CN218404375U - 一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板，其对靶材具有良好的保护作用，包括溅射靶材，溅射靶材的底部设置有靶材背板，靶材背板上设置有一圈安装槽，安装槽的内部设置有保护圈，靶材背板上设置有数个连接轴，每个连接轴上均设置有挡片，保护圈的外壁上设置有数个卡槽，保护圈的底部和安装槽之间设置有数个弹簧，保护圈和安装槽呈滑动连接，挡片和连接轴呈转动连接，保护圈的材质为硬度较大的金属材质，挡片卡入到卡槽内部时，保护圈顶端高于溅射靶材的顶端。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板。
背景技术
众所周知，在半导体工业中，靶材组件是由符合溅射性能的靶材及能与所述靶材结合并具有一定强度的靶材背板构成。靶材背板可以在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。
在溅射过程中，靶材会被施加高电压，由于靶材背板与靶材固定在一起，且靶材背板也是导电的，而金属靶材由背板和靶材焊接而成。发明人发现，靶材为高纯金属，质地较软，在安装和运输过程中靶材易发生变形，造成靶材的损坏。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板，对靶材具有良好的保护作用。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板，包括溅射靶材，溅射靶材的底部设置有靶材背板，靶材背板上设置有一圈安装槽，安装槽的内部设置有保护圈，靶材背板上设置有数个连接轴，每个连接轴上均设置有挡片，保护圈的外壁上设置有数个卡槽，保护圈的底部和安装槽之间设置有数个弹簧。
进一步的，保护圈和安装槽呈滑动连接。
进一步的，挡片和连接轴呈转动连接。
进一步的，保护圈的材质为硬度较大的金属材质。
进一步的，挡片卡入到卡槽内部时，保护圈顶端高于溅射靶材的顶端。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板，具备以下有益效果：
该能够对靶材起到保护作用的靶材背板，通过挡片和卡槽的设置，当挡片卡入到卡槽的内部时，挡片对保护圈起到支撑的作用，通过保护圈的设置，挡片支撑保护圈时，保护圈顶端高于溅射靶材的顶端，保护圈对靶材起到保护的作用，有效的防止靶材在运输和安装过程中受损。
附图说明
图1为本实用新型的等测结构示意图；
图2为本实用新型保护圈下压后的等测结构示意图；
图3为本实用新型的剖视结构示意图；
图4为本实用新型保护圈下压后的剖视结构示意图。
图中：1、溅射靶材；2、靶材背板；3、安装槽；4、保护圈；5、连接轴；6、挡片；7、卡槽；8、弹簧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型的一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板，包括溅射靶材1，溅射靶材1的底部设置有靶材背板2，靶材背板2上设置有一圈安装槽3，保护圈4和安装槽3呈滑动连接，保护圈4可以在安装槽3的内部上下运动，安装槽3的内部设置有保护圈4，挡片6卡入到卡槽7内部时，保护圈4顶端高于溅射靶材1的顶端，保护圈4对溅射靶材1起到保护作用，保护圈4的材质为硬度较大的金属材质，靶材背板2上设置有数个连接轴5，每个连接轴5上均设置有挡片6，挡片6和连接轴5呈转动连接，挡片6卡入到卡槽7的内部对保护圈4起到支撑的作用，挡片6挡在保护圈4的顶端时，可以使保护圈4在安装槽3的内部，保护圈4的外壁上设置有数个卡槽7，挡片6可以卡入到卡槽7的内部，保护圈4的底部和安装槽3之间设置有数个弹簧8，为保护圈4提供弹力。
综上所述，该能够对靶材起到保护作用的靶材背板，在使用时，在运输和安装过程中，将挡片6卡入到卡槽7的内部，保护圈4的顶端高于溅射靶材1的顶端，保护圈4对溅射靶材1起到保护作用，在掉落等情况下保护圈4会防止溅射靶材1发生撞击，当安装完成后，将保护圈4压入到安装槽3的内部，转动挡片6使挡片6将保护圈4的顶端挡住，该溅射靶材1即可正常使用。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板，包括溅射靶材(1)，其特征在于：所述溅射靶材(1)的底部设置有靶材背板(2)，所述靶材背板(2)上设置有一圈安装槽(3)，所述安装槽(3)的内部设置有保护圈(4)，所述靶材背板(2)上设置有数个连接轴(5)，每个所述连接轴(5)上均设置有挡片(6)，所述保护圈(4)的外壁上设置有数个卡槽(7)，所述保护圈(4)的底部和安装槽(3)之间设置有数个弹簧(8)。
2.根据权利要求1所述的一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板，其特征在于：所述保护圈(4)和安装槽(3)呈滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板，其特征在于：所述挡片(6)和连接轴(5)呈转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板，其特征在于：所述保护圈(4)的材质为硬度较大的金属材质。
5.根据权利要求1所述的一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板，其特征在于：所述挡片(6)卡入到卡槽(7)内部时，所述保护圈(4)顶端高于溅射靶材(1)的顶端。
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