CN218121739U - 一种半导体光学检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体光学检测设备，包括设备箱、工作台、安置板、主电机、滑槽、第一螺杆、滑块、置晶板、龙门柱、支架、光学仪器、成图相机、红外发射器和红外接收器，通过优化设置了挡尘辅助组件于设备箱右侧，有利于对设备箱进行防尘，避免在停止工作的时间里灰尘通过进出货孔进入设备箱内形成沉积，防止影响光学检测设备的检测效果，降低使用者关于设备的清洁工作的工作强度，有利于在工作时遮挡外界的强光或阻挡灰尘，降低意外情况影响检测工作导致出错，通过优化设置了升降装置于底板顶部，有利于使用者精准控制调整工作台的高度，便于配合不同高度的生产线，提高了了设备的泛用性，有利于半导体光学检测设备的稳定运行。

Description

一种半导体光学检测设备

技术领域

本实用新型涉及半导体相关领域，具体是一种半导体光学检测设备。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，在对半导体进行检测时，常常需要光学检测设备。

半导体光学检测设备在设备箱上开口容易导致大量灰尘进入设备箱内，影响检测设备的运行，并且检测设备上缺少稳定调整高度的装置，不利于检测设备与其它不同高度生产线进行配合。

发明内容

因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种半导体光学检测设备。

本实用新型是这样实现的，构造一种半导体光学检测设备，该装置包括设备箱、信号灯、触屏终端、进出货孔、底板、工作台、安置板、主电机、滑槽、第一螺杆、滑块、置晶板、龙门柱、支架、光学仪器、成图相机、红外发射器和红外接收器，所述设备箱前端面设有信号灯，所述设备箱前端面右端设有触屏终端，所述设备箱右侧设有进出货孔，所述设备箱内底部放置有底板，所述底板上方设有工作台，所述工作台左侧固定有安置板，所述安置板顶部固定有主电机，所述工作台顶部设有滑槽，所述主电机右侧旋转轴与第一螺杆左侧焊接，所述第一螺杆与滑块内侧面螺纹连接，所述滑块底部与工作台上的滑槽内底部滑动连接，所述滑块顶部安装有置晶板，所述工作台顶部固定有龙门柱，所述龙门柱与支架背部焊接，所述支架前端面设有光学仪器，所述支架底部安装有成图相机，所述工作台顶部前端设有红外发射器，所述置晶板前端安装有红外接收器，所述挡尘辅助组件设于设备箱右侧，所述升降装置设于底板顶部，所述挡尘辅助组件包括卷帘装置、第一固块、第二电机、第二螺杆、防尘网、第二固块、挡条、压力传感器和受力垫，所述卷帘装置设于设备箱右侧上端，所述设备箱右侧与第一固块左侧焊接，所述第一固块背部安装有第二电机，所述第一固块内侧面与第二螺杆转动连接，所述第二螺杆右侧与第二电机前端面旋转轴焊接，所述第二螺杆与防尘网内侧面螺纹连接，所述第二固块固定于设备箱右侧左端，所述第二固块内侧面与第二螺杆转动连接，所述设备箱右侧设有挡条，所述挡条顶部安装有压力传感器，所述压力传感器前端面设有受力垫。

优选的，所述卷帘装置包括卷帘盒、卷帘电机、右转块、左转块、卷帘棒、挡尘遮光帘和配重条，所述卷帘盒固定于设备箱右侧顶端，所述卷帘盒右侧安装有卷帘电机，所述卷帘盒内右侧安装有右转块，所述卷帘盒内左侧安装有左转块，所述右转块内侧面与贯穿右转块的卷帘棒转动连接，所述卷帘棒左侧与左转块转动连接，所述卷帘棒右侧与卷帘电机左侧旋转轴焊接，所述卷帘棒挡尘遮光帘卷收于侧面，所述挡尘遮光帘底部设有配重条。

优选的，所述升降装置包括底框、第一转座、第二转座、第一长杆、第一短杆、第一双夹板、第二双夹板、第二长杆、第二短杆、第三转座、第四转座、顶框、第一升杆、第二升杆、第三螺杆、置电板和升降电机，所述底框设于底板顶部，所述底框顶部左右端分别设有第一转座和第二转座，所述第一转座内背部与第一长杆背部下端转动连接，所述第二转座内背部与第一短杆背部转动连接，所述第一长杆与第一双夹板内背部转动连接，所述第一短杆与第一双夹板背部转动连接，所述第一双夹板内背部上端与第二长杆转动连接，所述第一长杆背部上端与第二双夹板转动连接，所述第二双夹板内背部上端与第二长杆转动连接，所述第二双夹板背部下端与第二短杆转动连接，所述第二长杆背部上端与第三转座转动连接，所述第二短杆背部上端与第四转座转动连接。

优选的，所述第四转座顶部与顶框螺栓连接，所述顶框底部左端安装有第三转座，所述第一短杆内侧面与贯穿第一短杆的第一升杆转动连接，所述第二短杆内侧面与贯穿第二短杆的第二升杆转动连接，所述第三螺杆贯穿第一升杆与第一升杆内侧面转动连接，所述第二升杆内侧面与贯穿第二升杆的第三螺杆螺纹连接，所述第一升杆中间底部与置电板顶部焊接，所述置电板顶部安装有升降电机，所述升降电机左侧旋转轴与第三螺杆右侧焊接，所述顶框顶部固定有工作台。

优选的，所述压力传感器的宽度小于第二螺杆垂直到设备箱右侧面的长度。

优选的，所述防尘网的面积大小大于进出货孔的面积大小。

优选的，所述第一短杆与第二短杆互相平行。

优选的，所述第一升杆与第二升杆的长度大小相一致。

优选的，所述第一升杆的材质是不锈钢。

优选的，所述受力垫的材质是硅胶。

本实用新型具有如下优点：本实用新型通过改进在此提供一种半导体光学检测设备，与同类型设备相比，具有如下改进：

本实用新型所述一种半导体光学检测设备，通过优化设置了挡尘辅助组件于设备箱右侧，有第一固块、第二电机、第二螺杆、防尘网、第二固块、挡条、压力传感器和受力垫，这样有利于对设备箱进行防尘，避免在停止工作的时间里灰尘通过进出货孔进入设备箱内形成沉积，防止影响光学检测设备的检测效果，降低使用者关于设备的清洁工作的工作强度，有卷帘装置里的卷帘电机、右转块、左转块、卷帘棒、挡尘遮光帘和配重条，这样有利于在工作时遮挡外界的强光或阻挡灰尘，降低意外情况影响检测工作导致出错。

本实用新型所述一种半导体光学检测设备，通过优化设置了升降装置于底板顶部，有第一长杆、第一短杆、第一双夹板、第二双夹板、第二长杆、第二短杆、顶框、第一升杆、第二升杆、第三螺杆、置电板和升降电机，这样有利于使用者精准控制调整工作台的高度，便于配合不同高度的生产线，提高了了设备的泛用性，有利于半导体光学检测设备的稳定运行。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型设备箱内部结构示意图；

图3是本实用新型挡尘辅助组件结构示意图；

图4是本实用新型图3中的A处放大结构示意图；

图5是本实用新型卷帘装置右侧透视结构示意图；

图6是本实用新型升降装置结构示意图。

其中：设备箱-1、信号灯-2、触屏终端-3、挡尘辅助组件-4、进出货孔-5、底板-6、升降装置-7、工作台-8、安置板-9、主电机-10、滑槽-11、第一螺杆-12、滑块-13、置晶板-14、龙门柱-15、支架-16、光学仪器-17、成图相机-18、红外发射器-19、红外接收器-20、卷帘装置-41、第一固块-42、第二电机-43、第二螺杆-44、防尘网-45、第二固块-46、挡条-47、压力传感器-48、受力垫-49、卷帘盒-411、卷帘电机-412、右转块-413、左转块-414、卷帘棒-415、挡尘遮光帘-416、配重条-417、底框-71、第一转座-72、第二转座-73、第一长杆-74、第一短杆-75、第一双夹板-76、第二双夹板-77、第二长杆-78、第二短杆-79、第三转座-710、第四转座-711、顶框-712、第一升杆-713、第二升杆-714、第三螺杆-715、置电板-716、升降电机-717。

具体实施方式

下面将结合附图1-6对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图3和图4，本实用新型通过改进在此提供一种半导体光学检测设备，包括设备箱1、信号灯2、触屏终端3、进出货孔5、底板6、工作台8、安置板9、主电机10、滑槽11、第一螺杆12、滑块13、置晶板14、龙门柱15、支架16、光学仪器17、成图相机18、红外发射器19和红外接收器20，设备箱1前端面设有信号灯2，设备箱1前端面右端设有触屏终端3，设备箱1右侧设有进出货孔5，设备箱1内底部放置有底板6，底板6上方设有工作台8，工作台8左侧固定有安置板9，安置板9顶部固定有主电机10，工作台8顶部设有滑槽11，主电机10右侧旋转轴与第一螺杆12左侧焊接，第一螺杆12与滑块13内侧面螺纹连接，滑块13底部与工作台8上的滑槽11内底部滑动连接，滑块13顶部安装有置晶板14，工作台8顶部固定有龙门柱15，龙门柱15与支架16背部焊接，支架16前端面设有光学仪器17，支架16底部安装有成图相机18，工作台8顶部前端设有红外发射器19，置晶板14前端安装有红外接收器20，挡尘辅助组件4设于设备箱1右侧，升降装置7设于底板6顶部，挡尘辅助组件4包括卷帘装置41、第一固块42、第二电机43、第二螺杆44、防尘网45、第二固块46、挡条47、压力传感器48和受力垫49，卷帘装置41设于设备箱1右侧上端，设备箱1右侧与第一固块42左侧焊接，第一固块42背部安装有第二电机43，第一固块42内侧面与第二螺杆44转动连接，有利于第二螺杆44在，第一固块42内进行转动，第二螺杆44右侧与第二电机43前端面旋转轴焊接，便于第二电机43旋转轴带动第二螺杆44旋转，第二螺杆44与防尘网45内侧面螺纹连接，有益于旋转的第二螺杆44带动防尘网45进行移动，第二固块46固定于设备箱1右侧左端，第二固块46内侧面与第二螺杆44转动连接，年便于第二螺杆44在第二固块46内进行转动，设备箱1右侧设有挡条47，挡条47提供限位作用，挡条47顶部安装有压力传感器48，压力传感器48对防尘网45的位置进行感知方便控制关闭第二电机43，压力传感器48前端面设有受力垫49，受力垫49能避免防尘网45直接挤压压力传感器48，防止压力传感器48损坏，压力传感器48的宽度小于第二螺杆44垂直到设备箱1右侧面的长度，便于对挡条47、压力传感器48和受力垫49进行安装，防尘网45的面积大小大于进出货孔5的面积大小，有利于防尘网45完全遮挡进出货孔5。

请参阅图1和图5，本实用新型通过改进在此提供一种半导体光学检测设备，卷帘装置41包括卷帘盒411、卷帘电机412、右转块413、左转块414、卷帘棒415、挡尘遮光帘416和配重条417，卷帘盒411固定于设备箱1右侧顶端，卷帘盒411右侧安装有卷帘电机412，卷帘盒411内右侧安装有右转块413，卷帘盒411内左侧安装有左转块414，右转块413内侧面与贯穿右转块413的卷帘棒415转动连接，便于卷帘棒415在右转块413上进行转动，卷帘棒415左侧与左转块414转动连接，有益于卷帘棒415在左转块414上进行转动，卷帘棒415右侧与卷帘电机412左侧旋转轴焊接，方便让卷帘电机412旋转轴带动卷帘棒415旋转，卷帘棒415将挡尘遮光帘416卷收于侧面，有利于旋转的卷帘棒415对挡尘遮光帘416进行收放，挡尘遮光帘416底部设有配重条417，配重条417便于对挡尘遮光帘416进行垂直。

请参阅图2和图6，本实用新型通过改进在此提供一种半导体光学检测设备，升降装置7包括底框71、第一转座72、第二转座73、第一长杆74、第一短杆75、第一双夹板76、第二双夹板77、第二长杆78、第二短杆79、第三转座710、第四转座711、顶框712、第一升杆713、第二升杆714、第三螺杆715、置电板716和升降电机717，底框71设于底板6顶部，底框71顶部左右端分别设有第一转座72和第二转座73，第一转座72内背部与第一长杆74背部下端转动连接，有益于第一长杆74在第一转座72上进行转动，第二转座73内背部与第一短杆75背部转动连接，便于第一短杆75在第二转座73上进行转动，第一长杆74与第一双夹板76内背部转动连接，第一长杆74带动第一双夹板76转动，第一短杆75与第一双夹板76背部转动连接，有利于第一双夹板76带动第一短杆75转动上升，第一双夹板76内背部上端与第二长杆78转动连接，便于第一双夹板76带动第二长杆78上升，第一长杆74背部上端与第二双夹板77转动连接，有利于第二双夹板77带动第一长杆74上升，第二双夹板77内背部上端与第二长杆78转动连接，有益于第二双夹板77转动带动第二长杆78转动，第二双夹板77背部下端与第二短杆79转动连接，便于第二短杆79带动第二双夹板77上升，第二长杆78背部上端与第三转座710转动连接，有益于第二长杆78在第三转座710转动，第二短杆79背部上端与第四转座711转动连接，方便让第二短杆79在第四转座711上转动，第四转座711顶部与顶框712螺栓连接，有利于上升的第四转座711推动顶框712上升，顶框712底部左端安装有第三转座710，第一短杆75内侧面与贯穿第一短杆75的第一升杆713转动连接，便于第一升杆713在第一短杆75上转动，第二短杆79内侧面与贯穿第二短杆79的第二升杆714转动连接，有利于第二升杆714带动第二短杆79上升，第三螺杆715贯穿第一升杆713与第一升杆713内侧面转动连接，便于第三螺杆715在第一升杆713内进行转动，第二升杆714内侧面与贯穿第二升杆714的第三螺杆715螺纹连接，有利于旋转的第三螺杆715带动第二升杆714移动，第一升杆713中间底部与置电板716顶部焊接，便于第一升杆713带动置电板716上升，置电板716顶部安装有升降电机717，升降电机717左侧旋转轴与第三螺杆715右侧焊接，有助于升降电机717旋转轴带动第三螺杆715旋转，顶框712顶部固定有工作台8，方便上升的顶框712带动工作台8上升，第一短杆75与第二短杆79互相平行，有助于第一短杆75与第二短杆79同步上升，第一升杆713与第二升杆714的长度大小相一致，便于第一升杆713与第二升杆714进行升降。

本实用新型通过改进提供一种半导体光学检测设备，其工作原理如下；

第一，使用本设备时，首先将本装置放置在工作区域中，然后将设备与外部电源相连接，既可为本设备工作提供所需的电能；

第二，首先，通过触屏终端3启动第二电机43，第二电机43旋转轴带动第二螺杆44进行转动，转动的第二螺杆44带动防尘网45移动，当防尘网45到达第二固块46背部时，关闭第二电机43，这时进出货孔5打开，当工作结束时，通过触屏终端3启动第二电机43，第二电机43旋转轴带动第二螺杆44进行转动，转动的第二螺杆44带动防尘网45移动，防尘网45顶在挡条47和受力垫49前端面上，防尘网45移动压紧受力垫49向压力传感器48传递，压力传感器48感受到压力后控制第二电机43关闭，这样有利于对设备箱1进行防尘，避免在停止工作的时间里灰尘通过进出货孔5进入设备箱1内形成沉积，防止影响光学检测设备的检测效果，降低使用者关于设备的清洁工作的工作强度；

第三，接着，通过触屏终端3启动升降电机717，升降电机717旋转轴带动第二升杆714移动，移动的第二升杆714带动第二短杆79、第二双夹板77、第一长杆74和第一双夹板76进行转动上升，转动的第二双夹板77、第一长杆74和第一双夹板76带动第一短杆75和第二长杆78转动上升，上升的第一短杆75和第二长杆78拉动置电板716和升降电机717也一起进行上升，在上升的第二短杆79和第二长杆78的带动下推动顶框712与工作台8上升，调整好高度后，关闭升降电机717，开始检测工作，这样有利于使用者精准控制调整工作台8的高度，便于配合不同高度的生产线，提高了了设备的泛用性，有利于半导体光学检测设备的稳定运行；

第四，调整好高度后，通过触屏终端3启动卷帘电机412，卷帘电机412旋转轴带动卷帘棒415进行旋转，旋转的卷帘棒415将侧面的挡尘遮光帘416放下，挡尘遮光帘416在配重条417的宗里影响下垂直下落，根据实际情况到达合适的距离关闭卷帘电机412，这样有利于在工作时遮挡外界的强光或阻挡灰尘，降低意外情况影响检测工作导致出错；

第五，然后通过触屏终端3启动主电机10，主电机10旋转轴带动第一螺杆12进行旋转，旋转的第一螺杆12带动滑块13和置晶板14进行移动，置晶板14上会有上游程序放置的晶圆，移动的置晶板14带动晶圆和红外接收器20进行移动，移动的红外接收器20接收到红外发射器19发射的红外线后，红外接收器20控制主电机10关闭，滑块13和置晶板14停止移动，光学仪器17启动并对晶圆进行照射，照射的反射光被成图相机18捕捉拍下，接着启动主电机10，并带着置晶板14和晶圆从进出货孔5运出进入下游程序。

本实用新型通过改进提供一种半导体光学检测设备，通过优化设置了挡尘辅助组件4于设备箱1右侧，有第一固块42、第二电机43、第二螺杆44、防尘网45、第二固块46、挡条47、压力传感器48和受力垫49，这样有利于对设备箱1进行防尘，避免在停止工作的时间里灰尘通过进出货孔5进入设备箱1内形成沉积，防止影响光学检测设备的检测效果，降低使用者关于设备的清洁工作的工作强度，有卷帘装置41里的卷帘电机412、右转块413、左转块414、卷帘棒415、挡尘遮光帘416和配重条417，这样有利于在工作时遮挡外界的强光或阻挡灰尘，降低意外情况影响检测工作导致出错，通过优化设置了升降装置7于底板6顶部，有第一长杆74、第一短杆75、第一双夹板76、第二双夹板77、第二长杆78、第二短杆79、顶框712、第一升杆713、第二升杆714、第三螺杆715、置电板716和升降电机717，这样有利于使用者精准控制调整工作台8的高度，便于配合不同高度的生产线，提高了了设备的泛用性，有利于半导体光学检测设备的稳定运行。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,并且本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种半导体光学检测设备，包括设备箱（1）和红外接收器（20），所述设备箱（1）前端面设有信号灯（2），所述设备箱（1）前端面右端设有触屏终端（3），所述设备箱（1）右侧设有进出货孔（5），所述设备箱（1）内底部放置有底板（6），所述底板（6）上方设有工作台（8），所述工作台（8）左侧固定有安置板（9），所述安置板（9）顶部固定有主电机（10），所述工作台（8）顶部设有滑槽（11），所述主电机（10）右侧旋转轴与第一螺杆（12）左侧焊接，所述第一螺杆（12）与滑块（13）内侧面螺纹连接，所述滑块（13）底部与工作台（8）上的滑槽（11）内底部滑动连接，所述滑块（13）顶部安装有置晶板（14），所述工作台（8）顶部固定有龙门柱（15），所述龙门柱（15）与支架（16）背部焊接，所述支架（16）前端面设有光学仪器（17），所述支架（16）底部安装有成图相机（18），所述工作台（8）顶部前端设有红外发射器（19），所述置晶板（14）前端安装有红外接收器（20）；

其特征在于：还包括挡尘辅助组件（4）和升降装置（7），所述挡尘辅助组件（4）设于设备箱（1）右侧，所述升降装置（7）设于底板（6）顶部，所述挡尘辅助组件（4）包括卷帘装置（41）和第二固块（46），所述卷帘装置（41）设于设备箱（1）右侧上端，所述设备箱（1）右侧与第一固块（42）左侧焊接，所述第一固块（42）背部安装有第二电机（43），所述第一固块（42）内侧面与第二螺杆（44）转动连接，所述第二螺杆（44）右侧与第二电机（43）前端面旋转轴焊接，所述第二螺杆（44）与防尘网（45）内侧面螺纹连接，所述第二固块（46）固定于设备箱（1）右侧左端，所述第二固块（46）内侧面与第二螺杆（44）转动连接，所述设备箱（1）右侧设有挡条（47），所述挡条（47）顶部安装有压力传感器（48），所述压力传感器（48）前端面设有受力垫（49）。

2.根据权利要求1所述一种半导体光学检测设备，其特征在于：所述卷帘装置（41）包括卷帘盒（411）、卷帘电机（412）、右转块（413）、左转块（414）、卷帘棒（415）、挡尘遮光帘（416）和配重条（417），所述卷帘盒（411）固定于设备箱（1）右侧顶端，所述卷帘盒（411）右侧安装有卷帘电机（412），所述卷帘盒（411）内右侧安装有右转块（413），所述卷帘盒（411）内左侧安装有左转块（414），所述右转块（413）内侧面与贯穿右转块（413）的卷帘棒（415）转动连接，所述卷帘棒（415）左侧与左转块（414）转动连接，所述卷帘棒（415）右侧与卷帘电机（412）左侧旋转轴焊接，所述卷帘棒（415）将挡尘遮光帘（416）卷收于侧面，所述挡尘遮光帘（416）底部设有配重条（417）。

3.根据权利要求1所述一种半导体光学检测设备，其特征在于：所述升降装置（7）包括底框（71）、第一转座（72）、第二转座（73）、第一长杆（74）、第一短杆（75）、第一双夹板（76）、第二双夹板（77）、第二长杆（78）、第二短杆（79）、第三转座（710）、第四转座（711）、顶框（712）、第一升杆（713）、第二升杆（714）、第三螺杆（715）、置电板（716）和升降电机（717），所述底框（71）设于底板（6）顶部，所述底框（71）顶部左右端分别设有第一转座（72）和第二转座（73），所述第一转座（72）内背部与第一长杆（74）背部下端转动连接，所述第二转座（73）内背部与第一短杆（75）背部转动连接，所述第一长杆（74）与第一双夹板（76）内背部转动连接，所述第一短杆（75）与第一双夹板（76）背部转动连接，所述第一双夹板（76）内背部上端与第二长杆（78）转动连接，所述第一长杆（74）背部上端与第二双夹板（77）转动连接，所述第二双夹板（77）内背部上端与第二长杆（78）转动连接，所述第二双夹板（77）背部下端与第二短杆（79）转动连接，所述第二长杆（78）背部上端与第三转座（710）转动连接，所述第二短杆（79）背部上端与第四转座（711）转动连接。

4.根据权利要求3所述一种半导体光学检测设备，其特征在于：所述第四转座（711）顶部与顶框（712）螺栓连接，所述顶框（712）底部左端安装有第三转座（710），所述第一短杆（75）内侧面与贯穿第一短杆（75）的第一升杆（713）转动连接，所述第二短杆（79）内侧面与贯穿第二短杆（79）的第二升杆（714）转动连接，所述第三螺杆（715）贯穿第一升杆（713）与第一升杆（713）内侧面转动连接，所述第二升杆（714）内侧面与贯穿第二升杆（714）的第三螺杆（715）螺纹连接，所述第一升杆（713）中间底部与置电板（716）顶部焊接，所述置电板（716）顶部安装有升降电机（717），所述升降电机（717）左侧旋转轴与第三螺杆（715）右侧焊接，所述顶框（712）顶部固定有工作台（8）。

5.根据权利要求1所述一种半导体光学检测设备，其特征在于：所述压力传感器（48）的宽度小于第二螺杆（44）垂直到设备箱（1）右侧面的长度。

6.根据权利要求1所述一种半导体光学检测设备，其特征在于：所述防尘网（45）的面积大小大于进出货孔（5）的面积大小。

7.根据权利要求3所述一种半导体光学检测设备，其特征在于：所述第一短杆（75）与第二短杆（79）互相平行。

8.根据权利要求3所述一种半导体光学检测设备，其特征在于：所述第一升杆（713）与第二升杆（714）的长度大小相一致。

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