CN218331277U - 双轴同动斜向扫描装置及使用该扫描装置的晶圆检查机 - Google Patents
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Abstract
一种双轴同动斜向扫描装置及使用该扫描装置的晶圆检查机，包括：机架；线性扫描仪，设置于该机架；移载单元，具有第一线性移动器、第二线性移动器与旋转器，该第一线性移动器设置于该机架，该第二线性移动器设置于该第一线性移动器，该旋转器设置于该第二线性移动器，该第一线性移动器与该第二线性移动器的移动走向交错；待扫描物托架，设置于该旋转器；第一线性光源，设置于该机架提供光源；利用该旋转器调整该待扫描物托架与该线性扫描仪的扫描夹角，并借该第一线性移动器与该第二线性移动器让该待扫描物托架沿着扫描夹角方向进行双轴同动斜向线性移动，由该线性扫描仪进行整个待扫描物的双轴同动斜向扫描，具有降低影像撷取失真度的功效。
Description
技术领域
本实用新型有关一种双轴同动斜向扫描装置及使用该扫描装置的晶圆检查机，尤指一种利用双轴同动斜向线性扫描降低影像撷取失真度的设计。
背景技术
结合光学感测系统、讯号处理系统与分析软件所组成自动化光学检测(AutomatedOptical Inspection，AOI)技术，可以取代大量的人工肉眼检视工作，达到检测一致性并缩短检测时间，进而提升产品质量以及产业的竞争力；而自动化晶圆检查机是利用AOI技术检测晶圆的裂痕、缺角、粉尘、变色、刮伤、脏污等瑕疵，但现有自动化晶圆检查机采用光学显微镜(OM)搭配面光源撷取晶圆的影像，致使所撷取到的晶圆影像会是椭圆(失真)成像，造成检测结果的准确度稍差。
实用新型内容
本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种双轴同动斜向扫描装置及使用该扫描装置的晶圆检查机，其具有降低影像撷取失真度的功效；具有快速取得明视野与暗视野扫描结果的功效。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种双轴同动斜向扫描装置，包括：机架；线性扫描仪，设置于该机架；移载单元，具有第一线性移动器、第二线性移动器与旋转器，该第一线性移动器设置于该机架，该第二线性移动器设置于该第一线性移动器，该旋转器设置于该第二线性移动器，该第一线性移动器与该第二线性移动器的移动走向交错；以及待扫描物托架，设置于该旋转器；借此，利用该旋转器调整该待扫描物托架与该线性扫描仪的扫描夹角，并借该第一线性移动器与该第二线性移动器让该待扫描物托架沿着扫描夹角方向进行双轴同动斜向线性移动，而由该线性扫描仪进行整个待扫描物的双轴同动斜向扫描。
一种晶圆检查机，包括：机架；线性扫描仪，设置于该机架；移载单元，具有第一线性移动器、第二线性移动器与旋转器，该第一线性移动器设置于该机架，该第二线性移动器设置于该第一线性移动器，该旋转器设置于该第二线性移动器，该第一线性移动器与该第二线性移动器的移动走向交错；待扫描物托架，设置于该旋转器；以及第一线性光源，设置于该机架而提供该线性扫描仪所需的光源；借此，利用该旋转器调整该待扫描物托架与该线性扫描仪的扫描夹角，并借该第一线性移动器与该第二线性移动器让该待扫描物托架沿着扫描夹角方向进行双轴同动斜向线性移动，而由该线性扫描仪进行整个待检查晶圆的双轴同动斜向扫描。
该第一线性光源设置于第一摆臂，该第一摆臂枢设于该机架，致使该第一线性光源利用该第一摆臂调整相对该待扫描物托架的入射角。该机架还设置第二线性光源，该第二线性光源设置于第二摆臂，该第二摆臂枢设于该机架，致使该第二线性光源利用该第二摆臂调整相对该待扫描物托架的入射角，而令该第二线性光源与第一线性光源具有不同的入射角，且交替提供该线性扫描仪所需的光源。该机架还设置待检转盘与顶托移动器，该待检转盘具有数个晶圆托叉，各该晶圆托叉供待检查晶圆置放，而借该顶托移动器将待检查晶圆顶托至该待扫描物托架，换由该待扫描物托架托载待检查晶圆进行晶圆检查。
本实用新型的有益效果是，其具有降低影像撷取失真度的功效；具有快速取得明视野与暗视野扫描结果的功效。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型晶圆检查机的结构外观图(晶圆位于待检转盘)。
图2是本实用新型晶圆检查机的结构外观图(晶圆位于待扫描物托架)。
图3是本实用新型晶圆检查机的结构外观图(晶圆进行检查中)。
图4是本实用新型双轴同动斜向扫描装置的结构外观图。
图5是本实用新型双轴同动斜向扫描装置的结构主视图。
图中标号说明：
10 机架
11 第一摆臂
12 第二摆臂
20 移载单元
21 第一线性移动器
22 第二线性移动器
23 旋转器
30 待扫描物托架
40 线性扫描仪
50 第一线性光源
60 第二线性光源
70 待检转盘
71 晶圆托叉
80 顶托移动器
90 待检查晶圆
具体实施方式
首先，请参阅图1～图4所示，本实用新型的晶圆检查机包括：机架10，枢设有第一摆臂11与第二摆臂12；移载单元20，具有第一线性移动器21、第二线性移动器22与旋转器23，该第一线性移动器21设置于该机架10，该第二线性移动器22设置于该第一线性移动器21，该旋转器23设置于该第二线性移动器22，该第一线性移动器与该第二线性移动器的移动走向交错；待扫描物托架30，设置于该旋转器23；线性扫描仪40，设置于该机架10；第一线性光源50，设置于该第一摆臂11而提供该线性扫描仪40所需的光源，并可利用该第一摆臂11调整相对该待扫描物托架30的入射角；第二线性光源60，设置于该第二摆臂12而提供该线性扫描仪40所需的光源，并可利用该第二摆臂12调整相对该待扫描物托架30的入射角，而令该第二线性光源60与第一线性光源50具有不同的入射角，且交替提供该线性扫描仪40所需的光源；待检转盘70，具有数个晶圆托叉71而设置于该机架10，各该晶圆托叉71供待检查晶圆90置放；以及顶托移动器80，相对各该晶圆托叉71的其中之一而设置于该机架10，用以将该晶圆托叉71所置放的待检查晶圆90顶托至该待扫描物托架30，换由该待扫描物托架30托载待检查晶圆90；借此，利用该旋转器23调整该待扫描物托架30与该线性扫描仪40的扫描夹角，并借该第一线性移动器21与该第二线性移动器22让该待扫描物托架30沿着扫描夹角方向进行双轴同动斜向线性移动，而由该线性扫描仪40进行整个待检查晶圆90的双轴同动斜向扫描。
接着，请参阅图4、图5所示，本实用新型双轴同动斜向扫描装置包括：机架10；移载单元20，具有第一线性移动器21、第二线性移动器22与旋转器23，该第一线性移动器21设置于该机架10，该第二线性移动器22设置于该第一线性移动器21，该旋转器23设置于该第二线性移动器22，该第一线性移动器21与该第二线性移动器22的移动走向交错；待扫描物托架30，设置于该旋转器23；线性扫描仪40，设置于该机架10；借此，利用该旋转器23调整该待扫描物托架30与该线性扫描仪40的扫描夹角，并借该第一线性移动器21与该第二线性移动器22让该待扫描物托架30沿着扫描夹角方向进行双轴同动斜向线性移动，而由该线性扫描仪40进行整个待扫描物的双轴同动斜向扫描。
基于上述构成，本实用新型晶圆检查机让待扫描物托架30上的待检查晶圆90，透过移载单元20的旋转器23调整待扫描物托架30与线性扫描仪40的扫描夹角，利用移载单元20的第一线性移动器21与第二线性移动器22提供双轴同步线性移动，并借线性扫描仪40搭配第一线性光源50或/及第二线性光源60进行整个待检查晶圆90的双轴同动斜向扫描，用以解决先前技术椭圆成像致使检测结果准确度稍差的问题，而具有降低影像撷取失真度的功效；再者，第一线性光源50可利用第一摆臂11调整相对待扫描物托架30的入射角，第二线性光源60可利用第二摆臂12调整相对待扫描物托架30的入射角，而可让待扫描物托架30上的待检查晶圆90被交替照射明视野与暗视野的扫描光源，具有快速取得明视野与暗视野扫描结果的功效；此外，当然亦可仅利用第一线性光源50提供明视野(或暗视野)的扫描光源先扫描一次，接着提供暗视野(或明视野)的扫描光源再扫描一次。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (5)
1.一种双轴同动斜向扫描装置，其特征在于，包括：
机架；
线性扫描仪，设置于该机架；
移载单元，具有第一线性移动器、第二线性移动器与旋转器，该第一线性移动器设置于该机架，该第二线性移动器设置于该第一线性移动器，该旋转器设置于该第二线性移动器，该第一线性移动器与该第二线性移动器的移动走向交错；以及
待扫描物托架，设置于该旋转器；
借此，利用该旋转器调整该待扫描物托架与该线性扫描仪的扫描夹角，并借该第一线性移动器与该第二线性移动器让该待扫描物托架沿着扫描夹角方向进行双轴同动斜向线性移动，而由该线性扫描仪进行整个待扫描物的双轴同动斜向扫描。
2.一种使用权利要求1所述双轴同动斜向扫描装置的晶圆检查机，其特征在于，包括：
机架；
线性扫描仪，设置于该机架；
移载单元，具有第一线性移动器、第二线性移动器与旋转器，该第一线性移动器设置于该机架，该第二线性移动器设置于该第一线性移动器，该旋转器设置于该第二线性移动器，该第一线性移动器与该第二线性移动器的移动走向交错；
待扫描物托架，设置于该旋转器；以及
第一线性光源，设置于该机架而提供该线性扫描仪所需的光源；
借此，利用该旋转器调整该待扫描物托架与该线性扫描仪的扫描夹角，并借该第一线性移动器与该第二线性移动器让该待扫描物托架沿着扫描夹角方向进行双轴同动斜向线性移动，而由该线性扫描仪进行整个待检查晶圆的双轴同动斜向扫描。
3.根据权利要求2所述的晶圆检查机，其特征在于，所述第一线性光源设置于第一摆臂，该第一摆臂枢设于该机架，致使该第一线性光源利用该第一摆臂调整相对该待扫描物托架的入射角。
4.根据权利要求3所述的晶圆检查机，其特征在于，所述机架还设置第二线性光源，该第二线性光源设置于第二摆臂，该第二摆臂枢设于该机架，致使该第二线性光源利用该第二摆臂调整相对该待扫描物托架的入射角，而令该第二线性光源与第一线性光源具有不同的入射角，且交替提供该线性扫描仪所需的光源。
5.根据权利要求4所述的晶圆检查机，其特征在于，所述机架还设置待检转盘与顶托移动器，该待检转盘具有数个晶圆托叉，各该晶圆托叉供待检查晶圆置放，而借该顶托移动器将待检查晶圆顶托至该待扫描物托架，换由该待扫描物托架托载待检查晶圆进行晶圆检查。
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| CN202221787371.5U CN218331277U (zh) | 2022-07-12 | 2022-07-12 | 双轴同动斜向扫描装置及使用该扫描装置的晶圆检查机 |
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