CN218175085U - 一种真空镀膜机用冷却装置 - Google Patents

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张伟
孙国明
张惠东
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Abstract

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其为一种真空镀膜机用冷却装置,包括外壳、泵机和液体箱,所述外壳的上端固定连接有隔温板,所述隔温板的上端左侧固定连接有泵机,所述泵机的左端密封连接有输液管,所述输液管的下端密封连接有螺旋冷却管,所述螺旋冷却管与外壳之间密封连接,所述隔温板的上端右侧固定连接有液体箱,本实用新型中,通过设置的螺旋冷却管、冷气机和回流管,利用螺旋冷却管的作用能够对真空镀膜机的外壳进行降温处理,并通过回流管的作用能够使冷却液能够再次流入液体箱内,同时通过冷气机的作用能够对回流升温的冷却液能够再次冷却,以使冷却液能够循环的对真空镀膜机进行冷却处理,提升对真空镀膜机的冷却效果。

Description

一种真空镀膜机用冷却装置
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种真空镀膜机用冷却装置。
背景技术
随着社会的发展,对真空镀膜机的应用愈加广泛,真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。
现有技术中,对于真空镀膜机在使用时容易产生高温,而传统的冷却设备对真空镀膜机的冷却效果较差,影响真空镀膜机的使用寿命;且在对真空镀膜机进行冷却处理时,对于使用的冷却液无法再次投入使用,而在排放时又会造成资源浪费,不便于冷却液使用后的回收再利用使用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机用冷却装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种真空镀膜机用冷却装置,包括外壳、泵机和液体箱,所述外壳的上端固定连接有隔温板,所述隔温板的上端左侧固定连接有泵机,所述泵机的左端密封连接有输液管,所述输液管的下端密封连接有螺旋冷却管,所述螺旋冷却管与外壳之间密封连接,所述隔温板的上端右侧固定连接有液体箱,所述液体箱的上端固定连接有冷气机,所述冷气机的右端密封连接有冷气管,所述液体箱的内部右侧转动连接有转动导流箱,所述转动导流箱与冷气管之间密封连接。
优选的,所述外壳的右端下侧密封连接有回流管,所述回流管与螺旋冷却管之间密封连接,所述回流管与液体箱之间密封连接。
优选的,所述泵机的右端密封连接有抽水管,所述抽水管与液体箱之间密封连接。
优选的,所述转动导流箱的内部固定连接有隔板,所述隔板的数量有四个,所述隔板关于转动导流箱的中心轴对称设置。
优选的,所述转动导流箱的内部中间位置处固定连接有转动轴,所述转动轴下端外侧密封连接有导气管,所述转动轴的内部开设有导气孔,所述转动轴与冷气管之间密封连接。
优选的,所述液体箱的右侧下端设有电机,所述电机与隔温板之间固定连接,所述电机的输出轴上端固定连接有转动盘,所述转动盘的下端固定连接有传动杆,所述传动杆的上端左侧固定连接有传动栓,所述传动栓的挖侧滑动连接有传动盘,所述传动盘与转动导流箱之间固定连接。
优选的,所述转动导流箱的上端分别开设有进水口和排气孔,所述转动导流箱的外侧下端开设有排水口。
优选的,所述液体箱的内部左侧设有支撑卡板,所述支撑卡板呈圆形设置。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型中,通过设置的螺旋冷却管、冷气机和回流管,利用螺旋冷却管的作用能够对真空镀膜机的外壳进行降温处理,并通过回流管的作用能够使冷却液能够再次流入液体箱内,同时通过冷气机的作用能够对回流升温的冷却液能够再次冷却,以使冷却液能够循环的对真空镀膜机进行冷却处理,提升对真空镀膜机的冷却效果;
2、本实用新型中,通过设置的转动导流箱、隔板和转动盘,利用对转动盘的转动使传动杆能够带动传动栓进行转动,从而使传动盘能够带动转动导流箱进行转动,并通过设置的隔板的作用能够对回流的液体进行分隔,以使回流的冷却液不会对液体箱内的冷却液造成温度影响,以使冷却液能够在使用后能够得到充分冷却处理后再次投入使用。
附图说明
图1为本实用新型的整体安装结构示意图;
图2为本实用新型图1的A处的安装结构示意图;
图3为本实用新型螺旋冷却管的安装结构示意图;
图4为本实用转动导流箱的安装结构俯剖图;
图5为本实用电机、转动盘和传动盘的安装结构俯视图。
图中:1、外壳;2、隔温板;3、泵机;4、输液管;5、螺旋冷却管;6、液体箱;7、冷气机;8、冷气管;9、转动导流箱;10、回流管;11、抽水管;12、隔板;13、转动轴;14、导气管;15、电机;16、转动盘;17、传动杆;18、传动栓;19、传动盘。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例1请参阅图1-5,本实用新型提供一种技术方案:一种真空镀膜机用冷却装置,包括外壳1、泵机3和液体箱6,外壳1的上端固定连接有隔温板2,隔温板2的上端左侧固定连接有泵机3,泵机3的左端密封连接有输液管4,输液管4的下端密封连接有螺旋冷却管5,螺旋冷却管5与外壳1之间密封连接,隔温板2的上端右侧固定连接有液体箱6,液体箱6的上端固定连接有冷气机7,冷气机7的右端密封连接有冷气管8,外壳1的右端下侧密封连接有回流管10,回流管10与螺旋冷却管5之间密封连接,回流管10与液体箱6之间密封连接,泵机3的右端密封连接有抽水管11,抽水管11与液体箱6之间密封连接,转动导流箱9的内部中间位置处固定连接有转动轴13,转动轴13下端外侧密封连接有导气管14,转动轴13的内部开设有导气孔,转动轴13与冷气管8之间密封连接,在对真空镀膜机进行冷却处理时,通过泵机3的作用使液体箱6内的冷却液能够通过抽水管11抽入输液管4内,再利用螺旋冷却管5的作用能够对真空镀膜机的外壳1进行降温处理,并通过回流管10的作用能够使冷却液能够再次流入液体箱6内,同时通过冷气机7的作用使冷气能够通过冷气管8进入转动导流箱9内,从而能够对回流升温的冷却液能够再次冷却,以使冷却液能够循环的对真空镀膜机进行冷却处理,提升对真空镀膜机的冷却效果。
实施例2:请参阅图1、图2、图4和图5,本实施例与实施例1的区别在于:液体箱6的内部右侧转动连接有转动导流箱9,转动导流箱9与冷气管8之间密封连接,转动导流箱9的内部固定连接有隔板12,隔板12的数量有四个,隔板12关于转动导流箱9的中心轴对称设置,液体箱6的右侧下端设有电机15,电机15与隔温板2之间固定连接,电机15的输出轴上端固定连接有转动盘16,转动盘16的下端固定连接有传动杆17,传动杆17的上端左侧固定连接有传动栓18,传动栓18的挖侧滑动连接有传动盘19,传动盘19与转动导流箱9之间固定连接,转动导流箱9的上端分别开设有进水口和排气孔,转动导流箱9的外侧下端开设有排水口,通过电机15的转动转动盘16能够转动,从而使传动杆17能够带动传动栓18进行转动,从而使传动盘19能够带动转动导流箱9进行转动,并通过设置的隔板12的作用能够对回流的液体进行分隔,以使回流的冷却液不会对液体箱6内的冷却液造成温度影响,以使冷却液能够在使用后能够得到充分冷却处理后再次投入使用。
工作流程:此装置在使用时采用外接电源进行供电,在对真空镀膜机进行冷却处理时,通过泵机3的作用使液体箱6内的冷却液能够通过抽水管11抽入输液管4内,再利用螺旋冷却管5的作用能够对真空镀膜机的外壳1进行降温处理,并通过回流管10的作用能够使冷却液能够再次流入液体箱6内,同时通过冷气机7的作用使冷气能够通过冷气管8进入转动导流箱9内,从而能够对回流升温的冷却液能够再次冷却,以使冷却液能够循环的对真空镀膜机进行冷却处理,提升对真空镀膜机的冷却效果,并通过电机15的转动转动盘16能够转动,从而使传动杆17能够带动传动栓18进行转动,从而使传动盘19能够带动转动导流箱9进行转动,并通过设置的隔板12的作用能够对回流的液体进行分隔,以使回流的冷却液不会对液体箱6内的冷却液造成温度影响,以使冷却液能够在使用后能够得到充分冷却处理后再次投入使用。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种真空镀膜机用冷却装置,包括外壳(1)、泵机(3)和液体箱(6),其特征在于:所述外壳(1)的上端固定连接有隔温板(2),所述隔温板(2)的上端左侧固定连接有泵机(3),所述泵机(3)的左端密封连接有输液管(4),所述输液管(4)的下端密封连接有螺旋冷却管(5),所述螺旋冷却管(5)与外壳(1)之间密封连接,所述隔温板(2)的上端右侧固定连接有液体箱(6),所述液体箱(6)的上端固定连接有冷气机(7),所述冷气机(7)的右端密封连接有冷气管(8),所述液体箱(6)的内部右侧转动连接有转动导流箱(9),所述转动导流箱(9)与冷气管(8)之间密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用冷却装置,其特征在于:所述外壳(1)的右端下侧密封连接有回流管(10),所述回流管(10)与螺旋冷却管(5)之间密封连接,所述回流管(10)与液体箱(6)之间密封连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用冷却装置,其特征在于:所述泵机(3)的右端密封连接有抽水管(11),所述抽水管(11)与液体箱(6)之间密封连接。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用冷却装置,其特征在于:所述转动导流箱(9)的内部固定连接有隔板(12),所述隔板(12)的数量有四个,所述隔板(12)关于转动导流箱(9)的中心轴对称设置。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用冷却装置,其特征在于:所述转动导流箱(9)的内部中间位置处固定连接有转动轴(13),所述转动轴(13)下端外侧密封连接有导气管(14),所述转动轴(13)的内部开设有导气孔,所述转动轴(13)与冷气管(8)之间密封连接。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用冷却装置,其特征在于:所述液体箱(6)的右侧下端设有电机(15),所述电机(15)与隔温板(2)之间固定连接,所述电机(15)的输出轴上端固定连接有转动盘(16),所述转动盘(16)的下端固定连接有传动杆(17),所述传动杆(17)的上端左侧固定连接有传动栓(18),所述传动栓(18)的挖侧滑动连接有传动盘(19),所述传动盘(19)与转动导流箱(9)之间固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用冷却装置,其特征在于:所述转动导流箱(9)的上端分别开设有进水口和排气孔,所述转动导流箱(9)的外侧下端开设有排水口。
8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用冷却装置,其特征在于:所述液体箱(6)的内部左侧设有支撑卡板,所述支撑卡板呈圆形设置。
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