CN217940491U

CN217940491U - 一种带电除尘装置

Info

Publication number: CN217940491U
Application number: CN202221971189.5U
Authority: CN
Inventors: 王福清
Original assignee: Shanghai Xie Micro Environment Technology Co ltd
Current assignee: Shanghai Xie Micro Environment Technology Co ltd
Priority date: 2022-07-28
Filing date: 2022-07-28
Publication date: 2022-12-02
Anticipated expiration: 2032-07-28

Abstract

本实用新型公开了一种带电除尘装置，属于半导体有害气体处理技术领域，解决了现有技术中尾气处理设备无法捕集粒径较小的粉尘颗粒容易堵塞后续的出气管、未被捕集的粉尘颗粒排放至大气环境中造成环境污染的问题。该带电除尘装置包括阳极沉淀筒以及设于阳极沉淀筒内的阴极，阴极与供电单元连接，阳极沉淀筒接地。该带电除尘装置可用于泛半导体加工工艺产生的尾气处理。

Description

一种带电除尘装置

技术领域

本实用新型属于半导体有害气体处理技术领域，尤其涉及一种带电除尘装置。

背景技术

在尾气处理中，现有的尾气处理设备通常仅能够捕集粒径较大的粉尘颗粒，对于粒径较小的未被前一处理设备捕集的粉尘颗粒随着尾气直接排放至出气管中，容易造成出气管的堵塞。

此外，未被捕集的粉尘颗粒还会通过出气管排放至大气环境中，造成环境污染。

实用新型内容

鉴于以上分析，本实用新型旨在提供一种带电除尘装置，解决了现有技术中尾气处理设备无法捕集粒径较小的粉尘颗粒容易堵塞后续的出气管、未被捕集的粉尘颗粒排放至大气环境中造成环境污染的问题。

本实用新型的目的主要是通过以下技术方案实现的：

本实用新型提供了一种带电除尘装置，包括阳极沉淀筒以及设于阳极沉淀筒内的阴极，阴极与供电单元连接，阳极沉淀筒接地。

进一步地，阴极的外表面带有突刺。

进一步地，阳极沉淀筒的出气端设有清壁喷嘴。

进一步地，阳极沉淀筒的进气端设有缓冲管；

沿逐渐靠近阳极沉淀筒的方向，缓冲管的截面面积逐渐增大。

进一步地，缓冲管内沿轴向设有多个均流板，均流板上开设均流孔，相邻两个均流板上的均流孔交错布置。

进一步地，缓冲管的数量为一个，一个缓冲管对应多个阳极沉淀筒。

进一步地，阴极和阳极沉淀筒的数量为多个，两者一一对应。

进一步地，阳极沉淀筒的横截面形状为圆形，阳极沉淀筒分为设于中心的中心阳极沉淀筒以及围绕中心阳极沉淀筒的周围阳极沉淀筒；

或者，阳极沉淀筒的横截面形状为正六边形，相邻两个阳极沉淀筒公用同一个侧壁，多个阳极沉淀筒排列成蜂窝状。

进一步地，还包括除尘壳体，阳极沉淀筒设于除尘壳体中。

进一步地，除尘壳体上开设透明的观察窗。

与现有技术相比，本实用新型至少可实现如下有益效果之一：

本实施例提供的带电除尘装置，供电单元提供的高压电流通入阴极，与接地的阳极沉淀筒间产生不平衡的电场，不平衡电场产生电晕放电将阴极与阳极沉淀筒之间的气体电离，气体中的电子向阳极沉淀筒运动，撞到粉尘颗粒使粉尘颗粒携带电子而带负电，带负电的粉尘颗粒在电场作用下继续向阳极沉淀筒运动，到达阳极沉淀筒后放出电子，粉尘颗粒则沉积在阳极沉淀筒上，从而实现微小粉尘颗粒的捕集，有效解决后续出气管堵塞以及带有粉尘颗粒的尾气排至环境中导致环境污染的问题。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分的从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图仅用于示出具体实施例的目的，而并不认为是对本实用新型的限制，在整个附图中，相同的参考符号表示相同的部件。

图1为本实用新型实施例一提供的带电除尘装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一提供的带电除尘装置局部示意图；

图3为本实用新型实施例一提供的带电除尘装置中阳极沉淀筒的布置方式示意图；

图4为本实用新型实施例一提供的带电除尘装置中阳极沉淀筒的另一种布置方式示意图。

附图标记：

1-阳极沉淀筒；2-阴极；3-清壁喷嘴；4-除尘壳体；5-观察窗；6-缓冲管；7-均流板；8-排气管。

具体实施方式

下面结合附图来具体描述本实用新型的优选实施例，其中，附图构成本实用新型的一部分，并与本实用新型的实施例一起用于阐释本实用新型的原理。

实施例一

本实施例提供了一种带电除尘装置，参见图1至图4，包括阳极沉淀筒1以及设于阳极沉淀筒1内的带有突刺的阴极2，阳极沉淀筒1与前一处理设备的出气口连接，阴极2与供电单元(例如，高压供电单元，其提供的电压可达几万伏)连接。

可以理解的是，上述带电除尘装置的出气口可以通过出气管8与后续设备或大气环境连通，阳极沉淀筒1接地。

实施时，开启供电单元，供电单元提供的高压电流通入阴极2，与接地的阳极沉淀筒1间产生不平衡的电场，不平衡电场产生电晕放电将阴极2与阳极沉淀筒1之间的气体电离，气体中的电子向阳极沉淀筒1运动，撞到粉尘颗粒使粉尘颗粒携带电子而带负电，带负电的粉尘颗粒在电场作用下继续向阳极沉淀筒1运动，到达阳极沉淀筒1后放出电子，粉尘颗粒则沉积在阳极沉淀筒1上，从而实现微小粉尘颗粒的捕集。

与现有技术相比，本实施例提供的带电除尘装置，供电单元提供的高压电流通入阴极2，与接地的阳极沉淀筒1间产生不平衡的电场，不平衡电场产生电晕放电将阴极2与阳极沉淀筒1之间的气体电离，气体中的电子向阳极沉淀筒1运动，撞到粉尘颗粒使粉尘颗粒携带电子而带负电，带负电的粉尘颗粒在电场作用下继续向阳极沉淀筒1运动，到达阳极沉淀筒1后放出电子，粉尘颗粒则沉积在阳极沉淀筒1上，从而实现微小粉尘颗粒的捕集，有效解决后续出气管8堵塞以及带有粉尘颗粒的尾气排至环境中导致环境污染的问题。

需要说明的是，本实施例的带电除尘装置尤其适用于粉尘颗粒量较大的工艺，例如，在光伏行业CVD工艺过程中会产生大量的SiO₂粉尘，该系统基本上能够捕集粒径范围为0.01～100μm的微小粉尘颗粒，特别是捕集10μm以下的微小粉尘颗粒。

值得注意的是，粉尘颗粒会不断沉积在阳极沉淀筒1的内壁，为了能够对阳极沉淀筒1的内壁进行定期清理，上述阳极沉淀筒1的出气端设有清壁喷嘴3，当阳极沉淀筒1内壁的粉尘颗粒大量堆积时，可以短时间内开启反冲洗功能，清壁喷嘴3喷出的液体能够对阳极沉淀筒1的内壁进行冲洗，使得阳极沉淀筒1内壁上的粉尘颗粒被冲回至前一处理设备中，并进一步流入水箱中。

考虑到尾气在阳极沉淀筒1内的流速会直接影响粉尘颗粒的捕集效率，尾气流速越低，则捕集效率越高，因此，上述阳极沉淀筒1的进气口通过缓冲管6与前一处理设备(例如，喷淋塔)连接，沿逐渐靠近阳极沉淀筒1的方向，缓冲管6的截面面积逐渐增大。这样，在前一处理设备的出气口处压力不变的情况下，随着缓冲管6的截面面积的增大，尾气的流速会逐渐减小，从而能够保证粉尘颗粒在阳极沉淀筒1中的充分捕集，提高捕集效率。

为了能够进一步降低尾气流速，上述缓冲管6内沿轴向设有多个均流板7，均流板7上开设均流孔，相邻两个均流板7上的均流孔交错布置，也就是说，相邻两个均流板7上的均流孔的轴线不重合。这样，通过交错布置的均流孔，能够有效延长尾气的流动路径，同时还能够增大尾气的流动阻力，从而能够进一步降低尾气流速。

同样地，除了降低尾气流速以外，也可以通过增加阴极2和阳极沉淀筒1的数量来提高捕集效率，示例性地，阴极2和阳极沉淀筒1的数量为多个，两者一一对应。

为了有效简化整体结构，上述缓冲管6的数量为一个，一个缓冲管6对应多个阳极沉淀筒1，也就是说，多个阳极沉淀筒1通过一个缓冲管6与前一处理设备的出气口连通。

为了在一定的体积内尽量增加阳极沉淀筒1的布置数量，示例性地，阳极沉淀筒1的横截面形状可以为圆形，阳极沉淀筒1分为设于中心的中心阳极沉淀筒以及围绕中心阳极沉淀筒的周围阳极沉淀筒；或者，阳极沉淀筒1的横截面形状可以为正六边形，相邻两个阳极沉淀筒1公用同一个侧壁，多个阳极沉淀筒1排列成蜂窝状，采用此种形状的阳极沉淀筒1，一方面，相邻两个阳极沉淀筒1之间不存在缝隙，从而能够最大程度地增大阳极沉淀筒1的布置数量，另一方面，由于相邻两个阳极沉淀筒1公用同一个侧壁，从而能够有效减少阳极沉淀筒1使用的材料量。

可以理解的是，为了能够对阳极沉淀筒1进行保护，提高带电除尘装置的整体性，上述带电除尘装置还包括除尘壳体4，阳极沉淀筒1设于除尘壳体4中。

为了能够使操作者实时了解阳极沉淀筒1内的粉尘颗粒捕集量，上述除尘壳体4上开设观察窗5，观察窗5由透明材料制成，操作者可以通过观察窗5实时了解阳极沉淀筒1内的粉尘颗粒捕集量。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种带电除尘装置，其特征在于，包括阳极沉淀筒以及设于阳极沉淀筒内的阴极，所述阴极与供电单元连接，所述阳极沉淀筒接地。

2.根据权利要求1所述的带电除尘装置，其特征在于，所述阴极的外表面带有突刺。

3.根据权利要求1所述的带电除尘装置，其特征在于，所述阳极沉淀筒的出气端设有清壁喷嘴。

4.根据权利要求1所述的带电除尘装置，其特征在于，所述阳极沉淀筒的进气端设有缓冲管；

沿逐渐靠近阳极沉淀筒的方向，所述缓冲管的截面面积逐渐增大。

5.根据权利要求4所述的带电除尘装置，其特征在于，所述缓冲管内沿轴向设有多个均流板，所述均流板上开设均流孔，相邻两个均流板上的均流孔交错布置。

6.根据权利要求4所述的带电除尘装置，其特征在于，所述缓冲管的数量为一个，一个缓冲管对应多个阳极沉淀筒。

7.根据权利要求1所述的带电除尘装置，其特征在于，所述阴极和阳极沉淀筒的数量为多个，两者一一对应。

8.根据权利要求1所述的带电除尘装置，其特征在于，所述阳极沉淀筒的横截面形状为圆形，所述阳极沉淀筒分为设于中心的中心阳极沉淀筒以及围绕中心阳极沉淀筒的周围阳极沉淀筒；

或者，所述阳极沉淀筒的横截面形状为正六边形，相邻两个阳极沉淀筒公用同一个侧壁，多个阳极沉淀筒排列成蜂窝状。

9.根据权利要求1至8任一项所述的带电除尘装置，其特征在于，还包括除尘壳体，所述阳极沉淀筒设于除尘壳体中。

10.根据权利要求9所述的带电除尘装置，其特征在于，所述除尘壳体上开设透明的观察窗。