CN217670322U - 一种晶圆裂片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶圆裂片机，属于半导体制造技术领域，包括支撑板，所述支撑板上设置第一滑槽，所述第一滑槽内设置螺纹杆，所述第一滑槽内设置第一滑块，所述第一滑块通过螺纹孔与螺纹杆相连接，所述支撑板端部设置步进电机，所述步进电机的输出轴与螺纹杆端部相连接，所述第一滑块上对应晶圆设置夹持机构，所述支撑板侧边设置固定块，所述固定块上设置切割机构；本实用新型可以将切割后的晶圆沿着划痕进行切割，并且切割的过程中压辊能够和夹持机构能够对晶圆进行限位和固定，从而使得切割机构上的切割刀能够准确的接触到晶圆的划痕上。

Description

一种晶圆裂片机

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆裂片机。

背景技术

圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；碳化硅晶圆经激光切割后未完全切断，在晶圆表面或内部产生纵向和横向的裂痕。对已划切好晶片进行裂片使晶片上晶粒成为单独的个体，目前主要是通过人工手动作业完成，由于工作人员用力不均匀，使用操作设备过于笨重是影响晶粒产量的主要因素，其缺点如下：现有的操作全部由人力完成，增加人员操作成本；人员变动大，影响生产效率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种晶圆裂片机，将切割后的晶圆沿着划痕进行切割，并且切割的过程中压辊能够和夹持机构能够对晶圆进行限位和固定，从而使得切割机构上的切割刀能够准确的接触到晶圆的划痕上。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆裂片机，包括支撑板，所述支撑板上设置第一滑槽，所述第一滑槽内设置螺纹杆，所述第一滑槽内设置第一滑块，所述第一滑块通过螺纹孔与螺纹杆相连接，所述支撑板端部设置步进电机，所述步进电机的输出轴与螺纹杆端部相连接，所述第一滑块上对应晶圆设置夹持机构，所述支撑板侧边设置固定块，所述固定块上设置切割机构。

进一步的，所述夹持机构包括设置在第一滑块端部设置的定位块，所述定位块上设置活动孔，所述活动孔内滑动设置活动杆，所述活动杆端部设置挡板，所述活动杆上设置第一弹簧，所述第一弹簧一端与挡板相连接，所述第一弹簧另一端与定位块相连接，所述活动杆另一端设置压板。

进一步的，所述活动孔与活动杆的横截面均为多边形结构。

进一步的，所述压板底部与第一滑块上表面之间设置橡胶层。

进一步的，所述切割机构包括设置在固定块上的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上设置转盘，所述转盘上设置卡块，所述卡块上通过铰接设置连接杆，所述固定块侧边设置导向块，所述导向块上设置导向孔，所述导向孔内设置导向杆，所述连接杆端部通过铰接与到导向杆端部相连接，所述导向杆端部设置切割刀片。

进一步的，所述导向杆与导向孔的横截面均为多边形结构。

进一步的，所述支撑板端部两侧设置限位块，两个所述限位块上均设置第二滑槽，所述第二滑槽内设置第二滑块，两个第二滑块之间设置压辊，所述第二滑槽内设置第二弹簧，所述第二弹簧一端与第二滑块相连接，所述第二弹簧另一端与第二滑槽底部相连。

进一步的，所述第二滑槽为T形结构。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：

1、控制切割机构上驱动电机工作能够使得导向杆不断带着切割刀下移，从而使得切割刀对晶圆进行切割。

2、控制步进电机工作就能够使得夹持机构带着向切割刀片移动，在移动的过程中切割刀对晶圆进行切割，并且压辊能够对晶圆进行压制，防止切割刀片对晶圆进行切割时在惯性和压力的作用下多震落一段。

附图说明

图1为本实用新型一种晶圆裂片机的结构示意图；

图2为本实用新型A处的结构示意图；

图3为本实用新型压辊侧视图的结构示意图；

图4为本实用新型固定块侧视图的结构示意图。

1、支撑板；2、第一滑槽；3、螺纹杆；4、第一滑块；5、步进电机；6、定位块；7、活动孔；8、活动杆；9、挡板；10、第一弹簧；11、压板；12、驱动电机；13、转盘；14、卡块；15、连接杆；16、导向块；17、导向孔；18、导向杆；19、切割刀片；20、限位块；21、第二滑槽；22、第二滑块；23、压辊；24、第二弹簧；26、固定块。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图1-4，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-4所示：一种晶圆裂片机，包括支撑板1，所述支撑板1上设置第一滑槽2，所述第一滑槽2内设置螺纹杆3，所述第一滑槽2内设置第一滑块4，所述第一滑块4通过螺纹孔与螺纹杆3相连接，所述支撑板1端部设置步进电机5，所述步进电机5的输出轴与螺纹杆3端部相连接，所述第一滑块4上对应晶圆设置夹持机构，所述支撑板1侧边设置固定块26，所述固定块26上设置切割机构；将切割后的晶圆沿着划痕进行切割，并且切割的过程中压辊23能够和夹持机构能够对晶圆进行限位和固定，从而使得切割机构上的切割刀能够准确的接触到晶圆的划痕上。

具体而言，一种晶圆裂片机，将晶圆一端放置在第一滑块4上，然后控制夹持机构对晶圆进行夹持，然后控制步进电机5工作，步进电机5能够带动螺纹杆3在第一滑槽2内转动，进而螺纹杆3就能够通过螺纹孔带动第一滑块4第一滑槽2内移动，第一滑块4移动就能够带动晶圆向前移动，步进电机5每次间接控制第一滑块4移动的距离与晶圆上划痕之间的距离一致，从而晶圆每次位移之后晶圆上的划痕都在切割刀下方，切割刀就能够精准的对晶圆进行切割。

根据本实用新型的一个实施例，如图1-2所示，

所述夹持机构包括设置在第一滑块4端部设置的定位块6，所述定位块6上设置活动孔7，所述活动孔7内滑动设置活动杆8，所述活动杆8端部设置挡板9，所述活动杆8上设置第一弹簧10，所述第一弹簧10一端与挡板9相连接，所述第一弹簧10另一端与定位块6相连接，所述活动杆8另一端设置压板11。将压板11向上拉起，然后将将晶圆放置在压板11与第一滑块4之间后松开压板11，弹簧就会推动挡板9进而使得挡板9带动活动杆8进行复位，进而使得活动杆8另一端的压板11与第一滑块4对晶圆进行夹持，并且第一滑块4移动时能够带动晶圆一起移动。

根据本实用新型的另一个实施例，如图1所示，

所述活动孔7与活动杆8的横截面均为多边形结构。从而使得活动杆8在活动控内上下移动时活动杆8不会在活动孔7内发生旋转，进而使得压板11无法对晶圆进行夹持。

在本实用新型的一个实施例中，如图1所示，

所述压板11底部与第一滑块4上表面之间设置橡胶层。橡胶层能够增大压板11和第一滑块4与晶圆之间的摩擦力，并且能够使得压板11与第一滑块4对晶圆进行夹持时不会对晶圆造成损伤。

在本实用新型的另一个实施例中，如图1、4所示，

所述切割机构包括设置在固定块26上的驱动电机12，所述驱动电机12的输出轴上设置转盘13，所述转盘13上设置卡块14，所述卡块14上通过铰接设置连接杆15，所述固定块26侧边设置导向块16，所述导向块16上设置导向孔17，所述导向孔17内设置导向杆18，所述连接杆15端部通过铰接与到导向杆18端部相连接，所述导向杆18端部设置切割刀片19。控制驱动电机12工作就能够使得驱动电机12的输出轴带动转盘13转动，卡块14设置在转盘13的偏离中心处，从而卡块14就能够通过连接杆15间接带动导向杆18在导向孔17内上下移动，然后导向杆18就能够带着切割刀不断下移从而对晶圆进行切割。

根据本实用新型的另一个实施例，如图1所示，

所述导向杆18与导向孔17的横截面均为多边形结构。即导向杆18在导向孔17内上下移动的过程中就不会发生旋转，进而使得切割刀的角度发生改变，进而造成损伤。

根据本实用新型的另一个实施例，如图1、3所示，

所述支撑板1端部两侧设置限位块20，两个所述限位块20上均设置第二滑槽21，所述第二滑槽21内设置第二滑块22，两个第二滑块22之间设置压辊23，所述第二滑槽21内设置第二弹簧24，所述第二弹簧24一端与第二滑块22相连接，所述第二弹簧24另一端与第二滑槽21底部相连。当晶圆移动到压辊23处时，压辊23就会带着两个第二滑块22向上移动，第二弹簧24能够推着第二滑块22，从而使得压辊23压着晶圆的顶部，从而防止切割刀片19对晶圆进行切割时在惯性和压力的作用下多震落一段。

根据本实用新型的另一个实施例，如图1所示，

所述第二滑槽21为T形结构。T形结构能够使得第二滑块22不会从第二滑槽21内脱落，并且能够内第二弹簧24进行导向，防止第二弹簧24在第二滑槽21内发生弯曲。

本实用新型的工作原理：

将晶圆放置在第一滑块4上，然后控制夹持机构对晶圆进行夹持，然后控制步进电机5与驱动电机12工作，步进电机5能够使得第一滑块4带着晶圆向支撑板1端部移动，晶圆移动到支撑板1端部时能够使得压辊23对晶圆进行压制，驱动电机12能够使得切割刀不断上下移动，从而对晶圆进行切割。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种晶圆裂片机，其特征在于：包括支撑板(1)，所述支撑板(1)上设置第一滑槽(2)，所述第一滑槽(2)内设置螺纹杆(3)，所述第一滑槽(2)内设置第一滑块(4)，所述第一滑块(4)通过螺纹孔与螺纹杆(3)相连接，所述支撑板(1)端部设置步进电机(5)，所述步进电机(5)的输出轴与螺纹杆(3)端部相连接，所述第一滑块(4)上对应晶圆设置夹持机构，所述支撑板(1)侧边设置固定块(26)，所述固定块(26)上设置切割机构。

2.如权利要求1所述的一种晶圆裂片机，其特征在于：所述夹持机构包括设置在第一滑块(4)端部设置的定位块(6)，所述定位块(6)上设置活动孔(7)，所述活动孔(7)内滑动设置活动杆(8)，所述活动杆(8)端部设置挡板(9)，所述活动杆(8)上设置第一弹簧(10)，所述第一弹簧(10)一端与挡板(9)相连接，所述第一弹簧(10)另一端与定位块(6)相连接，所述活动杆(8)另一端设置压板(11)。

3.如权利要求2所述的一种晶圆裂片机，其特征在于：所述活动孔(7)与活动杆(8)的横截面均为多边形结构。

4.如权利要求2所述的一种晶圆裂片机，其特征在于：所述压板(11)底部与第一滑块(4)上表面之间设置橡胶层。

5.如权利要求1所述的一种晶圆裂片机，其特征在于：所述切割机构包括设置在固定块(26)上的驱动电机(12)，所述驱动电机(12)的输出轴上设置转盘(13)，所述转盘(13)上设置卡块(14)，所述卡块(14)上通过铰接设置连接杆(15)，所述固定块(26)侧边设置导向块(16)，所述导向块(16)上设置导向孔(17)，所述导向孔(17)内设置导向杆(18)，所述连接杆(15)端部通过铰接与到导向杆(18)端部相连接，所述导向杆(18)端部设置切割刀片(19)。

6.如权利要求5所述的一种晶圆裂片机，其特征在于：所述导向杆(18)与导向孔(17)的横截面均为多边形结构。

7.如权利要求1所述的一种晶圆裂片机，其特征在于：所述支撑板(1)端部两侧设置限位块(20)，两个所述限位块(20)上均设置第二滑槽(21)，所述第二滑槽(21)内设置第二滑块(22)，两个第二滑块(22)之间设置压辊(23)，所述第二滑槽(21)内设置第二弹簧(24)，所述第二弹簧(24)一端与第二滑块(22)相连接，所述第二弹簧(24)另一端与第二滑槽(21)底部相连接。

8.如权利要求7所述的一种晶圆裂片机，其特征在于：所述第二滑槽(21)为T形结构。

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