CN217662042U - 一种风机过滤系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及的一种风机过滤系统，其设置在生产设备所形成的洁净腔的顶部，洁净腔划分为左腔体和右腔体，其中生产设备中产生有害气体和杂质的部分罩设于左腔体内，且左腔体的顶部形成有左进风口；右腔体的顶部形成有右进风口，且右腔体和左腔体两者中的一个上还形成有与左腔体相连通的排风口；风机过滤系统包括对应设置在右进风口处的右进风组件、对应设置在左进风口处的左进风组件、对应设置在排风口处的排风收集组件。本实用新型能够在生产设备内实现快速形成符合要求的洁净气流，提高净化效率，降低能耗；同时能够有效排出并收集设备产生的有害气体和杂质，避免进入室内影响人员健康。

Description

一种风机过滤系统

技术领域

本实用新型属于空气净化装置领域，具体涉及一种风机过滤系统。

背景技术

众所周知，FFU英文全称为(Fan Filter Unit)，中文为风机过滤机组，其广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室等应用场合。

目前，现有的风机过滤机组主要由与需要洁净的空间相连接的风机和滤芯构成，其中通过风机将空气吸入并经过滤芯过滤后进入该空间内流动并排出，以提供高质量的洁净空气。

但是，在实际生产过程中，现有的风机过滤机组存在以下缺陷：

1、生产线中存在能够产生有害气体或杂质时，有害气体和杂质容易随着洁净气体一起排入室内，影响室内人员健康；

2、对于大型生产线，所需洁净的空间较大，现有的风机过滤机组难以在此类生产设备内形成均匀稳定的洁净空气流，洁净效果不佳。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种改进的风机过滤系统。

为解决以上技术问题，本实用新型采取如下技术方案：

一种风机过滤系统，其设置在生产设备所形成的洁净腔的顶部，

洁净腔划分为自左向右不连通的左腔体和右腔体，其中生产设备中产生有害气体和杂质的部分罩设于左腔体内，且左腔体的顶部形成有左进风口；右腔体的顶部形成有右进风口，且右腔体和左腔体两者中的一个上还形成有与左腔体相连通的排风口；

风机过滤系统包括对应设置在右进风口处的右进风组件、对应设置在左进风口处的左进风组件、对应设置在排风口处并用于排风和收集左腔体内有害气体和杂质的排风收集组件，其中右进风组件在右腔体内形成的气压大小为P1；左进风组件在左腔体内形成的气压大小为P2，设定生产设备所处的室内气压为P0，其中P2＜P0＜P1。

优选地，右进风组件包括设置在右进风口处的右风机座、安装在右风机座上的右风机、及位于右风机下方或/和上方的右滤芯；左进风组件包括设置在左进风口处的左风机座、安装在左风机座上并与右风机相同步运作的左风机、及位于左风机下方或/和上方的左滤芯。

优选地，右进风组件还包括循环风道，其中循环风道的一端部与右腔体相连通、另一端部延伸至右风机的上方，进风时，右腔体内的气流沿着循环风道流动，并再次被右风机吸入右腔体。这样设置，通过多次循环过滤，保证洁净腔内空气的洁净度。

具体的，右腔体的顶部形成有靠近右进风口设置的循环风口，循环风道包括自循环风口向上延伸的第一风道本体、自第一风道本体的上端部向右进风口方向水平延伸的第二风道本体。

进一步的，第二风道本体罩设在右风机的上方，且第二风道本体的侧壁或/和顶部还形成有内外贯通的多个通孔。这样设置，避免影响外界空气的通过性。

优选地，右风机座自右进风口的周边向上延伸，且右风机座自顶部形成右进风端口，其中右风机罩设于右风机座内并与进风端口相对接。这样设置，安装简单、方便，且能够对风机起到保护作用。

具体的，右滤芯拦截设置在右风机与右进风口之间。

进一步的，右进风组件还包括自右进风口的周边向下延伸的导流通道，进风时，气流依次穿过右风机与右滤芯，并沿着导流通道向下进入右腔体。这样设置，便于进风时形成稳定的气流。

优选地，左风机座自左进风口的周边向上延伸，且左风机座自顶部形成左进风端口，其中左风机罩设于左风机座内并与左进风端口相对接，左滤芯拦截设置在左进风口与左风机之间。

此外，左进风组件至少有两组，且沿着生产设备延伸方向并排间隔分布。

优选地，排风口形成在右腔体的顶部，排风收集组件包括排风机、收集部件、及排风管道，其中排风机设置在排风口处，排风机通过排风管道分别与左腔体和收集部件相连接，且排风管道在左腔体上的连通处靠近左腔体的底部设置。

由于以上技术方案的实施，本实用新型与现有技术相比具有如下优点：

本实用新型通过设置左右进风组件，能够在生产设备内实现快速形成符合要求的洁净气流，提高净化效率，降低能耗；同时能够有效排出并收集设备产生的有害气体和杂质，避免进入室内影响人员健康。

附图说明

下面结合附图和具体的实施例，对本实用新型做进一步详细的说明：

图1为本实用新型的风机过滤系统的结构示意图；

图2为图1的右视示意图；

图3为右进风组件在图2中A-A向剖视示意图；

图4为左进风组件在图2中A-A向剖视示意图；

附图中：S、生产设备；q、洁净腔；q1、右腔体；k1、右进风口；k5、排风口；q2、左腔体；k2、左进风口；k3、循环风口；

1、右进风组件；10、右风机座；101、第一把手；102、右进风端口；11、右风机；12、右滤芯；13、循环风道；131、第一风道本体；132、第二风道本体；k4、通孔；14、导流通道；

2、左进风组件；20、左风机座；202、第二把手；203、左进风端口；21、左风机；22、左滤芯；

3、排风收集组件；30、排风机；31、排风管道。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

如图1所示，本实施例的风机过滤系统，其设置在生产设备J的顶部，且包括右进风组件1、左进风组件2、排风收集组件3。

具体的，生产设备S形成有洁净腔q，其中洁净腔q沿着左右方向划分为不连通的右腔体q1和左腔体q2，其中右腔体q1的顶部形成有呈长方形的右进风口k1，左腔体q2的顶部形成有呈长方形的左进风口k2，右进风组件1对应设置在右进风口k1处，左进风组件2对应设置在左进风口k2处。

同时，设定生产设备S所处的室内气压为P0，右进风组件1能够在右腔体q1内形成的气压大小为P1；左进风组件2能够在左腔体q2内形成的气压大小为P2，其中P2＜P0＜P1。

结合图2和图3所示，右进风组件1包括右风机座10、右风机11、右滤芯12、循环风道13、导流通道14。

具体的，右风机座10自右进风口k1的四周向上延伸，右风机座10的左右两侧设有第一把手101，且右风机座10自底部与右腔体q1的顶部可拆卸连接、自顶部形成右进风端口102，其中右风机11罩设于右风机座10内并与右进风端口102相对接，且右风机11形成自上而下运动的进风气流，且进风气流经过设备后自设备机体的缝隙或底部排出。这样设置，安装简单、方便，且能够对风机起到保护作用。

具体的，右滤芯12拦截设置在右风机11与右进风口k1之间。

参见图2，循环风道13的一端部与右腔体q1相连通、另一端部延伸至右风机11的上方，进风时，右腔体q1内的气流沿着循环风道13流动，并再次被右风机11吸入右腔体q1。这样设置，通过多次循环过滤，保证洁净腔内空气的洁净度。

为了方便实施，右腔体q1的顶部形成有靠近右进风口k1设置的循环风口k3，且循环风道13包括自循环风口k3向上延伸的第一风道本体131、自第一风道本体131的上端部向右进风口k1方向水平延伸的第二风道本体132。

进一步的，第二风道本体132罩设在右风机座10的顶部并位于右风机11的上方，且第二风道本体132的侧壁上还形成有内外贯通的多个通孔k4。这样设置，避免影响外界空气的通过性。

具体的，导流通道14自右进风口k1的周边向下延伸，进风时，气流依次穿过右风机11与右滤芯12，并沿着导流通道14向下进入右腔体q1。这样设置，便于进风时形成稳定的气流。

在一些具体实施方式中，比如晶圆生产线的前端设备，需要着重对刚上料的晶圆进行清洁，此时右腔体q1可进一步划分为左右相连通的两个分腔，上述的右进风组件1除了设置在左侧的分腔上，在右侧的分腔上还设有一组右风机座10、右风机11、及右滤芯12(参见图1和图3)。

此外，根据实际的生产需求在右风机座10内设置右风机11的数量，本实施例优选设置两个右风机11。

结合图4所示，左进风组件2包括左风机座20、左风机21、左滤芯22。

具体的，左风机座20自左进风口k2的四周向上延伸，左风机座20的左右两侧设有第二把手202，且左风机座20自底部与左腔体q2的顶部可拆卸连接、自顶部形成左进风端口203，其中左风机21罩设于左风机座20内并与左进风端口203相对接，且左风机21形成自上而下运动的进风气流，左滤芯22拦截设置在左进风口k2与左风机21之间。

具体的，左风机21与右风机11相同步运作。

在一些具体实施方式中，比如晶圆生产线的后端传输设备，传输行程长，空间大，可至少设置两组上述的左进风组件2(参见图1)，且沿着生产设备延伸方向并排间隔分布。

本例中，右腔体q1的顶部还形成有排风口k5，排风收集组件3包括排风机30、收集部件(图中未显示，采用本领域内常规的有害气体和杂质的收集处理装置)、及排风管道31，其中排风机30设置在排风口k5处，排风机30通过排风管道31分别与左腔体q2和收集部件相连接，且排风管道31在左腔体q2上的连通处靠近左腔体q2的底部设置，左腔体q2内的气流在排风机30的抽吸下，通过排风管道31排出左腔体q2并收集至收集部件。在一些具体实施方式中，排风口k5和排风管道31可对应设置多组。

综上所述，本实施例具有以下优势：

1、通过设置左右进风组件，能够在生产设备内实现快速形成符合要求的洁净气流，提高净化效率，降低能耗；

2、能够有效排出并收集设备产生的有害气体和杂质，避免进入室内影响人员健康；

3、适用于较大的生产设备，确保形成均匀稳定的气流，有效提高洁净效果；

4、通过进风时的多次循环过滤，保证洁净腔内空气的洁净度；

5、安装简单、方便。

以上对本实用新型做了详尽的描述，其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型的精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种风机过滤系统，其设置在生产设备所形成的洁净腔的顶部，其特征在于：

所述洁净腔划分为自左向右不连通的左腔体和右腔体，其中所述生产设备中产生有害气体和杂质的部分罩设于所述左腔体内，且所述左腔体的顶部形成有左进风口；所述右腔体的顶部形成有右进风口，且所述右腔体和左腔体两者中的一个上还形成有与所述左腔体相连通的排风口；

所述风机过滤系统包括对应设置在所述右进风口处的右进风组件、对应设置在所述左进风口处的左进风组件、对应设置在所述排风口处并用于排风和收集所述左腔体内有害气体和杂质的排风收集组件，其中所述右进风组件在所述右腔体内形成的气压大小为P1；左进风组件在所述左腔体内形成的气压大小为P2，设定所述生产设备所处的室内气压为P0，其中P2＜P0＜P1。

2.根据权利要求1所述的风机过滤系统，其特征在于：所述右进风组件包括设置在所述右进风口处的右风机座、安装在所述右风机座上的右风机、及位于所述右风机下方或/和上方的右滤芯；所述左进风组件包括设置在所述左进风口处的左风机座、安装在所述左风机座上并与所述右风机相同步运作的左风机、及位于所述左风机下方或/和上方的左滤芯。

3.根据权利要求2所述的风机过滤系统，其特征在于：所述右进风组件还包括循环风道，其中所述循环风道的一端部与所述右腔体相连通、另一端部延伸至所述右风机的上方，进风时，所述右腔体内的气流沿着所述循环风道流动，并再次被所述右风机吸入所述右腔体。

4.根据权利要求3所述的风机过滤系统，其特征在于：所述右腔体的顶部形成有靠近所述右进风口设置的循环风口，所述循环风道包括自所述循环风口向上延伸的第一风道本体、自所述第一风道本体的上端部向所述右进风口方向水平延伸的第二风道本体。

5.根据权利要求4所述的风机过滤系统，其特征在于：所述第二风道本体罩设在所述右风机的上方，且所述第二风道本体的侧壁或/和顶部还形成有内外贯通的多个通孔。

6.根据权利要求2所述的风机过滤系统，其特征在于：所述右风机座自所述右进风口的周边向上延伸，且所述右风机座自顶部形成右进风端口，其中所述右风机罩设于所述右风机座内并与所述右进风端口相对接。

7.根据权利要求6所述的风机过滤系统，其特征在于：所述右滤芯拦截设置在所述右风机与所述右进风口之间。

8.根据权利要求2所述的风机过滤系统，其特征在于：所述右进风组件还包括自所述右进风口的周边向下延伸的导流通道，进风时，气流依次穿过所述右风机与所述右滤芯，并沿着所述导流通道向下进入所述右腔体。

9.根据权利要求2所述的风机过滤系统，其特征在于：所述左风机座自所述左进风口的周边向上延伸，且所述左风机座自顶部形成左进风端口，其中所述左风机罩设于所述左风机座内并与所述左进风端口相对接，所述左滤芯拦截设置在所述左进风口与所述左风机之间。

10.根据权利要求1所述的风机过滤系统，其特征在于：所述排风口形成在所述右腔体的顶部，所述排风收集组件包括排风机、收集部件、及排风管道，其中所述排风机设置在所述排风口处，所述排风机通过所述排风管道分别与所述左腔体和所述收集部件相连接，且所述排风管道在所述左腔体上的连通处靠近所述左腔体的底部设置。

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