CN218157474U - 一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，包括测试箱，测试箱内设有置物架，置物架上开设有多个漏水孔，测试箱的上端穿设有喷雾头；测试箱的上端装设有抽水泵、抽气泵，抽水泵的进水端通过过水管与测试箱的下部连通，抽水泵的出水端通过出水管与喷雾头连通，抽气泵的出气端通过出气管与喷雾头连通；测试箱内还装设有湿度感应器，测试箱的外侧壁上设有控制模块；本申请结构合理、配合巧妙，利用喷雾头对测试箱内进行喷洒水汽，通过湿度感应器及控制模块根据需要控制测试箱内的水汽浓度，提高对红外半导体晶体膜进行水汽侵蚀测试的测试效率及效果，有效降低成本。

Description

一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置

技术领域

本实用新型涉及红外半导体晶体膜领域，尤其是一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置。

背景技术

红外材料是指辐射波长位于红外波段的材料，其在红外光辐射中为透明状态。半导体是指禁带宽度小于2eV的材料。红外半导体晶体膜即由红外半导体材料形成的薄膜。随着制备半导体薄膜的技术不同，在结构上可分为单晶，多晶和无定形薄膜。同质或异质外延生长的半导体薄膜是构成大规模集成电路的极重要材料。多晶半导体薄膜是尺寸大小按某种分布的晶粒构成的。这些晶粒取向是随机分布的。在晶粒内部原子按周期排列，在晶粒边界存在着大量缺陷，具有不同的电学和光学特性。当膜中原子的排列短程有序而长程无序时，称为无定形半导体薄膜。

其中，红外半导体晶体膜经常应用在半导体超纯水设备、半导体电锅炉等需要与水接触的设备上，其工作环境往往水汽浓度较高、空气湿度较高，而红外半导体晶体膜长时间与水汽接触时会发生腐蚀现象，从而导致红外半导体晶体膜破损，造成设备故障甚至引发安全问题，因此在生产使用前需要对红外半导体晶体膜进行水汽侵蚀测试以确定其抗侵蚀能力；现有技术中对红外半导体晶体膜进行水汽侵蚀测试时需要对其的多种工作环境进行模拟，即对红外半导体晶体膜在水汽浓度不同的工作环境中所述表现出来的性能进行测试，整个测试过程需要耗费大量人力物力，不利于生产；因此亟需一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，用以对红外半导体晶体膜进行水汽侵蚀测试，提高测试效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，用于对红外半导体晶体膜进行水汽侵蚀测试，提高测试结果的准确性及效率、降低成本。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，该红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置包括测试箱，所述测试箱内设有置物架，所述置物架上开设有多个漏水孔，所述测试箱的上端穿设有喷雾头；所述测试箱的上端装设有抽水泵、抽气泵，所述抽水泵的进水端通过过水管与所述测试箱的下部连通，所述抽水泵的出水端通过出水管与所述喷雾头连通，所述抽气泵的出气端通过出气管与所述喷雾头连通，所述测试箱的侧壁上开设有通风口；所述测试箱内还装设有湿度感应器，所述测试箱的外侧壁上设有控制模块。

本实用新型提供的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置.还具有以下技术特征：

进一步地，所述喷雾头在所述测试箱的上端设有多个。

进一步地，所述测试箱内水平设有筛网且所述筛网设在所述置物架的下方。

进一步地，所述筛网与所述测试箱内的下底之间设有支撑杆。

进一步地，所述置物架上设有夹持件，所述湿度感应器装设在所述夹持件上。

进一步地，所述测试箱的内壁及上顶均装设有烘干灯。

进一步地，所述测试箱与所述通风口所在的侧壁相对的另一侧壁上装设有排风扇。

进一步地，所述过水管与所述测试箱之间设有支架。

进一步地，所述测试箱的侧壁上设有取放门，所述取放门上设有把手。

进一步地，所述取放门为透明设置。

本实用新型具有如下有益效果：本申请结构合理、配合巧妙，在需要对红外半导体晶体膜进行水汽腐蚀测试时，先将外附有红外半导体晶体膜的附膜载体放置在置物架上，预设好湿度感应器的反馈数值，通过控制模块将抽气泵与抽水泵同时打开，抽水泵抽送的水流及抽气泵抽送的高速气流可驱使喷雾头向测试箱内喷洒均匀的水汽，湿度感应器对测试箱内的水汽浓度即湿度变化进行感应，湿度感应器可根据对测试箱内的湿度向控制模块发送信号用以控制抽气泵、抽水泵的启停，用以保持测试箱内的湿度稳定，准确模拟出红外半导体晶体膜实际工作场景中的水汽浓度，提高对红外半导体晶体膜的水汽侵蚀测试结果的准确性，提高测试效率，降低成本。

附图说明

图1为本实用新型实施例的正视图；

图2为本实用新型实施例的剖视图。

11、测试箱；12、取放门；13、把手；14、控制模块；15、排风扇；16、烘干灯；17、通风口；21、抽水泵；22、过水管；23、支架；24、出水管；31、抽气泵；32、出气管；33、喷雾头；41、置物架；42、夹持件；43、湿度感应器；51、筛网；52、支撑杆；6、附膜载体。

具体实施方式

下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

如图1至图2所示的本实用新型的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置的实施例中，该红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置包括测试箱11，所述测试箱11内设有置物架41，所述置物架41上开设有多个漏水孔，所述测试箱11的上端穿设有喷雾头33；所述测试箱11的上端装设有抽水泵21、抽气泵31，所述抽水泵21的进水端通过过水管22与所述测试箱11的下部连通，测试箱11的下底部存储有一定量的水，便于循环利用，所述抽水泵21的出水端通过出水管24与所述喷雾头33连通，所述抽气泵31的出气端通过出气管32与所述喷雾头33连通，所述测试箱11的侧壁上开设有通风口17，通风口17用于平衡测试箱11内外的气压；所述测试箱11内还装设有湿度感应器43，所述测试箱11的外侧壁上设有控制模块14，湿度感应器43可根据测试箱11内的湿度变化向控制模块14发送信号，用以控制抽气泵31、抽水泵21的启停。

在需要对红外半导体晶体膜进行水汽腐蚀测试时，先将外附有红外半导体晶体膜的附膜载体6放置在置物架41上，预设好湿度感应器43的反馈数值，通过控制模块14将抽气泵31与抽水泵21同时打开，抽气泵31将大气中的气体抽送至喷雾头33内，抽水泵21将测试箱11内的水抽送至喷雾头33内，抽水泵21抽送的水流及抽气泵31抽送的高速气流可驱使喷雾头33向测试箱11内喷洒均匀的水汽，湿度感应器43对测试箱11内的水汽浓度即湿度变化进行感应，湿度感应器43可根据对测试箱11内的湿度向控制模块14发送信号用以控制抽气泵31、抽水泵21的启停，即测试箱11内的湿度高于湿度感应器43的预设反馈数值时可向控制模块14发送停止信号使控制模块14关停抽气泵31、抽水泵21，测试箱11内的湿度低于湿度感应器43的预设反馈数值时可向控制模块14发送启动信号控制模块14重新启动抽气泵31、抽水泵21，用以保持测试箱11内的湿度稳定，附膜载体6在测试箱11内停留一定时间后将其取出并对其进行检测，测试效率高，测试结果准确性高；而测试箱11内的水汽在经过一定时间后会重新下落至测试箱11的下底处。

在本申请的一个实施例中，优选地，所述喷雾头33在所述测试箱11的上端设有多个，用以确保测试箱11内的水汽浓度的均匀性。

在本申请的一个实施例中，优选地，所述测试箱11内水平设有筛网51且所述筛网51设在所述置物架41的下方，用以过滤杂质，避免在取放附膜载体6时有异物落入水中。

在本申请的一个实施例中，优选地，所述筛网51与所述测试箱11内的下底之间设有支撑杆52，避免筛网51发生形变破损。

在本申请的一个实施例中，优选地，所述置物架41上设有夹持件42，避免附膜载体6与置物架41发生相对移动，所述湿度感应器43装设在所述夹持件42上，用于更精确地感应附膜载体6附近的湿度，进一步提高测试结果的准确性。

在本申请的一个实施例中，优选地，所述测试箱11的内壁及上顶均装设有烘干灯16，附膜载体6在测试完成后，打开烘干灯16可对附膜载体6进行快速烘干，提高效率。

在本申请的一个实施例中，优选地，所述测试箱11与所述通风口17所在的侧壁相对的另一侧壁上装设有排风扇15，便于将测试完成的附膜载体6的快速吹干。

在本申请的一个实施例中，优选地，所述过水管22与所述测试箱11之间设有支架23，提高过水管22与测试箱11的安装稳定性。

在本申请的一个实施例中，优选地，所述测试箱11的侧壁上设有取放门12，所述取放门12上设有把手13，便于附膜载体6的取放。

在本申请的一个实施例中，优选地，所述取放门12为透明设置，便于对测试箱11的内部进行观察。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于，包括测试箱，所述测试箱内设有置物架，所述置物架上开设有多个漏水孔，所述测试箱的上端穿设有喷雾头；所述测试箱的上端装设有抽水泵、抽气泵，所述抽水泵的进水端通过过水管与所述测试箱的下部连通，所述抽水泵的出水端通过出水管与所述喷雾头连通，所述抽气泵的出气端通过出气管与所述喷雾头连通，所述测试箱的侧壁上开设有通风口；所述测试箱内还装设有湿度感应器，所述测试箱的外侧壁上设有控制模块。

2.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述喷雾头在所述测试箱的上端设有多个。

3.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述测试箱内水平设有筛网且所述筛网设在所述置物架的下方。

4.根据权利要求3所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述筛网与所述测试箱内的下底之间设有支撑杆。

5.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述置物架上设有夹持件，所述湿度感应器装设在所述夹持件上。

6.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述测试箱的内壁及上顶均装设有烘干灯。

7.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述测试箱与所述通风口所在的侧壁相对的另一侧壁上装设有排风扇。

8.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述过水管与所述测试箱之间设有支架。

9.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述测试箱的侧壁上设有取放门，所述取放门上设有把手。

10.根据权利要求9所述的红外半导体晶体膜水汽腐蚀测试装置，其特征在于：所述取放门为透明设置。

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