CN217616521U - 一种化学气相沉积炉的除尘排气罩 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的除尘排气罩，包括烟气收集罩，所述烟气收集罩上表面固定安装有连接管，所述连接管上端面固定安装有隔震连接软管，所述隔震连接软管上端面固定安装有烟尘过滤器所述烟尘过滤器内部开设有烟尘抽气凹孔，所述烟尘抽气凹孔内部固定安装有电机固定柱，所述电机固定柱上表面固定安装有抽风电机，所述烟尘过滤器正表面活动安装有灰尘收纳盒。通过启动抽风电机带动空气流通，烟气会被抽入烟气分散软管内部，通过烟气分散软管输送至烟气排出球，释放烟气至灰尘收纳盒储存的清水中，最终从排气管排出至外界，烟尘会被清水打湿沉淀在灰尘收纳盒内部储存起来，将烟气内部的烟尘过滤掉，保证操作人员的身体健康。

Description

一种化学气相沉积炉的除尘排气罩

技术领域

本实用新型属于化学气相沉积炉技术领域，具体涉及一种化学气相沉积炉的除尘排气罩。

背景技术

化学气相沉积炉是利用化学气相沉积的原理，将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。为了得到工艺要求的沉积厚度，此沉积过程一般需连续工作20天左右。

现有化学气相沉积炉排出烟气还是采用常规的排烟管直接排放，烟气中可能会蕴含有少量的化学烟尘，长期吸入会对操心人员的身体造成一定的伤害，且排气装置往往与炉体直接连接在一起，排烟装置工作会产生一定的振动影响沉积炉内部的化学物质沉淀。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种化学气相沉积炉的除尘排气罩，以解决上述背景技术中提出现有的一种化学气相沉积炉的除尘排气罩在使用过程中，由于现有化学气相沉积炉排出烟气还是采用常规的排烟管直接排放，烟气中可能会蕴含有少量的化学烟尘，长期吸入会对操心人员的身体造成一定的伤害，且排气装置往往与炉体直接连接在一起，排烟装置工作会产生一定的振动影响沉积炉内部的化学物质沉淀的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学气相沉积炉的除尘排气罩，包括烟气收集罩，所述烟气收集罩上表面固定安装有连接管，所述连接管上端面固定安装有隔震连接软管，所述隔震连接软管上端面固定安装有烟尘过滤器所述烟尘过滤器内部开设有烟尘抽气凹孔，所述烟尘抽气凹孔内部固定安装有电机固定柱，所述电机固定柱上表面固定安装有抽风电机，所述烟尘过滤器正表面活动安装有灰尘收纳盒。

具体的，通过设置的灰尘收纳盒内部可以储存一定的清水，启动抽风电机可以带动烟尘抽气凹孔内部空气流通，烟气会沿着烟气收集罩被抽入烟尘抽气凹孔内部，通过烟尘抽气凹孔排入灰尘收纳盒内部，烟气进入灰尘收纳盒内部储存的清水中，烟尘会被清水打湿沉淀在灰尘收纳盒内部储存起来，烟气会通过清水后被排放出去，过滤效果明显，烟尘过滤器与烟气收集罩之间通过隔震连接软管相互连通，隔震连接软管材质为软管可以有效的阻隔烟尘过滤器之间的振动传导至烟气收集罩。

优选的，所述烟气收集罩上表面固定安装有吊环，所述烟气收集罩后表面固定安装有限位块，所述限位块上表面开设有限位凹槽，所述限位凹槽内部活动安装有连接固定块，所述连接固定块后表面开设有收集罩固定通孔。

具体的，通过限位凹槽可以使连接固定块卡在限位块内部，通过收集罩固定通孔可以将连接固定块固定在沉积炉上。

优选的，所述烟尘过滤器下表面固定安装有连接吊绳，所述连接吊绳与吊环相互配合。

具体的，通过吊环与连接吊绳相互配合，可以将烟气收集罩悬挂在烟尘过滤器下方。

优选的，所述烟尘过滤器后表面固定安装有固定板，所述固定板后表面且靠近四角边缘处位置开设有过滤器固定通孔，所述烟气收集罩上表面固定安装有排气管。

具体的，通过固定板可以将烟尘过滤器相对固定，排气管可以加工过滤后的烟气排出。

优选的，所述烟尘过滤器内部固定安装有烟气分散软管，所述烟气分散软管外表面固定安装有烟气排出球，所述烟气分散软管一端与烟尘抽气凹孔内部相通，所述抽风电机输出端固定安装有叶片。

具体的，通过启动抽风电机可以带动叶片旋转，叶片旋转会带动空气流通，烟气会被抽入烟气分散软管内部，通过烟气分散软管输送至烟气排出球，烟气排出球沉在灰尘收纳盒内部，释放烟气会通过清水，从而将烟气内部的烟尘过滤掉。

优选的，所述灰尘收纳盒外表面固定安装有密封橡胶垫，所述灰尘收纳盒正表面固定安装有位移把手，所述灰尘收纳盒正表面开设有放水孔，所述放水孔内部固定安装有密封旋钮。

具体的，通过密封橡胶垫可以将灰尘收纳盒与烟尘过滤器连接处相对密封起来，位移把手可以带动灰尘收纳盒移动，旋开密封旋钮可以打开放水孔，灰尘收纳盒内部清水会通过放水孔排出，从而可以移出灰尘收纳盒清理内部沉积的烟尘。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过设置的烟气收集罩与烟尘过滤器相互配合，烟尘过滤器与烟气收集罩之间通过隔震连接软管相互连通，隔震连接软管材质为软管可以有效的阻隔烟尘过滤器之间的振动传导至烟气收集罩，烟气收集罩可以通过连接固定块单独固定在沉积炉上，也可以通过连接吊绳与吊环相互配合，将烟气收集罩悬挂在烟尘过滤器下方，避免振动传递至烟气收集罩，从而影响带沉积炉的化学物质沉积。

2、通过设置的烟尘抽气凹孔与灰尘收纳盒相互配合，启动抽风电机可以带动叶片旋转，叶片旋转会带动空气流通，烟气会被抽入烟气分散软管内部，通过烟气分散软管输送至烟气排出球，烟气排出球沉在灰尘收纳盒内部，释放烟气会通过清水，最终从排气管排出至外界，烟尘会被清水打湿沉淀在灰尘收纳盒内部储存起来，将烟气内部的烟尘过滤掉，旋开密封旋钮可以打开放水孔，灰尘收纳盒内部清水会通过放水孔排出，从而可以移出灰尘收纳盒清理内部沉积的烟尘。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的另一侧整体结构示意图；

图3为本实用新型的局部剖视图；

图4为本实用新型的灰尘收纳盒结构示意图。

图中：1、烟气收集罩；101、吊环；102、限位块；103、限位凹槽；104、连接固定块；105、收集罩固定通孔；2、连接管；201、隔震连接软管；3、烟尘过滤器；301、固定板；302、过滤器固定通孔；303、排气管；304、连接吊绳；4、烟尘抽气凹孔；401、电机固定柱；402、抽风电机；403、叶片；404、烟气分散软管；405、烟气排出球；5、灰尘收纳盒；501、密封橡胶垫；502、位移把手；503、放水孔；504、密封旋钮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种化学气相沉积炉的除尘排气罩，包括烟气收集罩1，烟气收集罩1上表面固定安装有连接管2，连接管2上端面固定安装有隔震连接软管201，隔震连接软管201上端面固定安装有烟尘过滤器3烟尘过滤器3内部开设有烟尘抽气凹孔4，烟尘抽气凹孔4内部固定安装有电机固定柱401，电机固定柱401上表面固定安装有抽风电机402，烟尘过滤器3正表面活动安装有灰尘收纳盒5。

本实施方案中，通过设置的灰尘收纳盒5内部可以储存一定的清水，启动抽风电机402可以带动烟尘抽气凹孔4内部空气流通，烟气会沿着烟气收集罩1被抽入烟尘抽气凹孔4内部，通过烟尘抽气凹孔4排入灰尘收纳盒5内部，烟气进入灰尘收纳盒5内部储存的清水中，烟尘会被清水打湿沉淀在灰尘收纳盒5内部储存起来，烟气会通过清水后被排放出去，过滤效果明显，烟尘过滤器3与烟气收集罩1之间通过隔震连接软管201相互连通，隔震连接软管201材质为软管可以有效的阻隔烟尘过滤器3之间的振动传导至烟气收集罩1。

其中，为了实现防止振动传递的目的，本装置采用如下技术方案实现的：烟气收集罩1上表面固定安装有吊环101，烟气收集罩1后表面固定安装有限位块102，限位块102上表面开设有限位凹槽103，限位凹槽103内部活动安装有连接固定块104，连接固定块104后表面开设有收集罩固定通孔105，烟尘过滤器3下表面固定安装有连接吊绳304，连接吊绳304与吊环101相互配合，烟尘过滤器3后表面固定安装有固定板301，固定板301后表面且靠近四角边缘处位置开设有过滤器固定通孔302，烟气收集罩1上表面固定安装有排气管303。

通过限位凹槽103可以使连接固定块104卡在限位块102内部，通过收集罩固定通孔105可以将连接固定块104固定在沉积炉上，吊环101与连接吊绳304相互配合，可以将烟气收集罩1悬挂在烟尘过滤器3下方，固定板301可以将烟尘过滤器3相对固定，排气管303可以加工过滤后的烟气排出。

其中，为了实现过滤烟尘的目的，本装置采用如下技术方案实现的：烟尘过滤器3内部固定安装有烟气分散软管404，烟气分散软管404外表面固定安装有烟气排出球405，烟气分散软管404一端与烟尘抽气凹孔4内部相通，抽风电机402输出端固定安装有叶片403，灰尘收纳盒5外表面固定安装有密封橡胶垫501，灰尘收纳盒5正表面固定安装有位移把手502，灰尘收纳盒5正表面开设有放水孔503，放水孔503内部固定安装有密封旋钮504。

通过启动抽风电机402可以带动叶片403旋转，叶片403旋转会带动空气流通，烟气会被抽入烟气分散软管404内部，通过烟气分散软管404输送至烟气排出球405，烟气排出球405沉在灰尘收纳盒5内部，释放烟气会通过清水，从而将烟气内部的烟尘过滤掉，密封橡胶垫501可以将灰尘收纳盒5与烟尘过滤器3连接处相对密封起来，位移把手502可以带动灰尘收纳盒5移动，旋开密封旋钮504可以打开放水孔503，灰尘收纳盒5内部清水会通过放水孔503排出，从而可以移出灰尘收纳盒5清理内部沉积的烟尘。

本实用新型的工作原理及使用流程：在使用时需要将装置放置在合适的位置，启动抽风电机402可以带动叶片403旋转，叶片403旋转会带动空气流通，烟气会被抽入烟气分散软管404内部，通过烟气分散软管404输送至烟气排出球405，烟气排出球405沉在灰尘收纳盒5内部，释放烟气会通过清水，最终从排气管303排出至外界，烟尘会被清水打湿沉淀在灰尘收纳盒5内部储存起来，将烟气内部的烟尘过滤掉，旋开密封旋钮504可以打开放水孔503，灰尘收纳盒5内部清水会通过放水孔503排出，从而可以移出灰尘收纳盒5清理内部沉积的烟尘。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种化学气相沉积炉的除尘排气罩，包括烟气收集罩(1)，其特征在于：所述烟气收集罩(1)上表面固定安装有连接管(2)，所述连接管(2)上端面固定安装有隔震连接软管(201)，所述隔震连接软管(201)上端面固定安装有烟尘过滤器(3)所述烟尘过滤器(3)内部开设有烟尘抽气凹孔(4)，所述烟尘抽气凹孔(4)内部固定安装有电机固定柱(401)，所述电机固定柱(401)上表面固定安装有抽风电机(402)，所述烟尘过滤器(3)正表面活动安装有灰尘收纳盒(5)。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的除尘排气罩，其特征在于：所述烟气收集罩(1)上表面固定安装有吊环(101)，所述烟气收集罩(1)后表面固定安装有限位块(102)，所述限位块(102)上表面开设有限位凹槽(103)，所述限位凹槽(103)内部活动安装有连接固定块(104)，所述连接固定块(104)后表面开设有收集罩固定通孔(105)。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的除尘排气罩，其特征在于：所述烟尘过滤器(3)下表面固定安装有连接吊绳(304)，所述连接吊绳(304)与吊环(101)相互配合。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的除尘排气罩，其特征在于：所述烟尘过滤器(3)后表面固定安装有固定板(301)，所述固定板(301)后表面且靠近四角边缘处位置开设有过滤器固定通孔(302)，所述烟气收集罩(1)上表面固定安装有排气管(303)。

5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的除尘排气罩，其特征在于：所述烟尘过滤器(3)内部固定安装有烟气分散软管(404)，所述烟气分散软管(404)外表面固定安装有烟气排出球(405)，所述烟气分散软管(404)一端与烟尘抽气凹孔(4)内部相通，所述抽风电机(402)输出端固定安装有叶片(403)。

6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的除尘排气罩，其特征在于：所述灰尘收纳盒(5)外表面固定安装有密封橡胶垫(501)，所述灰尘收纳盒(5)正表面固定安装有位移把手(502)，所述灰尘收纳盒(5)正表面开设有放水孔(503)，所述放水孔(503)内部固定安装有密封旋钮(504)。

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