CN218066204U - 校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具 - Google Patents

Abstract

本申请公开校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，属于校验设备技术领域，用于在将晶片放置到转轴上时，校验喷嘴的位置，该治具包括固定部和校验部，其中所述固定部于固定端设置有固定槽，所述固定槽与所述转轴固定所述晶片的端部相适配，其中所述固定部于安装端设置有安装孔，且所述安装孔正对所述固定槽的中心位置；其中所述校验部具有相对的第一端和第二端，其中所述第一端与所述安装孔相配合，用于在所述固定部上通过所述安装孔安装所述校验部，所述第二端设置有锥形孔，且所述锥形孔的中心位置正对所述固定槽的中心位置。该治具能够精确校验喷嘴的位置，校验效率高，同时还可以有效节省光刻胶的成本。

Description

校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具

技术领域

本实用新型涉及校验设备技术领域，尤其涉及校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，用于在将晶片放置到转轴上时，校验喷嘴的位置。

背景技术

半导体晶片制程领域，在更换喷嘴、日常保养及日常点检中，都需要校验喷嘴的位置是否位于喷涂中心位置。

目前，常规做法是将晶片放置在spindle(转轴)上，然后移动喷涂手臂，然后喷涂光阻，目视检查是否喷至中心位置。该检查方法不但会浪费较多的光阻，同时，目视检查也存在一定的偏差，第三，校验效率较低。

实用新型内容

本实用新型的一个优势在于提供一种校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，其中在将固定部固定到转轴上后，再在固定部上安装固定校验部，在将喷头手臂摆至喷涂位置后，反向移动校验部，通过查看校验部在上升过程中是否与喷头产生干涉来确定喷头是否位于喷涂中心位置，能够精确校验喷嘴的位置，校验效率高，同时还可以有效节省光刻胶的成本。

本实用新型的一个优势在于提供一种校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，其中第一固定槽的槽深尺寸大于转轴的端部的凸出尺寸，能够避免该治具在使用过程中损坏到转轴的端部，进而确保转轴的端部尺寸的精度，便于转轴后续的使用。

本实用新型的一个优势在于提供一种校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，其中安装孔的孔深尺寸大于第一端的延伸长度尺寸，能够在校验过程中给校验部提供足够的移动行程，确保校验效率和校验质量。

为达到本实用新型以上至少一个优势，本实用新型提供一种校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，用于在将晶片放置到转轴上时，校验喷嘴的位置，包括：

固定部，其中所述固定部具有相对的一安装端和一固定端，其中所述固定部于所述固定端设置有固定槽，所述固定槽与所述转轴固定所述晶片的端部相适配，其中所述固定部于所述安装端设置有安装孔，且所述安装孔正对所述固定槽的中心位置；以及

校验部，其中所述校验部具有相对的第一端和第二端，其中所述第一端与所述安装孔相配合，用于在所述固定部上通过所述安装孔安装所述校验部，所述第二端设置有锥形孔，且所述锥形孔的中心位置正对所述固定槽的中心位置。

根据本实用新型一实施例，所述固定槽为台阶型结构，包括靠近所述安装端的第一固定槽和远离所述安装端的第二固定槽，其中所述第二固定槽与所述转轴的最大外径相适配，所述第一固定槽与所述转轴的端部相适配，且所述第一固定槽的槽深尺寸大于所述转轴的端部的凸出尺寸。

根据本实用新型一实施例，所述安装孔为通孔或盲孔。

根据本实用新型一实施例，所述安装孔的内壁设置有内螺纹，所述校验部上的所述第一端设置有与所述内螺纹相配合的外螺纹。

根据本实用新型一实施例，所述第一端与所述安装孔间隙配合，且所述第一端与所述安装孔的内壁对应设置有导向结构，所述导向结构被配置为驱使所述第一端定向相对靠近或远离所述固定部移动。

根据本实用新型一实施例，所述安装孔的孔深尺寸大于所述第一端的延伸长度尺寸。

本实用新型的这些和其它目的、特点和优势，通过下述的详细说明，得以充分体现。

附图说明

图1示出了本申请一较佳实施例校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具的结构示意图。

图2示出了本申请中治具与转轴和喷头相配合的结构示意图。

附图标记：10-转轴，20-固定部，201-固定槽，2011-第一固定槽，2012-第二固定槽，202-安装孔，30-校验部，301-锥形孔，31-第一端，32-第二端，40-喷头。

具体实施方式

以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本实用新型的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本实用新型的精神和范围的其他技术方案。

本领域技术人员应理解的是，在说明书的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此，上述术语不能理解为对本实用新型的限制。

可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。

基于将晶片固定在spindle(转轴)上，然后移动喷涂手臂通过喷涂光阻来目视检查是否喷至中心位置这一常规校验方法所存在的浪费光刻胶、校验效率低以及存在一定的目视偏差等技术问题，提出本申请实用新型专利。

参考图1和图2，依本实用新型一较佳实施例的一种校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具将在以下被详细地阐述，其中所述校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具被用于在将晶片放置到转轴10上时，校验喷嘴的位置，其中所述转轴10也常被称为spindle。该治具主要包括固定部20和校验部30，其中所述固定部20具有相对的一安装端和一固定端，其中所述固定部20于所述固定端设置有固定槽201，同时，所述固定槽201与所述转轴10固定所述晶片的端部相适配，通过所述转轴10给所述固定部20形成定位。此外，所述固定部20于所述安装端设置有安装孔202，同时，所述安装孔202正对所述固定槽201的中心位置。

其中，所述校验部30具有相对的第一端31和第二端32，其中所述第一端31与所述安装孔202相配合，用于在所述固定部20上通过所述安装孔202安装所述校验部30，同时，所述第二端32设置有锥形孔301，且所述锥形孔301的中心位置正对所述固定槽201的中心位置。

更详细地，在校验喷头40上的喷嘴的位置是否位于喷涂中心前，首先将所述固定部20通过所述固定端的所述固定槽201固定到所述转轴10上，在所述转轴10上形成定位，主要是为了使所述安装孔202正对所述转轴10的中心位置，所述转轴10的中心位置即为放置晶片的位置，然后，将所述校验部30通过所述第一端31安装到所述固定部20的所述安装孔202内，使所述校验部30在所述第二端32的所述锥形孔301的中心位置正对所述固定槽201的中心位置，即，正对所述转轴10的中心位置，然后控制喷头手臂摆动至喷涂位置，此时，所述喷嘴与所述校验部30保持一定的间隙距离，最后，控制所述校验部30在所述安装孔202内逐渐向上移动，即，逐渐朝远离所述固定部20而朝靠近所述喷头40的方向移动，在移动过程中检查所述校验部30是否与所述喷头40产生干涉，来确定所述喷嘴是否位于喷涂中心位置。如果在向上移动的过程中产生干涉，则说明所述喷嘴偏离了喷涂中心位置，而如果不产生干涉，那么在移动过程中，所述喷嘴会一直到达或者靠近所述锥形孔301的最低点位置，即说明喷嘴位置正好正对喷涂中心。

因此，通过该治具，在校验喷嘴位置时，只需要组装好该治具，然后控制喷头手臂摆动至喷涂位置，反向移动所述校验部30来观察是否产生干涉即可，操作简单方便，校验效率高，同时还避免了常规喷涂光阻对光刻胶的浪费现象，节约资源和校验成本。

在一个实施例中，所述固定槽201为台阶型结构，包括靠近所述安装端的第一固定槽2011和远离所述安装端的第二固定槽2012，其中所述第二固定槽2012与所述转轴10的最大外径相适配，其中所述第一固定槽2011与所述转轴10的端部相适配，且所述第一固定槽2011的槽深尺寸大于所述转轴10的端部的凸出尺寸。这样一来，既可以在所述转轴10上固定和定位该治具，还不会在校验过程中损坏到所述转轴10的端部，从而确保了所述转轴10的端部尺寸的精度。

在一个实施例中，所述安装孔202为通孔或者盲孔，只要能够安装所述校验部30即可。

作为一较佳实施例，所述安装孔202的内壁设置有内螺纹，同时，所述校验部30上的所述第一端设置有与所述内螺纹相配合的外螺纹。这样一来，在组装该治具时，直接旋转所述校验部30，使所述第一端旋至所述安装孔202内即可，非常方便，而在校验喷嘴位置时，只需要反向旋转所述校验部30，使所述校验部30垂直远离所述固定部20即可。一般情况下，所述校验部30被实施为圆柱形螺杆，一端具有外螺纹，另一端设置有锥形孔，不仅方便所述校验部30的制造或者采购，还能够使所述校验部30通过所述安装孔202与所述固定部20保持较好的同轴度，从而基于所述固定槽201与所述转轴10的配合关系确保校验的精确性。

作为另一较佳实施例，所述第一端31与所述安装孔202间隙配合，且所述第一端31与所述安装孔202的内壁对应设置有导向结构(图中未显示)，同时，所述导向结构被配置为驱使所述第一端31定向相对靠近或远离所述固定部20移动。这样一来，在重力作用下，所述校验部30可以直接安装在所述固定部20的顶端，而在校验时，只需要手动或通过工具向上移动所述校验部30即可，所述导向结构主要确保所述校验部30移动方向的精确性。

进一步优选地，所述导向结构包括设置在所述安装孔202的内壁的导向凸起或者导向槽，相应的，还包括设置在所述第一端的外侧壁的导向槽或者导向凸起。

进一步优选地，所述安装孔202的孔深尺寸大于所述第一端31的延伸长度尺寸，从而能够在校验过程中给所述校验部30提供足够的移动行程，确保校验效率和校验质量。一般情况下，在校验过程中，所述校验部30会移动至所述安装孔202的最底部，以免在移动喷头手臂时，喷头40在下降过程中碰撞到所述校验部30，影响校验的精度。

本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本实用新型的实施例只作为举例而并不限制本实用新型。本实用新型的优势已经完整并有效地实现。本实用新型的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本实用新型的实施方式可以有任何变形或修改。

Claims (6)

1.校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，用于在将晶片放置到转轴上时，校验喷嘴的位置，其特征在于，包括：

固定部，其中所述固定部具有相对的一安装端和一固定端，其中所述固定部于所述固定端设置有固定槽，所述固定槽与所述转轴固定所述晶片的端部相适配，其中所述固定部于所述安装端设置有安装孔，且所述安装孔正对所述固定槽的中心位置；以及

校验部，其中所述校验部具有相对的第一端和第二端，其中所述第一端与所述安装孔相配合，用于在所述固定部上通过所述安装孔安装所述校验部，所述第二端设置有锥形孔，且所述锥形孔的中心位置正对所述固定槽的中心位置。

2.如权利要求1所述校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，其特征在于，所述固定槽为台阶型结构，包括靠近所述安装端的第一固定槽和远离所述安装端的第二固定槽，其中所述第二固定槽与所述转轴的最大外径相适配，所述第一固定槽与所述转轴的端部相适配，且所述第一固定槽的槽深尺寸大于所述转轴的端部的凸出尺寸。

3.如权利要求1所述校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，其特征在于，所述安装孔为通孔或盲孔。

4.如权利要求3所述校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，其特征在于，所述安装孔的内壁设置有内螺纹，所述校验部上的所述第一端设置有与所述内螺纹相配合的外螺纹。

5.如权利要求3所述校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，其特征在于，所述第一端与所述安装孔间隙配合，且所述第一端与所述安装孔的内壁对应设置有导向结构，所述导向结构被配置为驱使所述第一端定向相对靠近或远离所述固定部移动。

6.如权利要求4或5所述校验喷嘴位置位于喷涂中心的治具，其特征在于，所述安装孔的孔深尺寸大于所述第一端的延伸长度尺寸。

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