CN218321633U - 一种新型pecvd工艺腔体内硅片传送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置，包括法兰头，所述法兰头的底部凹槽活动相连有转轴，两个所述连杆的顶部均固接有环形件，两个所述环形件的内侧活动相连有保护筒，所述保护筒的内壁与转轴的外壁相贴合，所述保护筒的顶部环形槽活动相连有橡胶卡环，所述橡胶卡环的上方与法兰头的侧壁固定连接。本实用新型涉及设备中硅片传送技术领域，通过环形件、半圆形板件和限位弧形板之间的配合，采用保护筒对接触处的侧面进行保护，解决了现有的传送装置单单依靠隔离垫片只能保护好转轴和法兰头的端面，对侧壁的保护效果差的问题，不影响后续转轴和法兰头的分离。

Description

一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置

技术领域

本实用新型涉及设备中硅片传送技术领域，具体为一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置。

背景技术

在等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统的工艺腔内，多个硅片通常放置于转盘的四周上，该转盘通过法兰支撑，法兰通过转轴支撑，转轴带功法兰旋转进而带动转盘旋转。当传送硅片的机械手臂将硅片传送至工艺腔内并将硅片放置在转盘上位于机械手臂下方的某一硅片放置位置上后，转轴带动转盘转动，使得转盘上的下一硅片放置位置对准于传送硅片的机械手臂的下方，这样确保通过机械手臂多次拾取、放置硅片，最终使转盘上的硅片放置位置均被放置上硅片。

在维护硅片传送装置时需要经常拆卸传送装置上的转盘，因此不可避免的需要将承载转盘的法兰与转轴分离，在此过程中，通常法兰与转轴非常难以分离。主要原因是使用时间过长且长时间处于等离子体的环境中，转轴与法兰接触的上表面容易被侵蚀，并与法兰粘附后难以分离。现有技术中在拆卸时通常采用异丙醇浸泡法兰和转轴的结合部分，甚至采用敲击等各种破坏性方法将法兰与转轴强行分离，采用现有技术的方法拆分法兰和转轴后必须更换新的法兰，并且很可能对转轴也造成损伤，引起整个硅片传送装置出现多种机械问题。

但是现有的传送装置单单依靠隔离垫片只能保护好转轴和法兰头的端面，对侧壁的保护效果差，影响后续转轴和法兰头的分离。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置，解决了现有的传送装置单单依靠隔离垫片只能保护好转轴和法兰头的端面，对侧壁的保护效果差，影响后续的分离的问题。

为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置，包括法兰头，所述法兰头的底部凹槽活动相连有转轴，所述转轴的顶部贴合有隔离垫片，所述转轴的外侧设置有防护机构，防护机构包括限位弧形板、半圆形板件、连杆、环形件、保护筒和橡胶卡环，两个所述半圆形板件的内侧与转轴的外壁相贴合，两个所述半圆形板件的上下两侧均贴合有限位弧形板，两个所述半圆形板件的内侧通过螺栓固定连接，两个所述限位弧形板的背面与转轴的正面固定连接，两个所述半圆形板件的顶部固接有两个连杆，两个所述连杆的顶部均固接有环形件，两个所述环形件的内侧活动相连有保护筒，所述保护筒的内壁与转轴的外壁相贴合，所述保护筒的顶部环形槽活动相连有橡胶卡环，所述橡胶卡环的上方与法兰头的侧壁固定连接。

优选的，所述橡胶卡环的外壁与保护筒的顶部环形槽形状相契合。

优选的，所述隔离垫片的内侧开设有多个第一螺纹孔，所述法兰头的内侧加工有多个与第一螺纹孔相对应的第二螺纹孔。

优选的，所述第一螺纹孔和第二螺纹孔的数量为三个。

优选的，所述隔离垫片的顶部设置有三个凸起，三个所述凸起的外壁与法兰头的下方凹槽活动相连。

有益效果

本实用新型提供了一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置。具备以下有益效果：该新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置通过环形件、半圆形板件和限位弧形板之间的配合，采用保护筒对接触处的侧面进行保护，解决了现有的传送装置单单依靠隔离垫片只能保护好转轴和法兰头的端面，对侧壁的保护效果差的问题，不影响后续转轴和法兰头的分离。

通过转轴、隔离垫片和第一螺纹孔之间的配合，凸起可方便使用者找到隔离垫片的安装位置，节约了安装时间。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为隔离垫片的俯视图；

图3为图1中环形件、半圆形板件和限位弧形板的结构示意图；

图4为图1中转轴、隔离垫片和第一螺纹孔的结构示意图。

图中：1、法兰头，2、转轴，3、隔离垫片，4、凸起，5、第一螺纹孔，6、橡胶卡环，7、保护筒，8、环形件，9、连杆，10、半圆形板件，11、限位弧形板，12、螺栓，13、第二螺纹孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

现有的传送装置单单依靠隔离垫片只能保护好转轴和法兰头的端面，对侧壁的保护效果差，影响后续转轴和法兰头的分离。

有鉴于此，提供了一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置，通过环形件、半圆形板件和限位弧形板之间的配合，采用保护筒对接触处的侧面进行保护，解决了现有的传送装置单单依靠隔离垫片只能保护好转轴和法兰头的端面，对侧壁的保护效果差的问题，不影响后续转轴和法兰头的分离。

通过本领域人员，将本案中的零部件依次进行连接，具体连接以及操作顺序，应参考下述工作原理，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程。

实施例一：由图1-3可知，一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置，包括法兰头1，法兰头1的底部凹槽活动相连有转轴2，转轴2的顶部贴合有隔离垫片3，转轴2的外侧设置有防护机构，防护机构包括限位弧形板11、半圆形板件10、连杆9、环形件8、保护筒7和橡胶卡环6，两个半圆形板件10的内侧与转轴2的外壁相贴合，两个半圆形板件10的上下两侧均贴合有限位弧形板11，两个半圆形板件10的内侧通过螺栓12固定连接，两个限位弧形板11的背面与转轴2的正面固定连接，两个半圆形板件10的顶部固接有两个连杆9，两个连杆9的顶部均固接有环形件8，两个环形件8的内侧活动相连有保护筒7，两个环形件8可卡接在保护筒7外侧的凹槽内进行固定，其中保护筒7由具有一定形变能力的塑料制成，可以与隔离垫片3的材质相同，保护筒7的内壁与转轴2的外壁相贴合，保护筒7的顶部环形槽活动相连有橡胶卡环6，橡胶卡环6具有一定的形变能力，橡胶卡环6的上方与法兰头1的侧壁固定连接；

在具体实施过程中，值得特别指出的是，橡胶卡环6具有一定的形变能力，通过环形件8、半圆形板件10和限位弧形板11之间的配合，采用保护筒7对接触处的侧面进行保护，解决了现有的传送装置单单依靠隔离垫片只能保护好转轴2和法兰头1的端面，对侧壁的保护效果差的问题，不影响后续转轴2和法兰头1的分离；

进一步的，橡胶卡环6的外壁与保护筒7的顶部环形槽形状相契合；

在具体实施过程中，值得特别指出的是，橡胶卡环6的外壁与保护筒7的顶部环形槽形状相契合可保证两者卡接严密；

具体的，在使用该新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置时，使用者可先将保护筒7从转轴2的上方套入，然后使用者可将两个半圆形板件10在两个限位限位板11的内侧相贴合，拧紧螺栓12进行固定，此时的环形件8对保护筒7进行限位固定，使用者可将转轴2套接到法兰头1上，并将橡胶卡环6卡接在保护筒7的顶部环形槽内进行固定，保护筒7实现了对转轴2和法兰头1侧壁的防护。

实施例二：由图1、2和4可知，隔离垫片3的内侧开设有多个第一螺纹孔5，法兰头1的内侧加工有多个与第一螺纹孔5相对应的第二螺纹孔13；

在具体实施过程中，值得特别指出的是，使用者可使用螺钉穿过第一螺纹孔5和第二螺纹孔13以及转轴2上对应的凹槽进行连接；

进一步的，第一螺纹孔5和第二螺纹孔13的数量为三个；

在具体实施过程中，值得特别指出的是，第一螺纹孔5和第二螺纹孔13的数量为三个在保证节约成本的同时提高了稳定性；

进一步的，隔离垫片3的顶部设置有三个凸起4，三个凸起4的外壁与法兰头1的下方凹槽活动相连；

在具体实施过程中，值得特别指出的是，三个凸起4可对隔离垫片3进行定位，方便使用者找到拧入螺钉的位置；

具体的，在上述实施例一的基础上，通过转轴2、隔离垫片3和第一螺纹孔5之间的配合，凸起4可方便使用者找到隔离垫片3的安装位置，节约了安装时间。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置，包括法兰头(1)，其特征在于：所述法兰头(1)的底部凹槽活动相连有转轴(2)，所述转轴(2)的顶部贴合有隔离垫片(3)，所述转轴(2)的外侧设置有防护机构；

防护机构包括限位弧形板(11)、半圆形板件(10)、连杆(9)、环形件(8)、保护筒(7)和橡胶卡环(6)；

两个所述半圆形板件(10)的内侧与转轴(2)的外壁相贴合，两个所述半圆形板件(10)的上下两侧均贴合有限位弧形板(11)，两个所述半圆形板件(10)的内侧通过螺栓(12)固定连接，两个所述限位弧形板(11)的背面与转轴(2)的正面固定连接，两个所述半圆形板件(10)的顶部固接有两个连杆(9)，两个所述连杆(9)的顶部均固接有环形件(8)，两个所述环形件(8)的内侧活动相连有保护筒(7)，所述保护筒(7)的内壁与转轴(2)的外壁相贴合，所述保护筒(7)的顶部环形槽活动相连有橡胶卡环(6)，所述橡胶卡环(6)的上方与法兰头(1)的侧壁固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置，其特征在于：所述橡胶卡环(6)的外壁与保护筒(7)的顶部环形槽形状相契合。

3.根据权利要求1所述的一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置，其特征在于：所述隔离垫片(3)的内侧开设有多个第一螺纹孔(5)，所述法兰头(1)的内侧加工有多个与第一螺纹孔(5)相对应的第二螺纹孔(13)。

4.根据权利要求3所述的一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置，其特征在于：所述第一螺纹孔(5)和第二螺纹孔(13)的数量为三个。

5.根据权利要求3所述的一种新型PECVD工艺腔体内硅片传送装置，其特征在于：所述隔离垫片(3)的顶部设置有三个凸起(4)，三个所述凸起(4)的外壁与法兰头(1)的下方凹槽活动相连。

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