CN217626936U - 一种晶圆蓝膜卷装固定轴 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种晶圆蓝膜卷装固定轴，涉及贴膜配件技术领域，包括：轴体，轴体的一端设置有安装孔，且轴体的外壁沿其圆周方向间隔开设有装配孔；调节机构，调节机构安装于装配孔内部，且调节机构包括：调节螺栓，装配于轴体的一端，且调节螺栓的端部伸入装配孔内部；第一楔形块，滑动装配于装配孔内部，且第一楔形块的端面与调节螺栓的端部相配合；第二楔形块，设置于装配孔内，且第二楔形块的斜面与第一楔形块的斜面相配合。本实用新型解决了原有的蓝膜筒的装配稳定性不够影响贴膜的技术问题。

Description

一种晶圆蓝膜卷装固定轴

技术领域

本实用新型涉及贴膜配件技术领域，尤其涉及一种晶圆蓝膜卷装固定轴。

背景技术

在电子加工行业中，需要将蓝膜贴附在蓝膜框上，然后进行切割，放置晶粒。

现有的蓝膜贴膜时，是将蓝膜插装在立柱上，然后拉动蓝膜，贴附在蓝膜框上，但是蓝膜筒的内部可能不平整，在转动过程中，会发生跳动或者滑动，影响后续的贴膜。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶圆蓝膜卷装固定轴，解决了原有的蓝膜筒的装配稳定性不够影响贴膜的技术问题。

本申请实施例公开了一种晶圆蓝膜卷装固定轴，包括：

轴体，所述轴体的一端设置有安装孔，且所述轴体的外壁沿其圆周方向间隔开设有装配孔；

调节机构，所述调节机构安装于所述装配孔内部，且所述调节机构包括：

调节螺栓，装配于所述轴体的一端，且所述调节螺栓的端部伸入所述装配孔内部；

第一楔形块，滑动装配于所述装配孔内部，且所述第一楔形块的端面与所述调节螺栓的端部相配合；

第二楔形块，设置于所述装配孔内，且所述第二楔形块的斜面与所述第一楔形块的斜面相配合。

本申请实施例设置有调节机构，利用调节机构来调整外壁的尺寸，完成蓝膜筒的支撑，从而提高蓝膜装配后的稳定性。

在上述技术方案的基础上，本申请实施例还可以做如下改进：

进一步地，所述装配孔为腰型孔，采用本步的有益效果是该腰型孔便于加工。

进一步地，所述装配孔的数目和所述调节机构的数目一致，且所述装配孔的数目至少为三个，采用本步的有益效果是能够实现至少三点支撑，提高稳定性。

进一步地，所述第二楔形块的外壁设置有凸条，所述装配孔的内壁设置有凹槽，所述凸条与所述凹槽相互配合完成限位。

进一步地，所述第二楔形块的外壁固定有橡胶条，采用本步的有益效果是能够实现柔性支撑。

本申请提供的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：

1.本申请中在轴体上设置有调节机构，能够实现蓝膜筒的支撑，保证装配的稳定性。

2.本申请结构简单，成本低，利用橡胶条的柔软性，起到保护蓝膜筒的作用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施例所述的一种晶圆蓝膜卷装固定轴的结构示意图；

图2为本实用新型具体实施例所述的一种晶圆蓝膜卷装固定轴的调节机构的示意图；

附图标记：

1-轴体；2-调节机构；

101-安装孔；102-装配孔；

201-调节螺栓；202-第一楔形块；203-第二楔形块；204-凸条；205-凹槽；206-橡胶条；207-滑动槽。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体实施方式对上述技术方案进行详细说明。

实施例：

如图1、2所示，本申请实施例公开了一种晶圆蓝膜卷装固定轴，配合贴蓝膜机使用，在使用时，蓝膜筒有可能由于自重和拉力的影响，发生移动或者跳动，导致蓝膜变形，影响贴膜效果，其具体结构包括：

轴体1，所述轴体1的一端设置有安装孔101，且所述轴体1的外壁沿其圆周方向间隔开设有装配孔102，该安装孔101是开设在轴体1的端部，用于配合贴蓝膜机使用；而装配孔102是用于装配后续的调节机构，以撑起蓝膜筒的内壁，可以减少跳动；

调节机构2，所述调节机构2安装于所述装配孔102内部，且所述调节机构2包括：

调节螺栓201，装配于所述轴体1的一端，且所述调节螺栓201的端部伸入所述装配孔102内部，该调节螺栓201是插入轴体1的内壁中，通过拧动调节螺栓201，可以实现调节螺栓201的伸缩；

第一楔形块202，滑动装配于所述装配孔102内部，且所述第一楔形块202的端面与所述调节螺栓201的端部相配合，通过拧动调节螺栓201能够带动第一楔形块202横向移动，便于后续的调节；

第二楔形块203，设置于所述装配孔102内，且所述第二楔形块203的斜面与所述第一楔形块202的斜面相配合，通过斜面的变化，推动第二楔形块202的运动。

在一实施例中，所述装配孔102为腰型孔，便于加工。

在一实施例中，所述装配孔102的数目和所述调节机构2的数目一致，且所述装配孔102的数目至少为三个，这样能够保证蓝膜筒套装时的稳定性。

其中，所述第二楔形块203的外壁设置有凸条204，所述装配孔102的内壁设置有凹槽205，所述凸条204与所述凹槽205相互配合完成限位，这样第二楔形块203只能沿着凹槽205上下运动，当推动第一楔形块202横向移动，第二楔形块203能够上下运动。

其中，所述第二楔形块203的外壁固定有橡胶条206，当第二楔形条203上下运动时，橡胶条206也随之上下运动，能够完成蓝膜筒内壁的顶起、支撑，便于提高后续贴膜的效果；

为了进一步，所述装配孔102的底部设置有滑动轨道，所述第一楔形块202开设滑动槽207，安装于所述滑动轨道上，因为调节螺栓是抵住所述第一楔形块202，调节螺栓201运动时，能够带动第一楔形块202运动。

本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。

Claims (5)

1.一种晶圆蓝膜卷装固定轴，其特征在于，包括：

轴体，所述轴体的一端设置有安装孔，且所述轴体的外壁沿其圆周方向间隔开设有装配孔；

调节机构，所述调节机构安装于所述装配孔内部，且所述调节机构包括：

调节螺栓，装配于所述轴体的一端，且所述调节螺栓的端部伸入所述装配孔内部；

第一楔形块，滑动装配于所述装配孔内部，且所述第一楔形块的端面与所述调节螺栓的端部相配合；

第二楔形块，设置于所述装配孔内，且所述第二楔形块的斜面与所述第一楔形块的斜面相配合。

2.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜卷装固定轴，其特征在于，所述装配孔为腰型孔。

3.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜卷装固定轴，其特征在于，所述装配孔的数目和所述调节机构的数目一致，且所述装配孔的数目至少为三个。

4.根据权利要求3所述的晶圆蓝膜卷装固定轴，其特征在于，所述第二楔形块的外壁设置有凸条，所述装配孔的内壁设置有凹槽，所述凸条与所述凹槽相互配合完成限位。

5.根据权利要求4所述的晶圆蓝膜卷装固定轴，其特征在于，所述第二楔形块的外壁固定有橡胶条。

Images