CN218158138U - 一种静电检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种静电检测装置，该静电检测装置包括静电传感机构、驱动机构以及检测电路，其中，静电传感机构包括第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极形成电容；驱动机构连接所述静电传感机构，所述驱动机构被配置为驱动所述第一电极和所述第二电极按照预设规则相对移动，以使所述电容的电容值产生规律性变化；检测电路连接所述第一电极和所述第二电极，并基于检测到的所述第一电极和所述第二电极之间的电信号，对靠近所述静电传感机构的被检测目标进行静电检测。通过上述方式，本申请能够提高静电检测的准确性。

Description

一种静电检测装置

技术领域

本申请涉及静电检测领域，特别是涉及一种静电检测装置。

背景技术

静电是一种处于静止状态的电荷，可存在于任何地方。静电放电因为电压高，放电时间短，瞬间电流非常大，放电时伴有强电磁辐射，对芯片的损伤很大。尤其是天气干燥的秋冬季节，人、物料、电气设备等之间的摩擦都会引起静电，该静电如不及时处理，会对设备及芯片的正常运行都会产生影响，还有部分芯片在静电击穿后，性能并没有完全失效，但对长期的正常运行会埋下隐患。

现有的对设备进行静电检测的方法主要分为接触式与非接触式。接触式测量与设备碰触的方式容易受到设备及仪器的所加感应电容数值、或设备的电抗或电阻的数值影响，测量出来静电感应压降的值不准确，且随着输入时间的增长，感应压降的变化会成倍增加，而且这种碰触式的测量仪器只能来测量电气设备表面的静电电压，对无裸露的设备无法测量。

非接触式测量在测试过程中不与设备的带电部分及裸露部分碰触就可以直接测量，这种测量方法不仅能测量金属材质的接地装置的静电电压降，也可以检测一些导体或者半导体等材质的静电电压降，甚至是一些外部绝缘的设备也可以测量，而且在测量过程中不会发生伴着输入时间的增长，感应压降的变化会成倍增加的现象。因此非接触测量是静电测量的一种趋势。然而现有的非接触式静电检测设备普遍存在静电感应传感器体积较大、对不同等级的静电电压测量不准确、不能及时对存在静电的区域进行静电消除的问题。

实用新型内容

本申请主要提供一种静电检测装置，能够解决现有技术中的静电检测准确性不够的问题。

为解决上述技术问题，本申请第一方面提供了一种静电检测装置，包括：静电传感机构、驱动机构以及检测电路，其中，静电传感机构包括第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极形成电容；驱动机构连接所述静电传感机构，所述驱动机构被配置为驱动所述第一电极和所述第二电极按照预设规则相对移动，以使所述电容的电容值产生规律性变化；检测电路连接所述第一电极和所述第二电极，并基于检测到的所述第一电极和所述第二电极之间的电信号，对靠近所述静电传感机构的被检测目标进行静电检测。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请的静电检测装置，包括：静电传感机构、驱动机构以及检测电路，其中，静电传感机构包括第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极形成电容；驱动机构连接所述静电传感机构，所述驱动机构被配置为驱动所述第一电极和所述第二电极按照预设规则相对移动，以使所述电容的电容值产生规律性变化；检测电路连接所述第一电极和所述第二电极，并基于检测到的所述第一电极和所述第二电极之间的电信号，对靠近所述静电传感机构的被检测目标进行静电检测。上述方式利用驱动机构驱动第一电极和第二电极按照设定规则移动，在被检测目标的静电电压稳定时，通过检测电路对第一电极和所述第二电极之间的电信号进行处理即可获知被检测目标的静电电压，静电检测准确度高。

附图说明

图1是本申请一实施例中静电检测装置的结构示意图；

图2是本申请一实施例中驱动机构和静电传感机构的连接示意图；

图3是本申请一实施例中静电传感机构的结构示意图；

图4是本申请第一电极一实施例的结构示意图；

图5是本申请第二电极一实施例的结构示意图；

图6是本申请一实施例中静电检测装置的电路结构示意框图；

图7是本申请一实施例中驱动机构的结构示意图；

图8是本申请一实施例中检测电路的电路结构示意框图；

图9是本申请另一实施例中静电检测装置的电路结构示意框图；

图10是本申请一实施例中检测电路的电路结构示意框图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请中的术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。此外，术语“包括”和“具有”以及他们任何形变，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解是，本文所描述的实施例可以与其他实施例结合。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“垂直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

参阅图1和图2，图1是本申请一实施例中静电检测装置的结构示意图，图2是本申请一实施例中驱动机构和静电传感机构的连接示意图。本实施例的静电检测装置100包括驱动机构10、静电传感机构20以及检测电路30。其中，静电传感机构20包括第一电极21和第二电极22，第一电极21和第二电极22形成电容；驱动机构10连接静电传感机构20，驱动机构10被配置为驱动第一电极21和第二电极22按照预设规则相对移动，以使电容的电容值产生规律性变化；检测电路30连接第一电极21和第二电极22，并基于检测到第一电极21和第二电极22之间的电信号，对靠近静电传感机构20的被检测目标进行静电检测。

其检测原理为：第一电极21和第二电极22形成的电容设置在靠近被测目标的位置，通过驱动机构10驱动静电传感机构20，使得第一电极21和第二电极22的相对面积以周期变化的速度发生变化，进而改变电容值C，引起第一电极21和第二电极22上的电荷变化，产生电信号，检测电路30接收电信号进行静电检测。

可用下式来说明：U＝Q(t)/C(t)，其中，U为第一电极21和第二电极22间的电位差，由被检测目标的静电所决定，Q(t)为电荷，C(t)为电容值。在被检测目标确定时，即静电电压固定，改变第一电极21和第二电极22的交互面积，会引起极板上电荷Q(t)发生改变，Q(t)的变化导致两极板间的电荷相互移动，从而形成电流，电流的大小反映静电的电压值。

可选地，在一实施例中，驱动机构10可以连接第一电极21和第二电极22中之一，用于驱动与其连接的第一电极21或第二电极22按照预设规则相对移动，在其他实施例中，也可以包括两个驱动机构10，两个驱动机构分别连接第一电极21和第二电极22，用于驱动连接的第一电极21和第二电极22按照预设规则相对移动。

可选地，在一实施例中，驱动机构10包括振动组件11和连接件12，连接件12用于连接振动组件11和第一电极21。例如，振动组件11为电机(直线电机、线性马达等)，电机的输出端通过连接件12连接第一电极21，连接件12的形状可以根据电机的输出端和第一电极21的形状来适应性设置，这里不作限定。

可选地，在一实施例中，第一电极21和第二电极22可以为平面电极，在其他实施例中，为了提高第一电极21和第二电极22之间的交互面积，也可以采用叉指型电极。

请参阅图3，图3是本申请一实施例中静电传感机构的结构示意图。其中，第一电极21包括第一电极板211，第二电极22包括第二电极板221，第一电极板211和第二电极板221平行间隔设置。

在一实施例中，请结合参阅图3-图5，第一电极21还可包括第一电极片212，第一电极片212的一端连接第一电极板211朝向第二电极板221的一侧，并形成第一相交线L1(如图4中虚线所示)，第一电极片212的另一端朝向第二电极板221的一侧延伸；第二电极22还包括第二电极片222，第二电极片222的一端连接第二电极板221朝向第一电极板211的一侧，并形成第二相交线L2(如图5中虚线所示)，第二电极片222的另一端朝向第一电极板211的一侧延伸。

可选地，第一相交线L1和第二相交线L2平行，驱动机构10用于驱动第一电极板211带动第一电极片212沿第一相交线L1的方向运动，以改变第一电极片212和第二电极片222的交互面积。

进一步，第一电极片212的数量可为多个，多个第一电极片212平行设置；第二电极片222的数量也可为多个，多个第二电极片222平行设置，多个第一电极片212和多个第二电极片222交替间隔设置。

本实施例的第一电极21和第二电极22设置多个电极片，两者的电极片交替间隔设置，大大增加了第一电极21和第二电极22之间的相对面积，并能减小第一电极21和第二电极22的间距，相同体积下大大增加了电容值，相同静电电压下产生的电流更大，测量值更加精确。该结构也具有很高的适应性，可以在高温、低温、强辐射等环境下工作，动态响应很好，固有频率很低。

请结合参阅图6和图9，图6是本申请一实施例中静电检测装置的电路结构示意框图，图9是本申请另一实施例中静电检测装置的电路结构示意框图。静电检测装置100可包括控制器40，控制器40连接振动组件11，用于发送速度控制信号至振动组件11，以使振动组件11基于速度控制信号进行运动，速度控制信号基于连续的周期信号曲线产生。

其中，连续的周期信号曲线，例如是正弦曲线、余弦曲线、三角波形曲线等，只要是连续曲线均可作为速度控制的周期信号曲线。速度控制信号可以由控制器40中的数模转换器(DAC)产生。

在另外的实施例中，振动组件11的数量可以为多个，分别基于各自的周期信号曲线驱动第一电极21和第二电极22移动。例如在一个移动周期内，可驱动第一电极21和第二电极22分别按照相反的方向移动，也可以驱动第一电极21和第二电极22按照相同的方向以不同的速度移动，只要是能够使得第一电极21和第二电极22之间的交互面积发生改变即可，此处不再过多赘述。

其中，驱动机构10还可包括位置传感组件14，连接控制器40，用于检测第一电极21的位置信息，并将位置信息反馈至控制器40。进一步，控制器40可以根据反馈的位置信息对相应的速度控制信号进行调整。例如，控制器40输出的速度控制信号为正弦曲线，但是位置传感组件14反馈的位置信号表示第一电极/第二电极/连接件的速度曲线并不符合正弦曲线，则可以对输出的速度控制信号进行实时调整，以使第一电极/第二电极/连接件的速度曲线符合正弦曲线的要求。

可选地，位置传感组件14可以安装于振动组件11、连接件12、或驱动的第一电极21一侧，对振动组件11、连接件12、或驱动的第一电极21进行速度检测，在一实施例中，振动组件11为电机，位置传感组件14可以设置于电机输出端的位置。例如请参阅图7，图7是本申请一实施例中驱动机构的结构示意图，本实施例的位置传感组件14安装于振动组件11上，位置传感组件14可对连接件12的移动进行检测，进而可根据连接件12的位置变化得知连接于其上的电极板的位置信息。

其中，驱动机构10还可包括第一放大电路15，第一放大电路15连接控制器40和振动组件11，用于对控制器40输出的速度控制信号进行功率放大处理。

请参阅图8，图8是本申请一实施例中检测电路的电路结构示意框图，该检测电路30可包括阻抗匹配电路31、第二放大电路32。阻抗匹配电路31连接第一电极21和第二电极22，用于将第一电极21和第二电极22之间的电流信号转换为电压信号；第二放大电路32连接阻抗匹配电路31，用于对电压信号进行放大处理。

在一实施例中，检测电路30还可包括模数转换电路33，模数转换电路33可采用LTC2420芯片，该模数转换芯片的转换位数是20位，精度高，可实时将电压模拟信号转化为数字信号。在另一实施例中，控制器40使用自带的模数转换电路(ADC)将第二放大电路32输出的模拟电压信号转换为数字电压信号，则检测电路30也可以不需要包括模数转换电路33。

请参阅图8-图10，图10是本申请一实施例中检测电路的电路结构示意图。该检测电路30可包括阻抗匹配电路31、第二放大电路32以及模数转换电路33。阻抗匹配电路31连接第一电极21和第二电极22，用于将第一电极21和第二电极22之间的电流信号转换为电压信号；第二放大电路32连接阻抗匹配电路31，用于对电压信号进行放大处理；模数转换电路33将放大处理后的模拟电压信号转换为数字电压信号，如果控制器40使用自带的模数转换电路(ADC)将第二放大电路32输出的模拟电压信号转换为数字电压信号，则检测电路30也可以不需要包括模数转换电路33。

该第二放大电路32可包括电压跟随单元321、第一级放大单元322、第二级放大单元323以及增益系数调节单元324。其中，电压跟随单元321连接阻抗匹配电路31；第一级放大单元322连接电压跟随单元321，第一级放大单元322的第一增益系数固定；第二级放大单元323连接第一级放大单元322和模数转换电路33，第二级放大单元323的第二增益系数可调；增益系数调节单元324连接第二级放大单元323，用于根据第二级放大单元323的输出，对第二级放大单元323的第二增益系数进行调节。

具体来说，电压跟随单元321的第一端连接阻抗匹配电路31，第二端连接第一级放大单元322，用作缓冲及隔离作用，防止输入阻抗过大，第一级放大单元322以第一增益系数将电压放大，第二级放大单元323以第二增益系数将电压放大。

在其中一实施例中，第二级放大单元323包括：运算放大器U1、第一电阻R1、第二电阻R2以及第一电容C1，其中，第一电阻R1的第一端连接运算放大器U1的负相输入端，第一电阻R1的第二端连接运算放大器U1的输出端；第一电容C1的第一端连接运算放大器U1的负相输入端，第一电容C1的第二端连接运算放大器U1的输出端；第二电阻R2的第一端连接第一级放大单元322，第二电阻R2的第二端连接运算放大器U1的负相输入端。

增益系数调节单元324包括：第三电阻R3、第二电容C2以及第一开关单元K1，其中，第三电阻R3的第一端连接运算放大器U1的负相输入端；第二电容C2的第一端连接第三电阻R3的第二端，第二电容C2的第二端连接运算放大器U1的输出端；第一开关单元K1的第一通路端连接第二电容C2的第一端，第一开关单元K1的第二通路端连接第二电容C2的第二端；其中，第一开关单元K1被配置为根据第二级放大单元323的输出而通断，以对第二级放大单元323的第二增益系数进行调节。

在此情况下，第一开关单元K1断开时，第三电阻R3未被接入第二级放大单元323，则第二级放大单元323的放大倍数可表示为A2＝-R1/R2；第一开关单元K1断开时，第三电阻R3被接入第二级放大单元323，则第二级放大单元323的放大倍数可表示为A2＝-(R1||R3)/R2，其中，(R1||R3)表示第一电阻R1和第三电阻R3的并联阻值。

其中，第二级放大单元323还可包括第四电阻R4，运算放大器U1的正相输入端通过第四电阻R4接地。

其中，第一开关单元K1可为继电器，继电器的第一控制端输入第一电源电压V1，增益系数调节单元324还可包括：光耦单元PC以及第二开关单元Q1，其中，控制器40连接模数转换电路33(或直接连接第二级放大单元323)，以根据第二级放大单元323的输出是否超出预设阈值输出控制信号Signal，光耦单元的第一通路端K耦接控制器40(在一实施例中可以是通过二极管耦接控制器40)；第二开关单元Q1的控制端连接光耦单元PC的第二通路端C，第二开关单元Q1的第一通路端E连接继电器的第二控制端，第二开关单元Q1的第二通路端接地。

可选地，光耦单元PC的输入控制端A输入第二电源电压V2，光耦单元PC的第一通路端E输入第一电源电压V1。例如，第一电源电压V1提供+12V的电压，第二电源电压V2提供+3.3V的电压。

其中，增益系数调节单元324还可包括第五电阻R5和二极管D2，光耦单元PC的输出控制端K通过第五电阻R5连接第二电源电压V2，二极管D2的输入端连接继电器的第二控制端，二极管D2的输出端连接继电器的第一控制端。

本实施例运算放大器U1的输出端输出调节后的电压值，可将运算放大器U1的输出端连接到模数转换电路33或直接连接控制器40，控制器40根据电压值发出控制信号Signal，通过光耦单元PC控制继电器的通断，进而控制第三电阻R3是否被接入第二级放大单元323，达到调节第二级放大单元323放大倍数的目的。

具体来说，控制器40可被设置为：在模数转换电路33采集到的电压值高于预设阈值时，控制器40输出的信号的控制光耦单元PC工作，使得继电器闭合，第三电阻R3并联到第一电阻R1的两端，第二级放大单元323的放大倍数变化为-(R1||R3)/R2，放大倍数变小；在模数转换电路33采集到的电压值低于预设阈值时，控制器40输出的信号的控制光耦单元PC工作，使得继电器断开，第三电阻R3不并联到第一电阻R1的两端，第二级放大单元323的放大倍数变化为-R1/R2，放大倍数变大。

其中，第一级放大单元322可包括第六电阻R6、第七电阻R7、运算放大器U2以及第三电容C3，其中，第七电阻R7的第一端连接运算放大器U2的负相输入端，第七电阻R7的第二端连接运算放大器U2的输出端；第三电容C3的第一端连接运算放大器U2的负相输入端，第三电容C3的第二端连接运算放大器U2的输出端；第六电阻R6的第一端连接电压跟随单元321，第六电阻R6的第二端连接运算放大器U2的负相输入端。

本实施例中，第一级放大单元322对应的第一增益系数A1＝-R7/R6。

其中，第一级放大单元322还可包括第八电阻R8，运算放大器U2的正相输入端通过第八电阻R8接地。

其中，第一级放大单元322和第二级放大单元323之间还可包括第九电阻R9，第一级放大单元322和第二级放大单元323通过第九电阻R9连接。

通过将第二放大电路32设置为多级放大电路，保证在每个静电电压等级下经过多级放大电路之后都会使波形放大到一个正常范围内，可供后续电路对于静电电压的准确采集，提高整体静电检测的精度。

在一些实施例中，检测电路30还可包括显示组件(图中未示出)，控制器40连接显示组件，用于根据数字电压信号确定静电电压值，并控制显示组件显示静电电压值。

在一些实施例中，静电检测装置100还可包括静电消除机构(图中未示出)，静电消除机构连接检测电路30，用于根据检测电路30的静电检测结果进行静电消除操作。

在一些实施例中，静电检测装置100还可包括温湿度传感器(图中未示出)，用于采集环境中的温度和湿度信息，静电容易发生在秋冬季比较干燥的季节，需要采集温湿度作为对比。

其中，显示组件、静电消除结构、温湿度传感器均可与控制器40连接，控制器40控制显示组件将最终确定的静电电压值或静电电压值所在的电压等级显示出来，并可控制显示组件将温湿度传感器采集的温度信息和湿度信息一并显示出来，同时，可根据静电电压值控制静电消除机构，消除对应区域的静电，保证被检测设备的安全。

区别于现有技术，本申请提出的静电检测装置100体积小、可对不同等级静电可实现准确测量、并可实时对存在静电区域进行静电消除。

以上所述仅为本申请的实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (13)

1.一种静电检测装置，其特征在于，所述静电检测装置包括：

静电传感机构，包括第一电极和第二电极，其中，所述第一电极和所述第二电极形成电容；

驱动机构，连接所述静电传感机构，其中，所述驱动机构被配置为驱动所述第一电极和所述第二电极按照预设规则相对移动，以使所述电容的电容值产生规律性变化；

检测电路，连接所述第一电极和所述第二电极，并基于检测到的所述第一电极和所述第二电极之间的电信号，对靠近所述静电传感机构的被检测目标进行静电检测。

2.根据权利要求1所述的静电检测装置，其特征在于，

所述第一电极包括第一电极板，所述第二电极包括第二电极板，所述第一电极板和所述第二电极板平行间隔设置；

所述驱动机构用于驱动所述第一电极板在所述第一电极板的平面内运动，以周期变化的速度改变所述第一电极板和所述第二电极板的交互面积。

3.根据权利要求2所述的静电检测装置，其特征在于，

所述第一电极还包括第一电极片，所述第一电极片的一端连接所述第一电极板朝向所述第二电极板的一侧，并形成第一相交线，所述第一电极片的另一端朝向所述第二电极板的一侧延伸；

所述第二电极还包括第二电极片，所述第二电极片的一端连接所述第二电极板朝向所述第一电极板的一侧，并形成第二相交线，所述第二电极片的另一端朝向所述第一电极板的一侧延伸；

其中，所述第一相交线和所述第二相交线平行，所述驱动机构用于驱动所述第一电极板沿所述第一相交线的方向运动，以改变所述第一电极片和所述第二电极片的交互面积。

4.根据权利要求3所述的静电检测装置，其特征在于，

所述第一电极片的数量为多个，多个所述第一电极片平行设置；

所述第二电极片的数量为多个，多个所述第二电极片平行设置；

多个所述第一电极片和多个所述第二电极片交替间隔设置。

5.根据权利要求1-4任一项所述的静电检测装置，其特征在于，

所述驱动机构包括：

振动组件；

连接件，连接所述振动组件和所述第一电极；

控制器，连接所述振动组件，用于发送速度控制信号至所述振动组件，以使所述振动组件基于所述速度控制信号进行运动，所述速度控制信号基于连续的周期信号曲线产生。

6.根据权利要求5所述的静电检测装置，其特征在于，

所述驱动机构还包括：

位置传感组件，连接所述控制器，用于检测所述第一电极的位置信息，并将所述位置信息反馈至所述控制器。

7.根据权利要求5所述的静电检测装置，其特征在于，

所述驱动机构还包括：

第一放大电路，连接所述控制器和所述振动组件，用于对所述控制器输出的所述速度控制信号进行功率放大处理。

8.根据权利要求1所述的静电检测装置，其特征在于，

所述检测电路包括：

阻抗匹配电路，连接所述第一电极和所述第二电极，用于将所述第一电极和所述第二电极之间的电流信号转换为电压信号；

第二放大电路，连接所述阻抗匹配电路，用于对所述电压信号进行放大处理。

9.根据权利要求8所述的静电检测装置，其特征在于，

所述检测电路还包括：

模数转换电路，用于将放大处理后的模拟电压信号转换为数字电压信号；

控制器，连接所述模数转换电路，用于根据所述数字电压信号确定静电电压值。

10.根据权利要求9所述的静电检测装置，其特征在于，

所述第二放大电路包括：

电压跟随单元，连接所述阻抗匹配电路；

第一级放大单元，连接所述电压跟随单元，所述第一级放大单元的第一增益系数固定；

第二级放大单元，连接所述第一级放大单元和所述模数转换电路，所述第二级放大单元的第二增益系数可调；

增益系数调节单元，连接所述第二级放大单元，用于根据所述第二级放大单元的输出，对所述第二级放大单元的所述第二增益系数进行调节。

11.根据权利要求10所述的静电检测装置，其特征在于，

所述第二级放大单元包括：

运算放大器；

第一电阻，所述第一电阻的第一端连接所述运算放大器的负相输入端，所述第一电阻的第二端连接所述运算放大器的输出端；

第一电容，所述第一电容的第一端连接所述运算放大器的负相输入端，所述第一电容的第二端连接所述运算放大器的输出端；

第二电阻，所述第二电阻的第一端连接所述第一级放大单元，所述第二电阻的第二端连接所述运算放大器的负相输入端；

所述增益系数调节单元包括：

第三电阻，所述第三电阻的第一端连接所述运算放大器的负相输入端；

第二电容，所述第二电容的第一端连接所述第三电阻的第二端，所述第二电容的第二端连接所述运算放大器的输出端；

第一开关单元，所述第一开关单元的第一通路端连接所述第二电容的第一端，所述第一开关单元的第二通路端连接所述第二电容的第二端；

其中，所述第一开关单元被配置为根据所述第二级放大单元的输出而通断，以对所述第二级放大单元的所述第二增益系数进行调节。

12.根据权利要求11所述的静电检测装置，其特征在于，

所述第一开关单元为继电器；

所述增益系数调节单元还包括：

控制器，根据所述第二级放大单元的输出是否超出预设阈值输出控制信号；

光耦单元，所述光耦单元的第一通路端输入所述控制信号；

第二开关单元，所述第二开关单元的控制端连接所述光耦单元的第二通路端，所述第二开关单元的第一通路端连接所述继电器，所述第二开关单元的第二通路端接地。

13.根据权利要求1所述的静电检测装置，其特征在于，所述静电检测装置还包括静电消除机构，连接所述检测电路，用于根据所述检测电路的静电检测结果进行静电消除操作。

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