CN217544572U - 用于微元件非接触式转移的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于微元件非接触式转移的装置，装置包括：承载座，承载座包括水平承载件和竖直承载件，竖直承载件垂直于水平承载件设置；竖直调节机构，包括调节件和支撑件，支撑件设于竖直承载件上，支撑件朝向水平承载件的一侧通过旋转调节机构与调节件相连接，调节件用于安装光机系统，光机系统用于发射光束，光机系统下方设有的待转移基板与调节件相连接，待转移基板上附着有微元件，待转移基板用于接收光束，微元件在光束的作用下掉落；水平调节机构，固定安装于水平承载件上，水平调节机构朝向待转移基板的一侧设有接收基板以用于接收微元件。旋转调节机构能够带动竖直调节机构进行旋转运动，利于对微元件的掉落角度进行调节。

Description

用于微元件非接触式转移的装置

技术领域

本实用新型涉及微元件转移，特别涉及一种用于微元件非接触式转移的装置。

背景技术

微元件转移是通过光机系统操控光束透过来源基板照射在待被转移的微元件上，致使微元件与来源基板间的感光性胶材气化消失或感光失去黏著力而使得微元件由来源基板下落到接收基板上的预定位置。

其中光束可以由光学镜组收束为小径光束，再以双轴或三轴反射振镜进行选择性扫描，或是由光学镜组扩束为大径光束，再由光罩、DMD(Digital Micromirror Device)/DLP(Digital Light Processing)或LCOS(Liquid Crystal on Silicon)等数位光学元件进行选择性同步扫描。

虽然光机系统可以高速扫描来源基板上的微元件阵列达到高速、大量的转移，但是由于受到光学元件及镜组口径的限制，可扫描的范围相当有限，通常小于直径100mm，为能兼顾其高速、大量的转移特性并扩展可转移范围，故需设计一种用于微元件非接触式转移的装置。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是为了克服上述现有技术的缺陷，提供一种用于微元件非接触式转移的装置。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

一种用于微元件非接触式转移的装置，其特点在于，所述装置包括承载座，所述承载座包括水平承载件和竖直承载件，所述竖直承载件垂直于所述水平承载件设置；竖直调节机构，所述竖直调节机构包括调节件和支撑件，所述支撑件设于所述竖直承载件上，所述支撑件朝向所述水平承载件的一侧通过旋转调节机构与所述调节件相连接，所述调节件用于安装光机系统，所述光机系统用于发射光束，所述光机系统下方设有的待转移基板与所述调节件相连接，所述待转移基板上附着有微元件，所述待转移基板用于接收所述光束，所述微元件在所述光束的作用下掉落；水平调节机构，固定安装于所述水平承载件上，所述水平调节机构朝向所述待转移基板的一侧设有接收基板以用于接收所述微元件。

在本方案中，采用上述结构形式，该装置在工作时，支撑件上的光机系统发射光束作用于调节件端部的待转移基板上的微元件，微元件在光束的作用下进行掉落，同时旋转调节机构能够带动竖直调节机构进行旋转以改变微元件掉落时的角度，与此同时水平调节机构带动接收基板在水平面内进行平移，并准确的对掉落下的微元件进行接收。这样的设计使得竖直调节机构的运动更加灵活，能够根据不同微元件对其掉落角度进行调节，利于配合光机系统在更大范围内进行作业，有效解决了现有技术中用于微元件的转移设备难以兼顾高速和大量的转移特性，利于扩展和提升微元件的转移范围和作业效果。

较佳地，所述竖直承载件包括立柱，所述立柱的一端与所述水平承载件固定连接，所述立柱的另一端安装有第一竖直导向部，所述支撑件与所述第一竖直导向部滑动连接。

较佳地，所述支撑件包括滑动部和安装部，所述滑动部的一侧与所述第一竖直导向部滑动连接，所述滑动部的另一侧平行于所述水平调节机构向外延伸出所述安装部，所述安装部朝向所述水平调节机构的一侧安装有所述旋转调节机构。

较佳地，所述支撑件还包括加强板，所述加强板分别与所述滑动部和所述安装部固定连接，以使所述滑动部与所述安装部保持垂直。

在本方案中，采用上述结构形式，该装置在运行时支撑件通过第一竖直导向部能够带动光机和待转移基板进行升降运动，以调节待转移基板和接收基板之间的距离大小。其中，支撑件通过滑动部和安装部形成一个直角折弯结构，在滑动部和安装部之间连接有加强板，以保证安装板下方的载荷不会使得安装部发生过大形变，以保证该装置的工作进精度。

较佳地，所述水平调节机构包括第一导向件和第二导向件，所述第一导向件用于带动所述接收基板沿第一方向在所述水平承载件上移动，所述第二导向件用于带动所述接收基板沿第二方向在所述水平承载件上移动，并且所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

较佳地，所述第一导向件的一侧与所述水平承载件固定连接，所述第一导向件的另一侧与所述第二导向件相连接，所述第二导向件背离所述第一导向件的一侧安装有所述接收基板。

在本方案中，采用上述结构形式，水平调节机构有效增加了接收基板的自由度，使得接收基板在水平面内运动更加灵活，同时也利于提高接收基板在水平面内的运动范围，从而使得接收基板能够配合光机系统在更大范围内进行作业，从而提高了微元件非接触式转移的装置的作业效率。

较佳地，所述调节件包括固定架和连接块，所述连接块固定连接于所述固定架上，所述连接块上安装有所述光机系统，所述固定架的一端与所述旋转调节机构固定连接，所述固定架的另一端与所述待转移基板相连接。

较佳地，所述光机系统包括基座和光机，所述光机安装于所述基座上，所述基座与所述连接块进行滑动连接。

在本方案中，采用上述结构形式，该装置在运行时基座通过连接块能够带动光机进行升降运动，以调节光机和待转移基板之间的距离大小。

较佳地，所述竖直调节机构内设有制动器；

和/或，所述水平调节机构内设有制动器；

和/或，所述旋转调节机构内设有制动器。

在本方案中，采用上述结构形式，能够对竖直调节机构、水平调节机构和旋转调节机构的运动情况进行及时调节，以保证接收基板在接收作业是有足够的精度，在提高接收效率的同时也利于调高该装置的作业效果。

本实用新型的积极进步效果在于：

该装置在工作时，旋转调节机构能够带动竖直调节机构进行旋转运动，使得竖直调节机构的运动更加灵活，能够根据不同微元件对其掉落角度进行调节，利于配合光机系统在更大范围内进行作业，有效解决了现有技术中用于微元件的转移设备难以兼顾高速和大量的转移特性，利于扩展和提升微元件的转移范围和作业效果。

附图说明

图1为本实用新型的用于微元件非接触式转移的装置的结构示意图(一)。

图2为本实用新型的用于微元件非接触式转移的装置的结构示意图(二)。

附图标记说明：

承载座1

水平承载件11

竖直承载件12

竖直调节机构2

支撑件21

滑动部211

安装部212

加强部213

调节件22

固定架221

连接块222

旋转调节机构23

第一竖直导向部24

水平调节机构3

第一导向件31

第二导向件32

光机系统4

基座41

光机42

待转移基板5

接收基板6

具体实施方式

下面通过实施例的方式进一步说明本实用新型，但并不因此将本实用新型限制在的实施例范围之中。

如图1与图2所示，本实用新型实施例提供一种用于微元件非接触式转移的装置，装置包括：承载座1，承载座1包括水平承载件11和竖直承载件12，竖直承载件12垂直于水平承载件11设置；竖直调节机构2，竖直调节机构2包括调节件22和支撑件21，支撑件21设于竖直承载件12上，支撑件21朝向水平承载件11的一侧通过旋转调节机构23与调节件22相连接，调节件22用于安装光机系统4，光机系统4用于发射光束，光机系统4下方设有的待转移基板5与调节件22相连接，待转移基板5上附着有微元件，待转移基板5用于接收光束，微元件在光束的作用下掉落；水平调节机构3，固定安装于水平承载件11上，水平调节机构3朝向待转移基板5的一侧设有接收基板6以用于接收微元件。

采用上述结构形式，用于微元件非接触式转移的装置在竖直调节机构2的上方设有旋转调节机构23，该旋转调节机构23能够带动光机系统4和竖直调节机构2进行旋转，以便捷灵活的调节微元件的掉落时的角度，同时接收基板6的下方的水平调节机构3能够带动接收基板6在水平承载件11的所在平面内进行水平移动。

该装置在工作时，支撑件21上的光机系统4发射光束作用于调节件22端部的待转移基板5上的微元件，微元件在光束的作用下进行掉落，同时旋转调节机构23能够带动竖直调节机构2进行旋转以改变微元件掉落时的角度，与此同时水平调节机构3带动接收基板6在水平面内进行平移，并准确的对掉落下的微元件进行接收。这样的设计使得竖直调节机构2的运动更加灵活，能够根据不同微元件对其掉落角度进行调节，利于配合光机系统4在更大范围内进行作业，有效解决了现有技术中用于微元件的转移设备难以兼顾高速和大量的转移特性，利于扩展和提升微元件的转移范围和作业效果。

如图1与图2所示，竖直承载件12包括立柱，立柱的一端与水平承载件11固定连接，立柱的另一端安装有第一竖直导向部24，其中第一竖直导向部24采用滑轨结构，滑轨结构的一侧与立柱固定连接，滑轨结构的另一侧设有支撑件21。其中支撑件21包括滑动部211和安装部212，其中滑动部211采用滑块结构，滑块结构的一侧与第一竖直导向部24滑动连接，滑块结构的另一侧平行于水平调节机构3向外延伸出安装部212。安装部212朝向水平调节机构3的一侧安装有旋转调节机构23。同时，支撑件21还包括加强部213，加强部213分别与滑动部211和安装部212固定连接，以使滑动部211与安装部212保持垂直。

在本实施例中，同时，竖直承载件12包括立柱和第一竖直导向部24，第一竖直导向部24设于立柱的延伸端，同时支撑件21与第一竖直导向部24滑动连接。该装置在运行时，支撑件21通过第一竖直导向部24能够带动光机42和待转移基板5进行升降运动，以调节待转移基板5和接收基板6之间的距离大小。

其中，支撑件21通过滑动部211和安装部212形成一个直角折弯结构，在滑动部211和安装部212之间连接有加强部213，以保证安装板213下方的载荷不会使得安装部212发生过大形变，以保证该装置的工作进精度。

如图1与图2所示，水平调节机构3包括第一导向件31和第二导向件32，第一导向件31用于带动接收基板6沿第一方向在水平承载件11上移动，第二导向件32用于带动接收基板6沿第二方向在水平承载件11上移动，并且第一方向与第二方向相互垂直。同时，第一导向件31的一侧与水平承载件11固定连接，第一导向件31的另一侧与第二导向件相连接，第二导向件32背离第一导向件31的一侧安装有接收基板6。

在本实施例中，水平调节机构3包括相互垂直设置的第一导向件31和第二导向件32，第一导向件31固定安装于水平承载件11上，第二导向件32叠放于第一导向件31上，在第二导向件32上安装有接收基板6，第一导向件31能够带动第二导向件32和接收基板6在水平面内沿第一方向直线移动，第二导向件32能够带动接收基板6在水平面内沿第二方向直线移动，从而使得接收基板6能够运动至水平面内的任一点。水平调节机构3这样的设计有效增加了接收基板6的自由度，使得接收基板在水平面内运动更加灵活，同时也利于提高接收基板6在水平面内的运动范围，从而使得接收基板能够配合光机系统4在更大范围内进行作业，从而提高了微元件非接触式转移的装置的作业效率。

如图1与图2所示，调节件22包括固定架221和连接块222，连接块222固定连接于固定架221上，连接块222上安装有光机系统4，固定架221的一端与旋转调节机构23固定连接，固定架221的另一端与待转移基板5相连接。并且，光机系统4包括基座41和光机42，光机42安装于基座41上，基座41与连接块222进行滑动连接。

在本实施例中，调节件22中的固定架221的一端与旋转调节机构23固定连接，固定架221的另一端安装有待转移基板5，固定架221的一侧固定安装有连接块222，连接块222与光机系统4的基座41滑动连接。该装置在运行时，基座41通过连接块222能够带动光机42进行升降运动，以调节光机42和待转移基板5之间的距离大小。

在本实施例中，竖直调节机构2内设有制动器和/或，水平调节机构3内设有制动器；和/或，旋转调节机构23内设有制动器。

具体的，在竖直调节机构2、水平调节机构3和旋转调节机构23内可以设置制动器，或者位置检测传感器，或者行程开关，以对竖直调节机构2、水平调节机构3和旋转调节机构23的运动情况进行及时调节，以保证接收基板6在接收作业是有足够的精度，在提高接收效率的同时也利于调高该装置的作业效果。

虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述装置包括：

承载座，所述承载座包括水平承载件和竖直承载件，所述竖直承载件垂直于所述水平承载件设置；

竖直调节机构，所述竖直调节机构包括调节件和支撑件，所述支撑件设于所述竖直承载件上，所述支撑件朝向所述水平承载件的一侧通过旋转调节机构与所述调节件相连接，所述调节件用于安装光机系统，所述光机系统用于发射光束，所述光机系统下方设有的待转移基板与所述调节件相连接，所述待转移基板上附着有微元件，所述待转移基板用于接收所述光束，所述微元件在所述光束的作用下掉落；

水平调节机构，固定安装于所述水平承载件上，所述水平调节机构朝向所述待转移基板的一侧设有接收基板以用于接收所述微元件。

2.如权利要求1所述的用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述竖直承载件包括立柱，所述立柱的一端与所述水平承载件固定连接，所述立柱的另一端安装有第一竖直导向部，所述支撑件与所述第一竖直导向部滑动连接。

3.如权利要求2所述的用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述支撑件包括滑动部和安装部，所述滑动部的一侧与所述第一竖直导向部滑动连接，所述滑动部的另一侧平行于所述水平调节机构向外延伸出所述安装部，所述安装部朝向所述水平调节机构的一侧安装有所述旋转调节机构。

4.如权利要求3所述的用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述支撑件还包括加强板，所述加强板分别与所述滑动部和所述安装部固定连接，以使所述滑动部与所述安装部保持垂直。

5.如权利要求1所述的用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述水平调节机构包括第一导向件和第二导向件，所述第一导向件用于带动所述接收基板沿第一方向在所述水平承载件上移动，所述第二导向件用于带动所述接收基板沿第二方向在所述水平承载件上移动，并且所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

6.如权利要求5所述的用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述第一导向件的一侧与所述水平承载件固定连接，所述第一导向件的另一侧与所述第二导向件相连接，所述第二导向件背离所述第一导向件的一侧安装有所述接收基板。

7.如权利要求1所述的用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述调节件包括固定架和连接块，所述连接块固定连接于所述固定架上，所述连接块上安装有所述光机系统，所述固定架的一端与所述旋转调节机构固定连接，所述固定架的另一端与所述待转移基板相连接。

8.如权利要求7所述的用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述光机系统包括基座和光机，所述光机安装于所述基座上，所述基座与所述连接块进行滑动连接。

9.如权利要求1所述的用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述竖直调节机构内设有制动器；

和/或，所述水平调节机构内设有制动器；

和/或，所述旋转调节机构内设有制动器。

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