CN217981214U - 一种探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种探针台，包括基座，设置在基座上的探针调节组件、镜头调节组件和载台；探针调节组件包括：与基座连接的移载滑轨，与移载滑轨连接的若干龙门架，以及驱动探针座在龙门架上Y轴移动的驱动件；龙门架对称设置，且位于载台的两侧；镜头调节组件包括：镜架，设置在镜架上的X轴驱动单元，设置在X轴驱动单元上的Y轴驱动单元，以及与Y轴驱动单元连接的镜头；X轴驱动单元带动Y轴驱动单元和镜头沿X轴移动，Y轴驱动单元带动镜头沿Y轴移动；镜头位于载台的上方。该探针台将镜头设计为X轴方向和Y轴方向移动，且探针座Y轴可移动，提高了测试的精准度。

Description

一种探针台

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，尤其涉及一种探针台。

背景技术

在毫米波设备中，芯片天线或者封装天线成为了未来行业发展的重要方向之一，而芯片天线的性能进行精准的测试成为一个需要解决的问题。

现有技术中对于芯片天线的测量使用标准探针台进行检测，但是存在以下问题：1、无法对镜头进行X轴和Y轴方向的移动，导致测量精度不够；2、探针座移动距离因为探针台的设计受限，导致探针座移动精度不够；3、载台更换方式困难。

因此，有必要对现有技术中的探针台进行改进，以解决上述问题。

发明内容

本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种探针台。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种探针台，包括：基座，设置在所述基座上的探针调节组件、镜头调节组件和载台，其特征在于，

所述探针调节组件包括：与所述基座连接的移载滑轨，与所述移载滑轨连接的若干龙门架，以及驱动探针座在所述龙门架上Y轴移动的驱动件；所述龙门架对称设置，且位于所述载台的两侧；

所述镜头调节组件包括：镜架，设置在所述镜架上的X轴驱动单元，设置在所述X轴驱动单元上的Y轴驱动单元，以及与所述Y轴驱动单元连接的镜头；

所述X轴驱动单元带动所述Y轴驱动单元和所述镜头沿X轴移动，所述Y轴驱动单元带动所述镜头沿Y轴移动；所述镜头位于所述载台的上方。

本实用新型一个较佳实施例中，所述驱动件包括：导轨，设置在所述导轨上的导块，与所述导块底部连接的抵接块，以及与所述抵接块螺纹连接的螺栓；所述导块与所述探针座固定连接，所述抵接板通过所述螺栓与所述龙门架的侧向抵接。

本实用新型一个较佳实施例中，所述X轴驱动单元包括：第一滑轨，设置在所述第一滑轨中的第一螺杆，与所述第一螺杆连接的第一连接块，以及与所述第一连接块连接的第一滑块；所述第一滑块沿所述第一滑轨的长度方向移动，所述第一螺杆设置在第一螺杆座上，且所述第一螺杆的一端连接有第一旋钮，所述第一滑块的表面设置有所述Y轴驱动单元。

本实用新型一个较佳实施例中，所述所述Y轴驱动单元包括：第二滑轨，设置在所述第二滑轨中的第二螺杆，与所述第二螺杆连接的第二连接块，以及与所述第二连接块连接的第二滑块；所述第二螺杆设置在第二螺杆座上，且所述第二螺杆的一端连接有第二旋钮，所述第二滑块沿所述第二滑轨的长度方向移动，所述第二滑块连接有镜头座。

本实用新型一个较佳实施例中，所述第一滑轨和所述第二滑轨的长度方向相垂直，所述第二滑轨和所述移载滑轨的长度方向平行。

本实用新型一个较佳实施例中，所述探针座表面设置有安装槽，所述安装槽用于安装探针，所述安装槽的中轴线与所述载台平面形成30°～60°夹角。

本实用新型一个较佳实施例中，所述载台为方形结构，所述载台与所述基座螺栓连接，且所述载台处于所述基座的正中间位置。

本实用新型一个较佳实施例中，所述镜头为电子显微镜或光学显微镜。

本实用新型一个较佳实施例中，所述第一滑块的X轴方向的移动行程为0～50mm，所述第二滑块的Y轴方向的移动行程为0～160mm。

本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：

(1)本实用新型中提供了一种探针台，该探针台将镜头设计为X轴方向和Y轴方向移动，且探针座Y轴可移动，提高了测试的精准度。

(2)本实用新型中利用移载滑轨使得龙门架和探针座X轴方向移动，一方面，长距离的移动可以客制化不同载台，提高灵活性；另一方面，方便载台的拆卸更换，避免在载台更换时因探针台设计而卡手的问题。

(3)本实用新型中的方形载台相对于技术中的圆形载台，可方便多种客制化DUT尺寸且方便测试。

(4)本实用新型中探针座在龙门架上Y轴方向运动，解决了探针座移动距离因为探针台的设计受限，导致探针座移动精度不够的问题。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；

图1是本实用新型的优选实施例的探针台的立体结构示意图；

图2是本实用新型的优选实施例的探针调节组件的立体结构示意图；

图3是本实用新型的优选实施例的镜头调节组件的立体结构示意图；

图中：1、探针台；2、基座；3、探针调节组件；31、移载滑轨；32、导轨；33、导块；34、抵接块；35、螺栓；36、探针座；4、镜头调节组件；41、镜架；42、X轴驱动单元；421、第一滑轨；422、第一螺杆；423、第一螺杆座；424、第一滑块；425、第一旋钮；43、Y轴驱动单元；44、镜头座；5、载台。

具体实施方式

现在结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示，示出了本实用新型中一种探针台1的立体结构示意图。该探针台1包括：基座2，设置在基座2上的探针调节组件3、镜头调节组件4和载台5。该基座2的尺寸大小为Amm×Amm，A为800～900，尺寸大小可依据实际需求大小而调整。

如图2所示，示出了本实用新型中探针调节组件3的立体结构示意图。探针调节组件3包括：与基座2连接的移载滑轨31，与移载滑轨31连接的若干龙门架，以及驱动探针座36在龙门架上Y轴移动的驱动件。龙门架对称设置，且位于载台5的两侧。龙门架在移载滑轨31上运动，实现对探针座36X轴方向的移动。

本实用新型中利用移载滑轨31使得龙门架和探针座36X轴方向移动，一方面，长距离的移动可以客制化不同载台5，提高灵活性；另一方面，方便载台5的拆卸更换，避免在载台5更换时因探针台1设计而卡手的问题。

本实用新型中驱动件包括：导轨32，设置在导轨32上的导块33，与导块33底部连接的抵接块34，以及与抵接块34螺纹连接的螺栓35。导块33与探针座36固定连接，抵接板通过螺栓35与龙门架的侧向抵接。其中，本实用新型中的抵接块34为L形，抵接块34的上端与导块33的底部固定连接，抵接块34的L形的表面与龙门架侧面和底面抵接。本实用新型中通过导块33在导轨32上的Y轴方向的移动，进而带动探针座36的Y轴方向的移动；当导块33移动至对应位置时，螺栓35与龙门架的侧面螺栓35连接，实现导块33和探针座36的固定。本实用新型中探针座36在龙门架上Y轴方向运动，解决了探针座36移动距离因为探针台1的设计受限，导致探针座36移动精度不够的问题。

本实用新型中探针座36表面设置有安装槽，安装槽用于安装探针，安装槽的中轴线与载台5平面形成30°～60°夹角。

本实用新型中载台5为方形结构，载台5与基座2螺栓35连接，且载台5处于基座2的正中间位置。相对于技术中的圆形载台5，方形载台5可方便多种客制化DUT尺寸且方便测试。

如图3所示，示出了本实用新型中镜头调节组件4的立体结构示意图。镜头调节组件4包括：镜架41，设置在镜架41上的X轴驱动单元42，设置在X轴驱动单元42上的Y轴驱动单元43，以及与Y轴驱动单元43连接的镜头。X轴驱动单元42带动Y轴驱动单元43和镜头沿X轴移动，Y轴驱动单元43带动镜头沿Y轴移动。镜头位于载台5的上方。本实用新型中镜架41优选为龙门架结构。

X轴驱动单元42包括：第一滑轨421，设置在第一滑轨421中的第一螺杆422，与第一螺杆422连接的第一连接块，以及与第一连接块连接的第一滑块424；第一滑块424沿第一滑轨421的长度方向移动，第一螺杆422设置在第一螺杆座423上，且第一螺杆422的一端连接有第一旋钮425，第一滑块424的表面设置有Y轴驱动单元43。本实用新型中通过转动第一螺杆422，使得第一螺杆422在第一螺杆座423上原位转动，第一连接块与第一螺杆422相对运动，第一连接块带动第一滑块424在第一滑轨421上X轴方向移动。

Y轴驱动单元43包括：第二滑轨，设置在第二滑轨中的第二螺杆，与第二螺杆连接的第二连接块，以及与第二连接块连接的第二滑块；第二螺杆设置在第二螺杆座上，且第二螺杆的一端连接有第二旋钮，第二滑块沿第二滑轨的长度方向移动，第二滑块连接有镜头座44。本实用新型中通过转动第二螺杆，使得第二螺杆在第二螺杆座上原位转动，第二连接块与第二螺杆相对运动，第二连接块带动第二滑块在第二滑轨上Y轴方向移动。

第一滑轨421和第二滑轨的长度方向相垂直，第二滑轨和移载滑轨31的长度方向平行。第一滑块424的X轴方向的移动行程为0～50mm，第二滑块的Y轴方向的移动行程为0～160mm。

本实用新型中镜头为电子显微镜或光学显微镜。

本实用新型使用时，利用移载滑轨31使得若干龙门架和探针座36X轴方向移动，使得两侧龙门架设置在载台5的两侧；通过导块33在导轨32上的Y轴方向的移动，进而带动探针座36的Y轴方向的移动；当导块33移动至对应位置时，螺栓35与龙门架的侧面螺栓35连接，实现导块33和探针座36的固定。

通过转动第一螺杆422，使得第一螺杆422在第一螺杆座423上原位转动，第一连接块与第一螺杆422相对运动，第一连接块带动第一滑块424在第一滑轨421上X轴方向移动，进而带动第一滑块424上的Y轴驱动单元43和镜头整体X轴方向移动；通过转动第二螺杆，使得第二螺杆在第二螺杆座上原位转动，第二连接块与第二螺杆相对运动，第二连接块带动第二滑块在第二滑轨上Y轴方向移动，进而带动与第二滑块连接的镜头Y轴方向移动。通过上述X轴驱动单元42和Y轴驱动单元43的作用，使得镜头具备X轴方向移动和Y轴方向移动的能力。

以上依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。

Claims (9)

1.一种探针台，包括：基座，设置在所述基座上的探针调节组件、镜头调节组件和载台，其特征在于，

所述探针调节组件包括：与所述基座连接的移载滑轨，与所述移载滑轨连接的若干龙门架，以及驱动探针座在所述龙门架上Y轴移动的驱动件；所述龙门架对称设置，且位于所述载台的两侧；

所述镜头调节组件包括：镜架，设置在所述镜架上的X轴驱动单元，设置在所述X轴驱动单元上的Y轴驱动单元，以及与所述Y轴驱动单元连接的镜头；

所述X轴驱动单元带动所述Y轴驱动单元和所述镜头沿X轴移动，所述Y轴驱动单元带动所述镜头沿Y轴移动；所述镜头位于所述载台的上方。

2.根据权利要求1所述的一种探针台，其特征在于：所述驱动件包括：导轨，设置在所述导轨上的导块，与所述导块底部连接的抵接块，以及与所述抵接块螺纹连接的螺栓；所述导块与所述探针座固定连接，所述抵接块通过所述螺栓与所述龙门架的侧向抵接。

3.根据权利要求1所述的一种探针台，其特征在于：所述X轴驱动单元包括：第一滑轨，设置在所述第一滑轨中的第一螺杆，与所述第一螺杆连接的第一连接块，以及与所述第一连接块连接的第一滑块；所述第一滑块沿所述第一滑轨的长度方向移动，所述第一螺杆设置在第一螺杆座上，且所述第一螺杆的一端连接有第一旋钮，所述第一滑块的表面设置有所述Y轴驱动单元。

4.根据权利要求3所述的一种探针台，其特征在于：所述Y轴驱动单元包括：第二滑轨，设置在所述第二滑轨中的第二螺杆，与所述第二螺杆连接的第二连接块，以及与所述第二连接块连接的第二滑块；所述第二螺杆设置在第二螺杆座上，且所述第二螺杆的一端连接有第二旋钮，所述第二滑块沿所述第二滑轨的长度方向移动，所述第二滑块连接有镜头座。

5.根据权利要求4所述的一种探针台，其特征在于：所述第一滑轨和所述第二滑轨的长度方向相垂直，所述第二滑轨和所述移载滑轨的长度方向平行。

6.根据权利要求1所述的一种探针台，其特征在于：所述探针座表面设置有安装槽，所述安装槽用于安装探针，所述安装槽的中轴线与所述载台平面形成30°～60°夹角。

7.根据权利要求1所述的一种探针台，其特征在于：所述载台为方形结构，所述载台与所述基座螺栓连接，且所述载台处于所述基座的正中间位置。

8.根据权利要求1所述的一种探针台，其特征在于：所述镜头为电子显微镜或光学显微镜。

9.根据权利要求4所述的一种探针台，其特征在于：所述第一滑块的X轴方向的移动行程为0～50mm，所述第二滑块的Y轴方向的移动行程为0～160mm。

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