CN217762769U - 一种相机调节固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及芯片生产技术领域，具体为一种相机调节固定装置，包括相机、调节环、转接镜筒、XY调节平台；所述相机安装在转接镜筒上端，且相机可绕转接镜筒中心线旋转，所述调节环与转接镜筒螺纹配合，且调节环可沿转接镜筒轴线升降，并带动相机沿转接镜筒轴线升降；所述转接镜筒安装在XY调节平台上，且XY调节平台用于带动转接镜筒及其上部的相机沿X轴方向、Y轴方向的自由度调节。本实用新型具备相机的X轴方向、Y轴方向的自由度，Z方向的自由度，以及调节相机Rz方向的自由度调节的优点，解决了现有技术中，无法满足相机多自由度姿态的调节，最终影响图像品质和检测质量的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片生产技术领域，具体为一种相机调节固定装置。
背景技术
随着科学技术的快速发展，半导体电子器件得到越来越广泛的应用，芯片的发展趋势也向着高精度、高稳定性的方向稳步发展。在芯片的生产过程中对于产品表面的质量要求越来越高，需要高精度，高效率的视觉检测以满足生产需要。
一般通过成像系统采集图像，进而通过算法分析检测产品表面质量，稳定的图像品质直接影响检测质量，成像过程中相机需要多自由度姿态的调节，以保证稳定的图像质量，现有技术无法满足该要求；本发明设计一种相机调节固定装置，用于满足成像过程中对相机多自由度姿态的调节且固定牢固的需要。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种相机调节固定装置，具备相机的X轴方向、Y轴方向的自由度，Z方向的自由度，以及调节相机Rz方向的自由度调节的优点，解决了现有技术中，无法满足相机多自由度姿态的调节，最终影响图像品质和检测质量的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种相机调节固定装置，包括相机、调节环、转接镜筒、XY调节平台；
所述相机安装在转接镜筒上端，且相机可绕转接镜筒中心线旋转，所述调节环与转接镜筒螺纹配合，且调节环可沿转接镜筒轴线升降，并带动相机沿转接镜筒轴线升降；
所述转接镜筒安装在XY调节平台上，且XY调节平台用于带动转接镜筒及其上部的相机沿X轴方向、Y轴方向的自由度调节。
优选的，所述相机与第一转接法兰通过螺丝连接，所述第一转接法兰的内壁为精加工内孔；
所述转接镜筒外壁上端与第一转接法兰的内孔配合，第一转接法兰可绕转接镜筒中心线旋转，以及沿转接镜筒轴线升降。
优选的，所述第一转接法兰上设置有锁紧螺丝，所述锁紧螺丝用于在相机姿态调整后的锁紧固定。
优选的，所述XY调节平台的上端面与第二转接法兰连接，所述第二转接法兰内孔与转接镜筒的外壁下端面螺纹连接。
优选的，所述XY调节平台的下端面留有螺栓安装孔，用于与其他机构连接。
优选的，所述调节环内壁为台阶状，上部为光滑圆孔，下部为螺纹孔。
优选的，所述XY调节平台包括底座、第一活动板、第二活动板，所述底座上安装有带动第一活动板沿X轴方向平移的第一气缸，所述第一活动板上安装有带动第二活动板沿Y轴方向平移的第二气缸，所述转接镜筒安装在第二活动板上。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
本实用新型结构简单紧凑、占用空间小，适用性好；可以实现可调节相机的X轴方向、Y轴方向的自由度，Z方向的自由度，以及调节相机Rz方向的自由度，相机姿态调节方便快捷、调节后固定牢固，可满足对于相机高稳定性的要求。
附图说明
图1为本实用新型主视图；
图2为本实用新型正面剖视图；
图3为本实用新型XY调节平台结构示意图。
图中：1、相机；2、第一转接法兰；3、调节环；4、转接镜筒；5、第二转接法兰；6、XY调节平台；7、锁紧螺丝。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1和2所示，一种相机调节固定装置，用于调节相机1多自由度姿态，且锁紧固定相机1位置：包括相机1、第一转接法兰2、调节环3、转接镜筒4、第二转接法兰5、XY调节平台6、锁紧螺丝7；
相机1与第一转接法兰2通过螺丝连接，其中，第一转接法兰2的内壁为精加工内孔；转接镜筒4外壁上端为精加工轴面，与第一转接法兰2的内孔配合，第一转接法兰2可绕转接镜筒4中心线旋转，以及沿转接镜筒4轴线升降；转接镜筒4外壁下端为精密螺纹；调节环3内壁为台阶状，上部为精加工内孔，下部为精密螺纹；调节环3与转接镜筒4螺纹配合，同时调节环3可沿转接镜筒4轴线升降；第二转接法兰5内孔为精密螺纹，下端面为法兰面与XY调节平台6通过螺栓连接；
如图3所示，XY调节平台6整体设计，具备X轴方向、Y轴方向的自由度调节；XY调节平台6的上端面与转换法兰B连接，下端面留有螺栓安装孔，便于与其他机构连接；XY调节平台6包括底座、第一活动板、第二活动板，底座上安装有带动第一活动板沿X轴方向平移的第一气缸，第一活动板上安装有带动第二活动板沿Y轴方向平移的第二气缸，转接镜筒4安装在第二活动板上。
锁紧螺丝7设置在第一转接法兰2上，用于相机1姿态调整后的锁紧固定。
使用时，通过调节XY调节平台6可调节相机1的X轴方向、Y轴方向的自由度；通过旋转调节环3，使其位于转接镜筒4轴线的不同位置，可调节相机1的Z方向自由度；当调节环3的位置调整后，可旋转第一转接法兰2使其绕转接镜筒4中心旋转，可调节相机1Rz方向的自由度；上述自由度调节完成后，通过锁紧螺丝7可固定相机1，使其保证现有姿态稳定。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种相机调节固定装置，其特征在于：包括相机（1）、调节环（3）、转接镜筒（4）、XY调节平台（6）；
所述相机（1）安装在转接镜筒（4）上端，且相机（1）可绕转接镜筒（4）中心线旋转，所述调节环（3）与转接镜筒（4）螺纹配合，且调节环（3）可沿转接镜筒（4）轴线升降，并带动相机（1）沿转接镜筒（4）轴线升降；
所述转接镜筒（4）安装在XY调节平台（6）上，且XY调节平台（6）用于带动转接镜筒（4）及其上部的相机（1）沿X轴方向、Y轴方向的自由度调节。
2.根据权利要求1所述的一种相机调节固定装置，其特征在于：所述相机（1）与第一转接法兰（2）通过螺丝连接，所述第一转接法兰（2）的内壁为精加工内孔；
所述转接镜筒（4）外壁上端与第一转接法兰（2）的内孔配合，第一转接法兰（2）可绕转接镜筒（4）中心线旋转，以及沿转接镜筒（4）轴线升降。
3.根据权利要求2所述的一种相机调节固定装置，其特征在于：所述第一转接法兰（2）上设置有锁紧螺丝（7），所述锁紧螺丝（7）用于在相机（1）姿态调整后的锁紧固定。
4.根据权利要求1所述的一种相机调节固定装置，其特征在于：所述XY调节平台（6）的上端面与第二转接法兰（5）连接，所述第二转接法兰（5）内孔与转接镜筒（4）的外壁下端面螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的一种相机调节固定装置，其特征在于：所述XY调节平台（6）的下端面留有螺栓安装孔，用于与其他机构连接。
6.根据权利要求1所述的一种相机调节固定装置，其特征在于：所述调节环（3）内壁为台阶状，上部为光滑圆孔，下部为螺纹孔。
7.根据权利要求1所述的一种相机调节固定装置，其特征在于：所述XY调节平台（6）包括底座、第一活动板、第二活动板，所述底座上安装有带动第一活动板沿X轴方向平移的第一气缸，所述第一活动板上安装有带动第二活动板沿Y轴方向平移的第二气缸，所述转接镜筒（4）安装在第二活动板上。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202221480935.0U CN217762769U (zh) | 2022-06-14 | 2022-06-14 | 一种相机调节固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202221480935.0U CN217762769U (zh) | 2022-06-14 | 2022-06-14 | 一种相机调节固定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN217762769U true CN217762769U (zh) | 2022-11-08 |
Family
ID=83893454
Family Applications (1)
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| CN202221480935.0U Active CN217762769U (zh) | 2022-06-14 | 2022-06-14 | 一种相机调节固定装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN217762769U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115628809A (zh) * | 2022-12-21 | 2023-01-20 | 聚时科技(深圳)有限公司 | 一种光源调节装置及成像系统 |
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2022
- 2022-06-14 CN CN202221480935.0U patent/CN217762769U/zh active Active
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