CN217639297U - 一种单晶炉电磁场强度监测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种单晶炉电磁场强度监测装置。所述单晶炉电磁场强度监测装置，包括底座，所述底座的顶部设置有单晶炉本体，所述底座的顶部且位于单晶炉本体的外表面固定连接有套环，所述套环与所述单晶炉本体之间形成滑动腔，所述滑动腔的内部通过弧形块滑动连接有监测盒，所述监测盒的一侧固定连接有推动把手。本实用新型提供的单晶炉电磁场强度监测装置，通过设置的滑动腔，能够带动监测盒上的弧形块进行滑动，使其在单晶炉四周进行滑移，从而对单晶炉不同位置进行磁场强度的监测，避免当内部有害杂质在单晶炉内分布不均时，无法对内部的杂质含量进行全面的监测，进而提高了监测的准确性以及全面性。

Description

一种单晶炉电磁场强度监测装置

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种单晶炉电磁场强度监测装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

为了提高单晶硅的拉晶质量，目前有一种方法是在单晶炉外设置电磁场，使磁力线从单晶炉中穿过，通过磁场作用改善单晶硅径向电阻率不均匀性，降低单晶棒中有害杂质的含量。

相关技术中，在对电磁场强度进行监测时，由于现有的监测装置一般不可进行移动，只能对单晶炉一个部位进行监测，当内部有害杂质在单晶炉内分布不均时，此时无法对内部的杂质含量进行全面的监测，进而影响监测的准确性。

因此，有必要提供一种单晶炉电磁场强度监测装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶炉电磁场强度监测装置，解决了由于现有的监测装置一般不可进行移动，只能对单晶炉一个部位进行监测的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的单晶炉电磁场强度监测装置，包括底座，所述底座的顶部设置有单晶炉本体，所述底座的顶部且位于单晶炉本体的外表面固定连接有套环，所述套环与所述单晶炉本体之间形成滑动腔，所述滑动腔的内部通过弧形块滑动连接有监测盒，所述监测盒的一侧固定连接有推动把手。

优选的，所述监测盒内部的两侧之间滑动连接有滑动块，所述滑动块的一侧固定连接有固定杆，所述固定杆的一端贯穿所述监测盒并延伸至所述监测盒的外部，所述固定杆延伸至所述监测盒外部的一端固定连接有吸附块。

优选的，所述滑动块的另一侧设置有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的一端设置于所述监测盒内壁的一侧。

优选的，所述监测盒的顶部开设有滑动槽，所述滑动块的顶部固定连接有位移块，所述位移块的顶部贯穿所述滑动槽并延伸至所述滑动槽的顶部，所述位移块延伸至所述滑动槽的顶部固定连接有标记块。

优选的，所述监测盒的顶部均固定连接有连接块，两个所述连接块相对的一侧之间固定连接有记录板，所述标记块滑动连接于所述记录板的外表面。

优选的，所述弧形块与所述滑动腔相适配。

优选的，所述底座的底部平行于地面接触放置，所述监测盒的底部滑动连接于所述套环上。

与相关技术相比较，本实用新型提供的单晶炉电磁场强度监测装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种单晶炉电磁场强度监测装置，通过设置的滑动腔，能够带动监测盒上的弧形块进行滑动，使其在单晶炉四周进行滑移，从而对单晶炉不同位置进行磁场强度的监测，避免当内部有害杂质在单晶炉内分布不均时，无法对内部的杂质含量进行全面的监测，进而提高了监测的准确性以及全面性。

附图说明

图1为本实用新型提供的单晶炉电磁场强度监测装置的一种较佳实施例的结构示意图；

图2为图1所示监测盒的外部结构示意图；

图3为图1所示监测盒的内部结构示意图；

图4为图2所示监测盒的底部结构示意图。

图中标号：1、底座；2、单晶炉本体；3、套环；4、滑动腔；5、监测盒；6、推动把手；7、滑动块；8、固定杆；9、吸附块；10、拉伸弹簧；11、滑动槽；12、位移块；13、标记块；14、连接块；15、记录板；16、弧形块。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本实用新型提供的单晶炉电磁场强度监测装置的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示监测盒的外部结构示意图；图3为图1所示监测盒的内部结构示意图；图4为图2所示监测盒的底部结构示意图。单晶炉电磁场强度监测装置，包括底座1，所述底座1的顶部设置有单晶炉本体2，所述底座1的顶部且位于单晶炉本体2的外表面固定连接有套环3，所述套环3与所述单晶炉本体2之间形成滑动腔4，所述滑动腔4的内部通过弧形块16滑动连接有监测盒5，所述监测盒5的一侧固定连接有推动把手6；

通过设置的推动把手6能够将监测盒5进行推动，从而调整监测的位置；

滑动腔4的设置，便于弧形块16在内部的滑动，从而便于监测盒5的移动。

所述监测盒5内部的两侧之间滑动连接有滑动块7，所述滑动块7的一侧固定连接有固定杆8，所述固定杆8的一端贯穿所述监测盒5并延伸至所述监测盒5的外部，所述固定杆8延伸至所述监测盒5外部的一端固定连接有吸附块9。

所述滑动块7的另一侧设置有拉伸弹簧10，所述拉伸弹簧10的一端设置于所述监测盒5内壁的一侧；

拉伸弹簧10的设置，便于在监测结束后，使吸附块9能够恢复到原来的位置。

所述监测盒5的顶部开设有滑动槽11，所述滑动块7的顶部固定连接有位移块12，所述位移块12的顶部贯穿所述滑动槽11并延伸至所述滑动槽11的顶部，所述位移块12延伸至所述滑动槽11的顶部固定连接有标记块13。

所述监测盒5的顶部均固定连接有连接块14，两个所述连接块14相对的一侧之间固定连接有记录板15，所述标记块13滑动连接于所述记录板15的外表面；

通过设置的记录板15，能够对电磁场强度数据进行记录。

所述弧形块16与所述滑动腔4相适配。

所述底座1的底部平行于地面接触放置，所述监测盒5的底部滑动连接于所述套环3上。

本实用新型提供的单晶炉电磁场强度监测装置的工作原理如下：

在对监测部位进行调整时，通过推动把手6的推动，使监测盒5底部的弧形块在滑动腔4内滑动，带动吸附块9的位置也发生变化，在单晶炉本体2周围进行环形滑动，从而对单晶炉本体2上不同部位进行监测；

在单晶炉电磁场强度监测时，产生的磁场对吸附块9进行吸附，带动固定杆8进行滑动，使滑动块7在监测盒5内壁上滑动，从而使位移块12上的标记块13也随之在记录板15上滑动，当停留在记录板15的某一位置时，及时进行位置的记录，通过以此方法，对不用部位进行监测。

与相关技术相比较，本实用新型提供的单晶炉电磁场强度监测装置具有如下有益效果：

通过设置的滑动腔4，能够带动监测盒5上的弧形块16进行滑动，使其在单晶炉四周进行滑移，从而对单晶炉不同位置进行磁场强度的监测，避免当内部有害杂质在单晶炉内分布不均时，无法对内部的杂质含量进行全面的监测，进而提高了监测的准确性以及全面性。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种单晶炉电磁场强度监测装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部设置有单晶炉本体(2)，所述底座(1)的顶部且位于单晶炉本体(2)的外表面固定连接有套环(3)，所述套环(3)与所述单晶炉本体(2)之间形成滑动腔(4)，所述滑动腔(4)的内部通过弧形块(16)滑动连接有监测盒(5)，所述监测盒(5)的一侧固定连接有推动把手(6)。

2.根据权利要求1所述的单晶炉电磁场强度监测装置，其特征在于，所述监测盒(5)内部的两侧之间滑动连接有滑动块(7)，所述滑动块(7)的一侧固定连接有固定杆(8)，所述固定杆(8)的一端贯穿所述监测盒(5)并延伸至所述监测盒(5)的外部，所述固定杆(8)延伸至所述监测盒(5)外部的一端固定连接有吸附块(9)。

3.根据权利要求2所述的单晶炉电磁场强度监测装置，其特征在于，所述滑动块(7)的另一侧设置有拉伸弹簧(10)，所述拉伸弹簧(10)的一端设置于所述监测盒(5)内壁的一侧。

4.根据权利要求3所述的单晶炉电磁场强度监测装置，其特征在于，所述监测盒(5)的顶部开设有滑动槽(11)，所述滑动块(7)的顶部固定连接有位移块(12)，所述位移块(12)的顶部贯穿所述滑动槽(11)并延伸至所述滑动槽(11)的顶部，所述位移块(12)延伸至所述滑动槽(11)的顶部固定连接有标记块(13)。

5.根据权利要求4所述的单晶炉电磁场强度监测装置，其特征在于，所述监测盒(5)的顶部均固定连接有连接块(14)，两个所述连接块(14)相对的一侧之间固定连接有记录板(15)，所述标记块(13)滑动连接于所述记录板(15)的外表面。

6.根据权利要求1所述的单晶炉电磁场强度监测装置，其特征在于，所述弧形块(16)与所述滑动腔(4)相适配。

7.根据权利要求1所述的单晶炉电磁场强度监测装置，其特征在于，所述底座(1)的底部平行于地面接触放置，所述监测盒(5)的底部滑动连接于所述套环(3)上。

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