CN217846890U - 一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种冷却装置，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置。本实用新型的技术问题：提供一种可以进行接触式的冷却，冷却效率较高的光刻胶匀胶显影机的冷却装置。一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，包括有冷液存放盒、支撑架、放置台和冷却管等；冷液存放盒右上部前后两侧均连接有支撑架，支撑架之间连接有放置台，放置台和冷液存放盒连接，放置台中部连接有冷却管。本实用新型的水泵可以将冷却液吸入冷却管内，对光刻胶匀胶显影机的硅片进行冷却，且光刻胶匀胶显影机的硅片和冷却管接触，从而能够加快冷却速度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种冷却装置，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置。
背景技术
硅片是光刻胶匀胶显影机中必不可少的部件，在使用时，需要对曝光后烘干的硅片进行降温，现在一般是通过冷板对光刻胶匀胶显影机的硅片进行冷却，冷板上有冷却通道，冷却通道连通冷却液供应系统，但是冷板不能和光刻胶匀胶显影机的硅片接触，导致冷却效率低下。
针对目前存在的问题，设计一种可以进行接触式的冷却，冷却效率较高的冷却装置。
实用新型内容
为了克服冷板不能和光刻胶匀胶显影机的硅片接触，导致冷却效率低下的缺点，本实用新型的技术问题：提供一种可以进行接触式的冷却，冷却效率较高的光刻胶匀胶显影机的冷却装置。
本实用新型的技术实施方案是：一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，包括有冷液存放盒、支撑架、放置台、进液管、冷却管、出液管和水泵，冷液存放盒右上部前后两侧均连接有支撑架，支撑架之间连接有放置台，放置台和冷液存放盒连接，放置台中部连接有冷却管，冷液存放盒左部连接有出液管，出液管和冷却管连接且连通，冷液存放盒内底部连接有水泵，水泵上连接有进液管，进液管和冷却管连接且连通。
可选地，还包括有放置环和弹片，放置台顶部左侧转动式连接有放置环，放置台顶部前后两侧均连接有弹片，弹片和放置环接触。
可选地，还包括有斜块和弹簧，放置台顶部右侧滑动式设有能够将放置环卡住的斜块，斜块和放置台之间连接有至少三根弹簧。
可选地，还包括有冷风机，冷液存放盒后侧安装有冷风机。
可选地，还包括有支撑杆，放置台底部前侧连接有支撑杆。
本实用新型的有益效果：1、本实用新型的水泵可以将冷却液吸入冷却管内，对光刻胶匀胶显影机的硅片进行冷却，且光刻胶匀胶显影机的硅片和冷却管接触，从而能够加快冷却速度。
2、可以将光刻胶匀胶显影机的硅片放在放置环上，使光刻胶匀胶显影机的硅片慢慢的和冷却管接触，避免光刻胶匀胶显影机的硅片受损。
附图说明
图1为本实用新型的立体示意图。
图2为本实用新型的放置台、进液管等部分立体结构示意图。
图3为本实用新型的冷液存放盒、冷却管等部分立体结构示意图。
图4为本实用新型的进液管、冷却管等部分立体结构示意图。
图5为本实用新型的斜块、弹簧等部分立体结构示意图。
图6为本实用新型A部分的放大示意图。
附图标号：1_支撑杆，2_冷液存放盒，202_支撑架，3_放置台，301_进液管，302_冷却管，303_出液管，304_水泵，305_冷风机，401_斜块，402_弹簧，5_放置环，501_弹片。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步地进行说明。
实施例1
一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，如图1-4所示，包括有冷液存放盒2、支撑架202、放置台3、进液管301、冷却管302、出液管303和水泵304，冷液存放盒2右上部前后两侧均通过螺钉连接有支撑架202，支撑架202之间通过螺钉连接有放置台3，放置台3和冷液存放盒2通过螺钉连接，放置台3中部连接有冷却管302，冷液存放盒2左部连接有出液管303，出液管303和冷却管302连接且连通，冷液存放盒2内底部通过螺栓连接有水泵304，水泵304上通过螺纹连接有进液管301，进液管301和冷却管302连接且连通。
如图4所示，还包括有冷风机305，冷液存放盒2后侧通过螺栓安装有冷风机305。
如图1所示，还包括有支撑杆1，放置台3底部前侧通过螺栓连接有支撑杆1。
本装置放置在地面上，支撑杆1可以对放置台3进行支撑，使得放置台3更加的稳定，人们将冷却液倒入冷液存放盒2内，然后将光刻胶匀胶显影机的硅片放到放置台3上，光刻胶匀胶显影机的硅片和冷却管302接触，再启动水泵304，水泵304将冷却液吸入进液管301内，冷却液流入冷却管302内，最后通过出液管303流回冷液存放盒2内，流入冷却管302内的冷却液对光刻胶匀胶显影机的硅片进行冷却，且光刻胶匀胶显影机的硅片和冷却管302接触，从而能够加快冷却速度，冷却的温度升高之后，人们可以启动冷风机305，冷风机305对冷却液进行吹冷风，降低冷却液的温度，保证冷却液的冷却效果，光刻胶匀胶显影机的硅片冷却完成之后，关闭水泵304。
实施例2
在实施例1的基础之上，如图5所示，还包括有放置环5和弹片501，放置台3顶部左侧通过销轴连接有放置环5，放置台3顶部前后两侧均连接有弹片501，弹片501和放置环5接触。
如图5-6所示，还包括有斜块401和弹簧402，放置台3顶部右侧滑动式设有斜块401，斜块401能够将放置环5卡住，斜块401和放置台3之间连接有三根弹簧402。
人们将光刻胶匀胶显影机的硅片放到放置环5，弹片501对放置环5进行支撑，然后向下按压放置环5，弹片501被按压，当放置环5向下转动触碰到斜块401时，放置环5推动斜块401向右移动，弹簧402被压缩，当放置环5向下转动越过斜块401时，斜块401在弹簧402的作用下向左移动，斜块401将放置环5挡住，此时，光刻胶匀胶显影机的硅片和冷却管302接触，如此能够使光刻胶匀胶显影机的硅片慢慢的和冷却管302接触，避免光刻胶匀胶显影机的硅片受损，光刻胶匀胶显影机的硅片冷却完成之后，人们向右移动斜块401，弹簧402被压缩，斜块401和放置环5不接触时，放置环5在弹片501的作用下向上转动复位，然后松开斜块401，斜块401在弹簧402的作用下向左移动复位。
上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式，在本领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化。
Claims (5)
1.一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，包括有冷液存放盒(2)，其特征是，还包括有支撑架(202)、放置台(3)、进液管(301)、冷却管(302)、出液管(303)和水泵(304)，冷液存放盒(2)右上部前后两侧均连接有支撑架(202)，支撑架(202)之间连接有放置台(3)，放置台(3)和冷液存放盒(2)连接，放置台(3)中部连接有冷却管(302)，冷液存放盒(2)左部连接有出液管(303)，出液管(303)和冷却管(302)连接且连通，冷液存放盒(2)内底部连接有水泵(304)，水泵(304)上连接有进液管(301)，进液管(301)和冷却管(302)连接且连通。
2.按照权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征是，还包括有放置环(5)和弹片(501)，放置台(3)顶部左侧转动式连接有放置环(5)，放置台(3)顶部前后两侧均连接有弹片(501)，弹片(501)和放置环(5)接触。
3.按照权利要求2所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征是，还包括有斜块(401)和弹簧(402)，放置台(3)顶部右侧滑动式设有能够将放置环(5)卡住的斜块(401)，斜块(401)和放置台(3)之间连接有至少三根弹簧(402)。
4.按照权利要求3所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征是，还包括有冷风机(305)，冷液存放盒(2)后侧安装有冷风机(305)。
5.按照权利要求4所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征是，还包括有支撑杆(1)，放置台(3)底部前侧连接有支撑杆(1)。
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2022
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