CN217558997U - 一种真空用小口径视窗密封装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种真空用小口径视窗密封装置，涉及真空设备用视窗技术领域，其包括设置在真空反应室侧壁上的视窗法兰以及安装于视窗法兰上的视窗玻璃和压盖，所述压盖套设并螺纹连接于视窗法兰上，所述视窗玻璃位于连接筒与压盖之间，且所述视窗法兰上贯穿开设有可视窗口，所述压盖上贯穿开设有适于与可视窗口相连通的观察孔，所述视窗法兰和压盖之间设有用于对视窗玻璃两侧进行密封的密封组件；本申请通过压盖、视窗玻璃、视窗法兰和密封组件配合，能够较为有效的对真空设备/反应室的窗口处进行密封，且视窗密封性能不易受安装情况影响，视窗密封性较好。

Description

一种真空用小口径视窗密封装置

技术领域

本申请涉及真空设备用视窗技术领域，尤其是涉及一种真空用小口径视窗密封装置。

背景技术

真空设备是指用于粉体和胶体等含气量较高物体的脱气、具有脱气速率快和自动化程度高等特点的机器设备，真空设备一般包括真空罩、真空泵、气动升降系统及控制系统等部分组成，为了便于查看真空设备内部的脱气情况，一般会在真空设备的箱体/反应室上加上视窗。

申请号为201920929183.3的一篇中国实用新型专利文献公开了一种真空反应室上的可视窗结构，其包括设置在真空反应室侧壁上的窗口、设置在窗口外侧的凹槽、设置在凹槽内且位于窗口外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈、部分可置于凹槽内的框架、焊接或粘接在框架内的石英玻璃；所述框架的外侧四周设置有连接边；所述连接边通过多颗螺栓固定在真空反应室侧壁上；该实用新型通过将石英玻璃直接安装在框架内，能够较为方便的对石英玻璃和框架进行整体拆装。

针对上述中的相关技术，上述可视窗结构在实际使用的过程中，可视窗结构的密封性受螺栓安装情况影响较大，当螺栓安装发生歪斜时，石英玻璃与框架易发生歪斜，影响视窗密封性能，进而影响真空设备的工作/生产效率。

实用新型内容

为了提高视窗密封性能，本申请提供一种真空用小口径视窗密封装置。

本申请提供的一种真空用小口径视窗密封装置采用如下的技术方案：

一种真空用小口径视窗密封装置，包括设置在真空反应室侧壁上的视窗法兰以及安装于视窗法兰上的视窗玻璃和压盖，所述压盖套设并螺纹连接于视窗法兰上，所述视窗玻璃位于视窗法兰与压盖之间，且所述视窗法兰上贯穿开设有可视窗口，所述压盖上贯穿开设有适于与可视窗口相连通的观察孔，所述视窗法兰和压盖之间设有用于对视窗玻璃两侧进行密封的密封组件。

通过采用上述技术方案，压盖和视窗法兰之间采用螺纹连接方式进行安装固定，视窗玻璃夹持于压盖和视窗法兰之间，并通过密封组件对视窗玻璃和视窗法兰之间的间隙以及视窗玻璃和压盖之间的间隙进行密封，视窗玻璃、压盖和视窗法兰在安装固定过程中不易发生相对歪斜，安装过程也较为方便，视窗密封性能不易受安装情况影响，有利于提高视窗的密封性，对于真空设备/反应室进行较好的密封。

可选的，所述视窗法兰包括同轴布设并一体连接的连接筒和连接环，所述连接环位于连接筒一端；所述密封组件包括视窗压块、上密封圈和下密封圈，所述视窗压块和上密封圈位于压盖与视窗玻璃之间，所述上密封圈位于视窗压块与视窗玻璃之间，且所述视窗压块远离视窗玻璃的一侧表面为光滑面；所述下密封圈位于连接筒与视窗玻璃之间，所述上密封圈和下密封圈靠近视窗玻璃的一侧均适于与视窗玻璃抵接。

通过采用上述技术方案，视窗压块与压盖之间的滑动性较佳，在转动拧紧压盖的过程中，视窗压块相对压盖转动，能够避免压盖直接作用在上密封圈上，对密封圈造成扭扯损坏，工作人员能够向压盖施加较大的压力，配合上密封圈和下密封圈，对视窗玻璃、压盖和连接筒实现更好的密封。

可选的，所述视窗玻璃两侧表面均凸出设有挡沿。

通过采用上述技术方案，当所述压盖套设于连接筒上时，视窗玻璃与视窗压块之间的挡沿能对上密封圈进一步进行隔挡，视窗玻璃与连接筒之间的挡沿能够对下密封圈进一步进行隔挡，使上密封圈和下密封圈能够对视窗玻璃与视窗压块之间的间隙以及视窗玻璃与连接筒之间的间隙进行更好的封堵，增强视窗密封装置的密封性。

可选的，所述视窗压块靠近视窗玻璃的一侧开设有上嵌槽，所述上密封圈适于放置于上嵌槽内；所述连接筒靠近视窗玻璃的一侧开设有下嵌槽，所述下密封圈适于放置于下嵌槽内。

通过采用上述技术方案，一方面，上嵌槽和下嵌槽的布设能够减小上密封圈和下密封圈在安装过程中的位置偏移，为工作人员对上密封圈和下密封圈的安装提供便利；另一方面，上嵌槽和下嵌槽的布设能够进一步增加上密封圈与视窗压块和视窗玻璃之间的接触面积以及下密封圈与连接筒和视窗玻璃之间的接触面积，增强视窗密封装置的密封性。

可选的，所述视窗压块呈圆环形，所述视窗压块、压盖、连接筒和连接环均同轴布设且内径大小相同。

通过采用上述技术方案，视窗压块、压盖、连接筒与连接环的内周壁上不存在凸出隔挡，便于工作人员透过可视窗口和观察孔对真空设备内部进行观察。

可选的，所述视窗压块外周壁上设有密封胶条，所述密封胶条靠近压盖的一侧适于与压盖抵接。

通过采用上述技术方案，密封胶条能够对视窗压块与压盖之间的缝隙进一步进行封堵，进而增强视窗密封装置整体的密封性。

可选的，所述视窗压块外周壁上开设有胶槽，所述密封胶条填充于胶槽内。

通过采用上述技术方案，胶槽能够对密封胶条进行较好的容纳，减小密封胶条在压盖相对视窗压块转动的过程中对压盖的阻力。

可选的，所述密封胶条和胶槽设有多组，多组密封胶条和胶槽绕视窗压块轴线呈环形阵列分布。

通过采用上述技术方案，多组密封胶条和胶槽相配合，视窗压块和压盖之间的粘接强度更大，视窗密封装置整体密封性更佳。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过压盖、视窗玻璃、视窗法兰和密封组件配合，能够较为有效的对真空设备/反应室的窗口处进行密封，且视窗密封性能不易受安装情况影响，视窗密封性较好；

2.通过视窗压块、上密封圈和下密封圈配合，工作人员能够向压盖施加更大的压力对压盖、视窗压块、上密封圈、下密封圈和视窗玻璃进行固定，于视窗玻璃两侧对视窗玻璃进行更为紧密的密封，增强了视窗密封装置的密封效果；

3.通过设置密封胶条和胶槽，能够进一步增强视窗密封装置整体的密封性。

附图说明

图1是本申请实施例的整体结构示意图。

图2是沿图1中A-A线的剖视结构示意图。

图3是视窗压块沿其轴线方向的俯视图。

附图标记：1、视窗法兰；11、连接筒；111、下嵌槽；12、连接环；13、可视窗口；2、视窗玻璃；21、挡沿；3、压盖；31、观察孔；32、注胶孔；4、密封组件；41、视窗压块；411、上嵌槽；412、胶槽；413、密封胶条；42、上密封圈；43、下密封圈；5、密封垫。

具体实施方式

以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种真空用小口径视窗密封装置，涉及真空设备用视窗技术领域。

参照图1和图2，一种真空用小口径视窗密封装置包括设置在真空反应室上的视窗法兰1以及安装于视窗法兰1上的视窗玻璃2和压盖3，视窗玻璃2位于视窗法兰1与压盖3之间，且视窗玻璃2和视窗法兰1之间设置有用于对视窗玻璃2两侧进行密封的密封组件4，视窗法兰1适于与真空反应室相连接安装的一侧设置有密封垫5。

在本申请中，视窗法兰1包括同轴布设且一体连接的连接筒11和连接环12，连接筒11位于连接环12一端，且连接环12在其轴线方向上位于连接筒11外侧，连接环12的截面面积大于连接筒11的截面面积，连接环12上均匀开设有若干数量的、用于供视窗法兰1与真空设备固定连接的螺纹孔，连接筒11和连接环12中部开设有供工作人员观察真空设备/真空反应室内反应状况的可视窗口13。

参照图1和图2，压盖3位于连接筒11远离连接环12的一端，且压盖3套设并螺纹连接于连接筒11上，视窗玻璃2安装于连接筒11与压盖3之间，以压盖3远离连接筒11的一侧为压盖3顶部，压盖3顶部贯穿开设有适于与可视窗口13相连通的观察孔31，观察孔31和可视窗口13沿连接筒11径向方向的截面呈圆形，压盖3、连接筒11和连接环12均呈同轴布设且内径大小相同，观察孔31与可视窗口13沿连接筒11径向方向的截面大小相一致，便于工作人员透过观察孔31和可视窗口13对真空设备/反应室内部进行观察。

参照图1和图2，密封组件4包括视窗压块41、上密封圈42和下密封圈43，在本申请中，视窗压块41、上密封圈42和下密封圈43均呈O型，且视窗压块41、上密封圈42和下密封圈43均与连接筒11和连接环12呈同轴布设，视窗压块41和上密封圈42位于视窗玻璃2与压盖3之间，用于对视窗玻璃2与压盖3之间的间隙进行密封，下密封圈43位于视窗玻璃2与连接筒11之间，用于对视窗玻璃2与连接筒11之间的间隙进行密封。

为增强上密封圈42和下密封圈43的密封效果，参照图1和图2，视窗压块41靠近视窗玻璃2的一侧表面开设有环形的、用于放置上密封圈42的上嵌槽411，连接筒11远离连接环12的端开口处开设有环形的、用于放置下密封圈43的下嵌槽111，上密封圈42和下密封圈43规格一致，且均为柔性密封圈，以对视窗压块41与视窗玻璃2之间的间隙以及连接筒11与视窗玻璃2之间的间隙进行柔性封堵；相应的，上嵌槽411和下嵌槽111规格一致，且上嵌槽411和下嵌槽111相对于视窗玻璃2沿径向方向的中轴线相对称，上密封圈42沿其径向方向的截面呈圆形，且上密封圈42的直径大于上嵌槽411的槽深深度，下密封圈43的直径大于下嵌槽111的槽深深度。

进一步的，参照图1和图2，视窗玻璃2两侧表面均凸出设有用于在视窗玻璃2径向方向上对上密封圈42和下密封圈43进一步进行密封封堵的挡沿21，挡沿21呈圆环形，且挡沿21与视窗玻璃2及连接筒11同轴布设，挡沿21靠近视窗玻璃2中部的一侧内壁自靠近视窗玻璃2的一侧朝向远离视窗玻璃2的一侧向视窗玻璃2内侧弯曲。

参照图1和图2，当压盖3套设并螺纹连接于连接筒11上且视窗玻璃2夹持安装于视窗压块41与连接筒11之间时，位于视窗玻璃2靠近压盖3一侧的挡沿21的远离视窗玻璃2的端面抵接于上嵌槽411的外沿处，位于视窗玻璃2远离压盖3一侧的挡沿21的远离视窗玻璃2的端面抵接于下嵌槽111的外沿处，进而较好的于视窗玻璃2径向方向上对上密封圈42的形变和下密封圈43的形变进行了环抱阻挡，使得上密封圈42和下密封圈43能够更好的对视窗玻璃2与压盖3之间的间隙以及视窗玻璃2与连接筒11之间的间隙进行封堵，增强视窗密封装置的密封性。

进一步的，视窗压块41远离视窗玻璃2的一侧表面为光滑面，以减小视窗压块41与压盖3之间的摩擦力，增强视窗压块41与压盖3之间的滑动性，使得工作人员转动拧紧压盖3的过程中，视窗压块41能够相对压盖3转动，进而避免压盖3直接作用在上密封圈42上，对密封圈造成扭扯损坏，工作人员能够向压盖3施加较大的压力，对视窗玻璃2、压盖3和连接筒11实现密封；且在本申请中，视窗压块41优选为黄铜压块，黄铜压块具有较高的强度及塑性，应用于视窗密封装置中，能够较好承受真空反应室内的热压力，并能够较好的承受工作人员转动压盖3的压力，对压盖3、视窗玻璃2和连接筒11实现更好的密封。

优选的，参照图2和图3，在视窗压块41外周壁上还开设有多条胶槽412，多条胶槽412绕视窗压块41轴线呈环形阵列分布，压盖3上贯穿开设有适于与胶槽412相连通的注胶孔32，胶槽412内填充有密封胶条413，在旋紧压盖3后，工作人员可通过注胶孔32向胶槽412内填充密封胶条413，对压盖3与视窗压块41进行进一步的密封处理，增强视窗密封装置整体的密封效果，较好的保障了真空腔室的密封性。

本申请实施例一种真空用小口径视窗密封装置的实施原理为：上述可视窗结构在实际安装使用的过程中，首先将视窗法兰1通过螺栓固定连接于真空设备/反应室内壁上，再将下密封圈43置于下嵌槽111内，将视窗玻璃2对准下密封圈43，将上密封圈42置于视窗压块41的上嵌槽411内，再将上密封圈42和视窗压块41与视窗玻璃2对准，而后将压盖3旋紧固定于视窗法兰1上，从注胶孔32向胶槽412内填充密封胶条413，实现视窗密封装置的安装，对真空设备/反应室进行密封；视窗整体具有较高的密封性，能够较好的保障真空设备/反应室的工作/生产效率。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种真空用小口径视窗密封装置，包括设置在真空反应室侧壁上的视窗法兰（1）以及安装于视窗法兰（1）上的视窗玻璃（2）和压盖（3），其特征在于：所述压盖（3）套设并螺纹连接于视窗法兰（1）上，所述视窗玻璃（2）位于视窗法兰（1）与压盖（3）之间，且所述视窗法兰（1）上贯穿开设有可视窗口（13），所述压盖（3）上贯穿开设有适于与可视窗口（13）相连通的观察孔（31），所述视窗法兰（1）和压盖（3）之间设有用于对视窗玻璃（2）两侧进行密封的密封组件（4）。

2.根据权利要求1所述的一种真空用小口径视窗密封装置，其特征在于：所述视窗法兰（1）包括同轴布设并一体连接的连接筒（11）和连接环（12），所述连接环（12）位于连接筒（11）一端；所述密封组件（4）包括视窗压块（41）、上密封圈（42）和下密封圈（43），所述视窗压块（41）和上密封圈（42）位于压盖（3）与视窗玻璃（2）之间，所述上密封圈（42）位于视窗压块（41）与视窗玻璃（2）之间，所述下密封圈（43）位于连接筒（11）与视窗玻璃（2）之间，且所述视窗压块（41）远离视窗玻璃（2）的一侧表面为光滑面。

3.根据权利要求2所述的一种真空用小口径视窗密封装置，其特征在于：所述视窗玻璃（2）两侧表面均凸出设有挡沿（21）。

4.根据权利要求2所述的一种真空用小口径视窗密封装置，其特征在于：所述视窗压块（41）靠近视窗玻璃（2）的一侧开设有上嵌槽（411），所述上密封圈（42）适于放置于上嵌槽（411）内；所述连接筒（11）靠近视窗玻璃（2）的一侧开设有下嵌槽（111），所述下密封圈（43）适于放置于下嵌槽（111）内。

5.根据权利要求2至4中任一项权利要求所述的一种真空用小口径视窗密封装置，其特征在于：所述视窗压块（41）呈圆环形，所述视窗压块（41）、压盖（3）、连接筒（11）和连接环（12）均同轴布设且内径大小相同。

6.根据权利要求5所述的一种真空用小口径视窗密封装置，其特征在于：所述视窗压块（41）外周壁上设有密封胶条（413），所述密封胶条（413）靠近压盖（3）的一侧适于与压盖（3）抵接。

7.根据权利要求6所述的一种真空用小口径视窗密封装置，其特征在于：所述视窗压块（41）外周壁上开设有胶槽（412），所述密封胶条（413）填充于胶槽（412）内。

8.根据权利要求7所述的一种真空用小口径视窗密封装置，其特征在于：所述密封胶条（413）和胶槽（412）设有多组，多组密封胶条（413）和胶槽（412）绕视窗压块（41）轴线呈环形阵列分布。

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