CN217486819U - 超薄均热板及电子设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种超薄均热板及电子设备。上述超薄均热板包括上壳板和下壳板，上壳板和下壳板连接形成密封腔体，密封腔体内为负压环境且填充有工作介质，密封腔体内设置有上、下表面紧密贴合上壳板和下壳板的多孔结构太阳花仿生吸液芯，太阳花仿生吸液芯包括以吸液芯中心为起点沿周向间隔设置的多个由吸液芯中心延伸至太阳花仿生吸液芯边缘的长条形工质通道，各工质通道靠近吸液芯中心的一端相互连接且与吸液芯中心相连通，各工质通道之间的空间形成蒸汽通道。

Description

超薄均热板及电子设备

技术领域

本实用新型涉及均热板技术领域，具体涉及一种超薄均热板及电子设备。

背景技术

在微电子、半导体等领域，通常需要使用均热板对电子设备或者芯片产生的热量进行散热，以保证设备的正常运行。

传统的均热板通常采用壳板、吸液芯、蒸汽腔结构在均热板轴向形成独立分层的结构，并采用支撑柱等结构进行支撑。随着电子产品的日益微型化、超薄化，均热板也逐渐朝着超薄化方向发展。均热板厚度的不断减小，使得均热板整体机械性能下降，更容易发生凹陷；均热板的超薄化使得蒸汽腔厚度减小，蒸汽扩散边界层效应显著增强、扩散阻力增大，同时也加剧蒸汽对毛细芯内液体的逆流夹带问题，从而导致均热板的热性能下降。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种超薄均热板及电子设备，以期至少部分解决以上存在的技术问题。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种超薄均热板，包括：上壳板和下壳板，上壳板和下壳板连接形成密封腔体，密封腔体内为负压环境且填充有工作介质，密封腔体内设置有上、下表面紧密贴合上壳板和下壳板的多孔结构太阳花仿生吸液芯，太阳花仿生吸液芯包括以吸液芯中心为起点沿周向间隔设置的多个由吸液芯中心延伸至太阳花仿生吸液芯边缘的长条形工质通道，各工质通道靠近吸液芯中心的一端相互连接且与吸液芯中心相连通，各工质通道之间的空间形成蒸汽通道。

根据本实用新型的实施例，太阳花仿生吸液芯包括中心吸液芯和周向吸液芯，中心吸液芯包括吸液芯中心以及靠近吸液芯中心的位于太阳花仿生吸液芯的第一区域内的工质通道，周向吸液芯包括位于中心吸液芯之外的太阳花仿生吸液芯区域内的工质通道，周向吸液芯沿中心吸液芯往外周呈渐扩形发散且与中心吸液芯相连通。

根据本实用新型的实施例，中心吸液芯的有效毛细孔径小于周向吸液芯的有效毛细孔径。

根据本实用新型的实施例，中心吸液芯和/或周向吸液芯的有效毛细孔径呈梯度变化。

根据本实用新型的实施例，梯度变化包括在水平方向上呈梯度变化和/或在垂直方向上呈梯度变化。

根据本实用新型的实施例，太阳花仿生吸液芯的孔隙率为20％～95％。

根据本实用新型的实施例，超薄均热板还包括超亲水纳米层，形成于太阳花仿生吸液芯的表面。

根据本实用新型的实施例，太阳花仿生吸液芯的厚度为0.1～1.9mm。

根据本实用新型的实施例，超薄均热板还包括超疏水层，形成于上壳板的表面和/或下壳板的表面。

根据本实用新型的实施例，工作介质的体积占比为密封腔体体积的10～80％。

根据本实用新型的另一方面，提供了一种电子设备，包括工作模块和散热模块，该散热模块包括如上所述的超薄均热板，所述超薄均热板用于对工作模块散热。

本实用新型提供了一种超薄均热板及电子设备，其至少具有以下有益效果：

(1)本实用新型采用太阳花仿生吸液芯结构，对超薄受限空间进行高效利用，有效增加了蒸汽扩散空间，且减小甚至避免了蒸汽对吸液芯结构内液体的扰动，提高气液输运效率，降低了传热热阻。

(2)本实用新型采用一体化吸液芯结构，吸液芯上下表面用于支撑上下壳板，无需支撑柱，在不影响超薄均热板冷却效果的前提下可最大化利用超薄受限空间，并有效提升了机械性能，简化了制备工艺。

(3)本实用新型将太阳花仿生吸液芯设置为中心吸液芯和周向吸液芯，并对两者的孔隙率进行梯级布置，有效平衡了传统吸液芯较大毛细力及较高渗透率之间的矛盾关系。

(4)本实用新型基于太阳花仿生吸液芯结构，可利用蒸汽压力促进冷凝端的工作介质回流至蒸发端，提高了超薄均热板的毛细极限，延迟加热位置烧干现象，从而提高了超薄均热板的最大极限传热功率。

(5)本实用新型利用微纳米技术对太阳花仿生吸液芯表面进行超亲水处理，有效增强太阳花仿生吸液芯的毛细输运能力，改善了气液接触面积。

(6)本实用新型通过对上、下壳板表面进行超疏水处理，可防止工作介质在蒸汽通道内形成液膜，降低热阻，能够使冷凝液迅速回流，可有效提升超薄均热板的均温性能。

附图说明

为进一步说明本实用新型的技术内容，以下将结合实例及附图来详细说明，其中：

图1是根据本实用新型实施例的超薄均热板的分解示意图；

图2是根据本实用新型实施例的太阳花仿生吸液芯的结构示意图；

图3A是根据本实用新型实施例的周向吸液芯的烧结模具俯视图；

图3B是根据本实用新型实施例的中心吸液芯的烧结模具俯视图；

图3C是根据本实用新型实施例的太阳花仿生吸液芯与上壳板固定后的俯视图。

附图标记说明：

1、上壳板，2、太阳花仿生吸液芯，3、下壳板，21、吸液芯中心，22、工质通道，23、蒸汽通道，24、周向吸液芯，25、中心吸液芯，26、中心吸液芯的有效毛细孔径，27、周向吸液芯的有效毛细孔径。

具体实施方式

下面将结合实施例和实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在附图或说明书描述中，相似或相同的部分都使用相同的图号。附图中未绘示或描述的实现方式，为所属技术领域中普通技术人员所知的形式。另外，虽然本文可提供包含特定值的参数的示范，但应了解，参数无需确切等于相应的值，而是可在可接受的误差容限或设计约束内近似于相应的值。此外，以下实施例中提到的方向用语，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本实用新型。此外，本实用新型实施例中若有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

传统的均热板通常采用壳板、吸液芯、蒸汽腔结构在均热板轴向形成独立分层的结构，并采用支撑柱等结构进行支撑。然而，随着均热板的超薄化发展，使得均热板整体机械性能下降，更容易发生凹陷。此外，均热板的超薄化使得蒸汽腔厚度减小，蒸汽扩散边界层效应显著增强、扩散阻力增大，同时也加剧蒸汽对毛细芯内液体的逆流夹带问题，从而导致均热板的热性能下降。有鉴于此，本实用新型提出了一种超薄均热板及电子设备，以期至少部分解决以上存在的技术问题。

图1是根据本实用新型实施例的超薄均热板的分解示意图，图2是根据本实用新型实施例的太阳花仿生吸液芯的结构示意图，下面将参考图1和图2对本实用新型实施例的超薄均热板进行详细说明。应当理解，图1和图2所示以及以下说明仅为示例，旨在帮助本领域技术人员理解本实用新型的方案，并非意在限定本实用新型的保护范围。

如图1所示，在本实用新型实施例中，超薄均热板包括上壳板1和下壳板3，上壳板1和下壳板3连接形成密封腔体，该密封腔体内为负压环境且填充有工作介质。密封腔体内设置有上、下表面紧密贴合上壳板1和下壳板3的多孔结构太阳花仿生吸液芯2。

在本实用新型实施例中，可以利用太阳花仿生吸液芯2的上、下表面支撑上壳板1和下壳板3，从而无需支撑柱，在不影响超薄均热板冷却效果的前提下可最大化利用超薄受限空间，并有效提升了机械性能。

请一并参阅图1和图2所示，太阳花仿生吸液芯2包括以吸液芯中心21为起点沿周向间隔设置的多个由吸液芯中心21延伸至太阳花仿生吸液芯2边缘的长条形工质通道22，各工质通道22靠近吸液芯中心21的一端相互连接且与吸液芯中心21相连通，各工质通道22之间的空间形成蒸汽通道23。

在本实用新型实施例中，太阳花仿生吸液芯2可以由不同材质、不同目数的粉体材料或者多孔介质等烧结制备而成，其中，太阳花仿生吸液芯2的熔点或者熔融温度高于工作介质的工作温度，这里不做限定。例如，太阳花仿生吸液芯2可以是采用60～5000目的粉体材料(例如铜粉、铝粉或者非金属材料粉体等)或者多孔介质(例如金属或者非金属材料形成的丝网结构等)烧结处理得到的多孔结构，其孔隙率例如可以为20％～95％。太阳花仿生吸液芯2的厚度例如可以为0.1～1.9mm。

其中，太阳花仿生吸液芯2中包含的多个长条形多孔结构工质通道22用于供液态工作介质流动，而各工质通道22之间的蒸汽通道23则用于供蒸汽流动。基于上述太阳花仿生吸液芯结构，使得气液通道相互分离，从而能够有效减小甚至避免气液流动阻力，增加了气液两相转换效率，提升超薄均热板的均温性能及传热效率。此外，基于上述太阳花仿生吸液芯结构可以对超薄受限空间进行高效利用，可以有效增加了蒸汽扩散空间，从而降低传热热阻。

请继续参阅图2，在本实用新型实施例中，太阳花仿生吸液芯2包括中心吸液芯25和周向吸液芯24。其中，中心吸液芯25包括吸液芯中心21以及靠近吸液芯中心21的位于太阳花仿生吸液芯2的第一区域(图2中虚线所示部分)内的工质通道，而周向吸液芯24包括位于中心吸液芯25之外的太阳花仿生吸液芯2区域内的工质通道。周向吸液芯24沿中心吸液芯25往外周呈渐扩形发散且与中心吸液芯25相连通。

可以理解，中心吸液芯25的大小和位置可以根据实际情况进行调整，例如，可以随热源的面积大小或者热源在均热板上的相对位置变化，调整中心吸液芯25的第一区域的大小或者位于中心吸液芯25中的吸液芯中心21的相对位置以适应实际需求。在中心吸液芯25作出调整之后，可以随之调整周向吸液芯24的尺寸和位置，以适应周向吸液芯24和中心吸液芯25之间的位置和尺寸关系。

在本实用新型实施例中，中心吸液芯25可以作为蒸发中心(或者蒸发端)，而周向吸液芯24的末端可以视作冷凝区域(或者冷凝端)。其中，中心吸液芯25的有效毛细孔径例如可以小于周向吸液芯24的有效毛细孔径，从而呈现出从蒸发中心到周向冷凝区域的梯度孔隙率特性，用于平衡毛细力与渗透率之间的矛盾问题。

下面将参考图2对太阳花仿生吸液芯的工作原理进行简单说明。

如图2所示，太阳花仿生吸液芯2是包含多个长条形工质通道22的多孔结构，为了便于说明，将中心吸液芯25部分的工质通道等效为直径为d1的毛细管26，将周向吸液芯24部分的工质通道等效为直径为d2的毛细管27，其中d1＜d2。图2中从吸液芯中心21向边缘流动的箭头代表的是蒸汽的流动方向，从周向吸液芯24部分的工质通道向中心吸液芯25部分的工质通道流动的箭头代表的是冷凝后的工作介质的流动方向。

工作时，对吸液芯中心21处加热，处于该位置的液态工作介质相变蒸发，通过蒸汽通道23向太阳花仿生吸液芯2边缘扩散，蒸汽在太阳花仿生吸液芯2边缘相变冷凝为液态工作介质。液态工作介质除通过周向吸液芯24部分的工质通道(相当于毛细管27)在毛细力作用下回流至吸液芯中心21外，由于热源位于均热板的中心吸液芯25位置(温度高于周边)，因此均热板的中心吸液芯25的蒸汽压强最大，压力差使得蒸汽向边缘低温低压处扩散，此时蒸汽压力对冷凝区域(或冷凝端)的冷凝工作介质产生推动力，将周向吸液芯24部分的工质通道(相当于毛细管27)中的冷凝工作介质推动至中心吸液芯25部分的工质通道(相当于毛细管26)中，进而在毛细力的作用下回流至吸液芯中心21，提高了超薄均热板的毛细极限，延迟加热位置烧干现象，从而提高了超薄均热板的最大极限传热功率。

前面已经介绍，在本实用新型实施例中，中心吸液芯25和周向吸液芯24例如均可以是采用60～5000目的粉体材料或者多孔介质烧结处理得到的多孔结构，其中，中心吸液芯25的有效毛细孔径小于周向吸液芯24的有效毛细孔径，从而呈现出从蒸发中心到周向冷凝区域的梯度孔隙率特性，以平衡毛细力与渗透率之间的矛盾问题。另外，中心吸液芯25以及周向吸液芯24的大小和位置可以根据实际情况进行调整。为了进一步适应不同形式的散热需求或者不同结构的均热板，在一些实施例中，可以使得中心吸液芯25和/或周向吸液芯24的有效毛细孔径呈梯度变化。这里所谓的梯度变化例如可以包括在水平方向上呈梯度变化和/或在垂直方向上呈梯度变化。

例如，可以通过调整粉体材料或者多孔介质的目数或者质量比例等，以使中心吸液芯25或者周向吸液芯24部分的多孔结构呈现出孔隙率沿水平方向上呈梯度变化或者在垂直方向上呈梯度变化。在本实用新型实施例中，对中心吸液芯25和/或周向吸液芯24部分的多孔结构的孔隙率进行梯度布置可以采用现有技术中的方式实现，这里不再赘述。

本实用新型实施例中，通过对中心吸液芯25和/或周向吸液芯24的有效毛细孔径进行梯级布置，可以更加灵活、有效地平衡传统吸液芯较大毛细力及较高渗透率之间的矛盾关系。

在本实用新型实施例中，可以利用物理或者化学方法在太阳花仿生吸液芯2的表面形成一层超亲水纳米层，以增强太阳花仿生吸液芯2的毛细输运能力以及改善气液接触面积。其中，超亲水纳米层的形貌例如可以为纳米线、纳米颗粒、纳米片结构的一种或多种，这里不做限定。

例如，可以通过化学蚀刻法和/或化学沉积法，对微米级孔径的太阳花仿生吸液芯2的固相材料表面蚀刻出纳米级微结构，以使得太阳花仿生吸液芯2从微米结构转变为微纳复合结构，从而使太阳花仿生吸液芯2具备超亲水性能。

在本实用新型实施例中，上述上壳板1和/或下壳板3的厚度例如可以为0.05～0.5mm。制备上壳板1和/或下壳板3的材料例如可以包括但不限于不锈钢、铜、铝等导热性以及可焊接性良好的金属及其合金或者非金属及其化合物材料。其中，上壳板1和下壳板3的熔点或者熔融温度高于工作介质的工作温度。

在一些实施例中，可以利用物理或者化学方法(例如化学沉积或电镀等方法)在上壳板1的表面和/或下壳板3的表面形成超疏水层。通过对上、下壳板表面进行超疏水处理，可防止冷凝后的工作介质在蒸汽通道23内形成液膜，降低热阻，从而能够使冷凝液迅速回流，可有效提升超薄均热板的均温性能。

在一些实施例中，超薄均热板还可以包括散热翅片、水冷板或散热风扇等结构，其设置于上壳板1的表面，用于强化均热板的散热能力。

在本实用新型实施例中，上述工作介质例如可以包括但不限于水、丙酮、甲醇、乙醇、氟化液、氨、己烷、甲苯、萘、联苯、导热姆、汞、碱金属、银和氟利昂的一种或多种。工作介质的体积占比例如为密封腔体体积的10～80％。

本实用新型的另一方面提供了一种超薄均热板的制备方法，该方法包括步骤S1～S5。

在步骤S1，制备上壳板和下壳板。

例如，可以通过线切割、冲压或蚀刻成型的方式制作上、下壳板，然后进行表面清洗、去除油污、氧化层，得到上壳板和下壳板。

在一些实施例中，例如，还可以通过电镀法在上、下壳板表面生成一层超疏水层(例如特氟龙，仅为示例)，该超疏水层可以防止冷凝后的工作介质在蒸汽通道内形成液膜，降低热阻，从而能够使冷凝液迅速回流，可有效提升超薄均热板的均温性能。

在步骤S2，基于预先构建的周向吸液芯模具，将具有第一目数的粉体材料与造孔剂的混合物，或者具有第一目数的多孔介质，在第一预设温度下烧结第一时长，在上壳板的内表面形成周向吸液芯。

在本实用新型实施例中，为了便于制造以及具有更广的适用性，例如可以采用模具成型法来制备太阳花仿生吸液芯结构。具体地，可以预先构建周向吸液芯模具和中心吸液芯模具，然后基于上述两个模具来制备周向吸液芯和中心吸液芯。

为了便于说明，以下将以图1中所示太阳花仿生吸液芯结构为例，并结合图3A至图3C来说明太阳花仿生吸液芯的制备过程。应当理解，本实用新型实施例中所能获取的周向吸液芯和中心吸液芯的结构并不仅限于附图中所示，可以根据实际需要来构建周向吸液芯模具和中心吸液芯模具，从而得到所需的太阳花仿生吸液芯结构。

例如，在操作S2中，可以将具有第一目数的粉体材料与造孔剂的混合物，或者具有第一目数的多孔介质填充于预先构建的周向吸液芯模具(如图3A所示)中，然后倒扣在上壳板上，通过夹具固定后放入气氛炉中，在第一预设温度下烧结第一时长，从而在上壳板的内表面形成周向吸液芯。

在本实用新型实施例中，粉体材料或者多孔介质的材质例如可以是铜、铝、不锈钢等导热性和可焊接性良好的金属及其合金或非金属及其化合物材料，或者是其他合适的材料。造孔剂通常可以选择易溶于水且耐高温的盐类，例如氯化钠、氯化钾等，也可以根据实际选择其他合适的材料。

在本实用新型实施例中，具有第一目数的粉体材料或者多孔介质例如可以包括60～500目的粉体材料或者多孔介质，而造孔剂例如可以选择50～400目的上述造孔剂。其中，具有第一目数的粉体材料与造孔剂的体积比例如可以为1∶0.1～1∶0.9。

第一预设温度与烧结形成周向吸液芯结构的材料的熔点或者熔融温度有关。以材料为金属为例，通常可以将第一预设温度设置为至少为金属熔点的80％左右的温度，而第一时长则可以根据第一预设温度来调节，当第一预设温度较高时，则可以适当缩短第一时长，当第一预设温度较低时，则可以适当延长第一时长。例如，以300目铜粉与100目造孔剂按1：0.3体积比烧结周向吸液芯结构为例，第一预设温度例如可以为950℃，第一时长可以为3小时。

本实用新型实施例中，周向吸液芯可以由不同材质、不同目数的粉体材料，丝网、泡沫金属等多孔介质材料烧结制备而成，另外，也可以根据实际需要选择合适目数的材料来获取具有不同梯度分布的太阳花仿生吸液芯结构，这里不做限制。

在步骤S3，基于预先构建的中心吸液芯模具以及在上壳板的内表面形成的周向吸液芯，将具有第二目数的粉体材料与造孔剂的混合物，或者具有第二目数的多孔介质，在第二预设温度下烧结第二时长，在上壳板的内表面形成太阳花仿生吸液芯。

例如，可以将具有第二目数的粉体材料与造孔剂的混合物或者具有第二目数多孔介质填充于预先构建的中心吸液芯模具(如图3B所示)中，与烧结好的周向吸液芯进行组装，然后在第二预设温度下烧结第二时长，从而在上壳板1的内表面形成如图1所示的太阳花仿生吸液芯2(如图3C所示，仅为示例)。

在本实用新型实施例中，具有第二目数的粉体材料或者多孔介质例如可以包括100～5000目的粉体材料或者多孔介质。其中，具有第二目数的粉体材料与造孔剂的体积比例如可以为1∶0.1～1∶0.9。

其中，烧结中心吸液芯的粉体材料或者多孔介质以及造孔剂的定义与以上描述的内容相同或类似，这里不再赘述。第二预设温度与以上描述的第一预设温度具有相同或类似的定义，可以根据实际情况设定，这里不再赘述。

在本实用新型实施例中，烧结中心吸液芯的粉体材料或者多孔介质以及造孔剂的材料等可以与烧结周向吸液芯的材料相同或者不同，这里不做限制。

本实用新型实施例中，中心吸液芯可以由不同材质、不同目数的粉体材料，丝网、泡沫金属等多孔介质材料烧结制备而成，另外，也可以根据实际需要选择合适目数的材料来获取具有不同梯度分布的太阳花仿生吸液芯结构，这里不做限制。

在一些实施例中，可以对烧结处理得到的太阳花仿生吸液芯2的表面进行超亲水处理，以在太阳花仿生吸液芯2的表面形成超亲水层，以增强太阳花仿生吸液芯的毛细输运能力，增加气化核心密度，可有效提升超薄均热板的传热效率和临界热流密度。

例如，可以将烧结处理得到的太阳花仿生吸液芯2至于浓度为15％的过氧化氢溶液中浸泡4小时，从而在太阳花仿生吸液芯2的表面生成一层超亲水纳米结构。需要说明的是，在太阳花仿生吸液芯的表面生成超亲水纳米层的方法不限于以上描述的方式，也可以采用其他合适的方式，具体不做限制。

在步骤S4，将上壳板、太阳花仿生吸液芯和下壳板进行组装，形成具有注液口的密封腔体，其中，太阳花仿生吸液芯设置于密封腔体内，且与上壳板和下壳板紧密贴合。

例如，可以利用以上描述的模具将各组分进行组装固定，并置于扩散焊炉中，在设定压力下经高温(例如900℃，仅为示例)烧结3小时，从而得到超薄均热板。其中，设定压力可以取决于均热板的大小，当均热板尺寸越大时，通常设定压力也越大。

在步骤S5，通过注液口抽取密封腔体中的空气以使得密封腔体处于负压环境，并通过注液口向密封腔体内注入工作介质，封堵注液口并密封焊接制成超薄均热板。

注入密封腔体内的工作介质例如可以包括但不限于水、丙酮、甲醇、乙醇、氟化液、氨、己烷、甲苯、萘、联苯、导热姆、汞、碱金属、银和氟利昂中的一种或多种。工作介质的体积占比例如为密封腔体体积的10～80％。

超薄均热板四周的密封焊接例如可以为感应焊、分子扩散焊、钎焊等的一种或多种，这里不做限制。

在本实用新型实施例中，基于太阳花仿生吸液芯结构制备得到的超薄均热板的厚度例如可以为0.2～1mm。

需要说明的是，以上虽然以特定的顺序描述了方法的各个步骤，然而本实用新型的实施例不限于此，上述步骤可以根据需要以其他顺序执行。例如在一些实施例中，步骤S3也可以在步骤S2之前执行，然后以中心吸液芯为基准来制备得到周向吸液芯结构，本实用新型对此不做限制。

本实用新型实施例的方案以简单、高效的方式实现太阳花仿生吸液芯结构的制备，对超薄受限空间进行高效利用，有效增加了蒸汽扩散空间，减小了气液流动阻力，增加了气液两相转换效率，降低了传热热阻，提升超薄均热板的均温性能及传热效率。此外，太阳花仿生吸液芯上、下表面用于支撑上、下壳板，无需支撑柱，简化了制备工艺，并有效提升了机械性能。

本实用新型的另一方面还提供了一种电子设备，该电子设备包括工作模块和散热模块，其中，散热模块包括以上描述的超薄均热板的全部技术特征，这里不再赘述。该超薄均热板用于对工作模块进行散热。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种超薄均热板，其特征在于，包括：上壳板和下壳板，所述上壳板和所述下壳板连接形成密封腔体，所述密封腔体内为负压环境且填充有工作介质，所述密封腔体内设置有上、下表面紧密贴合所述上壳板和所述下壳板的多孔结构太阳花仿生吸液芯，

所述太阳花仿生吸液芯包括以吸液芯中心为起点沿周向间隔设置的多个由所述吸液芯中心延伸至所述太阳花仿生吸液芯边缘的长条形工质通道，各所述工质通道靠近所述吸液芯中心的一端相互连接且与所述吸液芯中心相连通，各所述工质通道之间的空间形成蒸汽通道。

2.根据权利要求1所述的超薄均热板，其特征在于，所述太阳花仿生吸液芯包括中心吸液芯和周向吸液芯，

所述中心吸液芯包括所述吸液芯中心以及靠近所述吸液芯中心的位于所述太阳花仿生吸液芯的第一区域内的工质通道，

所述周向吸液芯包括位于所述中心吸液芯之外的所述太阳花仿生吸液芯区域内的工质通道，所述周向吸液芯沿所述中心吸液芯往外周呈渐扩形发散且与所述中心吸液芯相连通。

3.根据权利要求2所述的超薄均热板，其特征在于，所述中心吸液芯的有效毛细孔径小于所述周向吸液芯的有效毛细孔径。

4.根据权利要求2所述的超薄均热板，其特征在于，所述中心吸液芯和/或所述周向吸液芯的有效毛细孔径呈梯度变化。

5.根据权利要求4所述的超薄均热板，其特征在于，所述梯度变化包括在水平方向上呈梯度变化和/或在垂直方向上呈梯度变化。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的超薄均热板，其特征在于，所述太阳花仿生吸液芯的孔隙率为20％～95％。

7.根据权利要求1所述的超薄均热板，其特征在于，所述超薄均热板还包括超亲水纳米层，形成于所述太阳花仿生吸液芯的表面。

8.根据权利要求1所述的超薄均热板，其特征在于，所述太阳花仿生吸液芯的厚度为0.1～1.9mm。

9.根据权利要求1所述的超薄均热板，其特征在于，所述超薄均热板还包括超疏水层，形成于所述上壳板的表面和/或所述下壳板的表面。

10.根据权利要求1所述的超薄均热板，其特征在于，所述工作介质的体积占比为所述密封腔体体积的10～80％。

11.一种电子设备，其特征在于，包括工作模块和散热模块，所述散热模块包括如权利要求1至10中任一项所述的超薄均热板，所述超薄均热板用于对所述工作模块散热。

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