CN217984059U - 一种波长自稳定的激光器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种波长自稳定的激光器，包括激光器管壳以及对应设置在激光器管壳前、后两端的前光出射组件和管壳管脚，还包括用于密封激光器管壳并与激光器管壳形成气密性空腔的激光器管壳密封盖，气密性空腔内设置有TEC热电制冷器、热传导垫块、氮化铝垫块、激光器芯片、热敏电阻、前光耦合透镜、前光隔离器、后光耦合透镜、后光隔离器、参考气室和光电探测器；参考气室内填充有被测气体。本实用新型可以解决现有波长自稳定的激光器光噪声大且光噪声随温度变化不稳定的缺陷，以及内置参考气室探测器后引起的激光器输出光功率不稳定、不线性和跳模现象。

Description

一种波长自稳定的激光器

技术领域

本实用新型涉及气体监测设备，具体涉及一种波长自稳定的激光器。

背景技术

若要实现TDLAS在线检测的高精度、高稳定性测量，必须保证激光系统中激光器光源工作的中心波长在电流调制扫描的中心位置，且正好对准被测气体的吸收波长，以甲烷气体为例，甲烷的吸收波长为1653.7nm，因此激光甲烷在线检测系统中光源的激光器芯片的波长需要保持在1653.7±0.01nm。然而激光器光源的驱动电流、环境温度等因素都会引起激光器芯片波长的漂移，环境温度越高，激光器芯片波长越长，反之越短。因此在环境温度变化的情况下、激光器中心波长即使有热电制冷器的控温，依然会有少许变化，导致TDLAS气体在线检测系统的测量精度超差。因此系统需要对激光器波长进行时时校准，确保激光器芯片发出的激光波长不发生变化，才能准确的检测出目标气体，使得设备成为真正的免校准、免维护设备。因此内置参考气室及探测器的激光器技术方案孕育而生。

而当前基于波长自稳定的激光器技术方案主要包括两种方案，一种是利用DFB激光器前光出光，利用分光片的方式，将前光一分为二，一路用于测量气体使用，一路用于参考气体使用，即单向分光方式。从而实现主动控制，满足激光器波长的稳定性要求。

另外一种技术方案是以用半导体DFB激光器芯片的前后出光特性，且前后出光波长一致的特性，前光用于测量气体使用，后光用于参考气体使用，即双向分光方式。从而实现主动控制，满足激光器的波长的稳定性要求。

目前的基于波长自稳定的激光器主要存在以下几种问题：

1、单向分光方式的波长自稳定激光器为同轴激光器或者BOSA结构激光器，该结构方式导致激光器前光输出的耦合透镜、光隔离器、分光片等光学部件均不在热电制冷器TEC的控温区域内。如此以来，在外部环境温度变化的过程中，光学元件会因为结构的热胀冷缩而产生位移，从到导致光路稳定性差，由光反射引起的光噪声不稳定，最终造成使用该类激光器的气体检测系统零点漂移。

2、双向分光方式的波长自稳定的激光器为蝶形封装激光器，其结构特征虽然能保证激光器前光输出的耦合透镜、光隔离器、光纤可安装在TEC的控温区域内，避免前光路随温度变化不稳定的问题。但由于后光路光学设计问题，并未规避后光路的反射光反射进入到DFB激光器芯片谐振腔内部，从而造成DFB激光器出现输出功率不稳定、不线性，以及跳模现象；

3、当前市面上的波长自稳定的激光器所用的TO封装带参考气室探测器为单密封腔的带参考气室探测器，该类探测器在管脚弯折焊接时容易造成气密性玻璃绝缘子破裂而漏气。从到导致该类波长自稳定的激光器可靠性差，无法批量及规模化使用。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种波长自稳定的激光器，以解决现有波长自稳定的激光器光噪声大且光噪声随温度变化不稳定的缺陷，以及内置参考气室探测器后引起的激光器输出光功率不稳定、不线性和跳模现象。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种波长自稳定的激光器，包括激光器管壳以及对应设置在所述激光器管壳前、后两端的前光出射组件和管壳管脚，还包括用于密封所述激光器管壳并与所述激光器管壳形成气密性空腔的激光器管壳密封盖，所述气密性空腔内设置有TEC热电制冷器、热传导垫块、氮化铝垫块、激光器芯片、热敏电阻、前光耦合透镜、前光隔离器、后光耦合透镜、后光隔离器、参考气室和光电探测器；所述热传导垫块与所述TEC热电制冷器热传导连接并在所述热传导垫块上形成恒温光路基准面；所述激光器芯片和所述热敏电阻均通过所述氮化铝垫块固定在所述恒温光路基准面上；所述前光耦合透镜和所述前光隔离器固定在所述恒温光路基准面上，所述前光隔离器通过所述前光耦合透镜与所述激光器芯片的前出光面对准并耦合，所述前光隔离器还与所述前光出射组件耦合；所述后光耦合透镜和所述后光隔离器固定在所述恒温光路基准面上，所述后光隔离器通过所述后光耦合透镜与所述激光器芯片的后出光面对准并耦合；所述光电探测器与所述后光隔离器相对设置，且所述光电探测器与所述后光隔离器之间耦合设有所述参考气室，所述参考气室内填充有被测气体；所述TEC热电制冷器、所述激光器芯片、所述热敏电阻以及所述光电探测器电连接在所述管壳管脚上。

本实用新型的有益效果是：本实用新型一种波长自稳定的激光器使用双向分光方式的波长自稳定的激光器结构，保证了输出前光路中的耦合透镜、光隔离器、光纤可安装在TEC的控温区域内；从结构源头解决前光路即测量光路光学元件随温度变化的稳定性，因此前光路的反射光引起的光噪声得到很好的稳定及减小。同时在输出后光路的透镜和参考气室之间加入了光隔离器，保证了后光路的反射光大部分被光隔离器隔离而不会返回到激光器芯片谐振腔内，从而降低了DFB激光器出现输出功率不稳定、不线性，以及跳模现象的程度。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述气密性空腔内还设置有第二前光耦合透镜，所述第二前光耦合透镜固定在所述前光隔离器与所述光出射组件之间，且所述前光隔离器通过所述第二前光耦合透镜与所述光出射组件耦合。

采用上述进一步方案的有益效果是：前光耦合透镜和第二前光耦合透镜组成双透镜组，对激光器芯片前输出激光束进行整形，然后输出到光出射组件上；利用双耦合透镜结构的特点，进一步提高激光器前光的耦合效率，可使激光器前光的耦合效率提高30％左右，特别适用于气体吸收率低的气体测量系统。另外双光路结构由于双透镜组之间是平行光束，在提高光路稳定性的同时，进一步提高了光隔离器的有效光隔离度，降低了因前光反射带来的系统光噪声。

进一步，所述参考气室的前后端面带有斜面光窗，分别为前入射斜面光窗和后出射斜面光窗，所述参考气室的前入射斜面光窗与所述后光隔离器相对，所述参考气室的后出射斜面光窗与所述光电探测器相对。

采用上述进一步方案的有益效果是：耦合时斜面光窗的反射光无法沿原主光轴反射回激光芯片谐振腔内；斜面光窗的参考气室能有效保证入射到该光窗表面的光束所产生的反射光远离主光轴，按照镀AR膜后玻璃的反射率来计算，前后双斜面光窗能将8％的反射光远离主光轴，降低DFB激光器出现输出功率不稳定、不线性，以及跳模现象的程度。

进一步，所述光电探测器的光敏面相对所述激光器芯片的后出光面非平行设置。

采用上述进一步方案的有益效果是：光电探测器的光敏面相对激光器芯片的后出光面非平行设置，解决了参考光路中最后一个光电探测器光敏面所产生的反射光问题，同样利用斜面原理，使得该元件的端面反射光远离主光轴，无法反射回激光芯片谐振腔内，从而避免了DFB激光器出现输出功率不稳定、不线性，以及跳模现象。

进一步，所述光电探测器设置在所述参考气室内。

进一步，所述光电探测器上配置有TO管座、TO管帽和斜面陶瓷片，

所述光电探测器通过所述斜面陶瓷片固定在所述TO管座上，所述TO管帽密封罩设在所述TO管座上并与所述TO管座TO封装合围形成所述参考气室，所述光电探测器位于所述参考气室内。

进一步，所述TO管帽为斜窗TO管帽；所述TO管座上设有TO管脚，所述TO管脚的一端与所述光电探测器电连接，所述TO管脚的一端穿过所述激光器管壳的后侧壁作为外部电接口。

采用上述进一步方案的有益效果是：在保证了参考光路的光反射不会沿入射的主光轴反射回激光芯片谐振腔内，导致的DFB激光器出现输出功率不稳定、不线性，以及跳模问题的同时；利用TO封装方式集成了参考气室和光电探测器，使之成为一个整体，如此以来大大简化了波长自稳定的激光器的生产制造工艺，提高了参考光路的可靠性，降低了产品的成本。

进一步，所述气密性空腔内还设置有柔性电路板，所述TO管脚通过所述柔性电路板电连接在所述管壳管脚上。

采用上述进一步方案的有益效果是：柔性电路板解决了市面上TO封装单密封腔的带参考气室探测器，在管脚弯折焊接时容易造成气密性玻璃绝缘子破裂而漏气的可靠性问题，即保证了产品的集成度高，又保证了可靠的使用方式。

进一步，所述前光出射组件具体为固定在所述激光器管壳前侧壁上的光窗，或为穿过所述激光器管壳的金属化光纤。

附图说明

图1为本实用新型一种波长自稳定的激光器在实施例一中的结构示意图；

图2为本实用新型一种波长自稳定的激光器在实施例二中的结构示意图；

图3为本实用新型一种波长自稳定的激光器在实施例三中的结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、激光器管壳，2、TEC热电制冷器，3、热传导垫块，4、氮化铝垫块，5、激光器芯片，6、热敏电阻，7、前光耦合透镜，8、前光隔离器，9、前光出射组件，10、后光耦合透镜，11、后光隔离器，12、参考气室，13、光电探测器，14、管壳管脚，15、激光器管壳密封盖，16、第二前光耦合透镜，17、被测气体，18、前入射斜面光窗，19、后出射斜面光窗，20、TO管座，21、TO管帽，22、斜面陶瓷片，23、TO管脚，24、柔性电路板。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

实施例一：

如图1所示，一种波长自稳定的激光器，包括激光器管壳1、TEC热电制冷器2、热传导垫块3、氮化铝垫块4、激光器芯片5、热敏电阻6、前光耦合透镜7、前光隔离器8、前光出射组件9、后光耦合透镜10、后光隔离器11、参考气室12、光电探测器13、管壳管脚14、激光器管壳密封盖15和第二前光耦合透镜16，所述参考气室12内填充有被测气体17。

内置于波长自稳定的激光器的参考气室12，其带有前入射斜面光窗18和后出射斜面光窗19。

具体的，实施例中的一种波长自稳定的激光器制备方法如下：

S101：管壳管脚14通过玻璃烧结方式预设在激光器管壳1上。

S102：热传导垫块3通过焊接方式固定在TEC热电制冷器2的冷面上，TEC热电制冷器2散热热面焊接固定在激光器管壳1内的主光轴上，组成恒温光路基准面。

S103：激光器芯5和热敏电阻6用钎焊工艺固定在氮化铝垫块4上；氮化铝垫块4通过钎焊工艺固定在热传导垫块3上。

S104：前光耦合透镜7和前光隔离器8通过光斑耦合的工艺依次耦合后焊接或者导热胶固定在热传导垫块3上，位置于激光器芯片5的前出光面一侧。

S105：第二前光耦合透镜16和前光光出射组件9通过光斑耦合的工艺依次耦合完成后焊接或者导热胶固定在激光器管壳1内，位置于前光隔离器8的一侧。完成波长自稳定的激光器前输出光路即测量光路的搭建。

S106:后光耦合透镜10和后光隔离器11通过光斑耦合的工艺依次耦合后焊接或者导热胶固定在热传导垫块3上，位置于激光器芯片5的后出光面一侧。

S107:参考气室12和光电探测器13依次对准后光隔离器11进行光斑耦合，满足光电探测器13响应度的要求后，固定在激光器管壳1内，位置于波长自稳定的激光器的尾部。

S106：所述激光器芯片5、所述热敏电阻6、所述TEC热电制冷器2以及所述光电探测器13电连接到管壳管脚14上。

S107：激光器管壳密封盖15通过电阻焊方式与激光器管壳1焊接，将波长自稳定的激光器内部所有光电元件密封。

在实施例一的一种波长自稳定的激光器中：

该波长自稳定激光器利用半导体DFB激光器芯片前后解理端面出光波长一致的原理，用前出光作为气体测量路光路，后出光作为气体参考路光路。分别在两个光路上设置光学元件。

前光路用双透镜的耦合原理，双透镜组的第一级透镜将DFB激光器芯片前端面发出的发散光束转换成平行光束，平行光束穿过光隔离器到第二级透镜，第二级透镜将光束转成汇聚光束，汇聚到前光光出射组件上，用于拉远传输。该双透镜组结构能提高激光器前光的耦合效率，可使激光器前光的耦合效率提高30％左右，特别适用于气体吸收率低的气体测量系统。另外双光路结构由于双透镜组之间是平行光束，在提高光路稳定性的同时，进一步提高了光隔离器的有效光隔离度，降低了因前光反射带来的系统光噪声。

后光路中加入隔离器，且除后耦合透镜外所有的光学元件端面相对于DFB激光器后出光端面斜角放置，斜面能有效保证入射到该表面的光束所产生的反射光远离主光轴，按照镀AR膜后玻璃的反射率来计算，该光路结构能降低入射光10％的反射，大幅度降低DFB激光器出现输出功率不稳定、不线性，以及跳模现象。

实施例二：

如图2所示，一种波长自稳定的激光器，包括激光器管壳1、TEC热电制冷器2、热传导垫块3、氮化铝垫块4、激光器芯片5、热敏电阻6、前光耦合透镜7、前光隔离器8、前光出射组件9、后光耦合透镜10、后光隔离器11、参考气室12、光电探测器13、管壳管脚14、激光器管壳密封盖15、第二前光耦合透镜16，所述参考气室内填充有被测气17。

内置的参考气室12、光电探测器13用TO管座20、TO管帽21和斜面陶瓷片22进行TO封装，组成带参考气室的光电探测器，TO管帽21为斜窗TO管帽，TO管座20和TO管帽21合围的内腔充有被测气体17。TO管座20的TO管脚24穿过激光器管壳1的后侧壁成为外部电接口。

具体的，实施例二中的一种波长自稳定的激光器制备方法如下：

S201：管壳管脚14通过玻璃烧结方式预设在激光器管壳1上。

S202：热传导垫块3通过焊接方式固定在TEC热电制冷器2的冷面上，TEC热电制冷器2散热热面焊接固定在激光器管壳1内的主光轴上，组成恒温光路基准面。

S203：激光器芯5和热敏电阻6用钎焊工艺固定在氮化铝垫块4上；氮化铝垫块4通过钎焊工艺固定在热传导垫块3上。

S204：前光耦合透镜7和前光隔离器8通过光斑耦合的工艺依次耦合后焊接或者导热胶固定在热传导垫块3上，位置于激光器芯片5的前出光面一侧。

S205：第二前光耦合透镜16和前光光出射组件9通过光斑耦合的工艺依次耦合完成后焊接或者导热胶固定在激光器管壳1内，位置于前光隔离器8的一侧。完成波长自稳定的激光器前输出光路即测量光路的搭建。

S206:后光耦合透镜10和后光隔离器11通过光斑耦合的工艺依次耦合后焊接或者导热胶固定在热传导垫块3上，位置于激光器芯片5的后出光面一侧。

S207：光电探测器13用导电胶或者焊接固定在斜面陶瓷片22上，斜面陶瓷片22导电胶或者焊接固定在TO管座20上。

S208：斜窗的TO管帽21密封固定封装在TO管座20上，TO管座20和TO管帽21合围的内腔充有被测气体17。

S209:带参考气室的光电探测器13对准后光隔离器11进行光斑耦合，满足带参考气室的光电探测器13响应度的要求后，固定在激光器管壳1内，位置于波长自稳定的激光器的尾部，TO管座22上的TO管脚24穿过激光器管壳1的后侧壁。

S210：所述激光器芯片5、所述热敏电阻6以及所述TEC热电制冷器2电连接到管壳管脚14上。

S211：激光器管壳密封盖15通过电阻焊方式与激光器管壳1焊接，将波长自稳定的激光器内部所有光电元件密封。

在实施例二的一种波长自稳定的激光器中：

该波长自稳定激光器利用半导体DFB激光器芯片前后解理端面出光波长一致的原理，用前出光作为气体测量路光路，后出光作为气体参考路光路。分别在两个光路上设置光学元件。

将光电探测器贴装在斜面陶瓷片上，斜面陶瓷片贴装在TO管座上后，使得光电探测器的光敏面，相对于TO管座底部倾斜放置。而斜窗TO管帽的通光窗口片可与光电探测器光敏面成类八字形的端面分布。最大可能的减少了垂直于TO管座入射到该带参考气室的光电探测器的光束沿原光路主光轴反射。在集成了参考气室和光电探测器且简化制造工艺的同时，大幅度降低DFB激光器因后光路反射出现输出功率不稳定、不线性，以及跳模现象。

实施例三：

如图3所示，一种波长自稳定的激光器，包括激光器管壳1、TEC热电制冷器2、热传导垫块3、氮化铝垫块4、激光器芯片5、热敏电阻6、前光耦合透镜7、前光隔离器8、前光出射组件9、后光耦合透镜10、后光隔离器11、参考气室12、光电探测器13、管壳管脚14、激光器管壳密封盖15、第二前光耦合透镜16，所述参考气室内填充有被测气17。

内置的参考气室12、光电探测器13用TO管座20、TO管帽21和斜面陶瓷片22进行TO封装，组成带参考气室的光电探测器，TO管帽21为斜窗TO管帽，TO管座20和TO管帽21合围的内腔充有被测气体17。TO管座20的TO管脚24穿过激光器管壳1的后侧壁成为外部电接口。

还包括柔性电路板24；柔性电路板24焊接或者胶合固定在激光器管壳1内，带参考气室的光电探测器13的TO管脚23通过柔性电路板24电连接到管壳管脚14上。

具体的，实施例三中的一种波长自稳定的激光器制备方法如下：

S301：管壳管脚14通过玻璃烧结方式预设在激光器管壳1上。

S302：热传导垫块3通过焊接方式固定在TEC热电制冷器2的冷面上，TEC热电制冷器2散热热面焊接固定在激光器管壳1内的主光轴上，组成恒温光路基准面。

S303：激光器芯5和热敏电阻6用钎焊工艺固定在氮化铝垫块4上；氮化铝垫块4通过钎焊工艺固定在热传导垫块3上。

S304：前光耦合透镜7和前光隔离器8通过光斑耦合的工艺依次耦合后焊接或者导热胶固定在热传导垫块3上，位置于激光器芯片5的前出光面一侧。

S305：第二前光耦合透镜16和前光光出射组件9通过光斑耦合的工艺依次耦合完成后焊接或者导热胶固定在激光器管壳1内，位置于前光隔离器8的一侧。完成波长自稳定的激光器前输出光路即测量光路的搭建。

S306:后光耦合透镜10和后光隔离器11通过光斑耦合的工艺依次耦合后焊接或者导热胶固定在热传导垫块3上，位置于激光器芯片5的后出光面一侧。

S307：光电探测器13用导电胶或者焊接固定在斜面陶瓷片22上，斜面陶瓷片22导电胶或者焊接固定在TO管座20上。

S308：斜窗TO管帽21密封固定封装在TO管座20上，TO管座20和TO管帽21合围的内腔充有被测气体17。

S309:带参考气室的光电探测器13对准后光隔离器11进行光斑耦合，满足带参考气室的光电探测器13响应度的要求后，固定在激光器管壳1内，位置于波长自稳定的激光器的尾部。

S310：带参考气室的光电探测器13的TO管脚23垂直焊接在柔性电路板24的过孔内，管壳管脚14也垂直焊接在柔性电路板24的其他的过孔内，TO管脚23通过柔性电路板24与管壳管脚14电连接。

S311：柔性电路板24焊接或者胶合固定在激光器管壳1内的尾部侧壁。

S312：所述激光器芯片5、所述热敏电阻6和所述TEC热电制冷器2电连接到管壳管脚14上。

S313：激光器管壳密封盖15通过电阻焊方式与激光器管壳1焊接，将波长自稳定的激光器内部所有光电元件密封。

在实施例三中的一种波长自稳定的激光器中：

管壳管脚透过柔性电路板软连接到带参考气室光电探测器的管脚上，外部应力无法影响到参考气室光电探测器的玻璃绝缘子，让单密封腔的带参考气室光电探测器既保留了小体积的优点，也保证了高可靠性以及使用寿命。

读者应理解，在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种波长自稳定的激光器，包括激光器管壳(1)以及对应设置在所述激光器管壳(1)前、后两端的前光出射组件(9)和管壳管脚(14)，还包括用于密封所述激光器管壳(1)并与所述激光器管壳(1)形成气密性空腔的激光器管壳密封盖(15)，其特征在于：所述气密性空腔内设置有TEC热电制冷器(2)、热传导垫块(3)、氮化铝垫块(4)、激光器芯片(5)、热敏电阻(6)、前光耦合透镜(7)、前光隔离器(8)、后光耦合透镜(10)、后光隔离器(11)、参考气室(12)和光电探测器(13)；所述热传导垫块(3)与所述TEC热电制冷器(2)热传导连接并在所述热传导垫块(3)上形成恒温光路基准面；所述激光器芯片(5)和所述热敏电阻(6)均通过所述氮化铝垫块(4)固定在所述恒温光路基准面上；所述前光耦合透镜(7)和所述前光隔离器(8)固定在所述恒温光路基准面上，所述前光隔离器(8)通过所述前光耦合透镜(7)与所述激光器芯片(5)的前出光面对准并耦合，所述前光隔离器(8)还与所述前光出射组件(9)耦合；所述后光耦合透镜(10)和所述后光隔离器(11)固定在所述恒温光路基准面上，所述后光隔离器(11)通过所述后光耦合透镜(10)与所述激光器芯片(5)的后出光面对准并耦合；所述光电探测器(13)与所述后光隔离器(11)相对设置，且所述光电探测器(13)与所述后光隔离器(11)之间耦合设有所述参考气室(12)，所述参考气室(12)内填充有被测气体(17)；所述TEC热电制冷器(2)、所述激光器芯片(5)、所述热敏电阻(6)以及所述光电探测器(13)电连接在所述管壳管脚(14)上。

2.根据权利要求1所述的波长自稳定的激光器，其特征在于：所述气密性空腔内还设置有第二前光耦合透镜(16)，所述第二前光耦合透镜(16)固定在所述前光隔离器(8)与所述光出射组件(9)之间，且所述前光隔离器(8)通过所述第二前光耦合透镜(16)与所述光出射组件(9)耦合。

3.根据权利要求1所述的波长自稳定的激光器，其特征在于：所述参考气室(12)的前后端面带有斜面光窗，分别为前入射斜面光窗(18)和后出射斜面光窗(19)，所述参考气室(12)的前入射斜面光窗(18)与所述后光隔离器(11)相对，所述参考气室(12)的后出射斜面光窗(19)与所述光电探测器(13)相对。

4.根据权利要求3所述的波长自稳定的激光器，其特征在于：所述光电探测器(13)的光敏面相对所述激光器芯片(5)的后出光面非平行设置。

5.根据权利要求1所述的波长自稳定的激光器，其特征在于：所述光电探测器(13)设置在所述参考气室(12)内。

6.根据权利要求5所述的波长自稳定的激光器，其特征在于：所述光电探测器(13)上配置有TO管座(20)、TO管帽(21)和斜面陶瓷片(22)，

所述光电探测器(13)通过所述斜面陶瓷片(22)固定在所述TO管座(20)上，所述TO管帽(21)密封罩设在所述TO管座(20)上并与所述TO管座(20)TO封装合围形成所述参考气室(12)，所述光电探测器(13)位于所述参考气室(12)内。

7.根据权利要求6所述的波长自稳定的激光器，其特征在于：所述TO管帽(21)为斜窗TO管帽；所述TO管座(20)上设有TO管脚(23)，所述TO管脚(23)的一端与所述光电探测器(13)电连接，所述TO管脚(23)的一端穿过所述激光器管壳(1)的后侧壁作为外部电接口。

8.根据权利要求7所述的波长自稳定的激光器，其特征在于：所述气密性空腔内还设置有柔性电路板(24)，所述TO管脚(23)通过所述柔性电路板(24)电连接在所述管壳管脚(14)上。

9.根据权利要求1至8任一项所述的波长自稳定的激光器，其特征在于：所述前光出射组件(9)具体为固定在所述激光器管壳(1)前侧壁上的光窗，或为穿过所述激光器管壳(1)的金属化光纤。

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