CN217932418U - 一种匀胶显影机的废液回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及废液回收技术领域，具体涉及一种匀胶显影机的废液回收装置。本实用新型提供一种能对匀胶显影机的废液进行充分过滤和净化的匀胶显影机的废液回收装置。本实用新型提供了这样一种匀胶显影机的废液回收装置，包括有储液箱、滤网、排污管和活性炭棉等；储液箱的上部连接有用于将废液进行初次过滤的滤网，储液箱上部与下部之间连接处安装有排污管，排污管连接有与之适配的用于对经滤网过滤后的液体再次净化的活性炭棉。通过滤网对废液进行初步过滤，通过活性炭棉对经滤网过滤后的液体进行二次过滤，通过加热管和导热板的配合，实现废液的充分过滤与净化，从而实现废液回收功能。

Description

一种匀胶显影机的废液回收装置

技术领域

本实用新型涉及废液回收技术领域，具体涉及一种匀胶显影机的废液回收装置。

背景技术

匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等，因此，匀胶显影机在使用显影液显影后需要对晶圆表面进行清洗，去除吸附在晶圆表面的显影液。

随着电子产品行业的发展，匀胶显影机中显影液的使用量也越来越多，因此针对匀胶显影机中晶圆表面清洗产生的废液处理也愈发受到关注，因为废液对水资源污染较大，因此需要经过处理之后才可以排放，目前对匀胶显影机清洗产生的废液大多是简单过滤后便排入排污管道中，存在过滤和净化不彻底致使污染环境的缺点。

因此，需要设计一种能对匀胶显影机的废液进行充分过滤和净化的匀胶显影机的废液回收装置。

实用新型内容

本实用新型为了克服现有技术中对匀胶显影机的废液仅进行简单过滤和净化致使过滤和净化不彻底而污染环境的缺点，本实用新型要解决的技术问题是提供一种能对匀胶显影机的废液进行充分过滤和净化的匀胶显影机的废液回收装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种匀胶显影机的废液回收装置，包括有储液箱、滤网、排污管、活性炭棉、导热板和加热管，储液箱的上部连接有用于将废液进行初次过滤的滤网，上部储液箱与下部储液箱之间连接处安装有排污管，排污管连接有与之适配的用于对经滤网过滤后的液体再次净化的活性炭棉，下部储液箱内设有用于对经活性炭棉过滤后的废液进行高温消毒的加热管，加热管外侧连接有加速热量传递的导热板。

优选地，还包括有挡板和滑动板，下部储液箱的上部连接有与之适配的挡板，挡板上滑动式连接有与其开口适配的滑动板。

优选地，还包括有排水管和盖板，下部储液箱的一侧对称地连接有用于排放净化后的液体的排水管，排水管安装有与之适配的盖板。

优选地，还包括有限位杆，活性炭棉一侧的上部连接有限位杆。

优选地，还包括有把手、清理杆和拉伸弹簧，储液箱连接有滤网的一侧滑动式连接有与之适配的清理杆，清理杆与滤网接触，清理杆与储液箱一侧之间连接有拉伸弹簧，清理杆靠近排污管的一侧连接有把手。

优选地，还包括有收集箱，上部储液箱的一侧安装有用于收集滤网过滤中的残渣的收集箱。

本实用新型具有的有益效果是：通过滤网对废液进行初步过滤，通过活性炭棉对经滤网过滤后的液体进行二次过滤，通过加热管和导热板的配合，实现对过滤后的液体进行高温消毒，实现对匀胶显影机清洗所产生的废液进行充分过滤与净化功能，处理后的液体经排水管完成回收再利用，实现废液回收利用功能，本装置能对匀胶显影机的废液进行充分的过滤与净化，避免对环境产生污染。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的第一种部分立体结构示意图。

图3为本实用新型的部分剖视图。

图4为本实用新型的第二种部分立体结构示意图。

图5为本实用新型的部分局部方大图。

附图中的标记为：1-储液箱，2-滤网，3-排污管，4-活性炭棉，5-挡板，6-排水管，7-盖板，8-滑动板，9-导热板，10-加热管，11-限位杆，12-把手，13-清理杆，14-拉伸弹簧，15-收集箱。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。

实施例1

如图1-3所示，一种匀胶显影机的废液回收装置，包括有储液箱1、滤网2、排污管3、活性炭棉4、导热板9和加热管10，储液箱1的上部通过胶接连接的方式连接有用于将废液进行初次过滤的滤网2，上部储液箱1的前部与下部储液箱1之间连接处安装有长方形的排污管3，排污管3连接有与之适配的用于对经滤网2过滤后的液体再次净化的活性炭棉4，下部储液箱1内设有用于对经活性炭棉4过滤后的废液进行高温消毒的加热管10，加热管10外侧连接有加速热量传递的导热板9。

如图1所示，还包括有排水管6和盖板7，下部储液箱1的前侧左右对称地连接有用于排放净化后的液体的排水管6，排水管6与下部储液箱1内连通，排水管6安装有与之适配的盖板7。

当需要使用本装置对匀胶显影机晶圆清洗后的废液进行净化回收时，工作人员首先将废液倒入上部储液箱1顶部的滤网2中，滤网2对废液进行初步过滤，过滤后的液体经上部储液箱1的前部活性炭棉4进行过滤，过滤后流入下部储液箱1，启动下部储液箱1中的加热管10，加热管10迅速加热，加热产生的热量经导热板9导入下部储液箱1的液体，由此通过加热产生高温对净化后的液体进行高温消毒，实现对净化后的液体高温消杀，储液箱1中液体经净化和高温消毒后，通过排水管6排至指定地点即可。

实施例2

如图4-5所示，在实施例1的基础之上，还包括有限位杆11、把手12、清理杆13和拉伸弹簧14，活性炭棉4左侧的上部连接有限位杆11，活性炭棉4与限位杆11为一体式设计，上部储液箱1顶部滑动式连接有与之适配的清理杆13，清理杆13与滤网2接触，清理杆13与储液箱1前部右侧之间连接有拉伸弹簧14，清理杆13前部通过胶接的方式连接有把手12。

如图4所示，还包括有收集箱15，上部储液箱1的右侧安装有用于收集滤网2过滤中的残渣的收集箱15，收集箱15为可拆卸式设计。

当需要清理滤网2上的残渣时，工作人员向上提拉限位杆11，限位杆11带动与之连接的活性炭棉4沿着排污管3向上运动，由此解除限位杆11对清理杆13的限位作用，在拉伸弹簧14弹力的作用下，拉伸弹簧14便带动与之连接的清理杆13由左往右对滤网2进行清理，清理的残值便掉落至右侧的收集箱15内收集，同时，工作人员将活性炭棉4进行更换，完成后，工作人员将活性炭棉4重新与排污管3滑动连接，并将清理杆13由右往左滑动，使用限位将其固定。

如图1所示，还包括有挡板5和滑动板8，下部储液箱1的上部连接有与之适配的挡板5，挡板5上滑动式连接有与其开口适配的滑动板8。

在对下部储液箱1内的液体进行高温消毒时，通过挡板5和滑动板8与下部储液箱1进行封闭，加热效率更高，有益于节省能源。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形、改进及替代，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (6)

1.一种匀胶显影机的废液回收装置，包括有储液箱(1)和滤网(2)，储液箱(1)的上部连接有用于将废液进行初次过滤的滤网(2)，其特征在于，还包括有排污管(3)、活性炭棉(4)、导热板(9)和加热管(10)，上部储液箱(1)与下部储液箱(1)之间连接处安装有排污管(3)，排污管(3)连接有与之适配的用于对经滤网(2)过滤后的液体再次净化的活性炭棉(4)，下部储液箱(1)内设有用于对经活性炭棉(4)过滤后的废液进行高温消毒的加热管(10)，加热管(10)外侧连接有加速热量传递的导热板(9)。

2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的废液回收装置，其特征在于，还包括有挡板(5)和滑动板(8)，下部储液箱(1)的上部连接有与之适配的挡板(5)，挡板(5)上滑动式连接有与其开口适配的滑动板(8)。

3.根据权利要求2所述的一种匀胶显影机的废液回收装置，其特征在于，还包括有排水管(6)和盖板(7)，下部储液箱(1)的一侧对称地连接有用于排放净化后的液体的排水管(6)，排水管(6)安装有与之适配的盖板(7)。

4.根据权利要求3所述的一种匀胶显影机的废液回收装置，其特征在于，还包括有限位杆(11)，活性炭棉(4)一侧的上部连接有限位杆(11)。

5.根据权利要求4所述的一种匀胶显影机的废液回收装置，其特征在于，还包括有把手(12)、清理杆(13)和拉伸弹簧(14)，储液箱(1)连接有滤网(2)的一侧滑动式连接有与之适配的清理杆(13)，清理杆(13)与滤网(2)接触，清理杆(13)与储液箱(1)一侧之间连接有拉伸弹簧(14)，清理杆(13)靠近排污管(3)的一侧连接有把手(12)。

6.根据权利要求5所述的一种匀胶显影机的废液回收装置，其特征在于，还包括有收集箱(15)，上部储液箱(1)的一侧安装有用于收集滤网(2)过滤中的残渣的收集箱(15)。

Images