存在所述半导体产品以及配合所述定轴轮机构将所述半导体产品定位到设定位置。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述定位轮机构包括定位轮、第一滑块、固定支架和产品检知传感器；所述定位轮和所述产品检知传感器均设置在所述第一滑块上，所述第一滑块设置在所述固定支架的滑轨上。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述定位轮机构还包括卡料检知装置，所述卡料检知装置用于监测所述定位轮的移动位移是否超过预设阈值。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述卡料检知装置包括卡料检知传感器、金属感应片和定位轮拉簧；所述卡料检知传感器和所述金属感应片相对设置，所述卡料检知传感器位于所述固定支架上，所述金属感应片位于所述第一滑块上，所述定位轮拉簧的第一端连接所述固定支架，所述定位轮拉簧的第二端连接所述金属感应片。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述定位轮机构还包括报警器，所述报警器用于当所述卡料检知传感器无法感应到所述金属感应片时发出报警信号。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述滚轮运动机构包括滚轮支架、第二滑块和滚轮；所述滚轮支架设置在所述定轴轮机构上，所述第二滑块和所述滚轮均位于所述滚轮支架的侧面，所述第二滑块设置在所述滚轮支架的滑轨上，所述滚轮设置在所述第二滑块上且位于所述底座上方。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述滚轮运动机构还包括滚轮固定块；所述滚轮固定块位于所述第二滑块和所述滚轮之间且与所述滚轮一体设置在所述第二滑块上。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述滚轮运动机构还包括上下拉簧和调节螺丝；所述上下拉簧的第一端与所述滚轮支架相连接，所述上下拉簧的第二端与所述调节螺丝的第一端相连接，所述调节螺丝的第二端固定在所述滚轮固定块上。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的系统，其特征在于，所述定轴轮机构包括定轴轮支架和定轴轮；所述定轴轮可在所述定轴轮支架上绕轴转动。

10.一种测试设备，其特征在于，所述设备包括底座以及权利要求1至9中任意一项所述的系统。

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